KR20070081008A - 디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수측정 장치 - Google Patents

디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수측정 장치 Download PDF

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KR20070081008A
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

본 발명은 디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치에 관한 것으로, 종래기술에 따른 주파수 측정 장치의 경우, 4개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 데 2개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 것과 비교하여 2배의 측정 시간이 소요된다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은, 4개의 반도체 소자들과 각각 별도로 연결되는 복수개의 디지털 채널들을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, 각각의 디지털 채널들이 대응하는 각각의 반도체 소자들의 주파수를 측정하기 때문에, 4개의 반도체 소자들의 주파수가 동시에 측정되어, 2개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 시간과 4개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 시간이 동일하게 소요됨으로써, 복수개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 데 소요되는 시간을 절감할 수 있다.
주파수, 디지털 채널, 반도체 소자, 테스트, 신호

Description

디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치{FREQUENCY MEASURING APPARATUS USING DIGITAL CHANNEL FOR PARALLEL TESTING AGAINST SEMICONDUCTOR DEVICE}
도 1은 종래기술에 따른 주파수 측정 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 주파수 측정 장치를 나타내는 블록도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10, 50 : 주파수 측정 장치(frequency measuring apparatus)
21, 22, 23, 24, 61, 62, 63, 64 : 반도체 소자(semiconductor device)
30, 70 : 테스트 보드(test board)
41, 42, 43, 44 : 디지털 채널(digital channel)
81, 82, 83, 84 : 비교기(comparator)
91, 92 : 시간 측정 유닛(Time Measuring Unit;TMU)
95 : 스위칭 수단(switching unit)
본 발명은 반도체 소자의 테스트 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디지 털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 제조가 완료된 반도체 소자는 다수개의 데이터 입출력 핀(data input/output pin)을 통해 테스트 장치(tester)에 접속됨에 따라서, 그 성능이 제대로 발휘되는지의 여부를 검사받는다. 이 때, 테스트 장치는 반도체 소자에 대한 테스트 시간을 절감하기 위해서, 다수개의 반도체 소자들을 동시에 테스트하는 병렬 테스트(parallel test)를 실시한다. 즉, 데이터 입출력 핀의 수가 128개 이하인 반도체 소자의 경우, 8개의 반도체 소자들에 대한 병렬 테스트가 이루어지며, 데이터 입출력 핀의 수가 128개를 초과한 반도체 소자의 경우, 4개의 반도체 소자들에 대한 병렬 테스트가 이루어진다.
한편, 테스트 장치는 반도체 소자들에 공통으로 입력 신호(input signal)를 인가한 다음, 반도체 소자들로부터의 출력 신호(output signal)로부터 반도체 소자들의 주파수(frequency)를 측정하는 주파수 측정 장치를 포함한다.
종래기술에 따른 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치(50)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트 보드(70)를 매개로 복수개의 테스트 대상 반도체 소자(Device Under Test;DUT)들(61;DUT 1, 62;DUT 2, 63;DUT 3 및 64;DUT 4)과 각각 연결되어 반도체 소자들(61, 62, 63 및 64)로부터의 출력 신호의 위상을 측정하는 비교기들(81;C 1, 82;C 2, 83;C 3 및 84;C 4)과, 측정된 출력 신호의 위상 차를 산출하여 반도체 소자들(61, 62, 63 및 64)의 주파수를 측정하는 2개의 시간 측정 유닛(91;TMU 1 및 92;TMU 2)을 포함하며, 비교기들(81, 82, 83 및 84)을 선택적으로 시간 측정 유닛(91 및 92)에 연결시키는 스위칭 수단(95)을 더 포함할 수 있다.
그런데, 이러한 주파수 측정 장치(50)는 2개의 시간 측정 유닛(91 및 92)을 갖기 때문에, 주파수 측정 장치(50)를 이용하여 4개의 반도체 소자들(61, 62, 63 및 64)에 대한 병렬 테스트를 실시하는 경우, 4개의 반도체 소자들(61, 62, 63 및 64)에 대한 주파수 측정이 동시에 이루어지지 못한다. 즉, 2개의 반도체 소자들(61 및 63)의 주파수가 먼저 측정된 다음, 나머지 2개의 반도체 소자들(62, 64)의 주파수가 측정된다.
이로 인하여, 종래기술에 따른 주파수 측정 장치(50)로 4개의 반도체 소자들(61, 62, 63 및 64)의 주파수를 측정하는 경우, 2개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 경우와 비교하여 2배의 측정 시간이 소요된다.
이와 마찬가지로, 종래기술에 따른 주파수 측정 장치로 8개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 경우, 2개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 경우와 비교하여 4배의 측정 시간이 소요된다.
따라서, 본 발명의 목적은 복수개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 데 소요되는 시간을 절감할 수 있는 디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치로서, 복수개의 반도체 소자들로부터의 출력 신호를 입력 받아 각각의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 복수개의 디지털 채널들과, 디지털 채널들과 반도체 소자들 사이의 전기적 연결을 매개하는 테스트 보드를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 주파수 측정 장치에 있어서, 디지털 채널들은 반도체 소자들의 주파수를 동시에 측정할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 주파수 측정 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 주파수 측정 장치(10)는 4개의 테스트 대상 반도체 소자들(21;DUT 1, 22;DUT 2, 23;DUT 3 및 24;DUT 4)이 각각 별도의 디지털 채널들(41;디지털 채널 1, 42;디지털 채널 2, 43;디지털 채널 3 및 44;디지털 채널 4)과 연결된 구조를 갖는다. 이에 따라, 모든 반도체 소자들(21, 22, 23 및 24)의 주파수 측정이 동시에 이루어진다.
이러한 본 발명의 실시예에 따른 주파수 측정 장치(10)에 대해서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
반도체 소자들(21, 22, 23 및 24)은 테스트 보드(30)에 로딩(loading)된 상태로 제공된다. 즉, 4개의 반도체 소자들(21, 22, 23 및 24)이 테스트 보드(30)에 설치되어 있는 테스트 소켓(도시되지 않음)에 각각 삽입되어 있다.
디지털 채널들(41, 42, 43 및 44)은 테스트 보드(30)를 매개로 각각 반도체 소자들(21, 22, 23 및 24)과 전기적으로 연결된다. 즉, 하나의 반도체 소자(21, 22, 23 및 24)는 하나의 디지털 채널(41, 42, 43 및 44)에 대응하여 연결된다. 이러한 디지털 채널들(41, 42, 43 및 44)은 각각의 반도체 소자(21, 22, 23 및 24)로부터의 출력 신호를 입력 받고, 그 로부터 각각의 반도체 소자들(21, 22, 23 및 24)의 주파수를 측정한다.
이 때, 디지털 채널(41, 42, 43 및 44)은 반도체 소자(21, 22, 23 및 24)로부터의 출력 신호로부터 클록주기(clock period), 총 주기수(period number) 및 한 주기 내에서 발생된 이벤트수(event number)를 측정한 다음, 수학식 1에 나타낸 바와 같이, 한 주기 내에서 발생된 이벤트수를 클록주기와 총 주기수의 곱으로 나누어 계산함으로써, 반도체 소자(21, 22, 23 및 24)의 주파수를 측정한다.
Figure 112006009687831-PAT00001
이와 같이, 각각의 디지털 채널들(41, 42, 43 및 44)이 대응하는 각각의 반도체 소자들(21, 22, 23 및 24)의 주파수를 측정하기 때문에, 반도체 소자들(21, 22, 23 및 24)의 수와 동일한 수 만큼 디지털 채널들(41, 42, 43 및 44)을 제공함으로써, 4개의 반도체 소자들(21, 22, 23 및 24) 모두의 주파수가 동시에 측정될 수 있다.
한편, 전술한 실시예에서는 4개의 반도체 소자들에 대한 병렬 테스트를 실시하는 경우, 4개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 주파수 측정 장치에 대해서만 개시하였으나, 반도체 소자들의 수와 동일한 수 만큼 디지털 채널들을 제공하 여, 본 발명의 주파수 측정 장치를 구현할 수 있다. 즉, 8개의 반도체 소자들에 대한 병렬 테스트를 실시하는 경우, 각각의 반도체 소자들에 대응하는 8개의 디지털 채널들을 제공함으로써, 8개의 반도체 소자들 모두의 주파수를 동시에 측정할 수 있다.
따라서, 본 발명의 구조를 따르면, 테스트 보드를 매개로 복수개의 반도체 소자들과 전기적으로 연결되는 디지털 채널들을 반도체 소자들의 수와 동일한 수 만큼 제공하여 각각의 반도체 소자들과 개별적으로 연결시킴으로써, 복수개의 반도체 소자들의 주파수를 동시에 측정할 수 있다.
이로 인하여, 2개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 시간과 4개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 시간 및 8개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 시간이 동일하기 때문에, 복수개의 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 데 소요되는 시간을 절감할 수 있다.
나아가, 복수개의 반도체 소자들에 대한 병렬 테스트에 소요되는 시간을 절감할 수 있다.

Claims (2)

  1. 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치로서,
    복수개의 반도체 소자들로부터의 출력 신호를 입력 받아 각각의 상기 반도체 소자들의 주파수를 측정하는 복수개의 디지털 채널들; 및
    상기 디지털 채널들과 상기 반도체 소자들 사이의 전기적 연결을 매개하는 테스트 보드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 디지털 채널들은 상기 반도체 소자들의 주파수를 동시에 측정하는 것을 특징으로 하는 디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수 측정 장치.
KR1020060012658A 2006-02-09 2006-02-09 디지털 채널을 이용한 반도체 소자의 병렬 테스트용 주파수측정 장치 KR20070081008A (ko)

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