KR20070101428A - 하프톤 마스크 및 그 제조 방법 - Google Patents

하프톤 마스크 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20070101428A
KR20070101428A KR1020060032394A KR20060032394A KR20070101428A KR 20070101428 A KR20070101428 A KR 20070101428A KR 1020060032394 A KR1020060032394 A KR 1020060032394A KR 20060032394 A KR20060032394 A KR 20060032394A KR 20070101428 A KR20070101428 A KR 20070101428A
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문병율
정효진
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엘지마이크론 주식회사
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Abstract

본 발명은 하프톤 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 반투과부와 광차단부를 투명기판 상하부 면에 분리 형성함으로써, 하프톤 마스크의 제조 공정을 단순화시키고, 오버에칭(over etching)에 따른 문제점을 해결하는데 적당하도록 한 하프톤 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 하프톤 마스크를 이루는 구성수단은, 투명기판, 상기 투명기판 상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 광투과부, 상기 투명기판의 양면 중 일면에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 광차단부, 상기 투명기판의 양면 중 상기 광차단부가 형성되는 일면의 반대쪽 면에 반투과 물질이 적층되어 형성되되, 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시키는 반투과부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
하프톤 마스크

Description

하프톤 마스크 및 그 제조 방법{half tone mask and method for manufactureing thereof}
도 1은 종래의 하프톤 마스크의 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 하프톤 마스크의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 하프톤 마스크의 제조 공정도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 하프톤 마스크의 제조 공정도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 하프톤 마스크의 제조 공정도이다.
본 발명은 하프톤 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 반투과부와 광차단부를 투명기판 상하부 면에 분리 형성함으로써, 하프톤 마스크의 제조 공정을 단순화시키고, 오버에칭(over etching)에 따른 문제점을 해결하는데 적당하도록 한 하프톤 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
도 1은 종래의 하프톤 마스크를 보인 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 하프톤 마스크(Half Tone Mask)(100)는 투명기판(110), 광차단부(125), 광투과부(121) 및 반투과부(130)를 가진다.
조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 투명기판(110)은 석영(Qz)으로 마련된다. 광차단부(125)는 Cr 또는 CrO2재로 마련되어 투명기판(110) 상에 형성되며 소정의 패턴으로 형성되고, 상기 광투과부(121)는 상기 투명기판(110)이 외부로 노출되는 부분이다. 상기 광차단부(125)는 조사되는 광을 차단시키는 부분이고, 상기 광투과부(121)는 조사되는 광을 통과시키는 부분이다.
한편, 상기 광투과부(121) 중 필요한 부위의 투명기판(110) 상에는 산소를 함유하는 Cr막으로 마련되어 조사되는 소정 파장대의 광의 일부만을 투과시키는 반투과부(130)가 형성된다. 상기 반투과부(130)의 조성물은 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시킬 수 있다면 다양하게 형성할 수 있다.
상기 조사되는 광은 노광기에 따라 그 파장대가 달라질 수 있으므로 별도로 제한되는 것은 아니며, 일반적으로 300㎚∼440㎚ 파장대가 사용된다. 상기 반투과부(130)는 상기 조사되는 광의 일부만 투과시킬 수 있으면 족하고 광투과량에 제한이 있는 것은 아니며, 바람직하게는 조사되는 광의 10％∼90％의 광을 투과시킬 수 있으면 된다.
이와 같은 구조를 가지는 종래의 하프톤 마스크를 제작하기 위해서는 광투과부와 광차단부를 형성한 후에, 반투과부를 형성하는 공정을 반복 수행해야 한다. 즉, 광투과부와 광차단부를 형성한 후에, 스퍼터링법 등에 의하여 반투과물질을 형 성하고, 반복적인 노광, 현상 및 에칭 공정을 수행해야 한다. 이와 같은 종래의 하프톤 마스크를 제조함에 있어서는, 제작 공정이 복잡하고 공정 수가 많아 제작 단가가 상승하는 문제점이 발생한다. 따라서, 제조 공정을 감소할 필요성이 대두되고 있다.
한편, 상기와 같은 종래의 하프톤 마스크를 제조하기 위해서는, 투명기판의 한쪽 면에서만 반복적인 에칭이 이루어지기 때문에 투명기판 상면 또는 차광막의 측면이 오버에칭(over etching)되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 반투과부와 광차단부를 투명기판 상하부 면에 분리하여 동시 또는 순차적으로 패터닝함으로써, 하프톤 마스크의 제조 공정을 단순화시키고, 오버에칭(over etching)에 따른 문제점을 해결할 수 있는 하프톤 마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 하프톤 마스크를 이루는 구성수단은, 투명기판, 상기 투명기판 상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 광투과부, 상기 투명기판의 양면 중 일면에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 광차단부, 상기 투명기판의 양면 중 상기 광차단부가 형성되는 일면의 반대쪽 면에 반투과 물질이 적층되어 형성되되, 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시키는 반투과부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 반투과부는 상기 투명기판 상에 복수개 형성되되, 서로 광투과율을 달리하는 것이 바람직하다. 즉, 광투과율을 서로 달리하는 복수개의 반투과부가 상기 광차단부가 형성된 투명기판 상 또는 상기 반투과부가 형성된 투명기판 상에 더 형성될 수 있다.
또한, 상기 복수개의 반투과부는 상기 광차단부 또는 반투과부가 형성된 투명기판 상에 형성되는 것을 특징으로 한다. 즉, 복수개의 반투과부를 형성하고자 하는 경우에, 부가적으로 형성시킬 반투과부는 상기 광차단부 또는 이미 형성된 반투과부가 형성된 투명기판 상에 형성될 수 있다.
또한, 상기 반투과부의 광투과율은 반투과 물질의 조성을 달리하거나, 두께를 달리하여 조정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 반투과 물질은 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주원소로 하여, 상기 주원소물질(주원소로만 이루어진 물질) 또는 상기 주원소들 중 적어도 두개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주원소 또는 복합물질에 COx, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질인 것이 바람직하다. 상기 첨자는 결합되는 주원소에 따라 변하는 자연수이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 하프톤 마스크 및 그 제조 방법에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 하프톤 마스크의 개략도를 보여준다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 하프톤 마스크는 투명기판(210)과, 상기 투명기판(210) 상에 형성되는 광투과부(230)와, 상기 투명기판의 양면 중, 일면 상에 형성되는 광차단부(220)와, 상기 투명기판(210)의 양면 중, 상기 광차단부(220)가 형성되는 일면의 반대 쪽 면에 형성되는 반투과부(240)를 포함하여 이루어진다.
상기 투명기판(210)은 조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 것으로, 일반적으로 석영(Qz)으로 마련되나, 광을 투과할 수 있는 투명성 물질이라도 무관하다.
상기 광차단부(220)와 광투과부(230)는 투명기판(210) 상에 적층되는 차광물질막을 패터닝하여 형성된다. 상기 차광물질막은 광을 차단할 수 있다면 어떠한 물질이라도 무관하나, Cr과 CrxOy 중 어느 하나 또는 이들의 조합으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 차광물질막이 패터닝되어 상기 투명기판(210) 상에 잔존하는 부분이 광차단부(220)가 되고, 패터닝되어 상기 투명기판(210)을 노출되게 하는 부분이 광투과부(230)이다. 상기와 같이 형성된 광차단부(220)는 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 부분이고, 상기 광투과부(230)는 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 부분이다.
상기와 같은 광차단부(220)는 투명기판(210)의 양면 중, 일면 상에 형성되는 데, 상기 투명기판(210)의 반대 쪽 면에는 반투과물질이 적층되어 형성되는 반투과부(240)가 위치한다. 즉, 상기 광차단부(220)와 상기 반투과부(240)은 투명기판(210)의 같은 면에 형성되는 것이 아니라, 서로 반대 쪽 면에 형성된다.
상기와 같이, 형성된 반투과부(240)는 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시킨다. 즉, 상기 반투과부(240)는 상기 조사되는 광의 일부만 투과시킬 수 있으면 족하고 광투과량에 제한이 있는 것은 아니며, 바람직하게는 조사되는 광의 10％∼90％의 광을 투과시킬 수 있으면 된다.
한편, 상기 반투과부는 투명기판 상에 복수개 형성될 수 있다. 즉, 반투과부(240)가 형성된 상기 투명기판 상 또는 상기 광차단부(220)가 형성된 투명기판 상에 추가적인 반투과부가 더 형성될 수 있다.
상기 복수개의 반투과부들은 서로 광투과율을 달리한다. 즉, 복수개의 반투과부들은 반투과물질의 조성을 달리하거나, 두께를 달리하여 서로 다른 광투과율을 가진다.
따라서, 상기 복수개의 반투과부들은 동시에 형성된 반투과부들끼리는 같은 광투과율을 가지나, 서로 시점을 달리하여 형성되는 반투과부들끼리는 다른 광투과율을 가진다. 즉, 맨 처음 형성된 추가적인 반투과부들끼리는 서로 같은 광투과율을 가지나, 상기 맨 처음 형성된 추가적인 반투과부들과, 그 다음에 형성된 추가적인 반투과부들은 서로 다른 광투과율을 가진다.
상기 적어도 두개 이상의 반투과부들의 광투과율은 적층되는 반투과 물질의 조성을 달리하거나, 두께를 달리하여 조정될 수 있다. 즉, 반투과 물질을 이루는 조성물의 특성에 따라 광투과율을 서로 달리할 수 있고, 같은 조성물을 이용하는 경우에도 두께를 달리함으로써 광투과율을 조정할 수 있다.
또한, 상기 반투과 물질은 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주원소로 하여, 상기 주원소물질(주원소로만 이루어진 물질) 또는 상기 주원소들 중 적어도 두개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주원소 또는 복합물질에 COx, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질인 것이 바람직하다. 상기 첨자는 결합되는 주원소에 따라 변하는 자연수이다.
즉, 상기 반투과부의 조성물은 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시킬 수 있다면 다양하게 형성할 수 있다. 예를 들어, CrxOy, CrxCOy, CrxOyNz, SixOy, SixOyNz, SixCOy, SixCOyNz, MoxSiy, MoxOy, MoxOyNz, MoxCOy, MoxOyNz, MoxSiyOz, MoxSiyOzN MoxSiyCOzN, MoxSiyCOz, TaxOy, TaxOyNz, TaxCOy, TaxOyNz, AlxOy, AlxCOy, AlxOyNz, AlxCOyNz, TixOy, TixOyNz, TixCOy 중 어느 하나 또는 이들의 조합으로 상기 반투과부를 형성할 수 있다. 그런데, 가장 바람직하게는 산소가 포함된 크롬(CrxOy)으로 상기 반투과부를 형성하는 것이다. 상기 첨자 x,y 및 z는 자연수로서 각 화학 원소의 개수를 의미한다.
상기 조사되는 광은 노광기에 따라 그 파장대가 달라질 수 있으므로 별도로 제한되는 것은 아니며, 일반적으로 300㎚∼440㎚ 파장대가 사용된다. 상기 반투과부는 상기 조사되는 광의 일부만 투과시킬 수 있으면 족하고 광투과량에 제한이 있는 것은 아니며, 바람직하게는 조사되는 광의 10％∼90％의 광을 투과시킬 수 있으면 된다.
다음은 첨부된 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 하프톤 마스크의 제조 공정에 대하여 설명한다.
도시된 바와 같이, 단계 S10에서는 석영(Qz)재의 투명기판(210) 상부면에 차광물질막(250)과 파지티브(Positive) 성질을 가진 제1 포토레지스트(270)를 순차적으로 형성하고, 상기 투명기판(210) 하부면에 반투과물질막(260)과 파지티브(Positive) 성질을 가진 제2 포토레지스트(280)를 순차적으로 형성한다. 상기 제1 및 제2 포토레지스트(270, 280)는 동일할 수도 있고, 다를 수도 있다.
즉, 상기 투명기판(210)의 상면 및 하부면에 패터닝될 차광물질막(250)과 반투과물질막(260)이 각각 형성된다.
다음, 상기 제1 포토레지스트(270) 및 제2 포토레지스트(280)에 레이져 빔을 동시에 조사하여 동시에 상기 제1 포토레지스트(270) 및 제2 포토레지스트(280)를 노광시켜 원하는 패턴을 드로잉(Drawing)한다.
그리고, 단계 S20에서는 상기 레이져 빔이 조사된 상기 제1 포토레지스트(270) 및 제2 포토레지스트(280) 부위를 동시에 현상하여 제거한다. 그러면 단계 S20에 도시된 바와 같이, 차광물질막(250)과 반투과물질막(260)의 소정부분의 일부가 외부로 노출된다. 상기와 같이, 노광되고 현상되어 제거되는 부분은 최종적으로 형성시키려고 하는 반투과부(240) 및 광차단부(220)가 형성되지 않는 부분이다.
단계 S30에서는 상기 노출된 차광물질막(250)과 반투과물질막(260)의 소정 부분을 동시에 에칭한다. 그런 후, 단계 S40에 도시된 바와 같이 잔존하는 상기 제 1 포토레지스트(270) 및 제2 포토레지스트(280)를 제거한다.
그러면, 상기 투명기판(210) 상에는 조사되는 광을 투과시키는 광투과부(230)가 형성되고, 상기 투명기판(210)의 상부면에는 조사되는 광을 차단시키는 광차단부(220)가 형성되며, 상기 광차단부(220)가 형성된 면의 반대 쪽의 면에 해당하는 하부면에는 조사되는 광의 일부만 투과시키는 반투과부(240)가 형성된다. 즉, 상기 광차단부(220)가 형성된 상부면과 반대되는 투명기판(210)의 하부면에 잔존하는 반투과물질막(260)이 바로 반투과부(240)가 되고, 투명기판 상부면에 잔존하는 차광물질막(250)이 바로 광차단부(220)가 된다.
상기 도 3을 참조하여 설명한 공정은 광차단부(220)와 반투과부(240)가 동시에 형성되는 공정이므로, 그 제공 공정이 상당히 단순해지는 장점이 있다.
다음은, 본 발명의 제2 실시예에 따른 하프톤 마스크 제조 공정을 첨부된 도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명한다. 도 4a 및 도 4b에 도시된 공정은 도 3에 도시된 공정과 달리, 광차단부(220)와 반투과부(240)를 순차적으로 형성하는 공정이다.
도시된 바와 같이, 단계(S10)에서는 석영(Qz)재의 투명기판(210) 상에 차광물질막(250)과 파지티브(Positive) 성질을 가진 제1 포토레지스트(270)를 순차적으로 형성한다.
그런 후, 상기 제1 포토레지스트(270)의 상측에서 레이져 빔을 조사하여 제1 포토레지스트(270)를 노광시켜 원하는 패턴을 드로잉(Drawing)한다. 그리고 단계(S20)에서는 상기 레이져 빔이 조사된 제1 포토레지스트(270)의 부위를 현상하여 제거하고, 단계(S30)에서는 상기 제1 포토레지스트(270)의 제거에 의하여 외부로 노출된 차광물질막(250)의 부위를 에칭하여 제거한다.
그리고, 단계(S40)에서는 제1 포토레지스트(270)를 완전히 제거한다. 그러면, 차광물질막(250) 중, 제거된 부위는 조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 광투과부(230)가 되고, 잔존하는 부위는 광을 차단시키는 광차단부(220)가 된다. 즉, 포토리소그라피 공정으로 차광물질막(250)에 광이 투과하는 광투과부(230)와 광을 차단하는 광차단부(220)를 형성한다.
상기와 같은 공정에 따라, 광차단부(220)와 광투과부(230)가 형성되면, 상기 광차단부(220)가 형성된 일면에 반대되는 투명기판(210) 상에 반투과부(240)를 형성시키는 공정을 진행한다. 이하에서는, 상기 광차단부(220)와 광투과부(230)가 일면에 형성된 상기 투명기판(210)을 뒤집은 상태에서 공정을 진행한다.
도시된 바와 같이, 단계(S50)에서는 석영(Qz)재의 투명기판(210) 상에 조사되는 광의 일부만을 투과시키는 성질을 가지는 반투과물질막(260)과 파지티브(Positive) 성질을 가진 제2 포토레지스트(280)를 순차적으로 형성한다.
그런 후, 상기 제2 포토레지스트(280)의 상측에서 레이져 빔을 조사하여 제2 포토레지스트(280)를 노광시켜 원하는 패턴을 드로잉(Drawing)한다. 그리고 단계(S60)에서는 상기 레이져 빔이 조사된 제2 포토레지스트(280)의 부위를 현상하여 제거하고, 단계(S70)에서는 상기 제2 포토레지스트(280)의 제거에 의하여 외부로 노출된 반투과물질막(260)의 부위를 에칭하여 제거한다.
그리고, 단계(S80)에서는 제2 포토레지스트(280)를 완전히 제거한다. 그러 면, 상기 투명기판(210) 상의 일부에만 반투과물질막(260)이 잔존하게 되는데, 이 잔존하는 반투과물질막(260)이 바로 반투과부(240)가 된다.
다음은, 본 발명의 제3 실시예에 따른 하프톤 마스크의 제조 공정에 대하여 첨부된 도 5를 참조하여 상세하게 설명한다. 이하에서 설명할, 하프톤 마스크 제조 공정은 상술한 제1 및 제2 실시예에서 완성된 하프톤 마스크에 대하여 소정 공정을 부가하여 반투과부를 더 형성시키는 공정이다.
즉, 반투과부(240)가 형성된 상기 투명기판(210) 상 또는 광차단부가 형성된 상기 투명기판(210) 상에, 부가의 반투과부를 더 형성시키는 단계를 더 포함시킬 수 있다. 상기 부가의 반투과부는 적어도 하나가 될 것이고, 형성되는 부가의 반투과부는 상기 반투과부(240)와 광투과율이 다르고, 또한 후속으로 형성될 다른 부가 반투과부와도 광투과율이 다르다.
상기 부가 반투과부(도 5의 단계 S50에서 250으로 표기됨)를 형성시키기 위하여 도 5의 단계 S10에 도시된 바와 같이, 반투과부(240)가 형성된 투명기판(210)의 일면이 상측에 위치하도록 한다. 물론, 상기 부가 반투과부(250)는 광차단부가 형성된 상기 투명기판(210) 상에 형성될 수도 있지만, 이하에서는 상기 반투과부(240)가 형성된 투명기판(210) 상에 형성되는 공정을 예시한다.
다음, 단계 S20에 도시된 바와 같이, 반투과부(240) 및 투명기판(210) 상에 제3 포토레지스트(290)를 코팅하여 형성시킨다.
그런 다음, 상기 제3 포토레지스트(290)의 상측에서 레이져 빔을 조사하여 상기 제3 포토레지스트(290)를 노광시켜 원하는 패턴을 드로잉(drawing)한다. 그리고, 단계 S30과 같이 상기 레이져 빔이 조사된 상기 제3 포토레지스트(290)의 부위를 현상하여 제거한다. 그러면, 단계 S30에서와 같이 부가의 반투과부(250)가 형성될 공간부(291)가 형성된다
즉, 상기 부가의 반투과부(291)가 형성될 부분에 해당하는 상기 투명기판(210) 부분만 외부로 노출되도록 상기 제3 포토레지스트(290)를 노광 및 현상한다.
상기와 같이 상기 제3 포토레지스트(290)가 노광 및 현상된 후에는, 단계 S40에서와 같이 상기 외부로 노출된 투명기판(210) 상부, 즉 부가의 반투과부(250)가 형성될 공간부(291)와 제3 포토레지스트(290) 상부에 반투과 물질막(295)을 형성한다.
즉 단계(S40)에서는 부가의 반투과부(250)가 형성될 공간부(291)와 제3 포토레지스트(290) 상에 조사되는 소정 파장대의 광의 일부만을 투과시키는 반투과 물질막(295)을 적층하여 형성한다. 상기 반투과 물질막(295)은 스퍼터링(sputtering) 코팅에 의하여 형성한다. 상기 반투과 물질막(295)은 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시킬 수 있는 화학 조성물로 이루어진다.
그런 다음, 단계 S50과 같이, 상기 제3 포토레지스트(290) 및 그 상부에 적층된 반투과 물질막(295)은 리프트 오프(lift-off)법으로 제거시킨다. 그러면, 상기 외부로 노출된 투명기판(210) 상부, 즉 부가의 반투과부(250)가 형성될 공간부(291)에만 상기 반투과 물질막(295)이 잔존하는데, 이 잔존하는 반투과 물질막(295)이 바로 부가의 반투과부(250)가 된다.
상기와 같이 형성된 부가의 반투과부(250)의 광투과율은 먼저 형성된 반투과부(240)와 동일하게 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시킬 수 있는 화학 조성물의 조성비, 두께를 통하여 원하는 대로 조절할 수 있다. 그러나, 상기 부가의 반투과부(250)는 상기 먼저 형성된 반투과부(240)와 광투과율이 다르다.
만약, 또 다른 부가 반투과부를 형성시키고자 하는 경우에는 상기 도 5에 도시된 공정을 반복적으로 거치면 된다. 다만, 또 다른 부가 반투과부는 투명기판(110)이 노출되는 부분에 형성되기 때문에 포토레지스트의 노광 및 현상 부분이 달라질 뿐이다. 즉, 상기 부가 반투과부를 더 형성하기 위하여 상기 부가 반투과부를 형성하는 단계가 반복 수행되면 된다. 결과적으로 필요에 따라 무한대의 반투과부를 형성시킬 수 있다.
이상에서 설명한 공정에 의하여 제조된 하프톤 마스트는 제조 공정 감소로 인하여 단가가 감소하고, 반투과부와 광차단부를 투명기판의 양면에 분리하여 형성하기 때문에, 오버에칭에 따른 문제점을 감소시킬 수 있다. 이와 같은 잇점을 가지는 하프톤 마스크는 평판패널 디스플레이를 제조하는데 사용할 수도 있다.
상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 하프톤 마스크 및 그 제조 방법에 의하면, 광차단부와 반투과부를 투명기판 상/하부 면에 분리하여 형성하되, 광차단물질막과 반투과물질막 상에 형성된 포토레지스트의 노광 및 현상 공정과, 상기 광차단물질막과 반투과물질막에 가해지는 에칭 공정을 동시에 수행하여 상기 광차단부와 반투과부를 동시에 형성할 수 있기 때문에 공정이 감소되는 효과가 있다.
또한, 상기 광차단부와 반투과부를 투명기판 상하부면에 분리하여 형성하기 때문에, 투명기판 상부 및 차광물질막의 측면이 오버에칭되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 반투과부가 형성된 투명기판 상에 별도의 광투과율이 다른 부가의 반투과부를 형성할 수 있기 때문에, 제조된 하나의 마스크로 다수 싸이클의 포토리소그라피 공정에 적용할 수 있으므로 제조공정이 단축되어 원가가 절감되는 장점이 있다.

Claims (5)

  1. 투명기판;
    상기 투명기판 상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 광투과부;
    상기 투명기판의 양면 중 일면에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 광차단부;
    상기 투명기판의 양면 중 상기 광차단부가 형성되는 일면의 반대쪽 면에 반투과 물질이 적층되어 형성되되, 조사되는 소정 파장대의 광을 일부만 통과시키는 반투과부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 하프톤 마스크.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 반투과부는 상기 투명기판 상에 복수개 형성되되, 서로 광투과율을 달리하는 것을 특징으로 하는 하프톤 마스크.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수개의 반투과부는 상기 광차단부 또는 반투과부가 형성된 투명기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 하프톤 마스크.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 반투과부의 광투과율은 반투과 물질의 조성을 달리하거나, 두께를 달리하여 조정되는 것을 특징으로 하는 하프톤 마스크.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 반투과 물질은 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주원소로 하여, 상기 주원소물질 또는 상기 주원소들 중 적어도 두개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주원소 또는 복합 물질에 C0x, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질인 것을 특징으로 하는 하프톤 마스크.
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