KR20080002049A - Inspection appratus of display device, inspection method and method for manufacturing display device using the same - Google Patents

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Abstract

An inspection apparatus for a display device, an inspection method thereof, and a method for manufacturing the display device by using the same are provided to install an MUX(Multiplexer) structure in the outside of each cell within a mother substrate and receive signals through each MUX in common, thereby preventing static electricity flowed into a pad portion and reducing the production cost of the inspection apparatus. An inspection apparatus for a display device comprises a mother substrate(100), plural inspection patterns(110), and a contact portion. Plural unit cells(200) are spaced to each other on the mother substrate. The plural inspection patterns are formed in a predetermined external portion of each unit cell on the mother substrate. The plural inspection patterns are the MUX connected with plural signal lines(111) from the each unit cell.

Description

표시 장치의 검사 장비, 이의 검사 방법 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법 {Inspection Appratus of Display Device, Inspection Method and Method for Manufacturing Display Device Using the Same} Inspection equipment of display device, inspection method thereof and manufacturing method of display device using same {Inspection Appratus of Display Device, Inspection Method and Method for Manufacturing Display Device Using the Same}

도 1은 일반적인 검사 패턴을 포함한 유기 발광 소자를 나타낸 평면도1 is a plan view showing an organic light emitting device including a general test pattern

도 2는 본 발명의 표시 장치의 검사 장비를 나타낸 개략도2 is a schematic view showing the inspection equipment of the display device of the present invention;

도 3은 도 2의 단위 셀의 패드부와 이의 검사 패턴을 나타낸 확대도3 is an enlarged view illustrating a pad part and a test pattern thereof of the unit cell of FIG. 2;

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings

100 : 모기판 110 : 검사용 먹스100: mosquito board 110: test mux

111 : 검사용 배선 200 : 단위 셀111: inspection wiring 200: unit cell

220 : 씰 패턴 300 : 콘택 검사부220: seal pattern 300: contact inspection unit

310 : 제 1 검사배선 311 : 제 2 검사 배선310: first inspection wiring 311: second inspection wiring

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 점등 검사를 위한 패턴을 셀 형성부 외곽의 모기판 상에 MUX 구조로 형성함으로써, 검사를 용이하게 한 표시 장치의 검사 장비, 이를 이용한 검사 방법 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방 법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, in particular, by forming a pattern for lighting inspection in a MUX structure on a mother substrate outside the cell forming unit, thereby making inspection easy, an inspection method using the same, and an inspection method using the same. It relates to a method of manufacturing an organic light emitting device.

평판 디스플레이 중 하나인 유기 발광 소자는 자체 발광형이기 때문에, 액정 표시 장치에 비해 시야각, 콘트라스트(contrast) 등이 우수하며, 백라이트가 요구되지 않기 때문에, 경량 박형이 가능하고, 소비 전력 측면에서도 유리하다.The organic light emitting device, which is one of the flat panel displays, has a better viewing angle, contrast, and the like than the liquid crystal display, and is lightweight and thinner because it does not require a backlight, and is advantageous in terms of power consumption. .

그리고, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답 속도가 빠르며 전부 고체이기 때문에, 외부 충격에 강하고 사용 온도 범위도 넓으며, 특히 제조 비용 측면에서도 저렴한 장점을 가지고 있다. 특히, 유기 발광 소자의 제조 공정에는, 액정 표시 장치나, PDP(Plasma Display Panel)와 달리 증착 및 봉지(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에, 공정이 매우 단순하다.In addition, since DC low voltage driving is possible, the response speed is fast, and all solid, it is resistant to external shock and has a wide range of use temperature, and in particular, has a low cost in terms of manufacturing cost. In particular, unlike the liquid crystal display and the plasma display panel (PDP), the deposition and encapsulation equipment are all in the manufacturing process of the organic light emitting device, and thus the process is very simple.

또한, 각 화소마다 스위칭 소자인 박막 트랜지스터를 가지는 액티브 매트릭스 방식으로 유기 발광 소자를 구동하게 되면 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 나타내므로, 저소비 전력, 고정세, 대형화가 가능한 장점을 지닌다.In addition, when the organic light emitting diode is driven by an active matrix method having a thin film transistor as a switching element for each pixel, the same luminance is displayed even when a low current is applied, and thus, low power consumption, high definition, and large size can be obtained.

이러한 유기 발광 소자는 전자 및 정공 등의 캐리어를 이용하여 형광물질을 여기시킴으로써 비디오 영상을 표시하게 된다.Such an organic light emitting device displays a video image by exciting a fluorescent material using carriers such as electrons and holes.

한편, 이러한 유기 발광 소자의 구동방식으로는 별도의 박막트랜지스터를 구비하지 않는 패시브 매트릭스 방식(Passive matrix type)이 주로 이용되고 있다.On the other hand, a passive matrix type (Passive matrix type) that does not have a separate thin film transistor is mainly used as a driving method of the organic light emitting device.

그러나, 패시브 매트릭스 방식은 해상도나 소비 전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있기 때문에, 고해상도나 대화면을 요구하는 차세대 디스플레이 제조를 위한 액티브 매트릭스형 유기 발광 소자에 대해 연구 개발되고 있다.However, since the passive matrix method has many limitations such as resolution, power consumption, and lifespan, active matrix organic light emitting devices for the manufacture of next-generation displays requiring high resolution and large screens have been researched and developed.

한편, 상기 유기 발광 소자는 발광층을 상하부 기판 상에 어디에 위치시키는 지에 따라 하부 발광 방식 혹은 상부 발광 방식으로 구분하며, 상부 발광 방식의 경우 액티브 매트릭스형으로 구현시 박막 트랜지스터 어레이를 하부 기판 상에 배치하고, 발광층을 상부 기판 상에 위치시킬 경우, 이를 듀얼 플레이트형 유기 발광 소자(DOD: Dual plate type Organic Electro-luminescence Device)라 한다.On the other hand, the organic light emitting device is divided into a lower emission method or an upper emission method according to where the light emitting layer is located on the upper and lower substrates, and in the case of the upper emission method when the active matrix type is implemented, the thin film transistor array is disposed on the lower substrate When the light emitting layer is positioned on the upper substrate, this is referred to as a dual plate type organic electroluminescence device (DOD).

이하, 첨부된 도면을 참조하여 일반적인 유기 발광 소자를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a general organic light emitting device will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일반적인 검사 패턴을 포함한 유기 발광 소자를 나타낸 평면도이다.1 is a plan view illustrating an organic light emitting device including a general test pattern.

도 1과 같이, 일반적인 유기 발광 소자(10)는 표시 영역(15)과, 일측에 위치하는 패드부(15를 제외한 부위)로 정의되며, 상기 패드부에는 구동을 위한 구동부(11) 및 좌우 양측에 점등 검사를 위한 복수개의 검사용 패턴(12a, 12b)이 형성된다.As shown in FIG. 1, a general organic light emitting diode 10 is defined by a display area 15 and a pad part (except a part 15) positioned at one side, and the pad part includes a driving part 11 for driving and both left and right sides. A plurality of inspection patterns 12a and 12b for lighting inspection are formed on the substrate.

상기 그런데, 상기 복수개의 검사용 패턴(12a, 12b)은 점등 검사 완료 후에도 패드부(15)에서 남아있게 되어, 공정상에서 상기 복수개이 검사용 패턴(12a, 12b)이 형성된 부위가 정전기가 유입되는 경로로 작용하고 있으며, 따라서, 정전기에 의한 손상이 문제시되고 있다.By the way, the plurality of inspection patterns 12a and 12b remain in the pad unit 15 even after the lighting inspection is completed, and a path through which static electricity flows in a portion where the plurality of inspection patterns 12a and 12b are formed in the process. Therefore, damage by static electricity has been a problem.

상기와 같은 종래의 유기 발광 소자는 다음과 같은 문제점이 있다.The conventional organic light emitting device as described above has the following problems.

특히 소형 모델에 있어서는, 복수개의 셀을 모기판 상에 형성한 후, 이를 컷팅 공정에서 절단하고 있는데, 상기 각 셀에 패드부측에 점등 검사를 위한 패턴이 남아있어, 이 부위가 공정상에서 정전기가 유입되는 경로가 된다.In particular, in a small model, after forming a plurality of cells on the mother substrate, they are cut in a cutting process, and there is a pattern for lighting inspection on the pad part side in each of the cells, so that static electricity flows in the process. To become a path.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 점등 검사를 위한 패턴을 셀 형성부 외곽의 모기판 상에 MUX 구조로 형성함으로써, 검사를 용이하게 한 표시 장치의 검사 장비, 이를 이용한 검사 방법 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 및 이를 이용한 검사 방법을 제공하는 데, 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by forming a pattern for the lighting test in the MUX structure on the mother substrate outside the cell forming portion, the inspection equipment of the display device to facilitate the inspection, the inspection method using the same And to provide a method of manufacturing an organic light emitting device using the same and an inspection method using the same, an object thereof.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 표시 장치의 검사 장비는 복수 개의 단위 셀이 서로 이격하여 정의된 모기판;과, 상기 모기판 상의 각 단위 셀의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 검사용 패턴; 및 상기 복수개의 검사용 패턴과 연결되는 상기 모기판 외측에 형성된 접촉부를 포함하여 이루어진 것에 그 특징이 있다.Inspection apparatus of the display device of the present invention for achieving the above object is a mother substrate defined by a plurality of unit cells spaced apart from each other; and a plurality of inspection patterns formed on the outer predetermined portion of each unit cell on the mother substrate ; And a contact portion formed outside the mother substrate connected to the plurality of inspection patterns.

상기 복수개의 검사용 패턴은 상기 단위 셀로부터 복수개의 신호선으로 연결되는 먹스(MUX)이다.The plurality of inspection patterns are MUXs connected to the plurality of signal lines from the unit cell.

상기 모기판에 복수개의 단위 셀이 m 개의 행과 n 개의 열로 배열되어 있을 때, 상기 접촉부로부터 상기 m 개의 행으로 분기되는 제 1 검사배선과, 상기 각 행에 위치한 단위셀들에 공통으로 연결되어 검사용 신호를 전달하는 제 2 검사배선들을 더 포함한다.When a plurality of unit cells are arranged in m rows and n columns on the mother substrate, the first inspection wiring branched from the contact portion to the m rows is commonly connected to the unit cells located in each row. The test circuit further includes second test wires for transmitting a test signal.

상기 접촉부에서는 검사를 위한 신호를 생성하여 각 복수개의 검사용 패턴에 전달한다.The contact unit generates a signal for inspection and transfers it to each of the plurality of inspection patterns.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 표시 장치의 검사 방법은 복수 개의 단위 셀이 서로 이격하여 정의된 모기판과, 상기 모기판 상의 각 단위 셀의 외곽 소 정 부위에 형성된 복수개의 검사용 패턴 및 상기 복수개의 검사용 패턴과 연결되는 상기 모기판 외측에 형성된 접촉부를 포함하여 이루어진 검사 장비를 이용하여, 상기 모기판 상의 복수개의 검사용 패턴이 공통으로 점등 신호를 인가하여 검사를 수행하는 것에 또 다른 특징이 있다.In addition, a method of inspecting a display device for achieving the same purpose includes a mother substrate in which a plurality of unit cells are spaced apart from each other, a plurality of inspection patterns and a plurality of inspection patterns formed on a predetermined portion of an outer portion of each unit cell on the mother substrate. Another feature is that a plurality of inspection patterns on the mother substrate commonly apply a lighting signal to perform inspection by using inspection equipment including a contact portion formed outside the mother substrate connected to two inspection patterns. have.

또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 표시 장치의 제조 방법은 복수 개의 단위 셀이 서로 이격하여 정의된 모기판을 준비하는 단계;와, 상기 모기판 상의 각 단위 셀의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 검사용 패턴 및 상기 복수개의 검사용 패턴과 연결되는 상기 모기판 외측에 형성된 접촉부를 포함하여 이루어진 검사 장비를 준비하는 단계;와, 상기 모기판 상의 복수개의 검사용 패턴이 공통으로 점등 신호를 인가하여 검사를 수행하는 단계; 및 상기 복수개의 단위 셀 단위로 컷팅하는 단계를 포함하는 것에 그 특징이 있다.In addition, the manufacturing method of the display device of the present invention for achieving the same object comprises the steps of preparing a mother substrate defined by a plurality of unit cells spaced apart from each other; and a plurality formed on the outer predetermined portion of each unit cell on the mother substrate Preparing an inspection apparatus including a plurality of inspection patterns and a contact portion formed on an outer side of the mother substrate connected to the plurality of inspection patterns; and a plurality of inspection patterns on the mother substrate apply a lighting signal in common. Performing the inspection; And cutting into the plurality of unit cells.

상기 복수개의 검사용 패턴과 상기 단위 셀들간에 복수개의 신호선으로 연결하는 단계를 더 포함한다.The method may further include connecting a plurality of signal lines between the plurality of inspection patterns and the unit cells.

상기 검사를 수행한 후, 상기 복수개의 셀을 포함한 상기 모기판에 배향막을 형성하여 상기 검사용 패턴과 연결되는 신호선을 가리는 단계를 더 포함한다.After performing the inspection, the method may further include forming an alignment layer on the mother substrate including the plurality of cells to cover the signal line connected to the inspection pattern.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 표시 장치의 검사 장비, 이를 이용한 검사 방법 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an inspection apparatus, an inspection method using the same, and a manufacturing method of the display apparatus using the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하에서 도시되는 예는 유기 발광 소자의 검사 장비를 예로 들어 설명한 것이나, 이와 같은 검사 장비 및 검사 방법은 여러가지 표시 장치를 형성하는데 이용 할 수 있을 것이다.The example illustrated below has been described using inspection equipment of an organic light emitting diode as an example, but such inspection equipment and inspection methods may be used to form various display devices.

도 2는 본 발명의 표시 장치의 검사 장비를 나타낸 개략도이며, 도 3은 도 2의 단위 셀의 패드부와 이의 검사 패턴을 나타낸 확대도이다.FIG. 2 is a schematic diagram illustrating test equipment of a display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an enlarged view illustrating a pad part of the unit cell of FIG. 2 and a test pattern thereof.

도 2와 같이, 본 발명의 표시 장치의 검사 장비는 복수 개의 단위 셀(200)이 서로 이격하여 정의된 모기판(100)과, 상기 모기판(100) 상의 각 단위 셀(200)의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 MUX(110) 및 상기 MUX(110)과 연결되는 상기 모기판(100) 외측에 형성된 접촉부(300)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 2, the inspection apparatus of the display device according to the present invention includes a mother substrate 100 in which a plurality of unit cells 200 are spaced apart from each other, and an outer boundary of each unit cell 200 on the mother substrate 100. It includes a plurality of MUX (110) formed in the site and the contact portion 300 formed on the outside of the mother substrate 100 is connected to the MUX (110).

여기서, 상기 MUX(110)는 검사용 패턴으로 이용되는 것으로, 상기 단위 셀부(200)과 복수개의 신호선(111)으로 연결된다.Here, the MUX 110 is used as a test pattern and is connected to the unit cell unit 200 by a plurality of signal lines 111.

그리고, 예를 들어, 상기 모기판(100)에 복수개의 단위 셀(200)이 m 개의 행과 n 개의 열로 배열되어 있을 때, 상기 모기판(100) 외측의 접촉부(300)로부터 상기 m 개의 행으로 분기되는 제 1 검사배선(310)과, 상기 각 행에 위치한 단위셀들에 공통으로 연결되어 검사용 신호를 전달하는 제 2 검사배선들(311)을 포함하여, 상기 각 MUX(110)와 상기 접촉부(300)를 연결한다.For example, when a plurality of unit cells 200 are arranged in m rows and n columns in the mother substrate 100, the m rows are formed from the contact portion 300 outside the mother substrate 100. Each of the MUX 110 includes a first inspection wiring 310 branched to the second inspection wiring 310, and second inspection wirings 311 connected in common to the unit cells positioned in the respective rows to transfer a test signal. The contact part 300 is connected.

여기서, 상기 제 1, 제 2 검사배선(310, 311)은 상기 접촉부(300)에 가까운 쪽과 먼쪽에 관계없이 안정된 신호를 검사용 신호를 전달하기 위해 구리배선과 같이 저항이 낮은 금속을 이용한다.Here, the first and second test wirings 310 and 311 use a metal having low resistance, such as copper wiring, to transmit a test signal for a stable signal regardless of the near or far side of the contact portion 300.

그리고, 상기 접촉부(300)에서는 검사를 위한 신호를 생성하여 각 MUX(110)에 공통적으로 전달한다.In addition, the contact unit 300 generates a signal for inspection and transfers it to each MUX 110 in common.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 MUX(110) 상기 셀(200)의 외측에 형성되기 때문에, 셀(200)의 외곽 라인을 컷팅할 때, 잘려나가기 때문에, 컷팅 공정 이후, 플로팅 상태의 상기 MUX(110)에 연결되었던 신호선(111)만 남아있게 되어, 정전기의 유입 경로가 없게 된다.As shown in FIG. 3, since the MUX 110 is formed outside the cell 200, when the outer line of the cell 200 is cut, the MUX 110 is cut off, and thus, after the cutting process, the MUX in a floating state. Only the signal line 111 that was connected to the 110 remains, so there is no inflow path of static electricity.

여기서, 상기 MUX(110)에 연결되는 신호선(111)은 상기 셀(200)의 비표시 영역의 일부인 패드부측에만 위치하며, 도시된 도면에서는 셀의 상하부 기판을 합착하는 씰 패턴(22)의 일부를 상기 신호선(111)이 지남을 나타낸다.Here, the signal line 111 connected to the MUX 110 is located only on the pad side, which is a part of the non-display area of the cell 200. In the illustrated drawing, a part of the seal pattern 22 joining the upper and lower substrates of the cell is shown. Indicates that the signal line 111 has passed.

본 발명의 표시 장치의 검사 장비는, 검사 완료 후, 단위 셀 별로 진행하는 컷팅 공정에서 컷팅되어 잘려지는 면과 함께 신호 검사용 MUX가 제거되어, 정전기적으로 안정하고, 또한, 각 셀별로 공통적으로 동일한 값을 인가하기 위해 6개의 신호가 함께 인가될 수 있는 먹스(MUX)를 구비한 것으로, 상기 각 MUX를 셀(200) 상에서 제 2 검사 배선(311)의 공통 라인으로 연결하여 동일한 신호가 인가될 수 있도록 한다. The inspection equipment of the display device of the present invention, after the inspection is completed, the signal inspection MUX is removed along with the surface cut and cut in the cutting process that is performed for each unit cell, so that it is electrostatically stable and is common for each cell. In order to apply the same value, six signals may be applied together. The MUX may be applied together. The same signal may be applied by connecting each MUX to the common line of the second test wiring 311 on the cell 200. To be possible.

도 2 및 도 3을 이용한 유기 발광 소자의 검사 방법은 다음과 같다.The inspection method of the organic light emitting device using FIG. 2 and FIG. 3 is as follows.

즉, 복수 개의 단위 셀(200)이 서로 이격하여 정의된 모기판(100)과, 상기 모기판(100) 상의 각 단위 셀의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 MUX(110) 및 상기 복수개의 MUX(110)과 연결되는 상기 모기판(100) 외측에 형성된 접촉부(300)를 포함하여 이루어진 검사 장비를 이용하여, 상기 모기판(100) 상의 상기 MUX(110)에 공통으로 점등 신호를 인가하여 검사를 수행한다.That is, a plurality of unit cells 200 are defined to be spaced apart from each other, the mother substrate 100, a plurality of MUX (110) and the plurality of MUX (formed at the outer predetermined portion of each unit cell on the mother substrate 100) By using the inspection equipment including a contact portion 300 formed on the outside of the mother substrate 100 connected to the 110, the inspection by applying a lighting signal to the MUX 110 on the mother substrate 100 in common. Perform.

또한, 본 발명의 유기 발광 소자의 제조 방법은 다음과 같이 이루어진다.Moreover, the manufacturing method of the organic light emitting element of this invention is comprised as follows.

먼저, 복수 개의 단위 셀(200)이 서로 이격하여 정의된 모기판(100)을 준비 한다.First, a plurality of unit cells 200 prepare a mother substrate 100 defined by being spaced apart from each other.

이어, 상기 모기판(100) 상의 각 단위 셀의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 MUX(110) 및 상기 MUX(110)과 연결되는 상기 모기판(100) 외측에 형성된 접촉부를 포함하여 이루어진 검사 장비를 준비한다.Subsequently, the inspection equipment including a plurality of MUX 110 formed on a predetermined portion of the outer side of each unit cell on the mother substrate 100 and a contact portion formed outside the mother substrate 100 connected to the MUX 110. Prepare.

이어, 상기 모기판(100) 상의 MUX(110)가 공통으로 점등 신호를 인가하여 검사를 수행한다.Subsequently, the MUX 110 on the mother substrate 100 commonly applies a lighting signal to perform inspection.

상기 검사를 수행한 후, 상기 복수개의 셀(200)을 포함한 상기 모기판(100)에 배향막(미도시)여 상기 MUX(110)과 연결되는 신호선(111)을 가려 정전기에 의해 손상됨을 방지하도록 한다.After the inspection, the alignment layer (not shown) is covered on the mother substrate 100 including the plurality of cells 200 to cover the signal line 111 connected to the MUX 110 to prevent damage by static electricity. do.

이어, 상기 복수개의 단위 셀(200) 단위로 컷팅한다.Subsequently, cutting is performed in units of the plurality of unit cells 200.

이러한 표시 장치의 검사 장비는 예를 들어, 형성하고자 하는 표시 장치가 유기 발광 소자일 경우, 유기 발광층 형성 후 점등 신호 인가시 접촉부만 FPC(Flexible Printed Circuit) 형태로 제작하여 검사 보드(미도시)와 연결 후 동시에 검사신호를 인가하고, 전체 셀의 이상 여부를 검사할 수 있다.For example, when the display device to be formed is an organic light emitting device, only the contact part may be manufactured in the form of a flexible printed circuit (FPC) when applying a lighting signal after forming the organic light emitting layer. After connection, the test signal is applied at the same time, and all the cells can be checked for abnormality.

상기와 같은 본 발명의 표시 장치의 검사 장비, 이의 검사 방법 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The inspection equipment of the display device, the inspection method thereof, and the manufacturing method of the display device using the same have the following effects.

이러한 표시 장치의 검사 장비는 예를 들어, 형성하고자 하는 표시 장치가 유기 발광 소자일 경우, 유기 발광층 형성 후 점등 신호 인가시 접촉부만 FPC(Flexible Printed Circuit) 형태로 제작하여 검사 보드(미도시)와 연결 후 동 시에 검사신호를 인가하고, 전체 셀의 이상 여부를 검사할 수 있다.For example, when the display device to be formed is an organic light emitting device, only the contact part may be manufactured in the form of a flexible printed circuit (FPC) when applying a lighting signal after forming the organic light emitting layer. After connection, test signal can be applied at the same time, and all cells can be checked for abnormality.

점등 검사를 위한 검사 패턴을 기판에 구비하여 검사가 이루어질 경우, 이러한 검사 패턴이 공정상에 계속적으로 남아있게 되어 정전기 유입원으로 작용하여, 셀에 손상을 줄 수 있다. 그러나 본 발명의 표시 장치의 검사 장비는 점등 검사를 위해 온/오프(0ff) 패드부 패턴을 셀 기판 상에서 삭제하기 때문에, 패드부 유입 정전기를 방지할 수 있으며, 지그 형태의 검사 장비보다 검사기 제작비용을 줄일 수 있다.When the inspection is performed by providing a test pattern for the lighting test on the substrate, the test pattern may remain in the process continuously and may act as a source of static electricity, causing damage to the cell. However, since the inspection equipment of the display device of the present invention deletes the on / off pad portion pattern on the cell substrate for the lighting inspection, it is possible to prevent static electricity from entering the pad portion, and it is more expensive to manufacture the inspector than the jig type inspection equipment. Can be reduced.

본 발명의 표시 장치의 검사 장비는 모기판 내 셀 외측 부위에 먹스(MUX)를 구비하고, 상기 먹스를 통해 신호를 셀 별로 공통적으로 인가받는다.The inspection apparatus of the display device of the present invention is provided with a mux (MUX) on the outer portion of the cell in the mother substrate, the signal is commonly applied to each cell through the mux.

이 경우, 상기 먹스와 상기 셀은 신호선을 통해 연결되며, 검사 신호를 생성 전달하는 접촉부는 각 열에 상응하여 공통 라인 형태로 각 셀의 해당 먹스와 연결될 수 있어, 공통 신호를 인가하여 셀의 점등 검사가 가능하고, 여기서, 먹스는 컷팅 후 제거되고, 남아있는 신호선은 이후 배향막에 의해 덮여지는 것으로, 정전기에 안정화될 수 있다.In this case, the mux and the cell are connected through a signal line, and the contact portion for generating and transmitting a test signal may be connected with a corresponding mux of each cell in a common line form corresponding to each column, and thus applying lighting of the cell by applying a common signal. Wherein, the mux is removed after cutting, the remaining signal line is then covered by the alignment layer, it can be stabilized in static electricity.

또한, 구리로 배선을 하여 검사 진행 형태의 검사 장비에서 검사가 아닌 박막 트랜지스터 하판 측에서 바로 검사가 가능하다.In addition, by wiring with copper, it is possible to directly inspect on the lower side of the thin film transistor instead of the inspection in the inspection equipment of the inspection progress type.

Claims (9)

복수 개의 단위 셀이 서로 이격하여 정의된 모기판;A mother substrate in which a plurality of unit cells are spaced apart from each other; 상기 모기판 상의 각 단위 셀의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 검사용 패턴; 및A plurality of inspection patterns formed on a predetermined portion outside of each unit cell on the mother substrate; And 상기 복수개의 검사용 패턴과 연결되는 상기 모기판 외측에 형성된 접촉부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장비.And a contact part formed outside the mother substrate connected to the plurality of inspection patterns. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수개의 검사용 패턴은 상기 단위 셀로부터 복수개의 신호선으로 연결되는 먹스(MUX)인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장비.And the plurality of inspection patterns are MUXs connected to the plurality of signal lines from the unit cell. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 모기판에 복수개의 단위 셀이 m 개의 행과 n 개의 열로 배열되어 있을 때, 상기 접촉부로부터 상기 m 개의 행으로 분기되는 제 1 검사배선과, 상기 각 행에 위치한 단위셀들에 공통으로 연결되어 검사용 신호를 전달하는 제 2 검사배선들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장비.When a plurality of unit cells are arranged in m rows and n columns on the mother substrate, the first inspection wiring branched from the contact portion to the m rows is commonly connected to the unit cells located in each row. The inspection apparatus of the display device further comprises a second inspection wiring for transmitting a test signal. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 1 검사 배선과 상기 제 2 검사 배선들은 구리 배선인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장비.And the first and second test wires are copper wires. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 접촉부에서는 검사를 위한 신호를 생성하여 각 복수개의 검사용 패턴에 전달하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장비.And the contact unit generates a signal for inspection and transmits the signal to the plurality of inspection patterns. 복수 개의 단위 셀이 서로 이격하여 정의된 모기판과, 상기 모기판 상의 각 단위 셀의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 검사용 패턴 및 상기 복수개의 검사용 패턴과 연결되는 상기 모기판 외측에 형성된 접촉부를 포함하여 이루어진 검사 장비를 이용하여, A mother substrate defined by a plurality of unit cells spaced apart from each other, a plurality of inspection patterns formed on a predetermined portion of an outer portion of each unit cell on the mother substrate, and a contact portion formed outside the mother substrate connected to the plurality of inspection patterns Using inspection equipment, including 상기 모기판 상의 복수개의 검사용 패턴이 공통으로 점등 신호를 인가하여 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 방법.And a plurality of inspection patterns on the mother substrate commonly apply a lighting signal to perform inspection. 복수 개의 단위 셀이 서로 이격하여 정의된 모기판을 준비하는 단계;Preparing a mother substrate in which a plurality of unit cells are spaced apart from each other; 상기 모기판 상의 각 단위 셀의 외곽 소정 부위에 형성된 복수개의 검사용 패턴 및 상기 복수개의 검사용 패턴과 연결되는 상기 모기판 외측에 형성된 접촉부를 포함하여 이루어진 검사 장비를 준비하는 단계; Preparing an inspection apparatus including a plurality of inspection patterns formed at an outer predetermined portion of each unit cell on the mother substrate and a contact portion formed outside the mother substrate connected to the plurality of inspection patterns; 상기 모기판 상의 복수개의 검사용 패턴이 공통으로 점등 신호를 인가하여 검사를 수행하는 단계;Performing a test by applying a lighting signal to a plurality of test patterns on the mother substrate in common; 상기 복수개의 단위 셀 단위로 컷팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하 는 표시 장치의 제조 방법.And cutting the unit cells in units of the plurality of unit cells. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 복수개의 검사용 패턴과 상기 단위 셀들간에 복수개의 신호선으로 연결하는 단계를 더 포함한 것을 되는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 검사 장비.And connecting a plurality of signal lines between the plurality of inspection patterns and the unit cells. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 검사를 수행한 후, 상기 복수개의 셀을 포함한 상기 모기판에 배향막을 형성하여 상기 검사용 패턴과 연결되는 신호선을 가리는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.And after performing the inspection, forming an alignment layer on the mother substrate including the plurality of cells to cover the signal line connected to the inspection pattern.
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