KR20070113651A - 수동 정렬된 광결합 장치 및 그 제작방법 - Google Patents

수동 정렬된 광결합 장치 및 그 제작방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광섬유를 이용한 광통신용 모듈 및 이의 제작방법에 관한 것으로써, 특히, 광통신용 모듈에서 수동정렬 조립이 가능한 광결합 장치에 관한 것이다. 본 발명의 마이크로렌즈를 포함하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치는 빛을 발산하는 광원 및 광검출기; 상기 광원 및 광검출기에 전기적인 신호를 인가하는 하부광학벤치; 상기 광원 및 광검출기를 내부에 위치시켜 보호하는 상부광학벤치; 및 상기 광원 및 광검출기에서 발산되는 빛을 집속하는 적어도 하나 이상의 렌즈를 포함한다. 수동정렬 조립이 가능하여 제작 공정의 단순화, 공정 비용은 절감 등을 들 수 있다. 뿐만 아니라, 광원 및 광검출기 주변을 허미트 실링(hermetic sealing)시켜 이들을 외부와 완전 차단이 가능하도록 하여 신뢰성을 개선시키는 효과가 있다. 또한, 마이크로렌즈를 통해서 광결합 효율을 향상시킨다.
광결합, 수동, 정렬, 광원, 마이크로렌즈

Description

수동 정렬된 광결합 장치 및 그 제작방법{Passively aligned optical subassembly and manufacturing method thereof}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치를 앞면에서 본 분리 사시도 이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치를 뒷면에서 본 분리 사시도 이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치의 조립 완성 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치 중에서 하부 광학벤치의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치 중에서 상부 광학벤치의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치 중에서 마이크로렌즈의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치의 조립 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 하부 광학벤치 2 : 가이드 핀 수동 정렬용 홈
3 : 금속배선 4 : 실딩 솔더
11 : 광원 및 광검출기 21 : 상부 광학벤치
22 : 식각된 홈 23 : 원형 식각된 홀
24 : 금속막 25 : 수동 정렬용 홈
26 : 솔더 31 : 마이크로렌즈
32 : 렌즈 33 : 가이드 핀 홀
41 : 덮개 42 : 가이드 핀 홀
51 : 가이드 핀 61 : 광커넥터
62 : 광섬유 63 : 가이드 핀 홀
100 : 광송신 광경로 110 : 광수신 광경로
본 발명은 광섬유를 이용한 광통신용 모듈 및 이의 제작방법에 관한 것으로써, 특히, 광통신용 모듈에서 수동정렬 조립이 가능한 광결합 장치에 관한 것이다.
광섬유용 광통신 모듈에서는, 경우에 따라 다소 차이가 있지만, 대략적으로 싱글모드인 경우는 광섬유와 광원/광검출기 사이의 정렬 정밀도를 ±1㎛ 이하를 요 구하고, 멀티모드인 경우는 ±15㎛ 정도의 정렬 정밀도를 요구하고 있다. 이렇게 매우 정밀한 구조의 광결합 장치를 제작하기 위해서 종래의 기술에서는 고정밀의 스테이지와 외부 전원을 이용하는 능동정렬 방식으로 광섬유와 광원/광검출기를 광결합시키고 고정시켰다. 이 능동정렬 방식은 광원/광검출기가 동작 상태를 유지하게 한 상태에서 광섬유를 X-Y-Z축 뿐만 아니라 회전축까지 정밀 조절하면서, 최대 광결합이 이루어지는 위치를 찾기 때문에 작업 시간 및 공정 장비, 공정 비용 등이 많이 든다. 하지만, 픽엔 플레이스 (pick and place) 방식의 수동정렬 조립은 광원/광검출기를 동작시킬 별도의 장치가 필요하지 않으며, 단순히 각 부품을 제 위치에 가져다가 놓은 방식을 취하기 때문에 공정 시간, 장비, 비용 등이 적게 든다. 이 수동정렬 방식에서의 가장 큰 걸림돌은 고정밀의 구조물을 가지는 광부품을 제작하는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로써 그 목적은 광섬유용 광통신 모듈에 적합한 고정밀의 구조물을 가지는 광부품 및 이를 제작하는 방법을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 마이크로렌즈를 포함하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치는 빛을 발산하는 광원 및 광검출기; 상기 광원 및 광검출기에 전기적인 신호를 인가하는 하부광학벤치; 상기 광원 및 광검출기를 내부에 위치시켜 보호하는 상부광학벤치; 및 상기 광원 및 광검출기에서 발산되는 빛을 집속하는 적어도 하나 이상의 렌즈를 포함한다.
본 발명에서 상기 마이크로렌즈 상부에는 상기 마이크로렌즈가 외부의 광섬유 커넥터와 소정의 거리가 이격되도록 하는 덮개를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 덮개는 외부 광섬유 커넥터와 정렬을 위한 소정의 가이드핀 홀을 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 가이드핀홀은 정렬을 위한 가이드 핀의 지름보다 1㎛ 넓게 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 광원은 수직 발광 다이오드(VCSEL), 발광 다이오드(LED), PIN-포토다이오드 및 애벌런치 다이오드 중 선택되는 1종 이상의 다이오드를 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 광원 및 광검출기는 단일 칩 형태의 어레이구조, 광원과 광검출기가 분리된 어레이 구조 및 단일 칩이 멀티 본딩된 구조 중 하나의 구조를 가지는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 광원 및 광검출기와 상기 하부 광학벤치는 2㎛ 이하의 정밀도로 마운팅되는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 하부광학벤치는 상기 광원 및 광검출기에 전기신호를 전달하기 위한 금속배선; 수동정렬이 가능한 가이드 장치; 및 상기 상부광학벤치와 실링을 위한 솔더를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 하부광학벤치는 실리콘 기판 또는 세라믹 기판으로 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 가이드 장치는 원형, V-홈 및 사각형 중 선택되는 1종 이상의 형상을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 상부광학벤치는 광원 및 광검출기가 내부에 위치할 수 있도록 홈을 포함하고, 상기 하부광학벤치와 실링될 수 있도록 금속막을 포함하며, 상기 마이크로렌즈와 실링을 위한 솔더를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 상기 마이크로렌즈는 가이드핀이 결합되는 가이드핀홀을 포함하고, 상기 마이크로렌즈의 기판 물질은 유리기판, 실리콘기판, 플라스틱기판 중 하나의 기판을 사용하며, 여분의 정렬용 렌즈를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치 제작방법은 광소자를 하부광학벤치에 본딩하는 단계; 상기 하부광학벤치와 상부광학벤치를 본딩하는 단계; 마이크로렌즈를 상기 상부광학벤치에 삽입 후 접합하는 단계; 및 가이드 핀으로 정렬한 후 상기 마이크로렌즈 상부에 덮개를 고정하는 단계를 포함한다.
본 발명에서 상기 하부광학벤치와 상부광학벤치를 본딩하는 단계이전에 상기 마이크로렌즈를 상기 상부광학벤치의 정렬용 홈에 삽입 후 정렬시키는 단계; 및 상기 하부광학벤치와 상기 상부광학벤치를 본딩하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한 다. 하기의 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치를 앞면에서 본 분리 사시도 이다.
상기 실시예에서 수동 정렬 조립이 가능한 광섬유용 광모듈의 광결합 장치는 하부 광학벤치(1), 광원 및 광검출기(11), 상부 광학벤치(21), 마이크로렌즈(31), 덮개(41), 가이드 핀(51)을 포함한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치를 뒷면에서 본 분리 사시도 이다. 도 1과 도 2를 참조하면, 본 광결합 장치의 전개도를 앞쪽에서 본 형태와 뒤쪽에서 본 형태로 각각 나타내었다. 반면, 도 3은 조립이 완성된 후의 광결합 장치의 단면도를 보여주고 있다. 본 발명에 있어서, 도 1에서 도 3까지는 어레이 형태의 광원 및 광검출기와 마이크로렌즈를 보여주고 있는데, 단일채널의 광소자로 구성된 광결합 장치도 가능하다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치의 조립 완성 단면도이다.
도 3에서는 광결합 경로를 도시하고 있다.
도 3을 참조하면, 광원(11)에서 발산된 빔(100)은 상부 광학벤치(21)의 원형 식각된 홀(23)을 통과하여 마이크로렌즈(31)에서 빔이 집속되어 외부 광섬유 커넥 터(61)의 광섬유(62)에 광결합이 이루어진다. 마찬가지로, 외부 광섬유(62)에서 발산된 빔(110)은 마이크로렌즈(31)를 거쳐 상부 광학벤치(21)의 원형 식각된 홀(23)을 지나 광검출기(11)에 광결합이 이루어진다. 광결합 경로(100), (110)는 정확한 광경로를 표시한 것이 아니라 개략적으로 도시하였다.
본 발명의 마이크로렌즈는 양면 렌즈 형태, 뿐만 아니라 단일면 렌즈 형태도 취할 수 있다. 양면 및 단일면 렌즈 형태의 구조에 따라서 광결합 경로는 달라질 수 있다. 한편, 도 3에서는 광원과 광검출기를 하나의 직사각형으로 표시하였다. 여기서, 광원 및 광검출기는 단일 칩 형태의 어레이 구조를 가질 수도 있고, 각각 광원과 광검출기가 분리된 어레이 형태를 가질 수도 있고, 단일 칩이 멀티 본딩된 구조를 가질 수도 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 조립이 완성된 후의 단면을 살펴보면서 본 발명의 광결합 장치의 정렬 정밀도를 확인하고자 한다. 우선, ±1㎛ 이하의 본딩 정밀도를 가진 장치를 이용하여 광원 및 광검출기(11)를 하부 광학벤치(1)에 마운팅시킬 때 실제 본딩 정밀도는 ±2㎛ 이하로 위치시킬 수 있다. 상부 광학벤치와 마이크로렌즈가 반도체 공정으로 제작되었을 경우 공정 오차는 ±1㎛ 이하로 제작이 가능하고, 몰딩 및 잉크 분사 방식으로 제작되었을 경우 공정 오차는 ±5㎛ 이하로 제작이 가능하다. 그리고 외부 광커넥터(61)의 가이드 핀 홀(63)과 마이크로렌즈(31)의 가이드 핀 홀(33)은 가이드 핀(51)의 지름 보다 대략 1㎛ 정도 더 넓게 제작된다. 따라서, 이러한 부품을 이용하여 수동 조립하였을 경우 멀티모드 광섬유용 광결합 장치에서 요구하는 ±15㎛ 이하의 정렬 허용도를 충분히 만족할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치 중에서 하부 광학벤치의 사시도이다.
상기 실시예에서, 하부광학벤치는 광원 및 광검출기(11)에 전기신호를 전달하기 위한 금속배선(3), 수동정렬이 가능한 가이드 장치(2) 및 상부 광학벤치와 실링을 위한 솔더(4)를 포함한다.
도 4를 참조하면, 하부 광학벤치(1)는 실리콘 기판, 세라믹 기판 등 다양한 소재로 구성된다. 실리콘으로 제작될 일 실시예에 따르면, 수동정렬이 가능한 가이드 장치(2)는 실리콘의 결정학적 구조를 이용하여 수 나노미터 이하의 표면 조도를 가지고 V-홈 형태로 제작될 수 있다. 상기 가이드 장치(2)의 형태는 원형, V-홈, 사각형 등 다양한 형태를 가질 수 있다. 본 발명의 하부 광학벤치(1)는 경우에 따라서 광원 구동회로 칩과 광검출기 수신회로 칩으로 대체될 수 있다.
상기 광원 및 광검출기(11)는 상부 발산 및 수신 가능 구조와 플립칩 본딩 가능한 하부 발산 및 수신 가능 구조, 모두를 포함하고 있다. 광원은 수직 발광 레이저와 발광 다이오드를 포함한다. 광검출기는 PIN구조의 광다이오드와 증폭 광다이오드를 포함한다. 단일 칩 형태와 어레이 칩 형태, 광원과 광검출기가 집적화된 구조를 모두 포함한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치 중에서 상부 광학벤치의 사시도이다.
상기 실시예에서, 상부광학벤치는 상부 광학벤치(21)는 광원 및 광검출기(11)가 내부에 위치될 수 있는 홈(22), 하부 광학벤치(1)와 실링될 수 있는 금속 막(24), 마이크로렌즈가 수동정렬이 가능한 홈(25) 및 마이크로렌즈와 실링을 위한 솔더(26)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예로, 실리콘으로 상부 광학벤치를 제작할 경우, 수동 정렬용 홈(25)은 습식 식각으로 제작이 가능하며, 850nm의 빔을 통과시키기 위해서는 (다시 말해서, 빔경로에 투명성을 보장하기 위해서는) 원형 홀(23)은 건식 식각법으로 제작이 가능하다. 단, 1300nm 및 1550nm 대역을 광원 및 광검출기(11)로 이용할 경우는 별도의 원형 홀(23)이 없이도 빔경로의 투명성을 보장할 수 있다. 덧붙여, 빔의 투명성을 보장하는 플라스틱 및 유리와 같은 재질로 제작되었을 경우 또한 그 원형 홀(23)은 필요하지 않게 된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치 중에서 마이크로렌즈의 사시도이다.
상기 실시예에서, 마이크로렌즈(31)는 다수의 렌즈(32)를 포함하고 있으며, 가이드 핀 홀(33)을 내장하고, 도면에는 도시가 안 되어 있지만 상부 광학벤치(21)와 실링이 되도록 금속막을 포함한다.
상기 마이크로렌즈는 잉크 제팅 (ink jetting) 방식 및 실리콘 식각 방식, 몰딩 (molding) 방식 등 다양한 방식으로 제작이 가능하다. 이 마이크로렌즈의 기판 물질로는 유리 기판, 실리콘 기판, 플라스틱 기판 등이 이용된다. 본 발명의 일 실시예로, 마이크로렌즈(31)가 도 6과 같이 12채널의 광링크가 필요한 모듈인 경우, 여분의 가이드용 렌즈(32) 2개를 포함한 14개의 렌즈(32)를 제작한다. 여기서, 2개의 최외각 여분 렌즈(32)는 수동 정렬용으로 이용된다. 이 마이크로렌즈(32)들 은 표면 조도가 1㎛ 이하의 정밀한 프로파일을 가지기 때문에 고정밀 정렬용 부품으로 적합하다. 이 여분의 수동 정렬용 렌즈(32)는 렌즈 형태뿐만 아니라, 원기둥, 사각기둥 등 다양한 형태로 구성될 수 있다.
덮개(41)는 외부의 광섬유 커넥터(61)가 덮개(41)의 한쪽 표면에서 밀착되어 위치하도록 하는 기능, 전자파 차폐기능, 마이크로렌즈(31)와 정해진 거리를 유지시키는 기능, 정밀한 가이드 핀(51)을 위치시키는 기능 등을 포함하고 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 광결합 장치의 조립 순서도이다.
우선, 하부 광학벤치(1)에 ±1㎛ 이하의 정밀도를 가지는 본더를 이용하여 광원 및 광검출기(11)를 부착한다. 본딩 방식은 광원 및 광검출기(11)의 구조에 따라, 플립칩 본딩에 의한 솔더 접착법 또는 에폭시 본딩 후 전기적 연결을 위한 와이어 본딩법 등으로 나누어 수행된다. 다음으로, 하부 광학벤치(1)에 상부 광학벤치(21)를 앞서 언급된 동일한 본더를 이용하여 접합한다. 기 제작된 하부 광학벤치(1)의 솔더(4)를 녹여서 상하부 광학벤치(21)(1)를 접합시킨다. 이때, 본 발명의 다른 일실시예로, 하부 광학벤치(1)의 솔더(4)가 상부 광학벤치(21)에 위치될 수 있다. 다음으로, 상부 광학벤치(21)에 있는 수동 정렬용 홈(25)에 여분의 렌즈(32)를 삽입한 후 상부 광학벤치(21)와 마이크로렌즈(31)를 접합시킨다. 기 제작된 상부 광학벤치의 솔더(26)를 녹여서 마이크로렌즈(31)와 접합시켜, 외부와 광원 및 광검출기(1)를 완전 차폐시킨다. 이때, 본 발명의 다른 일실시예로, 상부 광학벤치(21)의 솔더(26)가 마이크로렌즈(31)에 위치될 수 있다. 마지막으로, 덮개(41)의 가이드 홀(42)과 상부 광학벤치(31)의 가이드 홀(33), 그리고 하부 광학벤치(1)의 가이드 홈(2)에 맞추어 가이드 핀(51)을 삽입시킨 후 덮개(41)를 고정시킨다. 이때는 에폭시 및 솔더 중 선택하여 접합할 수 있다.
상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 수동정렬 조립이 가능하여 제작 공정의 단순화, 공정 비용은 절감 등을 들 수 있다.
뿐만 아니라, 광원 및 광검출기 주변을 허미트 실링(hermetic sealing)시켜 이들을 외부와 완전 차단이 가능하도록 하여 신뢰성을 개선시키는 효과가 있다. 또한, 마이크로렌즈를 통해서 광결합 효율을 향상시킨다.
본 발명의 광결합 장치는 가이드 핀 홀을 내장하고 있기 때문에 외부의 광섬유용 광커넥터와 가이드 핀에 의해서 쉽게 정렬되어 체결된다. 본 수동 정렬 조립 구조는 단일 채널 및 다채널 광원 및 광검출기에 모두 사용이 가능하며, 덧붙여 광원과 광검출기가 함께 있는 광트랜시버 구조의 광결합 장치에도 적용이 가능하다.
따라서, 광통신용 광모듈 및 휴대폰, 컴퓨터, 네트웍 서버의 백블레인 등에 이용되는 광모듈의 광결합 장치로 다양하게 이용될 수 있다.

Claims (17)

  1. 수동 정렬된 광결합 장치에 있어서,
    수직 발광 및 수신 광소자와,
    상기 광소자를 기계적으로 지탱하거나 전기적으로 연결하는 하부 광학벤치와,
    상기 광소자를 보호하고 가이드 장치를 가지는 상부 광학벤치와,
    상기 상부 광학벤치의 가이드 장치에 삽입되어 수동 정렬되는 장치를 가진 마이크로렌즈와,
    가이드 핀 홀의 가지는 덮개를 포함하는 수동 정렬 조립된 광결합 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 광소자는 수직 발광 다이오드(VCSEL), 발광 다이오드(LED), PIN-포토다이오드, Avalanche 포토다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 광소자는 단일 칩 형태의 어레이 구조, 광원과 광검출기가 분리된 어레이 구조 및 단일 칩이 멀티 본딩된 구조 중 하나의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 광학벤치는 상기 광원 및 광검출기에 전기신호를 전달하기 위한 금속배선;
    수동정렬이 가능한 가이드 장치; 및
    상기 상부광학벤치와 실링을 위한 솔더를 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 광학벤치는 실리콘 기판 또는 세라믹 기판으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  6. 제 1항과 또는 제 4항에 있어서,
    상기 가이드 장치는 원형, V-홈 및 사각형 중 선택되는 1종 이상의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 광학벤치는 평판 구조, 뿐만 아니라 광소자가 내부에 위치될 수 있는 홈을 가진 구조 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 광학벤치는 상기 광소자를 구동하는 칩 및 상기 광소자로부터 전기신호를 수신하는 칩으로 대체될 수 있는 광결합 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 광학벤치는 평판 구조, 뿐만 아니라 광소자가 내부에 위치될 수 있는 홈을 가진 구조 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 상부 광학벤치의 물질은 실리콘, 유리, 광학적 투명성을 가지는 플라스틱을 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 상부 광학벤치는 광학적 투명성을 보장하기 위한 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 상부 광학벤치는 실링용 금속막과 솔더를 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 마이크로렌즈의 수동정렬 되는 장치로서 여분의 정렬용 렌즈 및 정렬용 기둥을 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 마이크로렌즈는 정렬용 가이드 핀 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  15. 제 1항에 있어서,
    상기 덮개는 전자파 차폐기능, 외부 광커넥터가 상기 덮개와 접촉하여 정해진 위치시키는 기능, 가이드 핀을 가지는 외부 광커넥터의 가이드 홀 기능을 포함하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 조립이 가능한 광결합 장치.
  16. 수동 정렬용 광결합 장치의 제작 방법에 있어서,
    광소자를 하부 광학벤치에 본딩하는 단계와,
    상기 하부 광학벤치와 상부 광학벤치를 본딩하는 단계와,
    마이크로렌즈를 상기 상부 광학벤치의 정렬용 홈에 삽입 후 접합시키는 단계와,
    가이드 핀으로 정렬한 후 상기 마이크로렌즈 위에 덮개를 고정하는 단계를 포함하는 광결합 장치 제작 방법.
  17. 제 16항 있어서,
    상기 하부 광학벤치와 상기 상부 광학벤치를 본딩하기 전에 상기 마이크로렌즈를 상기 상부 광학벤치의 정렬용 홈에 삽입 후 접합시키는 단계와,
    그 다음에, 상기 하부 광학벤치와 상기 상부 광학벤치를 본딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광결합 장치 제작 방법.
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