KR20070100463A - Flat panel display manufacturing machine - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치를 도시한 측단면도이다.1 is a side sectional view showing a conventional flat panel display device manufacturing apparatus.
도 2는 상기 평판표시소자 제조장치의 일측에 게이트 밸브를 구비되는 상태를 도시한 부분 확대도이다.2 is a partially enlarged view illustrating a state in which a gate valve is provided on one side of the flat panel display device manufacturing apparatus.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 게이트 밸브를 구비되는 상태를 도시한 부분 확대도 및 실링 플레이트의 사시도이다.3A and 3B are partial enlarged views and perspective views of a sealing plate illustrating a state in which a gate valve is provided at one side of a flat panel display device manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 게이트 밸브를 구비되는 상태를 도시한 부분 확대도 및 실링 플레이트의 사시도이다.4A and 4B are partially enlarged views and a perspective view of a sealing plate illustrating a state in which a gate valve is provided at one side of a flat panel display device manufacturing apparatus according to another exemplary embodiment.
도 5 및 도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 실링 플레이트가 구비된 상태를 도시한 정면도이다.5 and 6 are front views illustrating a state in which a sealing plate is provided at one side of a flat panel display device manufacturing apparatus according to still another embodiment of the present invention.
도 7 및 도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 일측에 실링 플레이트가 구비된 상태를 도시한 정면도이다.7 and 8 are front views illustrating a state in which a sealing plate is provided at one side of a flat panel display device manufacturing apparatus according to still another embodiment of the present invention.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
110, 210, 310: 챔버 112, 212, 312: 개구부110, 210, 310:
120, 220, 320: 실링 플레이트 122, 222, 322: 보강부120, 220, 320:
O: 기밀유지부재O: airtight member
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 실링 플레이트에 작용하는 응력 분배를 위해 보강부를 형성하여 압력차에 의해 실링 플레이트의 가장자리가 이탈되어 기밀이 누설되는 것을 방지하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus, and more particularly, to form a reinforcing portion for the distribution of stress acting on the sealing plate to prevent the leakage of the airtight leakage of the edge of the sealing plate by the pressure difference It relates to a manufacturing apparatus.
일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상기 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 공정 챔버로 구성된다.In general, a flat panel display device manufacturing apparatus is carried in a flat panel display device substrate such as LCD, PDP, OLED, etc. to perform an etching process using a plasma gas, etc. The flat panel display device manufacturing apparatus is generally a load lock (Load) lock) chamber, conveying chamber and one or more process chambers.
여기서, 상기 로드락 챔버와 반송 챔버 및 공정 챔버의 사이에는 기판 이송통로인 개구부가 형성되고 상기 개구부를 개폐하는 게이트 밸브가 구비되며, 상기 게이트 밸브는 특정 궤적을 따라 구동하는데 그 중 하나는 타원 궤적을 따라 개구부를 개폐하거나 수직 이동한 후 수평 이동하는 궤적을 따라 상기 개구부를 개폐하는 방식을 채택하고 있다.Here, an opening, which is a substrate transfer passage, is formed between the load lock chamber, the transfer chamber, and the process chamber, and a gate valve for opening and closing the opening is provided, and the gate valve is driven along a specific trajectory, one of which is an elliptic trajectory. The opening and closing of the opening or vertical movement is followed by a method of opening and closing the opening along the horizontal moving trajectory.
이와 같은 종래의 평판표시소자 제조장치의 챔버(10)에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판(도면에 미도시)이 내부로 반입 또는 반출될 수 있도록 일측면에 개구부(12)가 형성되고 상기 개구부(12)를 구동력에 의해 개폐하는 게이트 밸브 (30)로 이루어진다.In the
상기 게이트 밸브(30)는 상기 챔버(10)의 개구부(12)를 개폐하되 상기 개구부(12)의 밀폐시 기밀을 유지하는 기밀유지부재(O)가 접촉면 가장자리에 구비되는 실링 플레이트(20)와, 상기 실링 플레이트(20)의 후면 여러 지점에 연결되는 연결바(32)와, 상기 연결바(32)의 하단에 구비되어 이 실링 플레이트(20)를 이동시킬 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(34)로 이루어진다.The
이때, 상기 챔버(10) 내부를 진공 형성하는 진공 형성 장치(도면에 미도시)의 작동시 상기 챔버(10) 내부가 저압 상태로 변화됨에 따라 외부와의 압력차에 의해 개별 부품인 상기 실링 플레이트(20)의 모서리를 제외한 중심 부분이 개구부(12)로 흡입되어 챔버(10) 방향으로 치우침에 따라 가장자리에서 상기 챔버(10)와의 접촉 면적이 감소하는 현상이 발생된다.At this time, the inside of the
결국, 상기 실링 플레이트(20)의 중심 부분이 개구부(12)로 치우치면서 상대적으로 모서리 부분이 들뜨게 되며 접촉면 가장자리를 따라 구비되는 기밀유지부재(O) 또한 챔버(10)에서 이격되므로 리크(Leak) 현상이 발생되는 문제점이 있었다.As a result, the center portion of the
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 실링 플레이트에 작용하는 응력 분배를 위해 보강부를 형성하여 압력차에 의해 실링 플레이트의 가장자리가 들떠 기밀이 누설되는 것을 방지할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to form a reinforcement portion for stress distribution acting on the sealing plate to prevent the leakage of the airtight leakage of the edge of the sealing plate due to the pressure difference A flat panel display device manufacturing apparatus is provided.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치에 있어서, 일측 또는 양측에 개구부가 형성되는 챔버; 상기 개구부를 개폐하도록 실링 플레이트가 구비되는 게이트 밸브; 를 포함하며, 상기 실링 플레이트에는, 상기 챔버 밀폐시 내외부 압력차에 의한 변형을 방지하여 리크 발생을 방지하는 보강부가 구비됨으로써, 상기 실링 플레이트가 챔버 내외의 압력차로 인해 상기 챔버와의 접촉 면적의 감소하여 기밀이 누수되는 것을 방지하므로 바람직하다.In order to achieve the above object, the present invention provides a flat panel display device manufacturing apparatus, comprising: a chamber having an opening formed at one side or both sides; A gate valve provided with a sealing plate to open and close the opening; The sealing plate may include a reinforcing part that prevents deformation due to an internal and external pressure difference when the chamber is closed, thereby preventing leakage, thereby reducing the contact area with the chamber due to the pressure difference between the inside and the outside of the chamber. This is preferable because it prevents leakage of airtightness.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 실시 예들을 들어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도면에는 도시하지 않았지만 내부가 중공 형성되며 그 일 측벽 또는 양 측벽에 형성되어 기판이 반입/반출되는 개구부(112)가 게이트 밸브(도면에 미도시)에 의해 개폐되는 챔버(110)이다.Although the apparatus for manufacturing a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention is not shown in the drawings, an
여기서, 상기 챔버(110)는 게이트 밸브에 의해 개폐 가능한 로드락 챔버와 반송 챔버 및 공정 챔버에 모두 적용할 수 있다.Here, the
더욱이, 상기 챔버(110)의 개구부(112)를 개폐하는 실링 플레이트(120)는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 챔버(110)와 접하지 않는 후면에 연결바(132)가 연결되어 구동부(도면에 미도시)의 동력을 전달하며 상기 개구부(112)의 면적보다 더 넓은 면적을 갖으면서 적정 두께의 판상 형상으로 형성된다.In addition, the
여기서, 상기 실링 플레이트(120)는 상기 챔버(110)의 밀폐시 이 챔버(110) 내외부 압력차에 의한 변형을 방지하여 리크 발생을 차단하도록 보강부(122)가 형성된다.Here, the
즉, 상기 보강부(122)는 상기 실링 플레이트(120)에 단차 형성되도록 일체 형성되거나 접촉 면에 오링(O-ring)이나 개스킷(gasket) 등이 개재된 상태로 결합하여 단차 형성되되 본 실시 예에서는 일체로 형성되는 것에 대해서 예시한다.That is, the
그리고 상기 보강부(122)는 상기 개구부(112)를 밀폐시킬 수 있도록 이 개구부(112) 둘레인 챔버(110)와 접하는 접촉면인 상기 실링 플레이트(120)의 가장자리가 돌출되도록 형성되며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.The
그리고 돌출된 상기 보강부(122)에는 이 가장자리를 따라 기밀유지부재(O)가 삽입되는 홈이 형성되며, 상기 챔(110)의 개구부(112)와 접촉하는 접촉면에 형성된다.The protruding
그리고 도면에는 도시하지 않았지만 상기 챔버의 개구부에 접하되 이 챔버와 접촉되는 면에 기밀유지부재가 구비되는 실링 플레이트와 상기 실링 플레이트의 후면에 결합되며 게이트 밸브의 연결바가 연결되는 서포트 플레이트(Support plate)의 구비가 가능하다.Although not shown in the drawings, a sealing plate which is in contact with the opening of the chamber but is provided with an airtight member on a surface in contact with the chamber and a support plate which is coupled to the rear surface of the sealing plate and is connected to the connection bar of the gate valve It is possible to provide.
이 경우에는 상기 서포트 플레이트의 내외측면 중 상기 챔버와 접촉하는 내측 접촉면 또는 외측 이면 중 어느 한 면에 보강부가 구비되어 챔버 내외부의 압력차가 발생할 경우 상기 실링 플레이트를 후방에서 가압하여도 보강부가 형성된 서포트 플레이트가 실링 플레이트를 가압하므로 이 실링 플레이트의 가장자리가 들뜨 는 현상을 방지할 수 있다.In this case, a reinforcing part is provided on any one of an inner contact surface or an outer back surface of the inner and outer sides of the support plate contacting the chamber, and the support plate is provided with a reinforcing part even when the sealing plate is pressurized from the rear when a pressure difference between the inner and outer sides of the chamber occurs. By pressing the sealing plate, it is possible to prevent the edge of the sealing plate from lifting.
그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치에서 챔버에 형성된 개구부를 개폐하도록 구비되는 실링 플레이트는 상기 챔버(110)의 개구부(112)를 밀폐시킬 수 있도록 접촉면 가장자리에 보강부(122)를 형성하여 이 챔버(110) 방향으로의 흡입력을 중심부로 집중시키지 않고 분배시킴에 따라 상기 챔버(110)의 내외 압력차에 의해 상대적으로 기밀유지부재(O)가 구비된 가장자리가 들떠 기밀이 누설되는 것을 방지한다.Therefore, in the flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention, the sealing plate provided to open and close the opening formed in the chamber forms a
결국, 상기 실링 플레이트(120)는 기존의 그것보다 두께 감소가 가능하며, 상기 게이트 밸브의 가압력의 감소 효과도 얻을 수 있다.As a result, the
그리고 상기 실링 플레이트의 다른 실시 예로는 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 보강부(122)가 상기 챔버(110) 개구부(112)의 내부에 수용되도록 상기 개구부(112)의 형성 면적보다 작게 형성되며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.In another embodiment of the sealing plate, as shown in FIGS. 4A and 4B, the
이때, 상기 보강부(122)는 상기 개구부(112)의 면적보다 작으면서 높이가 동일하거나 자제 비용 절감을 위해 중심부분을 함몰시킬 수 있다. 또한, 상기 챔버(110)와의 접촉면인 실링 플레이트(120)의 가장자리에 보강부(122)를 형성하지 않고 접촉되지 않는 중심 부분에 형성하므로 상기 보강부(122)의 형상은 대향되는 "ㄷ" 형상 또는 모서리마다 부분적으로 형성되어 대향되는 "ㄴ" 절곡 형상 등으로 구비가 가능하다.In this case, the
그리고 상기 챔버(110)와의 접촉면인 상기 실링 플레이트(120)의 가장자리를 따라 기밀유지부재(O)가 삽입되는 홈이 형성된다.A groove into which the airtight holding member O is inserted is formed along an edge of the
그리고 상기 보강부(122)는 본 실시 예에서 상기 실링 플레이트(120)에 일체형으로 형성되는 것으로 예시하였으나 이에 한정하지 않고 결합형으로도 구비할 수 있다. In addition, the
그리고 상기 실링 플레이트의 또 다른 실시 예로는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 개구부(212)가 형성된 챔버(210)와 접촉되지 않는 이면에 보강부(222)가 형성된 것으로, 상기 보강부(222)가 외측인 이면 가장자리에 돌출된다.In another embodiment of the sealing plate, as shown in FIGS. 5 and 6, a
여기서도 상기 보강부(222)를 일체형 또는 결합형으로 형성시키며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.Here, the
그리고 상기 실링 플레이트의 또 다른 실시 예로는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 개구부(312)가 형성된 챔버(310)와 접촉되지 않는 이면에 보강부(322)가 형성되는 것으로, 상기 보강부(322)가 실링 플레이트(320)의 이면 가장자리에 형성되거나 상기 개구부(312)의 면적보다 작은 상태로 중심부에 형성된 것이다.In another embodiment of the sealing plate, as shown in FIGS. 7 and 8, a
그러나 상기 실링 플레이트(320) 제작시 자재 비용 절감을 위해 이 실링 플레이트(320)의 가장자리에 보강부(322)를 형성하되 모서리부마다 부분적으로 형성한다.However, in order to reduce the material cost when manufacturing the
그리고 상기 보강부(322)를 개구부(312)의 면적보다 작게 형성할 경우에도 일체형으로 형성하지 않고 모서리부마다 부분적으로 형성시켜 자재 비용을 절감할 수 있다.In addition, even when the reinforcing
여기서도 상기 보강부(322)를 일체형 또는 결합형으로 형성시키며, 일체형 블럭을 음각 또는 양각 형성하는 것이다.Here, the
그리고 도면에는 도시하지 않았지만 또 다른 실시 예로 일정 간격을 갖으면서 돌출되도록 다수개의 보강부를 수직 방향 또는 수평 방향으로 배열하거나 이를 조합한 격자형으로도 구비가 가능하다.Although not shown in the drawing, in another embodiment, a plurality of reinforcing parts may be arranged in a vertical direction or a horizontal direction or may be provided in a grid shape in combination so as to protrude at a predetermined interval.
이와 같이 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 실링 플레이트에 작용하는 응력 분배를 위해 보강부를 형성하여 압력차에 의해 실링 플레이트의 가장자리가 이탈되어 기밀이 누설되는 것을 방지하는 효과가 있다.As described above, the flat panel display device manufacturing apparatus of the present invention has an effect of forming a reinforcing part for distributing stress acting on the sealing plate to prevent the leakage of the airtight by the edge of the sealing plate being separated by the pressure difference.
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