KR20070078501A - 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법 - Google Patents
레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 기판 스테이지 상에 기판 및 마스크를 구비하며, 상기 기판 실링부의 프릿을 용융 접착시키는 레이저 조사 장치에 있어서,상기 기판 실링부의 프릿 경화도가 균일하도록 상기 기판 실링부의 시작부, 종착부 및 코너부와 직선부에서의 레이저 주행속도를 조절하는 연산부를 구비하는 레이저 헤드;상기 레이저 헤드를 지지하며, 상기 레이저 헤드가 상기 기판 실링부 상부를 이동시키는 레이저 헤드 가이드;상기 레이저 헤드 가이드의 일 영역에 부착되어 상기 기판과 상기 마스크의 위치를 측정하는 제1 CCD를 구비하며, 상기 기판과 상기 마스크를 정렬시키는 적어도 하나의 제1 정렬부; 및상기 레이저 헤드의 일 영역에 부착되어 상기 기판과 상기 레이저 헤드의 위치를 측정하는 제2 CCD를 구비하며, 상기 기판과 상기 레이저 헤드를 정렬시키는 제2 정렬부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 연산부는 상기 기판 실링부의 직선부에서의 레이저 주행속도보다 시작부, 종착부 및 코너부에서의 레이저 주행속도를 등선속이거나 더 느리게 이동하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 연산부는 외부와 연결된 소정의 레이저 주행속도 조절 프로그램인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 기판은 제1 전극, 유기막층 및 제2 전극으로 구성되는 적어도 하나의 유기전계 발광소자가 형성된 화소 영역과 상기 화소 영역의 외연에 형성되는 비화소 영역을 포함하는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 상기 화소 영역을 포함한 일 영역에 합착된 제2 기판이며, 상기 프릿은 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 비화소 영역의 일 영역에 도포되는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 마스크는 상기 기판 실링부의 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 레이저 헤드의 상기 제2 정렬부와 대응하는 위치에 부착되어 상기 챔버 내부의 온도를 조절하는 온도 조절부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제6 항에 있어서,상기 온도 조절부는 온도 센서인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제1 항에 있어서,상기 기판 스테이지는 적어도 상기 기판보다 더 큰 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 기판 스테이지 상에 적어도 하나의 유기전계 발광소자가 형성된 화소 영역 및 상기 화소 영역의 외연에 형성되는 비화소 영역을 포함하는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 상기 화소 영역을 포함한 일 영역에 합착되는 제2 기판 및 마스크를 구비하고, 상기 기판 실링부의 프릿을 용융 접착시키는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법에 있어서,상기 제2 기판의 비화소 영역의 일 영역 상에 프릿을 도포한 후 소성하는 제1 단계;상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 제2 단계;상기 제2 기판 상에 마스크를 위치시키는 제3 단계;상기 마스크 상에 레이저 헤드 가이드에 의해 지지되어 이동하는 레이저 헤드가 연산부에 의해 레이저 주행속도를 조절하며 상기 기판 실링부에 레이저를 조사하여, 상기 프릿을 경화시키는 제4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법.
- 제9 항에 있어서,상기 제4 단계에서 상기 연산부는 상기 기판 실링부의 직선부에서의 레이저 주행속도보다 상기 시작부, 종착부 및 코너부에서의 레이저 주행속도를 등선속 이거나 더 느리게 이동하도록 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법.
- 제9 항에 있어서,상기 제3 단계에서 상기 레이저 헤드 가이드의 일 영역에 부착된 제1 정렬부의 제1 CCD를 통해 상기 제2 기판의 실링부와 상기 마스크가 일치하도록 정렬하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법.
- 제9 항에 있어서,상기 제4 단계에서 상기 레이저 헤드의 일 영역에 부착된 제2 정렬부의 제2 CCD를 통해 상기 레이저 헤드의 이동 위치와 상기 제2 기판의 실링부가 일치하도록 정렬하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법.
- 제9 항에 있어서,상기 제1 단계에서 상기 프릿을 소성하는 온도는 300℃ 내지 700℃의 범위인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법.
- 제9 항에 있어서,상기 제4 단계에서 상기 프릿에 조사되는 레이저의 세기는 25W 내지 60W의 범위로 조사하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법.
- 제9 항에 있어서,상기 제1 단계에서 상기 기판 상에 형성된 상기 유기전계 발광소자의 유기막층은 발광층을 필수적으로 포함하며, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층으로 구성되는 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 이용한 유기전계 발광표시장치의 제조방법.
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