KR20070080052A - Liquid crystal display and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

An LCD(Liquid Crystal Display) and a method for manufacturing the same are provided to prevent texture defect even though column spacers are moved, by forming at least one of a storage protrusion and a bridge electrode connected to the storage protrusion to be parallel with a side of a pixel electrode so as to form a fringe field. A gate lines(21) and a data line cross each other to define a pixel region. A pixel electrode(100) is formed within the pixel region. The pixel electrode has a sloping side adjacent to a crossing portion of the gate line and the data line. A storage line(22) is formed in parallel with the gate line to supply a storage voltage. A storage protrusion(23) is protruded from the storage line, wherein the storage protrusion overlaps one side of the pixel electrode adjacent to the data line. One side of the storage protrusion is formed in parallel with the sloping side of the pixel electrode.

Description

액정표시장치 및 이의 제조방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}Liquid crystal display and its manufacturing method {LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 도시한 평면도이다.1 is a plan view illustrating a thin film transistor substrate according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 박막 트랜지스터 기판의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a cross section taken along line II ′ of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 1.

도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조방법을 순차적으로 설명하기 위하여 도시된 단면도들이다.3A to 3E are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a thin film transistor substrate according to a first embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 도시한 평면확대도이다.4 is an enlarged plan view illustrating a thin film transistor substrate according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 5은 도 4에 도시된 박막 트랜지스터 기판의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면을 도시한 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a cross section taken along line II-II ′ of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 4.

도 6a 내지 도 6e 는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조방법을 설명하기 위하여 도시된 단면도들이다.6A through 6E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a thin film transistor substrate according to a second exemplary embodiment of the present invention.

<도면부호의 간단한 설명><Brief Description of Drawings>

10: 기판 20: 게이트 전극10 substrate 20 gate electrode

21: 게이트 라인 22: 스토리지 라인21: gate line 22: storage line

23: 스토리지 돌출부 30: 게이트 절연막23: storage protrusion 30: gate insulating film

31: 반도체층 32: 오믹 접촉층31: semiconductor layer 32: ohmic contact layer

40: 드레인 전극 50: 소스 전극40: drain electrode 50: source electrode

60: 데이터 라인 70: 화소 콘택홀60: data line 70: pixel contact hole

80, 81: 제1 및 제2 콘택홀 90: 보호막80, 81: first and second contact holes 90: protective film

100: 화소전극 101, 102: 슬릿100: pixel electrode 101, 102: slit

110: 브리지 전극110: bridge electrode

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 컬럼 스페이서의 이동으로 인한 화소전극 모서리 주변의 텍스쳐 불량에 의한 표시불량을 방지한 액정표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which prevent display defects due to texture defects around the edges of pixel electrodes due to movement of column spacers.

일반적으로 평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD;Liquid Crystal Display)는 음극선관(CRT;Cathode Ray Tube)와 대비해서 소형, 경량화 및 저소비전력 등의 장점이 있어, 최근 휴대폰, 컴퓨터의 모니터 및 TV 등으로 많이 사용되고 있고 액정표시장치의 수요는 계속적으로 증가되고 있는 실정이다.In general, a liquid crystal display (LCD), which is one of flat panel displays, has advantages such as small size, light weight, and low power consumption compared to cathode ray tube (CRT). It is widely used in TVs and the like, and the demand for liquid crystal display devices is continuously increasing.

액정 표시 장치는 일반적으로 공통전극과 컬러필터 등이 형성되어 있는 컬러필터 기판과 박막 트랜지스터와 화소 전극 등이 형성되어 있는 컬러필터 기판 사이에 액정을 주입하고 화소 전극과 공통전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 전계를 형성하여 액정 분자들의 배열을 변경시키고, 이를 통해 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표현하는 장치이다.A liquid crystal display generally injects liquid crystal between a color filter substrate on which a common electrode and a color filter are formed, and a color filter substrate on which a thin film transistor and a pixel electrode are formed, and applies different potentials to the pixel electrode and the common electrode. By forming an electric field to change the arrangement of the liquid crystal molecules, and through this to adjust the transmittance of light to express the image.

그 중에서도 전계가 인가되지 않은 상태에서 액정 분자의 장축을 상하 기판에 대하여 수직을 이루도록 배열한 수직 배향 모드 액정 표시 장치는 대비비가 크고 광시야각 구현이 용이하여 각광받고 있다.Among them, the vertical alignment mode liquid crystal display in which the long axis of the liquid crystal molecules are arranged perpendicular to the upper and lower substrates without an electric field is applied, and thus, the contrast ratio is large and the wide viewing angle is easily realized.

수직 배향 모드 액정 표시 장치에서 광시야각을 구현하기 위한 수단으로는 전극에 절개 패턴을 형성하는 방법과 돌기를 형성하는 방법 등이 있다. 이들 모두는 프린지 필드(Fringe Field)를 형성하여 액정의 기우는 방향을 4방향으로 고르게 분산시킴으로써 광시야각을 확보하는 방법이다. 이중에서 전극에 절개 패턴을 형성하는 PVA(Patterned Vertically Aligned) 모드는 IPS(In Plane Switching) 모드를 대체할 수 있는 광시야각 기술로 인정받고 있다.Means for implementing a wide viewing angle in a vertical alignment mode liquid crystal display include a method of forming an incision pattern on the electrode and a method of forming protrusions. All of these are methods of securing a wide viewing angle by forming a fringe field and evenly dispersing the tilting direction of the liquid crystal in four directions. Among these, the patterned vertically aligned (PVA) mode, which forms an incision pattern on the electrode, is recognized as a wide viewing angle technology that can replace the in plane switching (IPS) mode.

또한 PVA 모드는 액정 분자의 거동에 비틀림이 없고 전계 방향에 수직한 방 향으로 스플레이 하거나 또는 구부러지는 탄력성에 의한 움직만 있으므로 TN(Twisted nematic) 방식에 비하여 상대적으로 빠른 응답 특성을 갖는다.In addition, the PVA mode has relatively fast response characteristics compared to the twisted nematic (TN) method because the liquid crystal molecules do not twist and move only by the elasticity that is splayed or bent in the direction perpendicular to the electric field direction.

그러나, 컬러필터가 형성된 상부기판과 박막 트랜지스터가 형성된 하부기판의 셀갭을 유지하기 위하여 형성된 컬럼 스페이서가 외부의 물리적 충격에 의하여 이동되면 화소전극의 모서리 영역에서 텍스쳐(Texture) 제어불량으로 인하여 액정 표시장치의 표시불량이 발생한다. 특히, 청색의 화소영역과 인접한 컬럼스페이서에 충격이 가해지면 이러한 텍스쳐 불량이 발생하고 컬럼 스페이서가 원위치로 회복되어도 청색 화소영역은 텍스쳐 불량이 복원되지 않아 휘도가 저하되어 가로선 불량 및 노란색으로 시인되는 옐로위쉬(Yellowish)가 발생한다.However, when the column spacer formed to maintain the cell gap between the upper substrate on which the color filter is formed and the lower substrate on which the thin film transistor is formed is moved by an external physical impact, the liquid crystal display device is poor due to texture control failure in the corner region of the pixel electrode. Poor display occurs. In particular, when a shock is applied to the column spacer adjacent to the blue pixel region, such texture defects occur. Even when the column spacer is restored to its original position, the blue pixel region does not restore the texture defect and the luminance decreases, so that the yellow line is recognized as a horizontal defect and yellow. Wish (Yellowish) occurs.

따라서, 상기의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 컬럼 스페이서가 형성되는 영역의 스토리지 돌출부 또는 스토리지 돌출부와 스토로지 라인을 연결하는 브리지 전극의 형상을 변형하여 표시불량을 방지한 액정표시장치 및 이의 제조방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, an aspect of the present invention provides a liquid crystal display device which prevents display defects by modifying a shape of a storage protrusion of a region where a column spacer is formed or a bridge electrode connecting a storage protrusion and a storage line. It is to provide a method for producing the same.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 교차구조로 화소영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 화소영역에 형성되고, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된 화소전극과, 상기 게이트 라인과 나란하게 형성되어 스토리지 전압을 공급하는 스토리지 라인 및 상기 스토리지 라인에서 돌출되어 상기 데이터 라인과 인접한 상기 화소전극의 일측부와 중첩되게 형성된 스토리지 돌출부를 포함하며, 상기 스토리지 돌출부의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a pixel electrode having a gate line and a data line defining a pixel region in an intersecting structure, and a pixel electrode formed in the pixel region and having one side of the gate line and the data line adjacent to an intersection of the gate line and the data line inclined. And a storage line formed in parallel with the gate line to supply a storage voltage, and a storage protrusion protruding from the storage line to overlap one side of the pixel electrode adjacent to the data line, and one side of the storage protrusion. A side of the pixel electrode is provided in parallel with the inclined side of the pixel electrode.

그리고, 본 발명에 따른 액정표시장치는 상기 스토리지 돌출부와 다음단 스토리지 라인과 전기적으로 연결하는 브리지 전극을 더 구비한다.The liquid crystal display according to the present invention further includes a bridge electrode electrically connected to the storage protrusion and the next storage line.

여기서, 상기 브리지 전극의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성된다.Here, one side of the bridge electrode is formed in parallel with the inclined one side of the pixel electrode.

또한, 상기 화소전극은 다수의 슬릿을 더 구비한다.In addition, the pixel electrode further includes a plurality of slits.

그리고 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 교차구조로 화소영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하는 단계와, 상기 화소영역에 형성되고, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된 화소전극을 형성하는 단계와, 상기 게이트 라인과 나란하게 형성되어 스토리지 전압을 공급하는 스토리지 라인을 형성하는 단계와, 상기 스토리지 돌출부의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성되며, 상기 스토리지 라인에서 돌출되어 상기 데이터 라인과 인접한 상기 화소전극의 일측부와 중첩되게 형성된 스토리지 돌출부를 형성하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises the steps of forming a gate line and a data line defining a pixel region in an intersecting structure, formed in the pixel region, the gate line and Forming a pixel electrode in which one side of the data line is inclined adjacent to an intersection of the data line, forming a storage line formed in parallel with the gate line to supply a storage voltage, and one side of the storage protrusion of the pixel electrode And a storage protrusion formed to be parallel to one side of the inclined side and protruding from the storage line to overlap one side of the pixel electrode adjacent to the data line.

그리고, 상기 스토리지 돌출부와 다음단 스토리지 라인을 접속하는 브리지 전극을 형성하는 단계를 더 포함한다.The method may further include forming a bridge electrode connecting the storage protrusion and the next storage line.

여기서, 상기 브리지 전극의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성되는 단계를 더 포함한다.The method may further include forming one side of the bridge electrode in parallel with an inclined side of the pixel electrode.

또한, 상기 화소전극을 형성하는 단계는 상기 화소전극에 다수의 슬릿을 형성하는 단계를 더 포함한다.The forming of the pixel electrode may further include forming a plurality of slits in the pixel electrode.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발 명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Other objects and advantages of the present invention in addition to the above object will become apparent from the description of the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 박막 트랜지스터 기판의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 도시한 단면도이다.1 is a plan view illustrating a thin film transistor substrate according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along a line II ′ of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판은 교차구조로 화소영역을 정의하는 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)과, 화소영역에 형성되고, 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된 화소전극(100)과, 게이트 라인(21)과 나란하게 형성되어 스토리지 전압을 공급하는 스토리지 라인(22) 및 스토리지 라인(22)에서 돌출되어 데이터 라인(60)과 인접한 화소전극(100)의 일측부와 중첩되게 형성된 스토리지 돌출부(23)를 포함하며, 스토리지 돌출부(23)의 일측변이 화소전극(100)의 경사진 일측변과 평행하게 형성된다.1 and 2, the thin film transistor substrate according to the first exemplary embodiment of the present invention is formed in the pixel region with the gate line 21 and the data line 60 defining the pixel region in an intersecting structure, and the gate One side of the line electrode adjacent to the intersection of the line 21 and the data line 60 is formed to be inclined, and the storage line 22 and the storage line are formed in parallel with the gate line 21 to supply a storage voltage. A storage protrusion 23 protruding from the data line 60 and overlapping with one side of the pixel electrode 100 adjacent to the data line 60, and one side of the storage protrusion 23 is inclined to the pixel electrode 100. It is formed parallel to the sides.

구체적으로, 게이트 라인(21)은 스캔 신호를 공급하고, 데이터 라인(60)은 화상 데이터 신호를 공급한다. 이러한 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)은 게이트 절연막(30)을 사이에 두고 교차하여 화소 영역을 정의한다. 그리고 화소영역에는 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)과 접속된 박막 트랜지스터가 형성된다.Specifically, the gate line 21 supplies a scan signal, and the data line 60 supplies an image data signal. The gate line 21 and the data line 60 cross each other with the gate insulating layer 30 therebetween to define a pixel area. In the pixel region, a thin film transistor connected to the gate line 21 and the data line 60 is formed.

박막 트랜지스터는 게이트 라인(21)과 접속된 게이트 전극(20), 데이터 라인(60)과 접속된 소스 전극(50), 화소전극(100)과 접속된 드레인 전극(40), 게이트 전극(20)과 게이트 절연막(30)을 사이에 두고 중첩되어 소스 전극(50)과 드레인 전극(40) 사이에 채널을 형성하는 반도체층(31)을 구비한다. 또한, 박막 트랜지스터는 소스 전극(50) 및 드레인 전극(40)과 반도체층(31) 사이의 오믹 접촉을 위한 오믹 접촉층(32)을 더 구비한다. 이러한 박막 트랜지스터는 게이트 라인(21)의 스캔 신호에 응답하여 데이터 라인(60)의 화상 데이터 신호를 화소전극(100)에 공급한다.The thin film transistor includes a gate electrode 20 connected to the gate line 21, a source electrode 50 connected to the data line 60, a drain electrode 40 connected to the pixel electrode 100, and a gate electrode 20. And a semiconductor layer 31 overlapping with the gate insulating layer 30 therebetween to form a channel between the source electrode 50 and the drain electrode 40. In addition, the thin film transistor further includes an ohmic contact layer 32 for ohmic contact between the source electrode 50 and the drain electrode 40 and the semiconductor layer 31. The thin film transistor supplies the image data signal of the data line 60 to the pixel electrode 100 in response to the scan signal of the gate line 21.

화소전극(100)은 박막 트랜지스터를 덮는 보호막(90) 위에 형성되고, 보호막(90)을 관통하는 화소 콘택홀(70)를 경유하여 드레인 전극(40)과 접속된다. 화소전극(100)은 박막 트랜지스터로부터의 화상 데이터 신호가 공급되면 컬러 필터 기판의 공통 전극과의 전압차로 액정을 구동하여 광 투과율이 조절되게 한다. 이러한 화소전극(100)은 화소영역을 다수의 도메인으로 분할하기 위해 다수의 슬릿(101, 102)을 구비한다. 다수의 슬릿은 화소전극(100)의 단축방향을 기준으로 상부 및 하부에 각각 대칭되며 경사각을 갖고 형성된 제1 및 제2 슬릿(101, 102)을 포함한다. 이때, 제1 및 제2 슬릿(101, 102)은 서로 수직을 이루며 형성된다. 제1 및 제2 슬릿(101, 102)은 프린지 필드의 방향을 다수의 방향으로 고르게 분산하여 하나의 화소에 다수개의 도메인을 형성하도록 한다. 여기서, 화소전극(100)은 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된다. 즉, 화소전극(100)의 코너부 일측변이 경사지게 형성되어 스토리지 돌출부(23)와 다음단 스토리지 라인(22)을 연결하는 브리지 전극(110과의 중첩을 회피하고, 박막 트랜지스터와의 중첩을 회피된다. The pixel electrode 100 is formed on the passivation layer 90 covering the thin film transistor and is connected to the drain electrode 40 via the pixel contact hole 70 passing through the passivation layer 90. When the image data signal from the thin film transistor is supplied, the pixel electrode 100 drives the liquid crystal with a voltage difference from the common electrode of the color filter substrate to adjust the light transmittance. The pixel electrode 100 includes a plurality of slits 101 and 102 to divide the pixel region into a plurality of domains. The plurality of slits include first and second slits 101 and 102 which are symmetrically disposed at upper and lower sides with respect to the short axis direction of the pixel electrode 100 and have an inclination angle. In this case, the first and second slits 101 and 102 are formed perpendicular to each other. The first and second slits 101 and 102 distribute the directions of the fringe field evenly in a plurality of directions to form a plurality of domains in one pixel. Here, the pixel electrode 100 is formed such that one side of the pixel electrode 100 adjacent to the intersection of the gate line 21 and the data line 60 is inclined. That is, one side of the corner portion of the pixel electrode 100 is formed to be inclined to avoid overlapping of the bridge protrusion 110 connecting the storage protrusion 23 and the next storage line 22 and avoid overlapping of the thin film transistor. .

스토리지 라인(22)은 게이트 라인(21)과 평행하게 형성되어 스토리지 전압을 공급한다. 그리고 스토리지 라인(22)에서 돌출되어 데이터 라인(60)과 평행하게 형성된 스토리지 돌출부(23)를 구비한다. 그리고, 스토리지 라인(22) 및 스토리지 돌출부는 화소전극(100)과 중첩된다.The storage line 22 is formed in parallel with the gate line 21 to supply a storage voltage. And a storage protrusion 23 protruding from the storage line 22 to be parallel to the data line 60. The storage line 22 and the storage protrusion overlap the pixel electrode 100.

스토리지 돌출부(23)는 데이터 라인(60)과 인접한 화소전극(100)의 일측과 중첩되어 데이터 라인(60)과 나란하게 형성된다. 스토리지 돌출부(23)의 끝단은 다음 스토리지 라인(22)과 브리지 전극(110)을 통해 접속된다. 여기서, 스토리지 돌출부(23)의 일측변은 화소전극(100)의 경사진 일측변과 평행하게 형성되어 화소전극(100) 사이에 프린지 필드를 형성한다. 이에 따라, 컬럼 스페이서가 형성되는 영역(A)에서 외부의 물리적 충격에 의한 컬럼 스페이서의 유동이 발생하여도 스토리지 돌출부 끝단의 일측변과 화소전극(100)의 모서리의 일측변 사이에 형성된 프린지 필드에 의해 텍스쳐 불량이 발생되지 않는다. 이에 따라, 액정표시장치의 표시품질이 향상된다. 특히, 청색 화소와 인접하여 컬럼 스페이서가 위치하고, 컬럼 스페이서의 이동에 의한 옐로위시의 발생을 방지할 수 있다. The storage protrusion 23 overlaps one side of the pixel electrode 100 adjacent to the data line 60 and is formed to be parallel to the data line 60. The end of the storage protrusion 23 is connected to the next storage line 22 and the bridge electrode 110. Here, one side of the storage protrusion 23 is formed in parallel with the inclined side of the pixel electrode 100 to form a fringe field between the pixel electrodes 100. Accordingly, even when a flow of the column spacer due to an external physical impact occurs in the area A where the column spacer is formed, the fringe field is formed between one side of the end of the storage protrusion and one side of the corner of the pixel electrode 100. There is no texture defect. As a result, the display quality of the liquid crystal display device is improved. In particular, the column spacer is positioned adjacent to the blue pixel, and yellowish occurrence due to the movement of the column spacer can be prevented.

스토리지 돌출부(23)의 끝단은 다음단 스토리지 라인(22)과 접속을 위해 제1 콘택홀(80)을 더 구비하고, 다음단 스토리지 라인(22)의 소정영역에 제2 콘택홀(81)을 구비한다. 그리고, 스토리지 돌출부(23)와 다음단 스토리지 라인(22)은 브리지 전극(110)을 통해 전기적으로 접속된다.  The end of the storage protrusion 23 further includes a first contact hole 80 for connection with the next storage line 22 and a second contact hole 81 in a predetermined region of the next storage line 22. Equipped. The storage protrusion 23 and the next storage line 22 are electrically connected to each other through the bridge electrode 110.

브리지 전극(110)은 제1 및 제2 콘택홀(80, 81)을 경유하여 스토리지 돌출부(23)와 다음단 스토리지 라인(22)과 접속된다. 이러한 브리지 전극(110)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 투명전극으로 형성된다.The bridge electrode 110 is connected to the storage protrusion 23 and the next storage line 22 via the first and second contact holes 80 and 81. The bridge electrode 110 is formed of a transparent electrode such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조방법을 순차적으로 도시한 단면도들이다.3A through 3E are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a thin film transistor substrate according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3a를 참조하면, 제1 마스크 공정을 통해 기판(10) 위에 게이트 라인(21)과 게이트 전극(20)과, 스토리지 라인(22) 및 일측변이 경사지게 형성된 스토리지 돌출부(23)를 포함하는 제1 도전 패턴군이 형성된다.Referring to FIG. 3A, a first line including a gate line 21, a gate electrode 20, a storage line 22, and a storage protrusion 23 having one side side inclined on the substrate 10 through a first mask process. A conductive pattern group is formed.

구체적으로, 기판(10) 위에 제1 도전층을 스퍼터링과 같은 증착 방법을 통해 형성한다. 제1 도전층은 알루미늄, 크롬, 구리 및 몰리브덴 등과 같은 금속 또는 그들의 합금이 단일층으로 형성되거나, 그들의 조합으로 이루어진 다층 구조로 형성된다. 이어서, 제1 마스크를 이용한 포토리소그라피 공정과 식각 공정으로 제1 도전층을 패터닝함으로써 게이트 라인(21), 게이트 전극(20), 스토리지 라인(22) 및 스토리지 돌출부(23)를 포함하는 제1 도전 패턴군이 형성된다. 특히, 스토리지 돌출부(23)는 그 끝단이 추후 형성될 화소전극(100)의 경사진 일측변과 평행한 일측변을 갖도록 형성된다.Specifically, the first conductive layer is formed on the substrate 10 through a deposition method such as sputtering. The first conductive layer is formed of a single layer of metals or alloys thereof, such as aluminum, chromium, copper, molybdenum, and the like, or a multi-layer structure composed of a combination thereof. Subsequently, the first conductive layer includes the gate line 21, the gate electrode 20, the storage line 22, and the storage protrusion 23 by patterning the first conductive layer by a photolithography process and an etching process using the first mask. A pattern group is formed. In particular, the storage protrusion 23 is formed such that an end thereof has one side parallel to an inclined side of the pixel electrode 100 to be formed later.

도 3b를 참조하면, 제2 마스크 공정을 통해 제1 도전 패턴군이 형성된 기판상에 게이트 절연막(30), 반도체층 및 오믹 콘택층이 차례로 적층된다.Referring to FIG. 3B, the gate insulating layer 30, the semiconductor layer, and the ohmic contact layer are sequentially stacked on the substrate on which the first conductive pattern group is formed through the second mask process.

구체적으로, 게이트 라인(21)과, 게이트 전극(20)과, 스토리지 라인(22)과 및 스토리지 돌출부(23)가 형성된 기판(10) 상에 게이트 절연막(30), 비정질 실리콘층 및 고농도 도핑된 비정질 실리콘층이 플라즈마 화학증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; PEVCD) 등의 증착 방법을 통해 순차적으로 적층된다. 이어서, 제2 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 비정질 실리콘층 및 고농도 도핑된 비정질 실리콘층이 패터닝됨으로써 반도체층 및 오믹 콘택층이 형성된다. 게이트 절연막(30)으로는 SiNx, SiOx 등의 무기 절연 물질이 이용된다.Specifically, the gate insulating film 30, the amorphous silicon layer, and the high concentration doped on the substrate 10 on which the gate line 21, the gate electrode 20, the storage line 22, and the storage protrusion 23 are formed. An amorphous silicon layer is sequentially deposited through a deposition method such as plasma enhanced chemical vapor deposition (PEVCD). Subsequently, the semiconductor layer and the ohmic contact layer are formed by patterning the amorphous silicon layer and the heavily doped amorphous silicon layer by a photolithography process and an etching process using the second mask. As the gate insulating film 30, an inorganic insulating material such as SiNx or SiOx is used.

도 3c를 참조하면, 제3 마스크 공정을 통해 반도체층 및 오믹 콘택층이 형성된 게이트 절연막(30) 위에 데이터 라인(60), 소스 전극(50) 및 드레인 전극(40)을 포함한 제2 도전 패턴군이 형성된다.Referring to FIG. 3C, a second conductive pattern group including a data line 60, a source electrode 50, and a drain electrode 40 on a gate insulating layer 30 on which a semiconductor layer and an ohmic contact layer are formed through a third mask process. Is formed.

구체적으로, 데이터 라인(60)은 스토리지 돌출부(23)와 나란하게 게이트 절연막(30) 상에 형성되고, 드레인 전극(40)은 반도체층(31) 및 오믹 접촉층(32)이 형성된 게이트 절연막(30) 위에 형성되며 소스 전극(50)은 데이터 라인(60)에서 돌출되어 드레인 전극(40)과 대항되게 반도체층(31) 및 오믹 접촉층(32)이 형성된 게이트 절연막(30) 위에 형성된다. 이러한 제2 도전패턴군은 스퍼터링 등의 증착 방법을 통해 제2 도전층을 형성한 다음, 제3 마스크 공정을 이용한 포토리소그라피 공정 및 식각 공정으로 제2 도전층을 패터닝함으로써 형성된다. 제2 도전층으로는 알루미늄, 크롬, 구리 및 몰리브덴 등의 금속 또는 그들의 합금이 단일층으로 형성되거나, 그들의 조합으로 이루어진 다층 구조로 형성된다. In detail, the data line 60 is formed on the gate insulating layer 30 in parallel with the storage protrusion 23, and the drain electrode 40 is formed on the gate insulating layer having the semiconductor layer 31 and the ohmic contact layer 32 formed thereon. The source electrode 50 is formed on the gate insulating layer 30 formed on the semiconductor layer 31 and the ohmic contact layer 32 to protrude from the data line 60 to face the drain electrode 40. The second conductive pattern group is formed by forming a second conductive layer through a deposition method such as sputtering, and then patterning the second conductive layer by a photolithography process and an etching process using a third mask process. As the second conductive layer, metals such as aluminum, chromium, copper and molybdenum or alloys thereof are formed in a single layer or in a multi-layer structure composed of a combination thereof.

도 3d를 참조하며, 제4 마스크 공정을 통해 제2 도전 패턴군이 형성된 게이트 절연막(30) 위에 화소 콘택홀(70)과 제1 및 제2 콘택홀(80, 81)을 갖는 보호막(90)이 형성된다.Referring to FIG. 3D, the passivation layer 90 having the pixel contact hole 70 and the first and second contact holes 80 and 81 on the gate insulating layer 30 on which the second conductive pattern group is formed through the fourth mask process. Is formed.

상세하게는, 보호막(90)은 제2 도전 패턴군이 형성된 기판 상에 PECVD, 스핀 코팅 등의 증착 방법을 통해 형성되고, 제4 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 보호막(90)을 관통하여 드레인 전극(40)을 노출시키는 화소 콘택홀(70)과, 게이트 절연막(30) 및 보호막(90)을 관통하여 스토리지 돌출부(23)의 끝단을 노출시키는 제1 콘택홀(80) 및 다음단 스토리지 라인(22)의 소정영역에 제2 콘택홀(81)이 형성된다. 보호막(90)으로는 게이트 절연막(30)과 같은 무기 절연 물질이 이용되거나, 유기 절연 물질이 이용된다.In detail, the passivation layer 90 is formed on the substrate on which the second conductive pattern group is formed through a deposition method such as PECVD or spin coating, and penetrates the passivation layer 90 by a photolithography process and an etching process using a fourth mask. The pixel contact hole 70 exposing the drain electrode 40, the first contact hole 80 exposing the end of the storage protrusion 23 through the gate insulating layer 30 and the passivation layer 90, and the next end. The second contact hole 81 is formed in a predetermined region of the storage line 22. As the protective film 90, an inorganic insulating material such as the gate insulating film 30 is used, or an organic insulating material is used.

도 3e를 참조하면, 제5 마스크 공정을 통해 보호막(90) 위에 화소전극(100) 및 브리지 전극(110)이 형성된다.Referring to FIG. 3E, the pixel electrode 100 and the bridge electrode 110 are formed on the passivation layer 90 through a fifth mask process.

구체적으로, 화소전극(100) 및 브리지 전극(110)은 보호막(90) 위에 스퍼터링 등의 방법을 통해 투명 도전층의 형성된 다음, 제5 마스크를 이용한 포토리소그래피 및 식각 공정으로 투명 도전층을 패터닝하여 형성된다. 이 때, 화소전극(100)에는 제1 및 제2 슬릿(101, 102)이 패터닝 된다. 그리고, 스토리지 돌출부(23)의 끝단과 다음단 스토리지 라인(22)을 접속하는 브리지 전극(110)이 패터닝된다. 여기서, 화소전극(100)의 각각의 코너부는 박막 트랜지스터 및 브리지 전극(110)과의 중첩을 회피하기 위하여 일측변이 경사지게 형성된다. 투명 도전층으로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zicn Oxide) 및 TO(Tin Oxide) 등과 같은 투명 도전 물질이 이용된다. 화소전극(100)은 화소 콘택홀(70)을 통해 드레인 전극(40)과 접속되고, 브리지 전극은 제1 및 제2 콘택홀(80, 81)을 통해 스토리지 돌출부(23) 및 다음단 스토리지 라인(22)과 각각 접속된다.Specifically, the pixel electrode 100 and the bridge electrode 110 are formed on the passivation layer 90 by sputtering or the like, and then pattern the transparent conductive layer by photolithography and etching using a fifth mask. Is formed. At this time, the first and second slits 101 and 102 are patterned in the pixel electrode 100. The bridge electrode 110 connecting the end of the storage protrusion 23 and the next storage line 22 is patterned. Here, each side of the pixel electrode 100 is formed to be inclined at one side to avoid overlapping with the thin film transistor and the bridge electrode 110. As the transparent conductive layer, transparent conductive materials such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and tin oxide (TO) are used. The pixel electrode 100 is connected to the drain electrode 40 through the pixel contact hole 70, and the bridge electrode is connected to the storage protrusion 23 and the next storage line through the first and second contact holes 80 and 81. And 22, respectively.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판을 도시한 평면 도이고, 도 5는 도 4에 도시된 박막 트랜지스터 기판의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면을 도시한 단면도이다.4 is a plan view illustrating a thin film transistor substrate according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a cross section taken along line II-II ′ of the thin film transistor substrate illustrated in FIG. 4.

도 4 및 도 5는 도 1 및 도2와 대비하여 스토리지 돌출부(23)의 끝단과 접속되는 브리지 전극(110)의 형상이 변경된 것을 제외하고 동일한 구성요소를 구비하므로, 동일한 구성요소에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.4 and 5 have the same components except that the shape of the bridge electrode 110 that is connected to the end of the storage protrusion 23 in contrast to FIGS. 1 and 2 has the same components, thus overlapping the same components. The description will be omitted.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판은 교차구조로 화소영역을 정의하는 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)과, 화소영역에 형성되고, 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된 화소전극(100)과, 게이트 라인(21)과 나란하게 형성되어 스토리지 전압을 공급하는 스토리지 라인(22) 및 스토리지 라인(22)에서 돌출되어 데이터 라인(60)과 인접한 화소전극(100)의 일측부와 중첩되게 형성된 스토리지 돌출부(23)를 포함하며, 스토리지 돌출부(23)와 다음단 스토리지 라인(22)을 접속하는 브리지 전극(110)을 구비하며, 브리지 전극(110)의 일측변은 화소전극(100)의 경사진 일측변과 평행하게 형성된다.4 and 5, the thin film transistor substrate according to the second exemplary embodiment of the present invention is formed in the pixel region with the gate line 21 and the data line 60 defining the pixel region in an intersecting structure, and the gate One side of the line electrode adjacent to the intersection of the line 21 and the data line 60 is formed to be inclined, and the storage line 22 and the storage line are formed in parallel with the gate line 21 to supply a storage voltage. And a storage protrusion 23 protruding from the data line 60 and overlapping one side of the pixel electrode 100 adjacent to the data line 60, and connecting the storage protrusion 23 and the next storage line 22 to each other. An electrode 110 is provided, and one side of the bridge electrode 110 is formed in parallel with the inclined one side of the pixel electrode 100.

구체적으로, 브리지 전극(110)은 스토리지 돌출부(23)와 다음단 스토리지 라인(22)을 전기적으로 접속한다. 그리고 브리지 전극(110)은 화소전극(100)과 동일한 투명금속으로 형성된다. 화소전극(100)은 게이트 라인(21) 및 데이터 라인(60)의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된다. 이 때, 브리지 전극(110)은 화소전극(100)의 경사진 일측변과 나란한 일측변을 갖고 형성된다. 이에 따라 브리지 전극(110)과 화소전극(100) 사이에 프린지 필드가 형성되어 화소전극(100)의 코 너부에 형성된 액정을 제어할 수 있다.In detail, the bridge electrode 110 electrically connects the storage protrusion 23 and the next storage line 22. The bridge electrode 110 is formed of the same transparent metal as the pixel electrode 100. One side of the pixel electrode 100 adjacent to the intersection of the gate line 21 and the data line 60 is inclined. In this case, the bridge electrode 110 is formed to have one side side in parallel with the inclined side of the pixel electrode 100. Accordingly, a fringe field is formed between the bridge electrode 110 and the pixel electrode 100 to control the liquid crystal formed in the corner portion of the pixel electrode 100.

추후, 액정표시장치는 게이트 라인(21) 및 브리지 전극(110)과 중첩되는 영역(A)에 컬럼스페이서가 위치한다. 이 때, 외부의 물리적인 충격이 발생하여 컬럼 스페이서가 이동하여도 브리지 전극(110)과 화소전극(100) 사이에 프린지 필드가 형성되어 이상 텍스쳐의 발생을 방지하고, 이에 따라 액정표시장치의 표시품질이 향상된다. 특히, 청색 화소와 인접하여 컬럼 스페이서가 위치하고, 컬럼 스페이서의 이동에 의한 옐로위시의 발생을 방지할 수 있다. Subsequently, in the liquid crystal display, a column spacer is positioned in an area A overlapping the gate line 21 and the bridge electrode 110. At this time, even if the external physical shock occurs, even if the column spacer moves, a fringe field is formed between the bridge electrode 110 and the pixel electrode 100 to prevent the occurrence of abnormal texture, thereby displaying the liquid crystal display device. The quality is improved. In particular, the column spacer is positioned adjacent to the blue pixel, and yellowish occurrence due to the movement of the column spacer can be prevented.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 박막 트랜지스터 기판의 제조방법을 순차적으로 도시한 단면도들이다.6A through 6E are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing a thin film transistor substrate according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 6a 내지 도 6e는 도 3a 내지 도 3e와 대비하여 스토리지 돌출부(23)의 끝단을 화소전극(100)의 모서리와 나란하게 형성하지 않고, 브리지 전극(110)의 일단을 화소전극(100)의 모서리와 나란하게 형성한 것을 제외하고 방법으로 제조되므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.6A to 6E illustrate one end of the bridge electrode 110 without forming the end of the storage protrusion 23 in parallel with the edge of the pixel electrode 100 as compared with FIGS. 3A to 3E. Since it is manufactured by the method except that it is formed to be parallel to the edges, duplicate descriptions will be omitted.

도 6a를 참조하면, 제1 마스크 공정을 통해 기판(10) 위에 게이트 라인(21)과, 게이트 전극(20)과, 스토리지 라인(22) 및 스토리지 돌출부(23)를 포함하는 제1 도전 패턴군이 형성된다.Referring to FIG. 6A, a first conductive pattern group including a gate line 21, a gate electrode 20, a storage line 22, and a storage protrusion 23 on a substrate 10 through a first mask process. Is formed.

구체적으로, 기판(10) 위에 제1 도전층을 스퍼터링과 같은 증착 방법을 통해 형성한다. 제1 도전층은 알루미늄, 크롬, 구리 및 몰리브덴 등과 같은 금속 또는 그들의 합금이 단일층으로 형성되거나, 그들의 조합으로 이루어진 다층 구조로 형성된다. 이어서, 제1 마스크를 이용한 포토리소그라피 공정과 식각 공정으로 제1 도전층을 패터닝함으로써 게이트 라인(21), 게이트 전극(20), 스토리지 라인(22) 및 스토리지 돌출부(23)를 포함하는 제1 도전 패턴군이 형성된다. Specifically, the first conductive layer is formed on the substrate 10 through a deposition method such as sputtering. The first conductive layer is formed of a single layer of metals or alloys thereof, such as aluminum, chromium, copper, molybdenum, and the like, or a multi-layer structure composed of a combination thereof. Subsequently, the first conductive layer includes the gate line 21, the gate electrode 20, the storage line 22, and the storage protrusion 23 by patterning the first conductive layer by a photolithography process and an etching process using the first mask. A pattern group is formed.

도 6b 내지 도 6d는 상술한 공정과 동일하므로 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.6B to 6D are the same as the above-described process, and thus a detailed description thereof will be omitted.

도 6e를 참조하면, 제5 마스크 공정을 통해 보호막(90) 위에 화소전극(100) 및 브리지 전극(110)이 형성된다.Referring to FIG. 6E, the pixel electrode 100 and the bridge electrode 110 are formed on the passivation layer 90 through a fifth mask process.

구체적으로, 화소전극(100) 및 브리지 전극(110)은 보호막(90) 위에 스퍼터링 등의 방법을 통해 투명 도전층의 형성된 다음, 제5 마스크를 이용한 포토리소그래피 및 식각 공정으로 투명 도전층을 패터닝하여 형성된다. 이 때, 화소전극(100)에는 제1 및 제2 슬릿(101, 102)이 패터닝 된다. 여기서, 화소전극(100)의 모서리는 브리지 전극(110)과의 중첩을 회피하기 위하여 사선으로 절단 형태로 형성된다. 그리고, 스토리지 돌출부(23)의 끝단과 다음단 스토리지 라인(22)을 접속하는 브리지 전극(110)이 패터닝된다. 특히, 브리지 전극(110)의 일측변은 화소전극(100)의 모서리와 평행하도록 패터닝되어 형성된다. 이를 통해 브리지 전극(110)과 화소전극(100) 사이에 프린지 필드가 형성된다. 여기서, 투명 도전층으로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zicn Oxide) 및 TO(Tin Oxide) 등과 같은 투명 도전 물질이 이용된다. 화소전극(100)은 화소 콘택홀(70)을 통해 드레인 전극(40)과 접속되고, 브리지 전극(110)은 제1 및 제2 콘택홀(80, 81)을 통해 스토리지 돌출부(23) 및 다음단 스토리지 라인(22)과 각각 접속된다.Specifically, the pixel electrode 100 and the bridge electrode 110 are formed on the passivation layer 90 by sputtering or the like, and then pattern the transparent conductive layer by photolithography and etching using a fifth mask. Is formed. At this time, the first and second slits 101 and 102 are patterned in the pixel electrode 100. Here, the corners of the pixel electrode 100 are formed in a diagonal cut shape to avoid overlapping with the bridge electrode 110. The bridge electrode 110 connecting the end of the storage protrusion 23 and the next storage line 22 is patterned. In particular, one side of the bridge electrode 110 is patterned to be parallel to the edge of the pixel electrode 100. As a result, a fringe field is formed between the bridge electrode 110 and the pixel electrode 100. Here, as the transparent conductive layer, a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), tin oxide (TO), or the like is used. The pixel electrode 100 is connected to the drain electrode 40 through the pixel contact hole 70, and the bridge electrode 110 is connected to the storage protrusion 23 and the next through the first and second contact holes 80 and 81. However, they are connected to the storage lines 22, respectively.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치 및 이의 제조방법은 수직배향형 액정표시장치에서 스토리지 돌출부 또는 이와 접속되는 브리지 전극 중 적어도 어느 하나가 화소전극의 모서리에 나란하게 형성되어 프린지 필드를 형성하므로써, 컬럼 스페이서의 유동에도 텍스쳐 불량이 방지되어 표시품질을 향상시킬 수 있다.As described above, the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention and a manufacturing method thereof according to the present invention include at least one of a storage protrusion or a bridge electrode connected to the pixel electrode in a vertical alignment liquid crystal display, which is formed side by side at the edge of the pixel electrode. By forming the field, poor texture can be prevented even in the flow of the column spacer, thereby improving display quality.

이상에서 상술한 본 발명은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다 할 것이다. 따라서 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정하지 않고 청구범위에 의해 그 권리가 정해져야 할 것이다.The present invention described above will be capable of various substitutions, modifications and changes by those skilled in the art to which the present invention pertains. Therefore, the present invention should not be limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and the rights thereof should be determined by the claims.

Claims (8)

교차구조로 화소영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과;A gate line and a data line defining the pixel region in an intersection structure; 상기 화소영역에 형성되고, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된 화소전극과;A pixel electrode formed in the pixel region, the one side of the pixel electrode being inclined adjacent to the intersection of the gate line and the data line; 상기 게이트 라인과 나란하게 형성되어 스토리지 전압을 공급하는 스토리지 라인; 및A storage line formed in parallel with the gate line to supply a storage voltage; And 상기 스토리지 라인에서 돌출되어 상기 데이터 라인과 인접한 상기 화소전극의 일측부와 중첩되게 형성된 스토리지 돌출부를 포함하며,A storage protrusion protruding from the storage line and overlapping with one side of the pixel electrode adjacent to the data line; 상기 스토리지 돌출부의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.Wherein one side of the storage protrusion is formed parallel to the one side of the pixel electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스토리지 돌출부와 다음단 스토리지 라인과 전기적으로 연결하는 브리지 전극을 더 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And a bridge electrode electrically connected to the storage protrusion and the next storage line. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 브리지 전극의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.Wherein one side of the bridge electrode is formed in parallel with the inclined side of the pixel electrode. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 화소전극은 다수의 슬릿을 더 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the pixel electrode further comprises a plurality of slits. 교차구조로 화소영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하는 단계와;Forming a gate line and a data line defining a pixel region in an intersection structure; 상기 화소영역에 형성되고, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부와 인접한 일측변이 경사지게 형성된 화소전극을 형성하는 단계와;Forming a pixel electrode formed in the pixel region, the one side of which is inclined adjacent to the intersection of the gate line and the data line; 상기 게이트 라인과 나란하게 형성되어 스토리지 전압을 공급하는 스토리지 라인을 형성하는 단계와;Forming a storage line formed in parallel with the gate line to supply a storage voltage; 상기 스토리지 돌출부의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성되며, 상기 스토리지 라인에서 돌출되어 상기 데이터 라인과 인접한 상기 화소전극의 일측부와 중첩되게 형성된 스토리지 돌출부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.Forming a storage protrusion formed on one side of the storage protrusion in parallel with an inclined side of the pixel electrode and protruding from the storage line to overlap one side of the pixel electrode adjacent to the data line; Liquid crystal display device characterized in that. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 스토리지 돌출부와 다음단 스토리지 라인을 접속하는 브리지 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정표시장치의 제조방법.And forming a bridge electrode connecting the storage protrusion and the next storage line. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 브리지 전극의 일측변이 상기 화소전극의 경사진 일측변과 평행하게 형성되는 단계를 더 포함하는 액정표시장치의 제조방법.And forming one side of the bridge electrode in parallel with an inclined side of the pixel electrode. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 화소전극을 형성하는 단계는Forming the pixel electrode 상기 화소전극에 다수의 슬릿을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.And forming a plurality of slits in the pixel electrode.
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