KR20070082923A - 외부 방전 브리지를 구비한 유도 플라즈마 소오스 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 상부에 적어도 두 개의 홀을 구비하고, 내부에 피처리 기판이 놓이는 서셉터를 갖는 플라즈마 반응 챔버;플라즈마 반응 챔버의 외측에 위치하고, 적어도 두 개의 홀에 결합되는 제1 및 제2 브리지 래그를 갖는 하나 이상의 외부 방전 브리지;하나 이상의 외부 방전 브리지와 플라즈마 반응 챔버의 내부를 경유하는 하나 이상의 제1 플라즈마 방전 패스;플라즈마 반응 챔버의 외측에서 제1 및 제2 브리지 래그 사이에 연결되는 하나 이상의 브리지 연결 튜브;하나 이상의 외부 방전 브리지와 브리지 연결 튜브를 경유하는 하나 이상의 제2 플라즈마 방전 패스;제1 유도 코일이 권선되며 제1 및 제2 플라즈마 방전 패스에 쇄교하도록 하나 이상의 외부 방전 브리지에 장착되는 환형 페라이트 코어; 및제1 유도 코일로 제1 주파수의 교류 전원을 공급하는 제1 전원 공급원을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제1 항에 있어서, 외부 방전 브리지는 플라즈마 방전을 돕는 자유 전하를 발생시키는 점화 전극을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제2 항에 있어서, 환형 페라이트 코어에 권선되어 제1 유도 코일과 유도 결합되고, 점화 전극에 전기적으로 연결되어 플라즈마 점화를 위한 기전력을 제공하는 제2 유도 코일을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제2 항에 있어서, 외부 방전 브리지는 가스 공급원에 연결되는 가스 입구에 플랜지 구조의 점화부를 구비 하고;점화 전극은 점화부를 사이에 두고 상하로 마주 대향하도록 배치되는 상부의 제1 점화 전극과 하부의 제2 점화 전극을 구비하는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제2 항에 있어서, 점화 전극은 외부 방전 브리지의 내부에 매입되는 한 쌍의 전극 봉을 포함하고, 전극 봉의 외피는 절연체로 구성되는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제1 항에 있어서, 외부 방전 브리지와 환형 페라이트 코어 사이에는 구성되는 냉각관을 더 포함하는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제1 항에 있어서, 외부 방전 브리지는: 제1 및 제2 브리지 래그를 갖는 C-형상의 중공형의 브리지 몸체;브리지 몸체의 상단 중앙 부분에 돌출되어 가스 공급원으로 연결되는 가스 입구; 및제1 및 제2 브리지 래그의 각 끝단으로서 상기 두 개의 홀에 삽입되는 제1 및 제2 가스 출구를 갖는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제7 항에 있어서, 두 개 이상의 외부 방전 브리지를 구비하고, 두 개 이상의 외부 방전 브리지는 플라즈마 반응 챔버의 상부에 병렬로 배치되는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제1 항에 있어서, 외부 방전 브리지는: 방사형으로 배치되는 적어도 네 개의 제1 내지 제4 브리지 래그를 갖는 다중 방전 브리지 몸체;브리지 몸체의 상단 중앙 부분에 돌출되어 가스 공급원으로 연결되는 가스 입구; 및제1 내지 제4 브리지 래그의 각 끝단으로서 플라즈마 반응 챔버의 상부에 방사형으로 배치된 제1 내지 제4 홀에 삽입되는 제1 내지 제4 가스 출구를 갖는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제9 항에 있어서, 다중 방전 브리지 몸체는 방사형으로 배치된 제1 내지 제4 브리지 래그의 중심부에 배치되는 공통 래그를 더 구비하고;플라즈마 반응 챔버의 상부에는 제1 내지 제4 홀의 중심부에 배치된 제5 홀이 더 구비되며;공통 래그의 끝단으로서 플라즈마 반응 챔버의 제5 홀에 삽입되는 제5 가스 출구를 갖는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제1 항에 있어서, 외부 방전 브리지는: 방사형으로 배치되는 적어도 네 개의 제1 내지 제4 브리지 래그를 갖고, 제1 내지 제4 브리지 래그의 상부에 공통으로 연결되는 원반형의 방전관 헤드를 갖는 다중 방전 브리지 몸체;방전관 헤드의 상단 중앙 부분에 돌출되어 가스 공급원으로 연결되는 가스 입구; 및제1 내지 제4 브리지 래그의 각 끝단으로서 플라즈마 반응 챔버의 상부에 방사형으로 배치된 제1 내지 제4 홀에 삽입되는 제1 내지 제4 가스 출구를 갖는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제9 항에 있어서, 다중 방전 브리지 몸체는 방사형으로 배치된 제1 내지 제4 브리지 래그의 중심부에 배치되는 공통 래그를 더 구비하고;플라즈마 반응 챔버의 상부에는 제1 내지 제4 홀의 중심부에 배치된 제5 홀이 더 구비되며;공통 래그의 끝단으로서 플라즈마 반응 챔버의 제5 홀에 삽입되는 제5 가스 출구를 갖는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 상부에 적어도 두 개의 홀을 구비하고, 내부에 피처리 기판이 놓이는 서셉터를 갖는 플라즈마 반응 챔버;플라즈마 반응 챔버의 외측에 위치하고, 적어도 두 개의 홀에 각기 연결되는 제1 및 제2 브리지 래그(bridge leg)를 갖는 하나 이상의 외부 방전 브리지;하나 이상의 외부 방전 브리지와 플라즈마 반응 챔버의 내부를 경유하는 플라즈마 방전 패스;제1 유도 코일이 권선되며 플라즈마 방전 패스에 쇄교하도록 제1 브리지 래그에 장착되는 제1 환형 페라이트 코어;제2 유도 코일이 권선되며 플라즈마 방전 패스에 쇄교하도록 제2 브리지 래그에 장착되는 제2 환형 페라이트 코어;제1 및 제2 유도 코일로 제1 주파수의 교류 전원을 공급하는 제1 전원 공급원;플라즈마 방전 패스에 플라즈마 방전을 돕는 자유 전하를 발생시키도록 외부 방전 브리지에 용량적으로 결합되는 제1 및 제2 점화 전극;제1 환형 페라이트 코어에 권선되며 제1 점화 전극에 전기적으로 연결되는 제3 유도 코일; 및제2 환형 페라이트 코어에 권선되며 제2 점화 전극에 전기적으로 연결되는 제4 유도 코일을 포함하고,제1 및 제2 유도 코일은 상호 역위상으로 기전력이 유도되어 제1 및 제2 점화 전극으로부터 플라즈마 방전을 위한 점화가 이루어지는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제13 항에 있어서, 외부 방전 브리지는 가스 공급원에 연결되는 가스 입구에 플랜지 구조의 점화부를 구비 하고;제1 및 제2 점화 전극은 점화부를 사이에 두고 상하로 마주 대향하도록 배치되는 유도 결합 플라즈마 소오스.
- 제13 항에 있어서, 제1 및 제2 점화 전극은 외부 방전 브리지의 내부에 매입되는 한 쌍의 전극 봉을 포함하고, 전극 봉의 외피는 절연체로 구성되는 유도 결합 플라즈마 소오스.
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KR20220023660A (ko) * | 2020-08-21 | 2022-03-02 | 한양대학교 산학협력단 | 플라즈마 발생장치 |
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2006
- 2006-02-20 KR KR1020060015973A patent/KR100798515B1/ko active IP Right Grant
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