KR101363987B1

KR101363987B1 - Gate valve

Info

Publication number: KR101363987B1
Application number: KR1020120033459A
Authority: KR
Inventors: 김도완; 유광연; 임대준; 김택규
Original assignee: 주식회사 에이티에스엔지니어링
Priority date: 2012-03-30
Filing date: 2012-03-30
Publication date: 2014-02-20
Also published as: KR20130111018A

Abstract

진공 상태로의 배기가 가능한 게이트 밸브가 개시된다. 이러한 게이트 밸브는 전면 개구 및 전면 개구와 대응되는 위치에 형성된 후면 개구를 갖는 하우징 모듈과, 전면 개구를 개폐시키기 위해 하우징 모듈 내에 배치된 밸브 모듈을 포함한다. 밸브 모듈은 전면 개구와 대응되는 실링(sealing) 플레이트, 후면 개구와 대응되는 리어(rear) 플레이트, 실링 플레이트 및 리어 플레이트 사이에 배치되어 전면 개구를 개폐하도록 실링 플레이트 및 리어 플레이트 사이의 간격을 증감시키는 개폐 이동유닛을 포함한다. 실링 플레이트가 개폐 이동유닛에 의해 전면 개구의 전부를 폐쇄(close)할 때, 리어 플레이트는 후면 개구의 일부를 폐쇄하여 진공 배기를 위한 진공 배기부를 형성한다. 이와 같이, 게이트 밸브 자체에 공기를 배출시키기 위한 진공 배기부가 형성되어 있음에 따라, 고진공 장비에서 기판 및 소자가 배출되기에 앞서 빠르게 진공 상태로 변경시킬 수 있다.A gate valve capable of evacuating to a vacuum state is disclosed. Such a gate valve includes a housing module having a front opening and a rear opening formed at a position corresponding to the front opening, and a valve module disposed in the housing module to open and close the front opening. The valve module is disposed between the sealing plate corresponding to the front opening, the rear plate corresponding to the rear opening, the sealing plate and the rear plate to increase or decrease the gap between the sealing plate and the rear plate to open and close the front opening. It includes an opening and closing mobile unit. When the sealing plate closes all of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a part of the rear opening to form a vacuum exhaust for vacuum evacuation. As such, since the vacuum exhaust unit for discharging air is formed in the gate valve itself, the vacuum valve may be rapidly changed before the substrate and the element are discharged in the high vacuum equipment.

Description

Gate valve {GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 출입되는 공정챔버의 개구를 개폐할 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve, and more particularly, to a gate valve capable of opening and closing an opening of a process chamber in which a substrate enters and leaves.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서, LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용된다. 그리고, 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다.In general, most of the processes for manufacturing LCD substrates or semiconductor devices proceed in a vacuum. Therefore, most of the equipment for performing a process for manufacturing an LCD substrate or a semiconductor device is a vacuum equipment, a vacuum pump is used for such a vacuum equipment to maintain a vacuum inside the vacuum equipment. In addition, a gate valve is provided to isolate the vacuum equipment from the outside of the vacuum equipment or other vacuum equipment.

이러한 게이트 밸브는 일반적으로 하우징, 개구 실링부, 수평 가압부 및 승강 구동부를 포함한다. 상기 하우징은 진공 장비와 외부 또는 다른 진공 장비 사이에 설치되고, 상기 진공 장비에 형성되어 있는 게이트와 마주하는 제1 개구 및 상기 제1 개구와 대응되는 제2 개구를 갖는다. 상기 개구 실링부는 상기 하우징 내에 배치되어 상승 및 수평가압 운동을 하면서 상기 제1 및 제2 개구들 중 적어도 하나를 개폐한다. 상기 수평 가압부는 상기 하우징 내에 배치되어 상기 개구 실링부와 결합되고, 상기 개구 실링부를 수평방향으로 이동시켜 가압한다. 상기 승강 구동부는 상기 하우징의 외부에 배치되고, 일부가 상기 하우징의 하면에 형성된 홀을 통해 상기 전후진 구동부와 결합되고, 상기 수평 가압부 및 상기 개구 실링부를 함께 상하 방향으로 이동시킨다.Such gate valves generally include a housing, an opening seal, a horizontal pressurization and a lift drive. The housing is installed between the vacuum equipment and the external or other vacuum equipment, and has a first opening facing the gate formed in the vacuum equipment and a second opening corresponding to the first opening. The opening sealing part is disposed in the housing to open and close at least one of the first and second openings while performing an upward and horizontal pressure movement. The horizontal pressing portion is disposed in the housing and engaged with the opening sealing portion, and presses by moving the opening sealing portion in a horizontal direction. The elevating driving part is disposed outside the housing, and is partially coupled with the forward and backward driving part through a hole formed in the lower surface of the housing, and moves the horizontal pressing part and the opening sealing part together in the vertical direction.

한편, OLED(Organic Light Emitting Diode)와 같은 소자는 일반 진공 장비에 비해 더 큰 진공 상태를 유지할 수 있는 고진공 장비에서 제조되고 있다. 그러나, 상기 고진공 장비에서 제조된 OLED 소자는 인접 게이트 밸브를 통해 외부 또는 다른 진공 장비로 이동할 때 급격한 압력 변화를 겪게 될 수 있고, 이러한 급격한 압력 변화는 상기 OLED 소자에 큰 데미지를 가할 수 있다.On the other hand, devices such as OLED (Organic Light Emitting Diode) are being manufactured in high vacuum equipment that can maintain a larger vacuum than general vacuum equipment. However, OLED devices manufactured in the high vacuum equipment may experience a sudden pressure change when moving to an external or other vacuum equipment through an adjacent gate valve, and such a sudden pressure change may cause great damage to the OLED device.

따라서, 상기 OLED 소자가 상기 게이트 밸브를 통해 이동할 때 겪게 되는 급격한 압력 변화를 최소해야만 하고, 이에 따라 상기 게이트 밸브 내에도 어느 정도의 진공 상태를 유지하기 위해 빠르게 배기 시킬 필요가 있다.Therefore, it is necessary to minimize the sudden pressure change experienced when the OLED element moves through the gate valve, and therefore, it is necessary to quickly exhaust the gas to maintain a certain degree of vacuum in the gate valve.

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 진공 상태로의 배기가 가능한 게이트 밸브를 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention is to solve this problem, the problem to be solved by the present invention is to provide a gate valve capable of evacuating to a vacuum state.

본 발명의 일 실시예에 의한 게이트 밸브는 전면 개구 및 상기 전면 개구와 대응되는 위치에 형성된 후면 개구를 갖는 하우징 모듈과, 상기 전면 개구를 개폐시키기 위해 상기 하우징 모듈 내에 배치된 밸브 모듈을 포함한다.A gate valve according to an embodiment of the present invention includes a housing module having a front opening and a rear opening formed at a position corresponding to the front opening, and a valve module disposed in the housing module to open and close the front opening.

상기 밸브 모듈은 상기 전면 개구와 대응되는 실링(sealing) 플레이트, 상기 후면 개구와 대응되는 리어(rear) 플레이트, 상기 실링 플레이트 및 상기 리어 플레이트 사이에 배치되어 상기 전면 개구를 개폐하도록 상기 실링 플레이트 및 상기 리어 플레이트 사이의 간격을 증감시키는 개폐 이동유닛을 포함한다. 상기 실링 플레이트가 상기 개폐 이동유닛에 의해 상기 전면 개구의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트는 상기 후면 개구의 일부를 폐쇄하여 진공 배기를 위한 진공 배기부를 형성한다.The valve module may be disposed between a sealing plate corresponding to the front opening, a rear plate corresponding to the rear opening, the sealing plate, and the rear plate to open and close the front opening. It includes an opening and closing mobile unit for increasing or decreasing the distance between the rear plate. When the sealing plate closes the entirety of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a portion of the rear opening to form a vacuum exhaust for vacuum exhaust.

이때, 상기 진공 배기부는 다양한 형태로 형성될 수 있다.In this case, the vacuum exhaust unit may be formed in various forms.

우선, 상기 후면 개구는 상기 리어 플레이트에 의해 커버되어 폐쇄되는 후면 중앙 개구, 및 상기 리어 플레이트에 의해 커버되지 않도록 상기 후면 중앙 개구에서 외곽으로 돌출된 돌출 배기홈을 포함할 수 있고, 상기 진공 배기부는 상기 돌출 배기홈을 포함할 수 있다. 상기 실링 플레이트, 상기 리어 플레이트, 상기 전면 개구 및 상기 후면 중앙 개구는 서로 대응되는 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 돌출 배기홈은 상기 후면 중앙 개구의 네 변 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있다. 상기 돌출 배기홈은 상기 후면 중앙 개구의 네 변 중 서로 마주하는 두 변의 중심에 한 쌍이 형성될 수 있다.First, the rear opening may include a rear central opening covered by the rear plate and closed, and a protruding exhaust groove protruding outward from the rear central opening so as not to be covered by the rear plate, wherein the vacuum exhaust unit It may include the protruding exhaust groove. The sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear center opening may have a rectangular shape corresponding to each other, and the protruding exhaust groove may be formed on at least one of four sides of the rear center opening. The protruding exhaust groove may be formed in a pair at the center of two sides facing each other of the four sides of the rear center opening.

두 번째로, 상기 리어 플레이트에는 가장자리에서 형성되어 상기 후면 개구의 일부를 노출시키는 플레이트 배기홈이 형성될 수 있고, 상기 진공 배기부는 상기 플레이트 배기홈을 포함할 수 있다. 상기 실링 플레이트, 상기 리어 플레이트, 상기 전면 개구 및 상기 후면 개구는 서로 대응되는 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 플레이트 배기홈은 상기 리어 플레이트의 네 변 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있다. 상기 플레이트 배기홈은 상기 리어 플레이트의 네 변 중 서로 마주하는 두 변의 중심에 한 쌍이 형성될 수 있다.Secondly, the rear plate may be provided with a plate exhaust groove formed at an edge to expose a portion of the rear opening, and the vacuum exhaust portion may include the plate exhaust groove. The sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening may have a rectangular shape corresponding to each other, and the plate exhaust groove may be formed on at least one of four sides of the rear plate. The pair of plate exhaust grooves may be formed in the center of two sides facing each other of the four sides of the rear plate.

세 번째로, 상기 리어 플레이트에는 내부 몸체에 형성되어 상기 후면 개구의 일부를 노출시키는 플레이트 배기홀이 형성될 수 있고, 상기 진공 배기홈은 상기 플레이트 배기홀을 포함할 수 있다. 상기 플레이트 배기홀은 상기 개폐 이동유닛과 중첩되지 않는 위치에 적어도 하나가 형성될 수 있다. 상기 실링 플레이트, 상기 리어 플레이트, 상기 전면 개구 및 상기 후면 개구는 서로 대응되는 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 직사각형 형상은 제1 방향으로의 길이와 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로의 폭으로 이루어지며, 상기 개폐 이동유닛은 상기 제1 방향을 따라 일정 간격으로 복수개가 배치될 수 있고, 상기 플레이트 배기홀은 상기 제1 방향을 따라 일정 간격으로 복수개가 형성될 수 있다.Third, the rear plate may be formed with a plate exhaust hole formed in the inner body to expose a portion of the rear opening, the vacuum exhaust groove may include the plate exhaust hole. At least one plate exhaust hole may be formed at a position that does not overlap with the opening and closing mobile unit. The sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening may have a rectangular shape corresponding to each other, the rectangular shape having a length in a first direction and a width in a second direction perpendicular to the first direction. The plurality of opening and closing mobile units may be arranged at regular intervals along the first direction, and the plurality of plate exhaust holes may be formed at regular intervals along the first direction.

네 번째로, 상기 실링 플레이트, 상기 리어 플레이트, 상기 전면 개구 및 상기 후면 개구는 서로 대응되는 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 직사각형 형상은 제1 방향으로의 길이와 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로의 폭으로 이루어지며, 상기 리어 플레이트의 길이는 상기 후면 개구의 길이보다 짧게 형성되어 상기 진공 배기부를 형성할 수 있다.Fourth, the sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening may have a rectangular shape corresponding to each other, and the rectangular shape may have a length in a first direction and a second perpendicular to the first direction. The width of the rear plate may be shorter than the length of the rear opening, thereby forming the vacuum exhaust unit.

다섯 번째로, 상기 실링 플레이트, 상기 리어 플레이트, 상기 전면 개구 및 상기 후면 개구는 서로 대응되는 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 직사각형 형상은 제1 방향으로의 길이와 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로의 폭으로 이루어지며, 상기 리어 플레이트의 폭은 상기 후면 개구의 폭보다 짧게 형성되어 상기 진공 배기부를 형성할 수 있다.Fifthly, the sealing plate, the rear plate, the front opening, and the rear opening may have a rectangular shape corresponding to each other, and the rectangular shape may have a length in a first direction and a second perpendicular to the first direction. The width of the rear plate may be shorter than the width of the rear opening to form the vacuum exhaust part.

한편, 상기 게이트 밸브는 상기 밸브 모듈과 결합되어 상기 밸브 모듈을 상기 전면 개구 및 상기 후면 개구 사이에 위치하도록 이동시키는 이동 모듈을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the gate valve may further include a moving module coupled to the valve module to move the valve module to be positioned between the front opening and the rear opening.

상기 실링 플레이트, 상기 리어 플레이트, 상기 전면 개구 및 상기 후면 개구는 서로 대응되는 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 직사각형 형상은 제1 방향으로의 길이와 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로의 폭으로 이루어지며, 상기 이동 모듈은 상기 밸브 모듈의 상기 제1 방향으로의 양단에 한 쌍이 배치될 수 있다.The sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening may have a rectangular shape corresponding to each other, the rectangular shape having a length in a first direction and a width in a second direction perpendicular to the first direction. The moving module may be provided in pairs at both ends of the valve module in the first direction.

상기 밸브 모듈은 상기 리어 플레이트의 상기 제1 방향으로의 양단에 배치되어, 상기 한 쌍의 이동 모듈들과 각각 결합된 한 쌍의 이동모듈 결합부들을 더 포함할 수 있다. 상기 이동모듈 결합부들 각각은 상기 리어 플레이트의 양단 중 어느 하나로부터 돌출된 결합 장착부, 및 상기 결합 장착부에 결합되어 고정되고, 상기 한 쌍의 이동 모듈들 중 어느 하나와 결합되는 결합 유닛을 포함할 수 있다.The valve module may further include a pair of moving module coupling parts disposed at both ends of the rear plate in the first direction and respectively coupled to the pair of moving modules. Each of the moving module coupling parts may include a coupling mounting portion protruding from one of both ends of the rear plate, and a coupling unit coupled to and fixed to the coupling mounting portion, and coupled to any one of the pair of moving modules. have.

이와 같이 본 발명의 게이트 밸브에 따르면, 게이트 밸브 자체에 공기를 배출시키기 위한 진공 배기부가 형성되어 있음에 따라, 고진공 장비에서 기판 및 소자가 배출되기에 앞서 빠르게 진공 상태로 변경시킬 수 있고, 그 결과 급격한 압력변화에 따라 데미지가 가해지는 것을 억제시킬 수 있다.As described above, according to the gate valve of the present invention, the vacuum valve for discharging air is formed in the gate valve itself, so that the substrate and the device can be quickly changed to a vacuum state before the discharge of the substrate and the device in the high vacuum equipment. Damage can be suppressed due to a sudden pressure change.

또한, 실링 플레이트가 개폐 이동유닛에 의해 전면 개구의 전부를 폐쇄(close)할 때, 리어 플레이트가 후면 개구의 일부를 폐쇄하여 상기 진공 배기부를 형성함에 따라, 상기 후면 개구와 마주하는 다른 진공 장비에서의 진공 펌프를 이용하여 손쉽게 상기 게이트 밸브 내의 공기를 배출시켜 별도의 진공 펌프 및 배관 없이 진공 상태를 형성시킬 수 있다.In addition, when the sealing plate closes all of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a part of the rear opening to form the vacuum exhaust, so that in other vacuum equipment facing the rear opening, By using the vacuum pump of the air can be easily discharged in the gate valve to form a vacuum without a separate vacuum pump and piping.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 정면도이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브의 내부 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1의 게이트 밸브의 일단면을 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 게이트 밸브가 폐쇄된 상태를 도시한 단면도이다.
도 5는 도 1의 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.1 is a front view showing a gate valve according to a first embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating an internal state of the gate valve of FIG. 1.
3 is a cross-sectional view illustrating one end surface of the gate valve of FIG. 1.
4 is a cross-sectional view illustrating a state in which the gate valve of FIG. 3 is closed.
FIG. 5 is a diagram for describing a relationship between a rear opening and a rear plate of the gate valve of FIG. 1.
6 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear plate of the gate valve according to the second embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear opening of the gate valve according to the third embodiment of the present invention.
8 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear plate of the gate valve according to the fourth embodiment of the present invention.
9 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear plate of the gate valve according to the fifth embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

<게이트 밸브의 실시예 1><Example 1 of a gate valve>

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 정면도이고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브의 내부 상태를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 1의 게이트 밸브의 일단면을 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3의 게이트 밸브가 폐쇄된 상태를 도시한 단면도이다.1 is a front view showing a gate valve according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the internal state of the gate valve of Figure 1, Figure 3 shows one end surface of the gate valve of Figure 1 4 is a cross-sectional view illustrating a state in which the gate valve of FIG. 3 is closed.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징 모듈(100), 밸브 모듈(200), 이동 모듈(300) 및 개폐 구동모듈(400)을 포함한다.1 to 4, the gate valve according to the present embodiment includes a housing module 100, a valve module 200, a moving module 300, and an opening / closing driving module 400.

상기 하우징 모듈(100)은 상기 밸브 모듈(200)을 수용하기 위한 내부공간을 제공하고, 어느 한 진공 장비와 인접하여 배치되거나 두 진공 장비들 사이에 배치될 수 있다. 상기 하우징 모듈(100)은 상기 진공 장비의 게이트와 마주하는 전면 개구(112) 및 상기 전면 개구(112)와 대응되는 위치에 형성된 후면 개구(122)를 갖는다. 이때, 기판 또는 소자는 상기 전면 및 후면 개구들(112, 122)을 통해 상기 진공 장비 내로 운반되거나 상기 진공 장비에서 외부로 배출된다.The housing module 100 may provide an inner space for accommodating the valve module 200, and may be disposed adjacent to one vacuum device or disposed between two vacuum devices. The housing module 100 has a front opening 112 facing the gate of the vacuum equipment and a rear opening 122 formed at a position corresponding to the front opening 112. At this time, the substrate or device is transported into or out of the vacuum equipment through the front and rear openings 112 and 122.

구체적으로 예를 들면, 상기 하우징 모듈(100)은 상기 전면 개구(112)가 형성된 전면판(110), 상기 전면판(110)과 대응되는 위치에 배치되고 상기 후면 개구(122)가 형성된 후면판(120), 상기 전면판(110)과 상기 후면판(120)의 좌우측부를 연결하는 좌측판(130)과 우측판(140), 및 상기 전면판(120)과 상기 후면판(120)의 상하측부를 연결하는 상측판(150)과 하측판(160)을 포함할 수 있다.In detail, for example, the housing module 100 may be disposed at a position corresponding to the front plate 110 having the front opening 112 and the front plate 110 and the rear plate having the rear opening 122. 120, a left side plate 130 and a right side plate 140 connecting the left and right sides of the front plate 110 and the back plate 120, and the top and bottom of the front plate 120 and the back plate 120. It may include an upper plate 150 and a lower plate 160 connecting the side portion.

본 실시예에서, 상기 전면판(110) 및 후면판(120)은 서로 대응되는 직사각형 형상을 가질 수 있고, 상기 직사각형 형상은 제1 방향(D1)으로의 길이가 상기 제1 방향(D1)과 수직한 제2 방향(D2)으로의 길이보다 길게 형성된다. 즉, 상기 직사각형 형상은 제1 방향(D1)으로의 길이와 상기 제1 방향(D1)과 수직한 제2 방향(D2)으로의 폭으로 이루어진다. 또한, 상기 전면 개구(112) 및 상기 후면 개구(122)도 상기 전면판(110) 및 후면판(120)과 각각 대응되게 상기 제1 방향(D1)으로의 길이와 상기 제2 방향(D2)으로의 폭으로 이루어진 직사각형 형상을 가질 수 있다.In the present embodiment, the front plate 110 and the back plate 120 may have a rectangular shape corresponding to each other, the rectangular shape has a length in the first direction (D1) and the first direction (D1) It is formed longer than the length in the second vertical direction (D2). That is, the rectangular shape has a length in a first direction D1 and a width in a second direction D2 perpendicular to the first direction D1. In addition, the front opening 112 and the rear opening 122 also have a length in the first direction D1 and the second direction D2 corresponding to the front plate 110 and the rear plate 120, respectively. It may have a rectangular shape consisting of a width to.

상기 밸브 모듈(200)은 상기 전면 개구(112)를 개폐시키기 위해 상기 하우징 모듈(100) 내에 배치된다. 상기 밸브 모듈(200)은 상기 전면 개구(112)와 대응되는 실링(sealing) 플레이트(210), 상기 후면 개구(122)와 대응되는 리어(rear) 플레이트(220), 상기 실링 플레이트(210) 및 상기 리어 플레이트(220) 사이에 배치되어 상기 전면 개구(112)를 개폐하도록 상기 실링 플레이트(210) 및 상기 리어 플레이트(220) 사이의 간격을 증감시키는 개폐 이동유닛(230)을 포함한다. 이때, 상기 실링 플레이트(210)가 상기 개폐 이동유닛(230)에 의해 상기 제1 및 제2 방향들(D1, D2)과 수직한 제3 방향(D3)을 따라 이동하여 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트(220)는 상기 실링 플레이트(210)의 이동방향에 반대측으로 이동하여 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄할 수 있다.The valve module 200 is disposed in the housing module 100 to open and close the front opening 112. The valve module 200 may include a sealing plate 210 corresponding to the front opening 112, a rear plate 220 corresponding to the rear opening 122, the sealing plate 210, and It is disposed between the rear plate 220 includes an opening and closing mobile unit 230 to increase or decrease the interval between the sealing plate 210 and the rear plate 220 to open and close the front opening (112). In this case, the sealing plate 210 is moved along the third direction D3 perpendicular to the first and second directions D1 and D2 by the opening / closing moving unit 230 to open the front opening 112. When closing all of the rear plate 220, the rear plate 220 may move in a direction opposite to the moving direction of the sealing plate 210 to close a part of the rear opening 122.

본 실시예에서, 상기 실링 플레이트(210) 및 상기 리어 플레이트(220)는 상기 전면 개구(112) 및 상기 후면 개구(122)와 각각 대응되게 상기 제1 방향(D1)으로의 길이와 상기 제2 방향(D2)으로의 폭으로 이루어진 직사각형 형상을 가질 수 있다. 이때, 상기 실링 플레이트(210)는 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄할 수 있도록 상기 전면 개구(112)보다 넓은 면적으로 형성되고, 상기 전면판(110)과 마주하는 상기 실링 플레이트(210)의 가장자리에는 실링을 위한 실링수단이 형성될 수 있다. 상기 개폐 이동유닛(230)은 상기 제1 방향(D1)을 따라 일정한 간격으로 이격되어 복수개가 배치될 수 있다.In the present embodiment, the sealing plate 210 and the rear plate 220 have a length in the first direction D1 and a second length corresponding to the front opening 112 and the rear opening 122, respectively. It may have a rectangular shape consisting of the width in the direction (D2). In this case, the sealing plate 210 is formed to have a larger area than the front opening 112 so as to close all of the front opening 112, and the sealing plate 210 facing the front plate 110. At the edge of the sealing means for sealing may be formed. The opening and closing mobile unit 230 may be spaced apart at regular intervals along the first direction D1.

상기 이동 모듈(300)은 상기 하측판(160)의 하부에 배치되고, 상기 이동 모듈(300)는 일부가 상기 하측판(160)을 관통하여 상기 밸브 모듈(200)과 결합된다. 상기 이동 모듈(300)은 샤프트의 이동을 통해 상기 밸브 모듈(200)을 상기 제2 방향(D2)을 따라 이동시키고, 그에 따라 상기 전면 개구(112)를 개폐시킬 수 있도록 상기 밸브 모듈(200)을 상기 전면 개구(112) 및 상기 후면 개구(122) 사이에 위치시킬 수 있다. 본 실시예에서, 상기 이동 모듈(300)은 상기 밸브 모듈(200)의 상기 제1 방향(D1)으로의 양단부와 결합되도록 한 쌍이 배치될 수 있다.The moving module 300 is disposed below the lower plate 160, and the moving module 300 is partially coupled to the valve module 200 by passing through the lower plate 160. The moving module 300 moves the valve module 200 along the second direction D2 through the movement of the shaft, thereby opening and closing the front opening 112. May be positioned between the front opening 112 and the rear opening 122. In the present embodiment, a pair of the moving module 300 may be disposed to be coupled to both ends of the valve module 200 in the first direction D1.

한편, 상기 밸브 모듈(200)은 상기 리어 플레이트(220)의 상기 제1 방향(D1)으로의 양단에 배치되어, 상기 한 쌍의 이동 모듈들(300)과 각각 결합된 한 쌍의 이동모듈 결합부들(240)을 더 포함할 수 있다. 상기 이동모듈 결합부들(240) 각각은 상기 리어 플레이트(220)의 양단 중 어느 하나로부터 돌출된 결합 장착부(242), 및 상기 결합 장착부(242)에 결합되어 고정되고, 상기 한 쌍의 이동 모듈들(300) 중 어느 하나와 결합되는 결합 유닛(244)을 포함할 수 있다.On the other hand, the valve module 200 is disposed at both ends of the rear plate 220 in the first direction (D1), a pair of moving modules coupled to each of the pair of moving modules 300, respectively It may further include the parts 240. Each of the moving module coupling parts 240 is fixedly coupled to the coupling mounting part 242 protruding from one of both ends of the rear plate 220 and the coupling mounting part 242, and the pair of moving modules It may include a coupling unit 244 coupled with any one of the 300.

상기 개폐 구동모듈(400)은 상기 하측판(160)의 하부에 배치되고, 상기 한 쌍의 이동 모듈들(300) 사이에 배치될 수 있다. 상기 개폐 구동모듈(400)은 일부가 상기 하측판(160)을 관통하여 상기 밸브 모듈(200)과 결합되어, 상기 개폐 이동유닛들(230)에 구동력, 예를 들어 공압을 제공한다. 그에 따라, 상기 개폐 이동유닛들(230)은 상기 개폐 구동모듈(400)에서 제공되는 공압을 통해 상기 실링 플레이트(210) 및 상기 리어 플레이트(220)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 한편, 상기 개폐 구동모듈(400)은 공압을 제공 및 형성하기 위한 각종 배관 및 펌프를 포함한다.The opening and closing driving module 400 may be disposed below the lower plate 160 and may be disposed between the pair of moving modules 300. The opening and closing drive module 400 is partially coupled to the valve module 200 through the lower plate 160 to provide driving force, for example, pneumatic pressure, to the opening and closing mobile units 230. Accordingly, the opening and closing mobile units 230 may move the sealing plate 210 and the rear plate 220 along the third direction D3 through pneumatic pressure provided from the opening and closing driving module 400. Can be. On the other hand, the opening and closing drive module 400 includes a variety of pipes and pumps for providing and forming the pneumatic.

도 5는 도 1의 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 5 is a diagram for describing a relationship between a rear opening and a rear plate of the gate valve of FIG. 1.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 실링 플레이트(210)가 상기 개폐 이동유닛(230)에 의해 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동하여 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트(220)는 상기 실링 플레이트(210)의 이동방향에 반대측으로 이동하여 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄할 수 있다. 여기서, 상기 리어 플레이트(220)가 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄함에 따라, 상기 하우징 모듈(100)의 내부공간에서의 진공 배기를 위한 진공 배기부(EH)가 형성된다.4 and 5, the sealing plate 210 is moved along the third direction D3 by the opening / closing moving unit 230 to close all of the front opening 112. At this time, the rear plate 220 may move in a direction opposite to the moving direction of the sealing plate 210 to close a part of the rear opening 122. Here, as the rear plate 220 closes a part of the rear opening 122, a vacuum exhaust portion EH for evacuating the vacuum in the inner space of the housing module 100 is formed.

상기 후면 개구(122)는 상기 리어 플레이트(220)에 의해 커버되어 폐쇄되는 후면 중앙 개구, 및 상기 리어 플레이트(220)에 의해 커버되지 않도록 상기 후면 중앙 개구에서 외곽으로 돌출된 돌출 배기홈(122a)로 구성된다.The rear opening 122 is a rear central opening covered by the rear plate 220 and closed, and a protruding exhaust groove 122a protruding outward from the rear central opening so as not to be covered by the rear plate 220. It consists of.

상기 돌출 배기홈(122a)은 상기 후면 중앙 개구의 네 변 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 돌출 배기홈(122a)은 상기 후면 중앙 개구의 네 변 중 서로 마주하는 두 변의 중심에 한 쌍이 형성될 수 있고, 도 5와 같이 상기 후면 중앙 개구의 네 변의 중심에 모두 형성될 수도 있다.The protruding exhaust groove 122a may be formed in at least one of four sides of the rear center opening. For example, a pair of protruding exhaust grooves 122a may be formed at the centers of two sides facing each other among the four sides of the rear center opening, and as shown in FIG. It may be.

본 실시예에서, 상기 진공 배기부(EH)는 상기 돌출 배기홈(122a)에 의해 형성된다.In the present embodiment, the vacuum exhaust portion EH is formed by the protruding exhaust groove 122a.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 상기 게이트 밸브 자체에 공기를 배출시키기 위한 상기 진공 배기부(EH)가 형성되어 있음에 따라, 고진공 장비에서 기판 및 소자가 배출되기에 앞서 빠르게 진공 상태로 변경시킬 수 있고, 그 결과 급격한 압력변화에 따라 데미지가 가해지는 것을 억제시킬 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the vacuum exhaust unit EH for discharging air is formed in the gate valve itself, so that the substrate and the device can be quickly changed to a vacuum state before the substrate and the element are discharged from the high vacuum equipment. As a result, damage can be suppressed from being applied due to a sudden pressure change.

또한, 상기 실링 플레이트(210)가 상기 개폐 이동유닛(230)에 의해 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트(220)가 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄하여 상기 진공 배기부(EH)를 형성함에 따라, 상기 후면 개구(122)와 마주하는 다른 진공 장비에서의 진공 펌프를 이용하여 손쉽게 상기 게이트 밸브 내의 공기를 배출시켜 별도의 진공 펌프 및 배관 없이 진공 상태를 형성시킬 수 있다.
In addition, when the sealing plate 210 closes the entirety of the front opening 112 by the opening / closing mobile unit 230, the rear plate 220 may open a part of the rear opening 122. As it closes to form the vacuum exhaust portion EH, the air in the gate valve can be easily discharged by using a vacuum pump in another vacuum equipment facing the rear opening 122 so that the vacuum without a separate vacuum pump and piping Can form a state.

<게이트 밸브의 실시예 2><Example 2 of Gate Valve>

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear plate of the gate valve according to the second embodiment of the present invention.

본 실시예에 의한 게이트 밸브는 진공 배기부(EH)를 제외하면 도 1 내지 도 4를 통해 설명한 제1 실시예에 의한 게이트 밸브와 실질적으로 동일하므로, 상기 진공 배기부(EH)를 제외한 나머지 구성요소에 대한 자세한 설명은 생략하고 제1 실시예와 동일한 참조부호를 부여하겠다.Since the gate valve according to the present exemplary embodiment is substantially the same as the gate valve according to the first exemplary embodiment described with reference to FIGS. 1 to 4 except for the vacuum exhaust unit EH, the remaining configuration except for the vacuum exhaust unit EH is provided. Detailed description of the elements will be omitted and the same reference numerals as in the first embodiment.

도 6을 참조하면, 상기 실링 플레이트(210)가 상기 개폐 이동유닛(230)에 의해 이동하여 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트(220)는 상기 실링 플레이트(210)의 이동방향에 반대측으로 이동하여 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄할 수 있다. 여기서, 상기 리어 플레이트(220)가 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄함에 따라, 상기 하우징 모듈(100)의 내부공간에서의 진공 배기를 위한 진공 배기부(EH)가 형성된다.Referring to FIG. 6, when the sealing plate 210 moves by the opening / closing movement unit 230 to close all of the front opening 112, the rear plate 220 is the sealing plate. A portion of the rear opening 122 may be closed by moving in a direction opposite to the moving direction of 210. Here, as the rear plate 220 closes a part of the rear opening 122, a vacuum exhaust portion EH for evacuating the vacuum in the inner space of the housing module 100 is formed.

상기 리어 플레이트(220)에는 가장자리에서 형성되어 상기 후면 개구(122)의 일부를 노출시키는 플레이트 배기홈(222)이 형성된다. 상기 플레이트 배기홈(222)은 상기 리어 플레이트(220)의 네 변 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있다. 상기 플레이트 배기홈(222)은 상기 리어 플레이트(220)의 네 변 중 서로 마주하는 두 변의 중심에 한 쌍이 형성될 수 있고, 도 6과 같이 상기 리어 플레이트(220)의 네 변의 중심에 모두 형성될 수도 있다.The rear plate 220 has a plate exhaust groove 222 formed at an edge thereof to expose a portion of the rear opening 122. The plate exhaust groove 222 may be formed on at least one of four sides of the rear plate 220. One pair of plate exhaust grooves 222 may be formed at the centers of two sides of the rear plate 220 facing each other, and as shown in FIG. It may be.

본 실시예에서, 상기 진공 배기부(EH)는 상기 플레이트 배기홈(222)에 의해 형성된다.In the present embodiment, the vacuum exhaust portion EH is formed by the plate exhaust groove 222.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 상기 리어 플레이트(220)에 상기 플레이트 배기홈(222)을 형성하여, 별도의 구성장치 없이 상기 게이트 밸브 자체에 공기를 배출시키기 위한 상기 진공 배기부(EH)를 형성할 수 있다.
As described above, according to the present exemplary embodiment, the plate exhaust groove 222 is formed in the rear plate 220 to form the vacuum exhaust unit EH for discharging air to the gate valve itself without a separate device. can do.

<게이트 밸브의 실시예 3><Example 3 of Gate Valve>

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.7 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear opening of the gate valve according to the third embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 상기 실링 플레이트(210)가 상기 개폐 이동유닛(230)에 의해 이동하여 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트(220)는 상기 실링 플레이트(210)의 이동방향에 반대측으로 이동하여 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄할 수 있다. 여기서, 상기 리어 플레이트(220)가 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄함에 따라, 상기 하우징 모듈(100)의 내부공간에서의 진공 배기를 위한 진공 배기부(EH)가 형성된다.Referring to FIG. 7, when the sealing plate 210 moves by the opening / closing movement unit 230 to close all of the front opening 112, the rear plate 220 is the sealing plate. A portion of the rear opening 122 may be closed by moving in a direction opposite to the moving direction of 210. Here, as the rear plate 220 closes a part of the rear opening 122, a vacuum exhaust portion EH for evacuating the vacuum in the inner space of the housing module 100 is formed.

상기 리어 플레이트(220)에는 내부 몸체에 형성되어 상기 후면 개구(122)의 일부를 노출시키는 플레이트 배기홀(224)이 형성된다. 상기 플레이트 배기홀(224)은 상기 개폐 이동유닛(230)과 중첩되지 않는 위치에 적어도 하나가 형성될 수 있다. 이때, 상기 플레이트 배기홀(224)은 상기 제1 방향(D1)을 따라 일정 간격으로 복수개가 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 플레이트 배기홀(224)은 상기 개폐 이동유닛(230)과 중첩되지 않도록 상하 2열로 배치될 수 있다.The rear plate 220 is formed with a plate exhaust hole 224 formed in the inner body to expose a portion of the rear opening 122. At least one plate exhaust hole 224 may be formed at a position not overlapping with the opening / closing mobile unit 230. In this case, a plurality of plate exhaust holes 224 may be formed at predetermined intervals along the first direction D1. For example, the plate exhaust hole 224 may be arranged in two rows, the upper and lower rows so as not to overlap the opening and closing mobile unit 230.

본 실시예에서, 상기 진공 배기부(EH)는 상기 플레이트 배기홀(224)에 의해 형성된다.In the present embodiment, the vacuum exhaust portion EH is formed by the plate exhaust hole 224.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 상기 리어 플레이트(220)에 상기 플레이트 배기홀(224)이 형성됨에 따라, 별도의 구성장치 없이 상기 게이트 밸브 자체에 공기를 배출시키기 위한 상기 진공 배기부(EH)를 형성할 수 있다.
As described above, according to the present embodiment, as the plate exhaust hole 224 is formed in the rear plate 220, the vacuum exhaust unit EH for discharging air to the gate valve itself without a separate device is provided. Can be formed.

<게이트 밸브의 실시예 4><Example 4 of Gate Valve>

도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.8 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear plate of the gate valve according to the fourth embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 상기 실링 플레이트(210)가 상기 개폐 이동유닛(230)에 의해 이동하여 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트(220)는 상기 실링 플레이트(210)의 이동방향에 반대측으로 이동하여 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄할 수 있다. 여기서, 상기 리어 플레이트(220)가 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄함에 따라, 상기 하우징 모듈(100)의 내부공간에서의 진공 배기를 위한 진공 배기부(EH)가 형성된다.Referring to FIG. 8, when the sealing plate 210 moves by the opening / closing movement unit 230 to close all of the front opening 112, the rear plate 220 is the sealing plate. A portion of the rear opening 122 may be closed by moving in a direction opposite to the moving direction of 210. Here, as the rear plate 220 closes a part of the rear opening 122, a vacuum exhaust portion EH for evacuating the vacuum in the inner space of the housing module 100 is formed.

본 실시예에서, 상기 리어 플레이트(220)의 상기 제1 방향(D1)으로의 길이는 상기 후면 개구(122)의 상기 제1 방향(D1)으로의 길이보다 짧게 형성되어 상기 진공 배기부(EH)를 형성한다.
In the present embodiment, the length of the rear plate 220 in the first direction D1 is shorter than the length of the rear opening 122 in the first direction D1 so that the vacuum exhaust portion EH is short. ).

<게이트 밸브의 실시예 5><Example 5 of the gate valve>

도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 게이트 밸브 중 후면 개구와 리어 플레이트 사이 관계를 설명하기 위한 도면이다.9 is a view for explaining the relationship between the rear opening and the rear plate of the gate valve according to the fifth embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 상기 실링 플레이트(210)가 상기 개폐 이동유닛(230)에 의해 이동하여 상기 전면 개구(112)의 전부를 폐쇄(close)할 때, 상기 리어 플레이트(220)는 상기 실링 플레이트(210)의 이동방향에 반대측으로 이동하여 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄할 수 있다. 여기서, 상기 리어 플레이트(220)가 상기 후면 개구(122)의 일부를 폐쇄함에 따라, 상기 하우징 모듈(100)의 내부공간에서의 진공 배기를 위한 진공 배기부(EH)가 형성된다.Referring to FIG. 9, when the sealing plate 210 moves by the opening / closing movement unit 230 to close all of the front opening 112, the rear plate 220 is the sealing plate. A portion of the rear opening 122 may be closed by moving in a direction opposite to the moving direction of 210. Here, as the rear plate 220 closes a part of the rear opening 122, a vacuum exhaust portion EH for evacuating the vacuum in the inner space of the housing module 100 is formed.

본 실시예에서, 상기 리어 플레이트(220)의 상기 제2 방향(D2)으로의 폭은 상기 후면 개구(122)의 상기 제2 방향(D2)으로의 폭보다 짧게 형성되어 상기 진공 배기부(EH)를 형성한다.
In the present embodiment, the width of the rear plate 220 in the second direction D2 is formed to be shorter than the width of the rear opening 122 in the second direction D2 so that the vacuum exhaust unit EH ).

100 : 하우징 모듈 110 : 전면판
112 : 전면 개구 120 : 후면판
122 : 후면 개구 130 : 좌측판
140 : 우측판 150 : 상측판
160 : 하측판 200 : 밸브 모듈
210 : 실링 플레이트 220 : 리어 플레이트
230 : 개폐 이동유닛 240 : 이동모듈 결합부
242 : 결합 장착부 244 : 결합 유닛
300 : 이동 모듈 400 : 개폐 구동모듈
EH : 진공 배기부 122a : 돌출 배기홈
222 : 플레이트 배기홈 224 : 플레이트 배기홀100: housing module 110: front panel
112: front opening 120: rear plate
122: rear opening 130: left side plate
140: right side plate 150: upper side plate
160: lower plate 200: valve module
210: sealing plate 220: rear plate
230: opening and closing mobile unit 240: moving module coupling
242: coupling unit 244: coupling unit
300: moving module 400: opening and closing drive module
EH: vacuum exhaust 122a: protruding exhaust groove
222: plate exhaust groove 224: plate exhaust hole

Claims

delete

A housing module having a front opening and a rear opening formed at a position corresponding to the front opening; And
A valve module disposed in the housing module to open and close the front opening;
The valve module
A sealing plate corresponding to the front opening;
A rear plate corresponding to the rear opening; And
An opening and closing mobile unit disposed between the sealing plate and the rear plate to increase or decrease a distance between the sealing plate and the rear plate to open and close the front opening,
When the sealing plate closes all of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a part of the rear opening to form a vacuum exhaust for vacuum exhaust,
The rear opening is
A rear center opening covered and closed by the rear plate; And
And a protruding exhaust groove protruding outward from the rear center opening so as not to be covered by the rear plate,
And the vacuum exhaust part comprises the protruding exhaust groove.

The method of claim 2, wherein the sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear central opening have a rectangular shape corresponding to each other,
And the protruding exhaust groove is formed in at least one of four sides of the rear center opening.

The method of claim 3, wherein the protruding exhaust groove is
A pair of gate valves, characterized in that the pair is formed in the center of the two sides facing each other of the four sides of the rear center opening.

A housing module having a front opening and a rear opening formed at a position corresponding to the front opening; And
A valve module disposed in the housing module to open and close the front opening;
The valve module
A sealing plate corresponding to the front opening;
A rear plate corresponding to the rear opening; And
An opening and closing mobile unit disposed between the sealing plate and the rear plate to increase or decrease a distance between the sealing plate and the rear plate to open and close the front opening,
When the sealing plate closes all of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a part of the rear opening to form a vacuum exhaust for vacuum exhaust,
On the rear plate
A plate exhaust groove is formed at an edge to expose a portion of the rear opening,
And the vacuum exhaust part comprises the plate exhaust groove.

The method of claim 5, wherein the sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening has a rectangular shape corresponding to each other,
And the plate exhaust groove is formed on at least one of four sides of the rear plate.

The method of claim 6, wherein the plate exhaust groove
A pair of gate valves, characterized in that a pair is formed in the center of the two sides facing each other of the four sides of the rear plate.

A housing module having a front opening and a rear opening formed at a position corresponding to the front opening; And
A valve module disposed in the housing module to open and close the front opening;
The valve module
A sealing plate corresponding to the front opening;
A rear plate corresponding to the rear opening; And
An opening and closing mobile unit disposed between the sealing plate and the rear plate to increase or decrease a distance between the sealing plate and the rear plate to open and close the front opening,
When the sealing plate closes all of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a part of the rear opening to form a vacuum exhaust for vacuum exhaust,
On the rear plate
A plate exhaust hole is formed in the inner body to expose a portion of the rear opening,
And the vacuum exhaust groove comprises the plate exhaust hole.

The method of claim 8, wherein the plate exhaust hole
Gate valve, characterized in that at least one formed in a position that does not overlap with the opening and closing mobile unit.

The method of claim 9, wherein the sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening has a rectangular shape corresponding to each other,
The rectangular shape is composed of a length in a first direction and a width in a second direction perpendicular to the first direction,
The opening and closing mobile unit is arranged in a plurality at regular intervals along the first direction,
The plate exhaust hole is a plurality of gate valves, characterized in that formed in a predetermined interval along the first direction.

A housing module having a front opening and a rear opening formed at a position corresponding to the front opening; And
A valve module disposed in the housing module to open and close the front opening;
The valve module
A sealing plate corresponding to the front opening;
A rear plate corresponding to the rear opening; And
An opening and closing mobile unit disposed between the sealing plate and the rear plate to increase or decrease a distance between the sealing plate and the rear plate to open and close the front opening,
When the sealing plate closes all of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a part of the rear opening to form a vacuum exhaust for vacuum exhaust,
The sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening have a rectangular shape corresponding to each other,
The rectangular shape is composed of a length in a first direction and a width in a second direction perpendicular to the first direction,
And the length of the rear plate is shorter than the length of the rear opening to form the vacuum exhaust.

A housing module having a front opening and a rear opening formed at a position corresponding to the front opening; And
A valve module disposed in the housing module to open and close the front opening;
The valve module
A sealing plate corresponding to the front opening;
A rear plate corresponding to the rear opening; And
An opening and closing mobile unit disposed between the sealing plate and the rear plate to increase or decrease a distance between the sealing plate and the rear plate to open and close the front opening,
When the sealing plate closes all of the front opening by the opening and closing mobile unit, the rear plate closes a part of the rear opening to form a vacuum exhaust for vacuum exhaust,
The sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening have a rectangular shape corresponding to each other,
The rectangular shape is composed of a length in a first direction and a width in a second direction perpendicular to the first direction,
And the width of the rear plate is shorter than the width of the rear opening to form the vacuum exhaust.

13. The movement according to any one of claims 2, 5, 8, 11 and 12, which is coupled with the valve module to move the valve module to be positioned between the front opening and the rear opening. The gate valve further comprises a module.

The method of claim 13, wherein the sealing plate, the rear plate, the front opening and the rear opening has a rectangular shape corresponding to each other,
The rectangular shape is composed of a length in a first direction and a width in a second direction perpendicular to the first direction,
The moving module is a gate valve, characterized in that a pair is arranged at both ends of the valve module in the first direction.

The method of claim 14, wherein the valve module
And a pair of moving module coupling parts disposed at both ends of the rear plate in the first direction and coupled to the pair of moving modules, respectively.

The method of claim 15, wherein each of the moving module coupling portion
A coupling mount protruding from any one of both ends of the rear plate; And
And a coupling unit coupled to and fixed to the coupling mount and coupled to any one of the pair of moving modules.