KR20070090843A - 유량제어장치 - Google Patents

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KR20070090843A
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에스엠씨 가부시키 가이샤
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Abstract

유량제어장치는 복수의 적층된 금속플레이트로 구성되는 베이스부(18)를 포함한다. 상기 유량제어장치는 또한 상기 베이스부(18)에 제1통로(30)을 통해 흐르는 압력유체(가스)의 압력을 조절하는 압력제어부(20)와, 제2통로(34)를 통해 흐르는 상기 압력유체의 압력을 검출하는 압력센서(78)와, 상기 압력제어부(20)에 의해 압력이 조절된 상기 유체를 소정의 유량을 가지도록 조절하기 위해 제1 내지 제3(48a~48c) 오리피스를 포함하고, 압력유체출력포트(14)를 향해 상기 압력유체를 각각 유도하는 제4 내지 제6통로(38,40,42)를 전환하는 제1 내지 제3 온오프밸브를 가지는 유로전환부(22)를 포함한다.
유량제어장치

Description

유량제어장치{FLOW RATE CONTROL APPARATUS}
도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 유량제어장치를 축선방향으로 바라본 길이방향단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 유량제어장치의 회로도이다.
도 3은 도 1에 도시된 유량제어장치의 일부분을 이루는 베이스부의 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 베이스부의 분해 사시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 유량제어장치의 일부분을 이루는 유로전환부의 길이방향 확대단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 유로전환부의 밸브플러그가 변위된 상태의 길이방향 확대단면도이다.
도 7은 압력제어부에 선형솔레노이드밸브가 설치된 또 다른 실시예의 길이방향 단면도이다.
도 8은 유로전환부에 선형솔레노이드밸브가 설치된 또 다른 실시예의 길이방향 단면도이다.
도 9는 선형솔레노이드밸브가 압력제어부와 유로전환부에 각각 설치된 또 다른 실시예의 길이방향 단면도이다.
도 10은 도 1에 도시된 유량제어장치가 반도체 제조장치에 연결된 상태를 도시한 블럭도이다.
도 11은 도 1에 도시된 유량제어장치의 압력유체출력포트가 챔버에 연결된 복수의 포트로 분기하는 상태를 도시한 블럭도이다.
도 12는 도 11에 도시된 유량제어장치의 회로도이다.
도 13은 도 11에 도시된 유량제어장치의 일부분을 이루는 베이스부를 도시한 분해사시도이다.
도 14는 본 발명의 실시예2에 따른 유량제어장치의 회로도이다.
도 15는 도 14에 도시된 유량제어장치의 압력유체출력포트가 복수의 포트로 분기하는 회로도이다.
도 16은 본 발명의 실시예3에 따른 유량제어장치의 축선방향에서 바라본 길이방향 단면도이다.
도 17은 도 16에 도시된 유량제어장치의 변형예를 도시한 길이방향 단면도이다.
도 18은 본 발명의 실시예4에 따른 유량제어장치의 축선방향에서 바라본 길이방향 단면도이다.
도 19는 도 18에 도시된 유량제어장치의 베이스부의 분해사시도이다.
도 20은 도 18에 도시된 유량제어장치의 차동압력센서를 도시한 길이방향 부분확대 단면도이다.
도 21은 도 20에 도시된 차동압력센서의 작동원리를 도시한 개략도이다.
도 22는 본 발명의 실시예5에 따른 유량제어장치의 축선방향에서 바라본 길이방향 단면도이다.
도 23은 도 22에 도시된 유량제어장치의 베이스부의 분해사시도이다.
도 24는 제3플레이트에 설치되는 수정기구의 확대된 부분절단도이다.
도 25는 수정기구가 설치되지 않았을 때 얻어지는 기능을 도시한 개략구조도이다.
도 26은 수정기구가 설치될 때 얻어지는 기능을 도시한 개략구조도이다.
본 발명은 압력유체의 유량을 고정밀도로 제어하는 것에 의해 안정적인 출력을 얻을 수 있는 유량제어장치에 관한 것이다.
예를 들어, 일본특개8-35506은 복수의 금속플레이트를 적층하여 구성되고, 상기 금속플레이트의 표면에 대해 수직으로 형성된 관통홀과 비관통홀을 포함하는 플로우통로를 유체제어유니트를 개시하고 있다.
상기 유체제어유니트의 경우, 유체간섭영역과 상기 관통홀과 비관통홀을 포함하는 플로우통로는 상기 복수의 금속플레이트의 프레스 가공에 의해 형성된다. 또한, 상기 플레이트의 각각의 면이 연말입자로 가공된 후에, 상기 각 금속플레이트는 확산접합 또는 납접합에 의해 적층접합된다. 따라서, 기하학적 형상의 정확도 와 함께, 고신뢰성의 접합부와 높은 치수정도를 가지는 소형의 고정밀 유체소자를 얻는 것이 가능하다.
그러나, 기계구동부가 일본특개8-35506에 공지된 유량 제어 유니트에 전혀 설치되지 않았다. 그러므로, 유체 제어 회로가 유체 제어 유니트 및 상기 제어 유니트 상류 및 하류측에 연결되는 레귤레이터 및 센서와 같은 유체소자를 사용하여 구성되면, 상기 유체 제어 유니트와 상기 레귤레이터 및 센서와 같은 유체소자 사이의 효과적인 매칭을 확실하게 하는 설정작업을 수행하는 것이 필요하다.
또한, 출력으로써 얻어지는 상기 유체의 유량의 제어정밀도는 상기 유체 제어 유니트와 상기 레귤레이터 및 상기 센서와 같은 유체소자 사이의 매칭 정도에 상응하게 된다.
본 발명의 일반적인 목적은, 그 통로를 흐르는 유체의 유량을 제어하는 유로전환부와 압력제어부가 적층구조를 포함하는 베이스부와 일체로 설치되어, 상기 유체의 유량이 안정적으로 고정밀도로 제어될 수 있는 유량제어장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명에 의하면, 적층구조를 가지는 베이스부는 상기 베이스부 내에 형성된 통로를 통해 흐르는 압력유체(예를 들어, 가스)의 압력을 조절하는 압력제어부와, 상기 압력유체의 조절된 압력을 탐지하는 압력센서와, 일정한 압력을 가지도록 조절되는 압력유체용 통로를 전환하는 유로전환부를 포함하고, 상기 압력센서와 상 기 유로전환부는 각각 상기 베이스부에 조합된 형태로 일체적으로 설치된다. 따라서, 종래기술과 달리, 특별한 매칭작업을 수행할 필요가 없다. 또한, 예를 들어 도시되지 않은 가스공급원의 소스압력이 변동해도, 상기 압력유체의 유량은 고정밀도로 제어될 수 있어서, 상기 압력유체는 안정적인 유량으로 출력될 수 있다.
상기 통로를 통해 흐르는 유체의 유량을 제어하는 상기 유로전환부와 상기 압력제어부는 상기 적층구조의 베이스부와 일체로 설치되기 때문에, 상기 유체의 유량을 안정적이고 고정밀도로 제어할 수 있다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시적인 예로 보여주는 첨부되는 도면과 연계된 다음의 설명에 의해 명백해질 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 관통 또는 비관통홀로 구성되는 압력유체통로와, 압력유체입력포트(12)와, 압력유체출력포트(14)와, 압력센서포트(16)를 가지고, 복수의 플레이트(24a~24e)를 일체로 적층되어 형성되고, 밸브플러그(26)로써 작용하는 다이아프램이 상기 플레이트(24a,24b) 사이에 개재되는 베이스부(18); 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 조절하는 상기 베이스부(18)의 측면에 설치되는 압력제어부(20); 상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력센서포트(16)와 연통하며, 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 검출하는 압력센서(78); 및 상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력제어 부(20)에 의해 압력이 제어된 압력유체가 상기 압력유체출력포트(14)를 향해 흐르도록 상기 압력제어부(20) 및 상기 압력유체출력포트(14)와 연결되는 상기 통로(38,40,42)를 전환하는 유로전환부(22)를 포함하는 유량제어장치이다.
또, 상기 압력제어부(20)는 압전/전왜 소자(56)를 가지는 압전/전왜 액츄에이터를 포함하고, 상기 베이스부(18)에는 상기 밸브플러그(26)를 착좌시키는 자리부(28)가 형성되며, 상기 밸브플러그(26)와 상기 자리부(28a~28d) 사이에 이격거리는 상기 압전/전왜 액츄에이터의 구동작용하에 제어되는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 압력제어부(20)는 솔레노이드부(59)에 작용되는 전력량에 비례하여 발생되는 전자기력에 의해 밸브로드(62)를 변위시키는 선형 솔레노이드밸브(64)를 포함하고, 상기 베이스부(18)에는 상기 밸브플러그(26)을 착좌시키는 자리부(28a~28d)가 형성되며, 상기 밸브플러그(26)와 상기 자리부(28a~28d) 사이에 이격거리는 상기 선형 솔레노이드밸브(64)의 구동작용하에 제어되는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 유로전환부(22)는 솔레노이드작동밸브(76)의 가세/감세 작용하에 공급되는 파일롯 압력에 기초하여 변위가능한 피스톤(70)을 가지는 온오프밸브(46a~46c)와, 상기 피스톤(70)과 일체로 변위가능한 피스톤로드(72)를 포함하고, 상기 베이스부(18)에는 상기 밸브플러그(26)을 착좌시키는 자리부(28a~28d)가 형성되며, 상기 압력유체흐름은 상기 온오프밸브(46a~46c)의 온오프작용에 따라 개폐되는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 베이스부(18)는 상기 압력유체출력포트(14) 또는 복수의 압력유체 출력포트(14a~14c)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 관통 또는 비관통홀로 구성되는 압력유체통로와, 압력유체입력포트(12)와, 압력유체출력포트(14)와, 압력센서포트(16)를 가지고, 복수의 플레이트(24a~24e)를 일체로 적층되어 형성되고, 밸브플러그(26)로써 작용하는 다이아프램이 상기 플레이트(24a,24b) 사이에 개재되는 베이스부(18); 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 조절하는 상기 베이스부(18)의 측면에 설치도는 압력제어부(20); 상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력센서포트(16)와 연통하며, 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 검출하는 압력센서(78); 및 상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력유체가 소정의 유량을 가지도록 상기 압력제어부(20)에 의해 압력이 제어된 압력유체를 제어하는 제어밸브(21a~21c)와, 상기 제어밸브(21a~21c)를 통해 흐르는 상기 압력유체의 압력을 검출하는 타압력센서(78a~78c)와, 상기 압력유체가 소정의 유량을 가지도록 상기 제어밸브(21a~21c)에 의해 압력이 조절된 상기 압력유체를 조절하는 스로틀기구(48a~48c)를 포함하고, 상기 압력유체출력포트(14)와 연통하여 상기 통로를 전환제어하는 유로전환제어부(102)를 포함하는 유량제어장치이다.
또, 상기 제어밸브(21a~21c) 각각은 솔레노이드부(59)에 작용되는 전력량에 비례하여 발생되는 전자기력에 의해 밸브로드(62)를 변위하는 선형 솔레노이드밸브(64)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 제어밸브(21a~21c) 각각은 가스 공급 및 배출 밸브로써 작용하는 한쌍의 솔레노이드작동밸브(202a,202b)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 제어밸브(21a~21c) 각각은 열팽창식 액츄에이터를 포함하고, 상기 열팽창식 액츄에이터는 상기 다이아프램의 상측에 배치되어 그 내부에 액체(210)가 담겨진 공동(212)을 포함해서, 상기 다이아프램이 히터(218)로 상기 액체(210)를 가열하는 것에 의해 상기 액체(210)가 팽창될 때 플렉시블하게 휘어지는 것을 특징으로 한다.
또, 상기 액체는 절연특성 및 불활성 특성을 가지는 액체로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또, 관통 또는 비관통홀로 구성되는 압력유체통로와, 압력유체입력포트(12)와, 압력유체출력포트(14)와, 압력센서포트(16)를 가지고, 복수의 플레이트(403a~403e)를 일체로 적층되어 형성되고, 밸브플러그(26)로써 작용하는 다이아프램이 상기 플레이트(403a,403b) 사이에 개재되는 베이스부(18); 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 조절하는 상기 베이스부(18)의 측면에 설치도는 압력제어부(20); 및 상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 유량을 검출하는 유량센서(402)를 포함하고, 상기 베이스부(18)를 이루는 상기 복수의 플레이트(403a~403e)에 포함되는 중간 플레이트에는 상기 통로를 통해 흐르는 상기 압력유체의 흐름을 안정화시키기 위하여 동일 및 다른 직경을 가지는 복수의 작은홀(406)로 구성되는 수정기구(404)가 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 유량제어장치(10)는 일체로 적층되어 결하된 플레이트와 같은 기 능을 하는 복수의 금속플레이트를 포함하고 그 저면에 각각 형성된 압력유체입력포트(12), 압력유체출려포트(14) 및 압력센서포트(16)를 가지는 베이스부(18)와, 상기 베이스부(18)의 상면에 설치되고 상기 베이스부(18)에 형성된 통로를 통하여 흐르는 압력유체의 압력을 제어하는 압력제어부(20)(후술됨)와, 상기 압력제어부(20)에 근접하여 상기 베이스부(18)의 상면에 설치되고 상기 압력유체출력포트(14)와 연통되는 통로를 전환하는 유로전환부(22)를 포함한다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 직사각형의 단면을 가지는 복수의 금속프레이트로 구성되는 제1 내지 제5 플레이트(24a~24e)와, 상기 제1플레이트(24a)와 제2플레이트(24b) 사이에 개재되고 플렉시블한 수지로 제조된 박막의 다이아프램에 의해 형성되며 상기 압력제어부(20)와 상기 유로전환부(22)에 대하여 공통으로 위치하는 밸브플러그(26)를 포함한다. 적층구조로 구성되는 상기 제1 내지 제5 플레이트(24a~24e)는 금속플레이트로 제한될 필요는 없다. 예를 들어 상기 제1 내지 제5 플레이트(24a~24e)는 또한 세라믹재료 또는 수지재료로 형성될 수 있다. 상기 다이아프램에 의해 형성되는 상기 밸브플러그(26)는 금속재료 또는 고무재료로 구성될 수 있다.
이런 경우에, 상기 압력유체가 흐르는 복수의 통로(후술함)는 관통홀과 비관통홀에 의해 상기 베이스부(18) 내에 형성된다. 또한, 상기 밸브플러그(26)가 착좌되는 자리부(28(28a~28d))가 환상의 돌기에 의해 형성된다.
통로는, 상기 베이스부(18)의 저면에 형성된 상기 압력유체입력포트(12)와 상기 베이스부(18)의 상면에 설치된 상기 압력제어부(20) 사이를 연통하고 또한 상 기 적층된 제2 내지 제5플레이트(24b~24e)를 수직방향으로 관통하는 제1통로(30)와, 상기 압력제어부(20)의 상기 밸브플러그(26)가 상기 자리부(28a)로부터 이격될 때 형성되는 갭을 통해 상기 제1통로(30)와 연통하고 또한 상기 제3플레이트(24c)에 형성된 T자 형상의 단면을 가지는 그루브(32)를 경유하여 상기 유로전환부(22)와 연통하는 는 제2통로(34)와, 상기 제2통로(34)의 중간위치로부터 수직아래방향으로 연장되고 또한 상기 압력센서포트(16)와 연통하는 제3통로(36)와, 상기 제2통로(34)의 말단으로부터 3방향으로 각각 분기하는 제4 내지 제6통로(38,40,42)와, 상기 제4 내지 제6통로(38,40,42)와 결합하여 상기 압력유체출력포트(14)와 연통하는 제7통로(44)를 포함한다.
상기 제4 내지 제6통로(38,40,42)에는 통로전환작업을 수행하도록 각각의 통로를 개폐하도록 작동하는 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)가 설치되고, 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)의 하류측에 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c)가 위치하여 상기 각각의 통로를 통해 흐르는 상기 압력유체의 유량을 조절해서 이로 인해 각각의 소정의 유량을 제공한다.
다음으로, 상부 위치로부터 차례로 상기 베이스부(18)을 형성하는 적층구조를 이루는 상기 제1 내지 제5 플레이트(24a~24e)의 형상에 관해 설명한다.
상기 베이스부(18)의 상면에 위치하는 상기 제1플레이트(24a)에는 원형의 단면을 가지는 관통하는 제1연결포트(50a)와, 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)가 각각 연결되는 원형의 단면을 가지는 관통하는 제2 내지 제4 연결포트(50b~50d)가 형성된다. 후술하는 바와 같이, 압전/전 왜(piezoelectric/electricstrictive) 액츄에이터 또는 선형 솔레노이드가 상기 제1연결포트(50a)에 연결된다.
상기 제1플레이트(24a)의 저면에 적층되는 상기 제2플레이트(24b)에는 상기 제1 내지 제4 연결포트(50a~50d)의 위치에 상응하는 4개의 원형의 오목부(52)가 형성된다. 상술한 바와 같이 시트형상의 다이아프램으로 구성되는 밸브플러그(26)는 상기 제1플레이트(24a) 및 상기 제2플레이트(24b) 사이에 개재된다. 상기 밸브플러그(26)를 자리시키기 위한 자리부(28)로써 작용하는 환상의 돌기가 상기 원형의 오목부(52)의 중심에 형성된다. 상기 제2통로(34)(제4 내지 제6통로(38,40,42))로써 작용하는 관통홀이 상기 환상의 돌기에 근접위치하는 부분에 형성된다.
이런 경우에, 복수의 환상의 돌기 중에 하나는 상기 압력제어부(20)의 상기 밸브플러그(26)용 상기 자리부(39a)를 형성한다(인접하는 관통홀은 제2통로(34)를 형성한다). 상기 나머지 3개는 상기 유로전환부(22)를 이루는 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)의 상기 밸브플러그(26)용 상기 자리부(28b~28d)를 형성한다(인접하는 관통홀은 제4 내지 제6 통로(38,40,42)를 각각 형성한다).
상기 제2플레이트(24b)의 저면에 적층되는 상기 제3플레이트(24c)에는 대략 T자 형상의 단면을 가지는 그루브(32)와, 상기 압력유체입력포트(12)와 연통하고 상기 제1통로(30)로써 작용하는 작은홀과, 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)의 상기 자리부(28b~28d)를 통해 흐르는 압력유체의 유속을 조절하여 소정의 유량을 얻도록 하는 제1 내지 제3오리피스(48a~48c)가 설치된다.
상기 3개의 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c)의 바림직한 단면적은 서로 동일 하게 설정되거나, 서로 다르게 설정되는 것이다. 바람직한 단면적은 도시되지 않은 컨트롤러 내에 기지의 값으로 미리 입력된다고 가정된다.
상기 제4플레이트(24d)는 상기 압력유체입력포트(12)와 연통하는 제1통로(30)로서 작용하는 원형의 단면을 가지는 작은홀과, 상기 압력센서포트(16)와 연통하는 제3통로(36)로써 작용하는 원형의 단면을 가지는 또 다른 작은홀과, 선형 그루브의 형태로 제7통로(44)를 각각 포함한다.
상기 제5플레이트(24e)는, 그 일단부에 인접하게 위치하는 원형의 단면을 가지는 작은홀로 구성되는 상기 압력유체입력포트(12)와, 그 중심부에 위치하는 원형의 단면을 가지는 홀로 구성되는 상기 압력센서포트(16)와, 그 타단부에 인접하게 위치하는 원형의 단면을 가지는 작은홀로 구성되는 하나의 압력유체출력포트(14)를 포함한다.
상기 압력제어부(20)는 제어밸브(21)와, 후술하는 압력센서(78)를 포함한다(도 2 참조). 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제어밸브(21)는, 상기 베이스부(18)의 상기 제1플레이트(24a)의 원형의 홀에 설치되는 하우징(54)와, 예를 들어 소결 세라믹 압전/전왜 소자의 적층구조로 이루어지는 압전소자로써 그 노출되는 단말부(55)에 소정의 전압을 작용하여 발생되는 압전/전왜 효과의 결과로써 변위될 수 있는 압전/전왜 소자(56)와, 상기 압전/전왜 소자(56)의 단부에 연결되는 연결부재(58)와, 상기 압전/전왜 소자(56)를 지지하는 비전체로 형성된 지지부재(60)를 포함한다.
상기 압전/전왜 소자(56)에 연결되는 상기 연결부재(58)는 상기 밸브플러 그(26)로써 작용하는 다이아프램에 맞접하는 선단부를 가진다. 상기 압전/전왜 소자(56)가 변위되면, 상기 밸브플러그(26)와 상기 자리부(28a) 사이의 이격거리(갭)가 제어될 수 있다.
상기 압력제어부(20)의 상기 제어밸브(21)는 상술한 바와 같이 상기 압전/전왜 소자(56)을 가지는 압전/전왜 액츄에이터에 한정되지 않는다. 도 7에 도시된 바와 같이, 솔레노이드밸브(89)에 작용되는 전력량에 비례하는 전자기력을 발생하는 선형 솔레노이드밸브(64)가 선택적으로 설치되어서, 상기 발생된 전자기력에 의해스프링부재(61)의 스프링력에 대해 밸브로드(62)를 변위시킨다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 유로전환부(22)는, 상기 베이스부(18)의 제1플레이트(24a)의 다른 원형의 홀에 설치되는 복수의 하우징(66a~66c)가 배치되는 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)와, 상기 각각의 하우징(66a~66c)에 실린더챔버(68) 내에 수용되고상기 실린더챔버(68)에 공급되는 파일롯압력의 압압력에 따라 변위가능한 피스톤(70)과, 상기 피스톤(70)과 연결되어 상기 피스톤(70)과 일체로 변위가능한 피스톤로드(72)와, 상기 피스톤로드(72)에 고정되고 상기 피스톤로드(72)를 가세하여 상기 밸브플러그(26)가 스프링력에 의해 하향으로 상기 피스톤로드(72)를 계속적으로 압압하는 것에 의해 상기 자리부(28b~28d)에 착좌되는 스프링부재(74)를 포함한다.
제1시일부재(75a)가 상기 피스톤(70)의 각각의 외주면에 형성된 환상의 그루브에 설치된다. 상기 피스톤로드(72)를 감싸는 제2시일부재(75b)가 상기 피스톤로드(72)가 삽입되는 상기 하우징(66a~66c)의 관통홀의 내벽 상에 형성되는 환상의 그루브에 설치된다(도 5 및 6 참조).
솔레노이드작동밸브(76)가 상기 유로전환부(22)에 추가적으로 설치된다. 특히, 상기 솔레노이드작동밸브(76)는 도시되지 않은 솔레노이드부에 작용되는 전기력의 작용하에 온상태로 위치되는 평상시 닫힘 타입으로 구성되서, 상기 실린더챔버(68)에 파일롯 압력을 제공한다.
그러므로, 상기 실린더챔버(68)에 파일롯 압력의 공급이 상기 솔레노이드작동밸브(76)의 도시되지 않은 솔레노이드부에 공급되는 전류가 없어서 오프상태로 멈춰진다. 상기 피스톤(72)의 선단부는 상기 스프링부재(74)의 스프링력에 의해 상기 자리부(28b~28d)를 향해 상기 다이아프램을 포함하는 상기 밸브플러그(26)을 압압한다. 따라서, 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)가 밸브닫힘상태로 위치하게 된다.
한편, 상기 솔레노이드작동밸브(76)의 도시되지 않은 솔레노이드부에 전기력이 작용하면, 상기 실린더챔버(68)에 파일롯 력이 공급되서, 상기 피스톤(70)이 상기 파일롯압력의 압압작용에 의해 상측으로 이동된다. 이러한 상태에서, 상기 피스톤로드(72)는 상기 스프링부재(74)의 스프링력에 반대하여 상기 피스톤(70)과 일체로 상측으로 이동된다. 따라서, 상기 다이아프램을 포함하는 상기 밸브플러그(26)는 상기 자리부(28b~28d)로부터 이격된다. 그러므로, 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)가 밸브열림상태로 위치하게 된다.
상기 유로전환부(22)의 경우는, 상기 파일롯 압력을 도입하기 위해 상기 솔레노이드작동밸브(76)가 구동되는 파일롯 타입으로 한정되지 않는다. 도 8 및 도 9 에 도시된 바와 같이, 솔레노이드부(59)에 작용하는 전력량에 비례하는 전자기력을 발생키는 선형 솔레노이드밸브(64)가 또한 설치되어서, 전자기력에 의해 밸브로드(62)를 변위시킨다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압력센서(78)는 상기 베이스부(18)의 저면의 중심부에 형성되는 상기 압력센서포트(16)에 설치된다. 상기 압력센서포트(16)로부터 도입되는 압력유체의 압력은 상기 압력센서(78)에 의해 감지된다. 상기 압력센서(78)에 의해 감지되는 상기 압력유체의 압력은 상기 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c)의 상류측에 위치되는 제2통로(34)에서의 압력이다. 상기 압력센서(78)에 의해 감지되는 검출신호는 도시되지 않은 컨트롤러에 공급된다.
상기 도시되지 않은 컨트롤러는 상기 압력센서(78)로부터의 검출신호출력 및 미리 입력된 상기 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c)의 각각의 바람직한 단면적에 관한 데이터에 기초하여 계산동작을 수행한다. 따라서, 상기 압력유체출력포트(14)로부터 방출되는 상기 압력유체의 유량이 고정밀도로 결정될 수 있다.
본 발명의 실시예1에 따른 상기 유량제어장치(10)는 기본적으로 상술한 바와 같이 구성된다. 다음에, 그 작동, 기능, 및 효과에 대해 설명한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 실시예1에 따른 상기 유량제어장치(100는 예를 들어, 반도체 제조장치에 설치되는 챔버(80)의 상류측에 배치되어서, 상기 챔버(80)에 소정의 유량의 가스를 공급하도록 사용된다.
가스공급원(82)이 상기 압력유체입력포트(12) 및 상기 제1통로(30)를 경유하여 상기 압력제어부(20)에 가스를 도입하도록 가세된다. 이 상태로, 상기 압력제 어부(20)에서 상기 압전/전왜 소자(56)를 소정의 길이로 변위시키기 위해 도시되지 않은 컨트롤러로부터 유도된 제어신호에 기초하여 소정의 전압이 상기 압전/전왜 소자(56)에 작용된다. 따라서, 상기 자리부(28a)와 상기 다이어프램을 포함하는 상기 밸브플러그(26) 사이의 갭이 근접하게 된다. 상기 갭을 통해 흐르는 상기 가스의 압력이 일정한 값으로 유지된다.
상기 압력조절부(20)에 의해 압력이 조절되는 가스는 상기 압력센서포트(16) 및 상기 제2통로(34)의 중간위치로부터 분기하는 상기 제3통로(36)를 경유하여 상기 압력센서(78) 내에 도입된다. 상기 가스의 압력값은 상기 압력센서(78)로부터 유도되는 검출신호를 통해 상기 도시되지 않은 컨트롤러에 입력된다.
상술한 바와 같이 상기 압력제어부(20)에 의해 압력이 조절되는 가스는 상기 제2통로(34)를 경유하여 상기 유로전환부(22) 내에 유입된다. 상기 가스는 상기 유로전환부(22)를 이루는 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)의 솔레노이드작동밸브(76)에 작용되는 전력의 작용하에 상기 통로를 개방하는 상기 하나 또는 복수의 온오프밸브(46a(46b,46c))를 통해 흐른다. 또한, 상기 가스는 하류측에 배치되는 상기 오리피스(48a(48b,48c))에 의해 조절되서, 소정의 유량을 공급하게 된다. 그 후에, 상기 가스는 상기 압력유체출력포트(14)로부터 상기 제7통로(44)를 통해 방충된다.
이 과정동안, 도시되지 않은 컨트롤러로부터 제어신호가 상기 유로전환부(22)에서 소정의 솔레노이드작동밸브(76)을 가세하기 위하여 상기 솔레노이드작동밸브(76)에 공급된다. 따라서, 파일롯압력이 상기 실린더 챔버(68)에 도입된다. 상기 피스톤(70)과 상기 피스톤로드(72)는 상기 파일롯압력의 작용하에 위로 이동된다. 상기 다이아프램으로 구성되는 상기 밸브플러그(76)는 상기 자리부(28b~28d)로부터 이격되고, 여기서 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c) 중 어느 하나가 온상태로 위치하게 된다(즉, 하나 또는 복수의 온오프밸브가 사용가능하게 될 수 있다). 따라서, 상기 제4 내지 제6통로(38,40,42) 중 원하는 통로가 개방된다. 상기 제4 내지 제6통로(38,40,42) 중 어느 하나로부터 가스가 출력되는 통로는 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c) 중 어느 하나를 가세하는 것에 의해 전환될 수 있어서, 상술한 바와 같이 상기 솔레노이드작동밸브(76)에 의해 오프상태로부터 온상태로 전환된다.
상술한 바와 같이, 흐르는 가스의 압력이 상기 압력조절부(20)에 의해 소정의 압력으로 유지될 때, 상기 압력유체출력포트(14)로부터 방출되는 가스의 유량은 도시되지 않은 컨트롤러에 의해 상기 가스가 통과하는 상기 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c)의 바람직한 단면적에 기초하여 계산된다.
상기 압력유체출력포트(14)로부터 방출되는 가스는 상기 반도체 제조 장치의 상기 챔버(80) 내에 공급된다.
본 발명의 실시예에서, 상기 베이스부(18)의 통로를 통해 흐르는 압력유체(예를 들어, 가스)의 압력을 조절하는 상기 압력조절부(20)와, 상기 압력이 조절된 압력유체의 압력을 검출하는 상기 압력센서(78)와, 일정한 압력을 가지도록 조절되면서 상기 압력유체용 유로를 전환하는 상기 유로전환부(22)는 상기 적층구조의 베이스부(18)의 상면에 각각 일체로 결합된다. 따라서, 종래기술과 달리, 이러한 요 소의 매칭작업을 수행하는 것이 불필요하다. 또한, 예를 들어 상기 가스공급원(82)의 소스압력이 변동될 때에도, 상기 유력유체의 유량은 고정밀도로 조절되어 안정적인 유량의 압력유체를 출력하는 것이 가능하다.
도 11 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 출력포트가 상기 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c)를 통해 일체화된 연이은 통로로 통로를 합치는 것에 의해 하나의 압력유체출력포트(14)로 이루어지는 것이 아닌 또 다른 유량제어장치(10a)가 설치될 수 있다. 오히려, 상기 유량제어장치(10a)에서, 상기 출력은 평행하게 각각 분기하여서, 상기 복수의 압력유체출력포트(14a~14c)로부터 동시에 출력되거나, 하나 또는 복수의 압력유체출력포트로부터 선택적으로 출력되게 된다.
도 11에 도시된 바와 같이, 소정의 유량의 가스가 상기 복수의 압력유체출력포트(14a~14c)로부터 출력되면, 상기 챔버(80) 내에 3개의 방향으로 상기 가스가 동시에 공급될 수 있어서 상기 챔버(80) 내에 상기 가스가 고르고 일정하게 공급될 수 있어서 바람직하다. 예를 들면, 상기 챔버(80)가 도시되지 않은 분할벽에 의해 3개의 서브챔버로 분리되면, 바람직하게 상기 가스는 상기 3개의 분리된 서브챔버에 동시에 공급될 수 있다.
다음으로, 본 발명의 실시예2에 따른 유량제어장치(100)가 도 14에 도시된 다. 후술하는 실시예에서, 상술한 실시예1과 동일한 구성요소는 동일한 참조번호를 사용하여 지칭되고, 그 특징의 상세한 설명은 생략된다.
도 14에 도시된 실시예2에 따른 상기 유량제어장치(100)는 상기 유로전환부(22)를 대체하여 유로전환제어부(102)가 배치되는 점에서 선행하는 실시예의 장 치와 다르다. 상기 유량전환제어부(102)는 예를 들어 상기 제1 내지 제3 온오프밸브(46a~46c)에 대신하여 제어밸브(21a~21c)로써 상술한 상기 선형 솔레노이드밸브(64)를 사용한다. 또한, 타압력센서(78a~78c)가 상기 선형 솔레노이드밸브(64)와 상기 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c) 사이에 각각 설치된다.
이러한 배치에서, 상기 타압력센서(78a~78c)가 수직방향으로 배치되는 도시되지 않은 통로를 경유하여 유입되는 가스의 압력을 감지하기 위하여 상기 적층구조의 베이스부(18)의 저부에 설치되고, 상기 제4 내지 제6통로(38,40,42)에 각각 연통한다. 소정의 유량이 상기 타압력센서(78a~78c)의 각각으로부터 공급되는 압력값과 상기 제1 내지 제3 오리피스(48a~48c)의 각각의 바람직한 단면적에 상응하는 검출신호에 김초하여 설정된다.
기준압력이 상류측에 위치한 상기 압력제어부(20)에 설치된 상기 압력센서(78)에 의해 검출될 수 있으며, 반면에 상기 기준압력 부근의 압력은 상기 유로전환제어부(102)에 설치된 상기 타압력센서(78a~78c)에 의해 정확하게 검출될 수 있다.
도 15는 상기 실시예2에 따른 상기 유량제어장치(100)의 상기 하나의 압력유체출력포트(14)가 3개의 각각의 압력유체출력포트(14a~14c)로 분기하는 개량된 실시예에 따른 유량제어장치(100a)를 도시한다. 다른 배치, 작용 및 효과는 상기 실시예2와 동일하며, 그러므로 상세한 설명은 생략한다.
다음으로, 도 16에 도시된 실시예3에 따른 유량제어장치(200)이 도시된다. 실시예3에 따른 상기 유량제어장치(200)는 가스공급밸브 및 가스방출밸브를 이루는 2개의 솔레노이드작동밸브(온오프밸브)(202a,202b)가 온오프 작동을 하도록 하여 각각 제어밸브로써 작용하는 것을 특징으로 한다.
즉, 가스 공급 및 방출 밸브로써 각각 작용하는 상기 2개의 솔레노이드작동밸브(202a,202b)는 상기 다이아프램의 상측에 배치되는 공간부(204)에 공급되는 파일롯압력을 제어하기 위해 도시되지 않은 컨트롤러로부터 공급되는 제어신호(펄스신호)를 기초로 하여 각각 온오프 작동되도록 한다. 따라서, 상기 밸브플러그(26)(다이아프램)과 상기 자리부(26a) 사이의 이격거리에 따라 상기 밸브가 개방되는 정도로 인하여 고정밀도로 제어될 수 있다.
도 17은 상기 2개의 솔레노이드작동밸브(202a,202b)를 대신하여 열팽창식 액츄에이터를 가지는 개량된 실시예에 기초한 유량제어장치(200a)를 도시한다.
상기 유량제어장치(200a)에서, 유체(210)를 내포하는 공동(空洞)(212)이 상기 밸브플러그(26)로써 작용하는 상기 다이아프램의 상측에 배치된다. 리드와이어(214)에 연결된 전극(216)을 통해 전력이 작용되는 히터(218)이 상기 액체(210)를 가열하여 상기 액체(210)가 팽창하게 된다. 따라서, 상기 다이아프램은 상기 밸브개방의 정도를 고정밀도로 제어하기 위해 플렉시블하게 휘어진다.
상기 액체(210)에 있어서, 다음과 같은 이유로 절연특성과 불활성 특성을 가지는 예를 들어 풀루오르이너트(Fluorinert)(등록상표)와 같은 액체를 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 이러한 액체 때문에 상기 전극(216)에 대하여 절연이 유지될 수 있고, 상기 전극(216)이 부식에 대해 보호될 수 있다.
다음으로, 실시예4에 따른 유량제어장치(300)가 도 18에 도시된다. 실시예4 에 따른 상기 유량제어장치(300)는 스로틀(throttle)로써 작용하는 오리피스(302)의 상류측과 하류측 사이의 차압을 각각 감지하는 차압센서(304)가 도 1에 도시된 상기 유량제어장치(10)의 상기 압력센서(78)을 대체하여 배치되는 것을 특징으로 한다. 상기 유량은 상기 차압센서(304)에 의해 감지된 차압을 기초로 하여 검출된다.
도 19는 제1 내지 제5 플레이트(24a,24b,306c~306e)를 적층하는 것에 의해 형성되는 베이스부(308)를 도시한다. 상기 차압센서(304)용 복수의 부착포트(309a,309b)가 최하층에 배치되는 상기 제5플레이트(306e)에 설치된다.
도 20에 도시된 바와 같이, 상기 차압센서(304)는 제1압력지지 다이아프램(310) 및 제2압력지지 다이아프램(312)과, 상기 제1압력지지 다이아프램(310) 및 제2압력지지 다이아프램(312) 사이에 배치되는 한쌍의 상호 반대되는 전극(314a,314b)과, 유연하게 휠 수 있고 상기 한쌍의 전극(314a,314b) 사이에 배치되는 중간 다이아프램(중간 전극)(316)을 포함한다. 상기 제1압력지지 다이아프램(310) 및 제2압력지지 다이아프램(312) 각각에 의해 폐쇄되는 공간부(318) 내에 실리콘 오일(320)이 내장된다.
이러한 배치에서, 상기 오리피스(302)의 상류측과 연통하는 상기 통로(322)를 통해 유입되는 상기 압력유체의 압력 A가 상기 제1압력지지 다이아프램(310)에 작용한다. 한편, 상기 오리피스(302)의 하류측과 연통하는 상기 통로(324)를 통해 유입되는 상기 압력유체의 압력 B가 상기 제2압력지지 다이아프램(312)에 작용한다.
상기 압력 A가 상기 압력 B보다 크면(압력 A > 압력 B), 상기 중간 다이아프램(316)은 상기 도 21에서 파선에 의해 도시된 바와 같이, 차압의 크기에 따라 상기 제2압력지지 다이아프램(312)를 향해 유연하게 휘게 된다. 그러므로, 상기 한쌍의 반대되는 전극(314a,314b)와 중간 전극으로써 작용하는 상기 중간 다이아프램(316) 사이에 위치관계가 변화한다. 또한, 상기 한쌍의 전극(314a,314b) 사이의 전기용량(capacitance)이 변화한다. 전기용량의 변화는 출력단부(326a,326b)로부터의 차압 신호로써 유도될 수 있다.
다음으로, 실시예5에 따른 유량제어장치(400)이 도 22에 도시된다. 실시예5에 따른 상기 유량제어장치(400)는 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems) 기술에 의해 실리콘 칩에 설치되는 열선(Thermal wire)의 온도변화에 기초하여 유량을 검출하는 유량센서(402)가 도 1에 도시된 상기 유량제어장치(10)의 상기 압력센서(78)을 대체하여 배치된 점에 특징이 있다.
도 23은 제1 내지 도 5 플레이트(403a~403e)를 적층하는 것에 의해 구성되는 베이스부를 도시한다. 그 중간의 제3플레이트에 상기 유량센서(402)에서 안정한 신호를 얻기 위하여 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체(가스)의 흐름을 안정화시키기 위해 동일한 직경과 다른 직경을 가지는 복수의 작은홀(406)(도 24 참조)으로 구성되는 수정기구(404)가 설치된다. 최하층에 배치되는 상기 제5 플레이트(403e)의 내부에 센서부착포트(405)가 설치된다.
예를 들어, 도 25에 도시된 바와 같이, 상기 밸브플러그(26)를 통과하는 가스가 실질적으로 직각 또는 특정의 각으로 절곡된 유로를 통하여 상기 유량센 서(402) 내로 흐른다. 그러나, 유속분배가 상기 유로의 절곡부(408)에서 불균일하게 되고, 이러한 영향이 동시에 상기 유량센서(402)가 부착된 관부에 미치게 된다. 그러므로, 유량의 검출정밀도가 저하될 우려가 있다. 대응책으로써, 상기 유로의 상기 굴곡부(408)로부터 상기 유량센서(402)에 이르는 직선 배관부가 유속분배가 안정화될 수 있도록 특정의 길이로 형성될 수 있다. 그러나, 이렇게 되면, 제품의 크기가 커지는 문제점이 발생한다.
따라서, 상기 제품을 소형화시키기 위해 도 26에 도시된 바와 같이, 복수의 작은홀(406)을 가지는 상기 수정기구(404)가 상기 절곡부(408)에 근접하게 배치되는 상류측에 설치되서, 상기 유량센서(402)가 상기 유로의 상기 절곡부(408)에 상대적으로 근접한 위치에 배치될 수 있다. 상기 수정기구(404)는 형상, 크기, 배치의 관점에서 유로저항을 제공해서, 상기 유속분배가 상기 유로의 상기 절곡부(408)를 통해 통과한 후에도 안정화된다. 상기 수정기구(404)의 유로저항은 관로 내에 상기 유속분배를 변화시키도록 제공된다. 또한 압력손실이 감소되어 상기 전체의 수정기구(404) 내에 가능한 작게 될 수 있어 바람직하다.
본 발명의 바람직한 실시예가 도시되고 상세히 설명되었지만, 청구항의 범위를 이탈하지 않으면 다양한 변경이나 변형이 가능하다는 것을 이해하여야 한다.
본 발명을 통하여 유체의 유량을 제어하는 유로전환부와 압력제어부가 적층구조를 포함하는 베이스부와 일체로 설치되어, 상기 유체의 유량이 안정적으로 고 정밀도로 제어될 수 있는 유량제어장치를 제공하는 데에 있다.

Claims (11)

  1. 관통 또는 비관통홀로 구성되는 압력유체통로와, 압력유체입력포트(12)와, 압력유체출력포트(14)와, 압력센서포트(16)를 가지고, 복수의 플레이트(24a~24e)를 일체로 적층되어 형성되고, 밸브플러그(26)로써 작용하는 다이아프램이 상기 플레이트(24a,24b) 사이에 개재되는 베이스부(18);
    상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 조절하는 상기 베이스부(18)의 측면에 설치되는 압력제어부(20);
    상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력센서포트(16)와 연통하며, 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 검출하는 압력센서(78); 및
    상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력제어부(20)에 의해 압력이 제어된 압력유체가 상기 압력유체출력포트(14)를 향해 흐르도록 상기 압력제어부(20) 및 상기 압력유체출력포트(14)와 연결되는 상기 통로(38,40,42)를 전환하는 유로전환부(22)를 포함하는 유량제어장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 압력제어부(20)는 압전/전왜 소자(56)를 가지는 압전/전왜 액츄에이터를 포함하고, 상기 베이스부(18)에는 상기 밸브플러그(26)를 착좌시키는 자리부(28)가 형성되며, 상기 밸브플러그(26)와 상기 자리부(28a~28d) 사이에 이격거리는 상기 압전/전왜 액츄에이터의 구동작용하에 제어되는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 압력제어부(20)는 솔레노이드부(59)에 작용되는 전력량에 비례하여 발생되는 전자기력에 의해 밸브로드(62)를 변위시키는 선형 솔레노이드밸브(64)를 포함하고, 상기 베이스부(18)에는 상기 밸브플러그(26)을 착좌시키는 자리부(28a~28d)가 형성되며, 상기 밸브플러그(26)와 상기 자리부(28a~28d) 사이에 이격거리는 상기 선형 솔레노이드밸브(64)의 구동작용하에 제어되는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 유로전환부(22)는 솔레노이드작동밸브(76)의 가세/감세 작용하에 공급되는 파일롯 압력에 기초하여 변위가능한 피스톤(70)을 가지는 온오프밸브(46a~46c)와, 상기 피스톤(70)과 일체로 변위가능한 피스톤로드(72)를 포함하고, 상기 베이스부(18)에는 상기 밸브플러그(26)를 착좌시키는 자리부(28a~28d)가 형성되며, 상기 압력유체흐름은 상기 온오프밸브(46a~46c)의 온오프작용에 따라 개폐되는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 베이스부(18)는 상기 압력유체출력포트(14) 또는 복수의 압력유체출력포트(14a~14c)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  6. 관통 또는 비관통홀로 구성되는 압력유체통로와, 압력유체입력포트(12)와, 압력유체출력포트(14)와, 압력센서포트(16)를 가지고, 복수의 플레이트(24a~24e)를 일체로 적층되어 형성되고, 밸브플러그(26)로써 작용하는 다이아프램이 상기 플레이트(24a,24b) 사이에 개재되는 베이스부(18);
    상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 조절하는 상기 베이스부(18)의 측면에 설치도는 압력제어부(20);
    상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력센서포트(16)와 연통하며, 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 검출하는 압력센서(78); 및
    상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 압력유체가 소정의 유량을 가지도록 상기 압력제어부(20)에 의해 압력이 제어된 압력유체를 제어하는 제어밸브(21a~21c)와, 상기 제어밸브(21a~21c)를 통해 흐르는 상기 압력유체의 압력을 검출하는 타압력센서(78a~78c)와, 상기 압력유체가 소정의 유량을 가지도록 상기 제어밸브(21a~21c)에 의해 압력이 조절된 상기 압력유체를 조절하는 스로틀기구(48a~48c)를 포함하고, 상기 압력유체출력포트(14)와 연통하여 상기 통로를 전환제어하는 유로전환제어부(102)를 포함하는 유량제어장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제어밸브(21a~21c) 각각은 솔레노이드부(59)에 작용되는 전력량에 비례하여 발생되는 전자기력에 의해 밸브로드(62)를 변위하는 선형 솔레노이드밸브(64)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 제어밸브(21a~21c) 각각은 가스 공급 및 배출 밸브로써 작용하는 한쌍의 솔레노이드작동밸브(202a,202b)를 포함하는 것을 특징으로 하 는 유량제어장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 제어밸브(21a~21c) 각각은 열팽창식 액츄에이터를 포함하고,
    상기 열팽창식 액츄에이터는 상기 다이아프램의 상측에 배치되어 그 내부에 액체(210)가 담겨진 공동(212)을 포함해서, 상기 다이아프램이 히터(218)로 상기 액체(210)를 가열하는 것에 의해 상기 액체(210)가 팽창될 때 플렉시블하게 휘어지는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 액체는 절연특성 및 불활성 특성을 가지는 액체로 구성되는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
  11. 관통 또는 비관통홀로 구성되는 압력유체통로와, 압력유체입력포트(12)와, 압력유체출력포트(14)와, 압력센서포트(16)를 가지고, 복수의 플레이트(403a~403e)를 일체로 적층되어 형성되고, 밸브플러그(26)로써 작용하는 다이아프램이 상기 플레이트(403a,403b) 사이에 개재되는 베이스부(18);
    상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 압력을 조절하는 상기 베이스부(18)의 측면에 설치도는 압력제어부(20); 및
    상기 베이스부(18)의 측면에 설치되고, 상기 통로를 통해 흐르는 압력유체의 유량을 검출하는 유량센서(402)를 포함하고,
    상기 베이스부(18)를 이루는 상기 복수의 플레이트(403a~403e)에 포함되는 중간 플레이트에는 상기 통로를 통해 흐르는 상기 압력유체의 흐름을 안정화시키기 위하여 동일 및 다른 직경을 가지는 복수의 작은홀(406)로 구성되는 수정기구(404)가 설치되는 것을 특징으로 하는 유량제어장치.
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