KR20070076711A - Method for defect inspection in flat-panel display and apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 FPD 결함 검사장치 구성도.1 is a block diagram of a FPD defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사 방법의 흐름도.2 is a flow chart of a flat panel display defect inspection method of the present invention.
도 3은 도 2의 결함 검사 과정을 나타내는 실시 예 도면.3 is an exemplary diagram illustrating a defect inspection process of FIG. 2;
도 4는 본 발명에 따라 픽셀 영역이 선(line) 경계에 의해 정의된 상태를 보인 도면.4 illustrates a state in which a pixel region is defined by a line boundary in accordance with the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
1 : 평판디스플레이(FPD) 10 : 카메라1: Flat panel display (FPD) 10: Camera
20 : 제어 로직부 22 : 그래픽 프로그램20: control logic section 22: graphics program
24 : 패턴처리부 26 : 메모리24: pattern processing section 26: memory
30 : 메모리30: memory
본 발명은 평판디스플레이(FPD :Flat-panel display)에 관한 것으로서, 특히 FPD의 광학적 검사시에 추출된 이미지 정보를 이용하여 결함 발생 여부와 함께 그 발생된 결함 영역의 위치를 확인하는 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat-panel display (FPD). In particular, the present invention relates to a flat-panel display defect inspection that checks the position of a defect area and whether or not a defect occurs by using image information extracted during optical inspection of the FPD. A method and apparatus are disclosed.
정보통신기술의 발달과 다양화된 정보화 사회의 요구에 따라 디스플레이 수요가 증가하고 있고, 그 디스플레이 장치로서 종래 대부분의 표시장치로 채용되었던 CRT( cathode-ray tube)장치 대신에 컴팩트화, 절전화 등의 요구에 따라 평면형 표시장치인 FPD가 개발되고 있다. 현재 일반적으로 많이 쓰이는 FPD로는 전계발광표시장치(ELD), 액정표시장치(LCD: TFT-LCD, TN/STN), 플라스마 표시패널, 유기EL 등이 있다.The demand for display is increasing according to the development of information and communication technology and the demand of diversified information society, and as the display device, compactness, energy saving, etc. instead of the cathode-ray tube (CRT) device, which is conventionally used as most display devices. According to the needs of the FPD, a flat panel display device is being developed. Commonly used FPDs include electroluminescent display (ELD), liquid crystal display (LCD: TFT-LCD, TN / STN), plasma display panel, organic EL, and the like.
이와 같은 FPD 들의 안정적인 품질을 유지하기 위해서는 재료의 개발, 공정의 개발 등도 중요하지만, 제조에 사용되는 유리 또는 플라스틱 등과 같은 패널에도 결함이 없어야 한다. 통상 FPD용 패널의 결함을 검사하는 방법으로는 패널 표면에 광을 조사하고, 상기 조사된 광의 광학적 변화로부터 패널 표면의 결함을 검사하는 방식이 이용된다. 즉, 광원으로부터 방사된 광은 거울/렌즈/액정판 등의 경로를 순차적으로 거쳐 피검체인 상기 FPD용 패널에 조사되고, 검사자는 흠집이나 얼룩과 같은 결함유무를 판별하는 것이다. In order to maintain the stable quality of these FPDs, the development of materials, the development of processes, etc. are also important, but there should be no defects in panels such as glass or plastic used for manufacturing. As a method of inspecting the defect of the panel for FPD, the method of irradiating light to the panel surface and a defect of the panel surface from the optical change of the irradiated light is used normally. That is, the light emitted from the light source is sequentially irradiated to the FPD panel, which is a test object, through a path such as a mirror / lens / liquid crystal plate, and the inspector determines whether there is a defect such as a scratch or a stain.
그러나, 광의 휘도가 불안정한 경우 구조적으로 FPD용 패널에서의 불균일한 밝기로 인하여 정확하게 결함 유무를 판별할 수 없는 문제가 발생되고 있다. However, when the brightness of the light is unstable, there is a problem in that it is not possible to accurately determine the presence or absence of defects due to uneven brightness in the FPD panel.
이외에도, 저해상도 카메라를 이용하여 자동으로 상기 FPD 패널의 결함을 검사하는 방법도 이용된다. 그러나 상기 저해상도 카메라로 상기 FPD 패널의 영상을 촬영/분석하는 경우에는 모든 픽셀들에 대해 결함을 검사하기에는 검사 시간이 많이 소요되어 부족한 면이 많았고, 특히 FPD 패널에 발생할 수 있는 특이 점에 대한 결함은 검출하기 어려웠다. 상기 카메라를 이용하는 경우에는 결국 검사자가 이를 육안으로 확인하는 검사방법에 지나지 않기 때문에, 일반적으로 FPD를 목시(目視) 검사로 실시하는 것과 큰 차이점이 없다. 상기 목시 검사도 작업자의 숙련도, 주관적인 판단이나 감정 등에 따라 검사 기준이 달라질 수 있기 때문에 일정한 품질을 유지하는데 문제가 있다.In addition, a method of automatically inspecting a defect of the FPD panel using a low resolution camera is also used. However, when the image of the FPD panel is taken / analyzed by the low resolution camera, inspection of all the pixels requires a lot of inspection time, which is insufficient. It was difficult to detect. In the case of using the camera, in the end, it is only an inspection method that the inspector visually confirms it. Therefore, there is generally no significant difference from performing an FPD by visual inspection. The visual inspection also has a problem in maintaining a certain quality because the inspection criteria may vary depending on the skill of the operator, subjective judgment or emotion.
이에 본 발명의 목적은 FPD의 광학적 검사시에 추출된 이미지 정보를 기준 이미지 정보와 비교하여 상기 FPD의 결함 영역/ 결함 유무를 검사하는 평판디스플레이 결함 검사 방법 및 장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a flat panel display defect inspection method and apparatus for inspecting the defect area / defect presence of the FPD by comparing the image information extracted during the optical inspection of the FPD with the reference image information.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사 방법은, 픽셀 영역의 이미지 정보를 추출하는 단계, 상기 이미지 정보를 상기 픽셀 설계 특성에 따라 하나 이상의 픽셀 영역으로 구분하는 단계, 상기 이미지 정보와 유사한 기준 이미지를 검색/선택하는 단계, 상기 이미지 정보와 상기 기준 이미지를 오버랩(Over-lap)하는 단계, 그리고 상기 이미지 정보에 존재하는 결함을 추출하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat display defect inspection method of the present invention, the method comprising: extracting image information of a pixel region, dividing the image information into one or more pixel regions according to the pixel design characteristics, and the image And searching for and selecting a reference image similar to the information, overlapping the image information with the reference image, and extracting a defect present in the image information. do.
상기 기준 이미지 검색/선택단계는, 다수의 기준 이미지 중에서 유사성 알고리즘에 의해 유사값이 가장 높은 기준 이미지를 선택하는 것이 바람직하다.In the reference image search / selection step, it is preferable to select a reference image having the highest similarity value by a similarity algorithm among a plurality of reference images.
상기 픽셀 영역은, 다각형이나 부정형 폐곡선인 도형 영역 또는 선(line)과 선(line)의 경계 영역으로 구분한다.The pixel region is divided into a figure region or a boundary region between a line and a line, which is a polygon or an irregular closed curve.
상기 이미지 정보와 기준 이미지의 오버랩은, 상관관계 값(Correlation Value)을 이용하거나, 또는 1차원 프로젝션(Projection) 결과 값을 이용한다.The overlap of the image information and the reference image uses a correlation value or a one-dimensional projection result value.
상기 픽셀 영역에는 각각 상이하거나 동일한 구분자(lavel)를 부여한다.Each pixel area is given a different or identical label.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사 장치는, 추출된 픽셀의 이미지 정보를 하나 이상의 픽셀 영역으로 구분하는 그래픽 작업 툴, 상기 영역 구분된 이미지 정보와 유사한 기준 이미지를 검색/선택하는 이미지 검색/선택 툴, 상기 선택된 기준 이미지와 상기 추출된 이미지 정보를 하나의 화면상에 자동으로 오버랩하는 이미지 일치 툴, 상기 추출된 이미지 정보에서 결함을 추출하는 결함 추출 툴을 갖는 제어 로직부를 포함하여 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다.Flat display defect inspection apparatus of the present invention for achieving the above object, a graphical work tool for dividing the image information of the extracted pixel into one or more pixel areas, search for a reference image similar to the image information divided by the area / A control logic unit having an image search / selection tool for selecting, an image matching tool for automatically overlapping the selected reference image and the extracted image information on one screen, and a defect extraction tool for extracting defects from the extracted image information It is characterized by including the technical features.
상기 기준 이미지를 하나 이상 저장하는 메모리를 더 포함하여 구성된다.It further comprises a memory for storing one or more of the reference image.
상기 픽셀 영역은, 다각형이나 부정형 폐곡선인 도형 영역 또는 선(line)과 선(line)의 경계 영역으로 구분된다.The pixel region is divided into a figure region or a boundary region between a line and a line, which is a polygon or an irregular closed curve.
상기 픽셀 영역에는 상이하거나 동일한 구분자(Label)가 제공된다.The pixel area is provided with different or identical labels.
상기한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명은, FPD의 광학적 검사시에 추출된 이미지 정보를 통해 결함 유무 및 그 결함이 발생된 위치를 손쉽게 검사할 수 있게 된다. The present invention having the configuration as described above, it is possible to easily inspect the presence of the defect and the position where the defect occurs through the image information extracted during the optical inspection of the FPD.
이하, 본 발명에 따라 FPD의 광학적 검사시에 결함을 검사하는 방법의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of a method for inspecting a defect during the optical inspection of the FPD in accordance with the present invention will be described in detail.
도 1에는 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사방법을 설명하기 위해 제안된 FPD 결함 검사장치 구성도가 도시되어 있다.1 is a block diagram of a FPD defect inspection apparatus proposed to explain the flat display defect inspection method of the present invention.
도면을 참조하면, 상기 FPD 패널(1)은 패널 고정 유니트(3)에 고정 설치되며, 상기 FPD 패널(1)의 수직 상방에는 카메라(10)가 장착된다. 상기 카메라(10)는 X축 모터(14) 및 Y축 모터(16)에 의하여 전후좌우로 이송되면서 상기 FPD 패널(1)의 소정 부분을 촬영하여 이미지 정보를 획득할 수 있게 한다. 상기 X축 모터(14) 및 Y축 모터(16)를 구동 제어하는 구동부(18)가 구비된다. Referring to the drawings, the FPD panel 1 is fixed to the
상기 구동부(18)를 구동하기 위한 조건을 설정하여 상기 카메라(10)를 지정된 위치로 이동시키며, 사용자에 의해 미리 제공된 단위 구조 영역의 이미지(X)(기준 이미지라 함)와 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 이미지 정보(Y)를 비교하여 상기 FPD 패널(1)의 결함 유무를 판별하는 제어 로직부(20)가 구비된다. A condition for driving the
상기 제어 로직부(20)는, 상기 이미지 정보(Y)를 복수의 도형 정보 영역으로 구분/표시하는 그래픽 작업 툴(21)과, 상기 그래픽 작업 툴(21)에 의해 표시되는 이미지 정보(Y)와 유사성이 높은 기준 이미지(X)를 검색하고 비교하는 이미지 검색/선택 툴(22)을 구비한다. 그리고 상기 선택된 기준 이미지(X)와 상기 이미지 정보(Y)를 오버랩시키는 이미지 일치 툴(23) 및, 상기 이미지 정보(Y)에서 결함을 추출하는 결함 추출 툴(24)을 구비한다. 이와 같은 제어 로직부(20)는 하나의 프로그램 으로 제공되며, 일반적인 그래픽 작업이 가능한 프로그램으로서 포토샵, 캐드 프로그램 등이 포함된다. 이에 본 발명의 그래픽 프로그램은 어느 특정 프로그램에 한정되어 제공되지는 않는다. The
그리고, 상기 이미지 검색/선택 툴(22)에는 상기 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사성이 높은 도형 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 검색하기 위한 유사성 알고리즘이 제공된다. 또한 상기 이미지 일치 툴(23)은 상관관계 값(Correlation Value)을 이용하여 정확하게 두 이미지(X,Y)를 일치시키도록 한다.In addition, the image search /
상기 기준 이미지(X)가 저장되는 메모리(25)가 구비된다. 상기 메모리(25)에는 상기 이미지 검색/선택 툴(22)이 상기 이미지 정보(Y)와 유사성이 높은 기준 이미지를 검출하도록 상이한 영역 패턴을 갖는 기준 이미지들이 적어도 하나 이상 저장되는 것이 바람직하다. The
미설명 부호 30은 상기 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)를 표시하는 모니터이다. 상기 모니터(30)에는 상기 제어 로직부(20)의 각 툴(21 내지 24)에 대한 메뉴가 선택적으로 표시될 수 있다.
한편, 상기 기준 이미지(X)는 결함이 전혀 존재하지 않는 이미지를 말한다. 상기 기준 이미지(X)도 전술한 바 있는 다수개의 도형 정보 영역으로 구분되어 있으며, 상기 도형 정보 영역은 픽셀 설계 특성에 따라서 픽셀 한 개를 여러 개의 영역으로 분리되거나 복수의 픽셀 상에서 임의로 영역으로 분리되어 정해진 영역 정보이다. 본 실시 예에서의 상기 영역은 삼각 이상의 다각형이나 부정형 폐곡선으로 구성된다.On the other hand, the reference image (X) refers to an image in which no defect exists. The reference image (X) is also divided into a plurality of graphic information areas as described above, and the graphic information area is divided into several areas or randomly divided into a plurality of areas according to pixel design characteristics. Determined area information. In the present embodiment, the area is composed of polygons or irregular closed curves of triangles or more.
이어, 상기한 바와 같은 구성에 따라 본 발명의 평판디스플레이 결함 검사방법을 상세하게 설명한다. Next, the flat panel display defect inspection method of the present invention according to the configuration as described above in detail.
제 100 단계에서, 상기 FPD의 결함을 검사하기 위하여 광원(미도시)으로부터 일정 세기의 빛이 조사되면, 상기 제어 로직부(20)는 구동부(18) 제어를 통해 상기 카메라(10)를 일정 방향으로 이동시키면서 상기 FPD 패널(1)의 픽셀 영역을 촬영한다. 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 픽셀 영역 이미지 정보(Y)는 상기 제어 로직부(20)에 의해 도시되지 않는 버퍼에 일시 저장되며 이를 육안으로 확인할 수 있도록 모니터(30)에 표시한다(제 102 단계).In
일단, 픽셀 영역에 대한 이미지 정보(Y)가 상기 모니터(30)에 표시된 상태에서, 사용자는 제 104 단계에서와 같이 상기 이미지 정보(Y) 위에 그래픽 작업 툴(21)를 이용하여 도형 영역을 그린다. 상기 도형 영역은 픽셀 한 개 또는 복수의 픽셀에 대해 다수개의 영역으로 설정할 수 있다. 그리고, 상기 도형 영역은 사용자가 임의대로 그려 넣는 것보다 상기 FPD패널(1)의 픽셀 설계 특성에 따라 어느 정도 영역이 구분된 정보를 근거로 영역을 지정하는 것이 바람직하다. Once the image information Y for the pixel region is displayed on the
이와 같이 상기 이미지 정보(Y)에 대해 다수 개의 도형 영역이 정해지면, 각각의 도형 영역에 대해 이를 구분할 수 있는 구분자(Label)를 부여한다. 상기 구분자 설정은 본 발명의 결함 검사 종료시에 어느 영역에서 결함이 발생되었는가를 용이하게 알려주기 위함이다.As described above, when a plurality of figure regions are determined for the image information Y, a label for identifying the figure region is assigned to each figure region. The delimiter setting is for easily indicating in which region a defect occurred at the end of the defect inspection of the present invention.
상기 그래픽 작업 툴(21)에 의하여 상기 이미지 정보(Y)에 대한 도형 영역 정보 작업이 완료되면 이후부터는 상기 이미지 검색/선택 툴(22), 이미지 일치 툴 (23), 결함 추출 툴(24)의 처리 루틴에 따라 자동으로 결함을 추출하게 된다.After the graphic area tool has completed the graphic area information operation on the image information Y, the image search /
먼저, 제 106 단계에서 상기 이미지 검색/선택 툴(22)은 상기 메모리(26)를 액세스하여 상기 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사성이 높은 도형 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 검색한다. 상기 메모리(26)에는 도형 영역 정보로 표시된 하나 이상의 기준 이미지들이 저장되어 있으며, 상기 이미지 검색/선택 툴(22)은 공지기술인 유사성 알고리즘을 통해 그 각각의 기준 이미지(X)에 대하여 이미지 정보(Y)를 각각 비교한다. 그리고 가장 유사한 도형 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 검색 선택한다. First, in
이때, 상기 이미지 검색/선택 툴(22)의 검색 동작에서 유사한 도형 영역 정보가 검색되지 않는다면 결함 검사에 신뢰성이 저하되기 때문에 상기 제어 로직부(20)는 이에 대한 에러메시지를 모니터(30)에 표시할 수 있다. 또는 사용자가 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사한 기준 이미지(X)를 별도로 제공받아 결함 검사 작업을 진행할 수 있다.In this case, if similar figure area information is not searched in the search operation of the image search /
또한, 상기 유사성이 높은 기준 이미지(X)를 검색할 때 상기 유사성 알고리즘에 의하여 소정 값 이하의 기준 이미지(X)가 검색될 때에도 결함 검사 작업을 중지시키도록 한다. 예컨대 상기 유사성 알고리즘에 의해 레벨 값이 80% 이상일 경우에만 검색되도록 설정하였다면, 상기 80% 이상인 경우에만 검색된 기준이미지(X)를 검색/선택하고 그 이하 수치인 경우에는 결함 검사 작업을 중지시키거나 상기 전술한 바 있는 기준 이미지를 별도로 제공받아 실시한다.In addition, when searching the reference image X having a high similarity, the defect inspection operation is stopped even when the reference image X having a predetermined value or less is searched by the similarity algorithm. For example, if the level is set to be searched by the similarity algorithm only when the level value is 80% or more, search / select the searched reference image X only when the level value is 80% or more, and when the value is lower than that, the defect inspection operation is stopped or The reference image as described above is separately provided and executed.
이와 같은 유사성 검사에 따라 이미지 정보(Y)의 도형 영역 정보와 유사한 기준 이미지(X)가 검색/선택되면, 제 108 단계에서 상기 이미지 일치 툴(23)는 상기 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)를 상기 모니터(30)상에서 오버랩(Overlap)시킨다(도 3참조). 동일 좌표에 상기 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)를 오버랩하는 것은 상관 관계값(Correlation Value)을 이용하여 수행한다. 예컨대, 상관분석(Correlation Analysis)을 통해 그 결과로서 상관관계 값을 추출하여, 두 이미지(X, Y)를 일치시킨다. When the reference image X similar to the figure region information of the image information Y is searched / selected according to the similarity test, the
상기 이미지 일치 툴(23)에 의해 두 이미지(X,Y)가 상기 모니터(30)에 일치되어 표시되면, 상기 결함 추출 툴(24)은 상기 이미지 정보(Y)에 결함이 있는지를 검사한다. 상기 검사진행에 따라 만약 상기 이미지 정보(Y)에 결함이 존재하지 않으면 화면상에 아무런 표시가 나타나지 않는다.When the two images (X, Y) are matched and displayed on the monitor (30) by the image matching tool (23), the defect extraction tool (24) checks whether the image information (Y) is defective. As the inspection proceeds, if there is no defect in the image information Y, no display appears on the screen.
그러나, 만일 상기 기준 이미지(X)와 이미지 정보(Y)의 비교에 따라 일정 도형 영역에서 점 결함 등이 발생되면, 상기 결함 추출 툴(24)은 상기 결함이 발생된 영역을 모니터(30)에 표시한다(제 110 단계). 예컨대, 도 3의 실시 예 도면에 따르면, 'C'영역에서 점 결함이 발생되는 것을 예로서 도시하고 있다. 이에, 상기 FPD패널(1) 영역 중 어느 부분에 결함이 발생 되었는가를 용이하게 알 수 있다. However, if a point defect or the like occurs in a certain figure area according to the comparison of the reference image X and the image information Y, the
한편, 전술한 실시 예에서는 FPD 패널(1) 중 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 이미지를 도형 영역으로 구분하여 결함 발생 여부를 검사하는 것을 보이고 있으나, 픽셀 설계에 따라 단순 직선으로 영역을 구분하여 결함을 검사할 수 있다(도 4).Meanwhile, in the above-described embodiment, the image photographed by the
도 4는 기준 이미지(X)에 픽셀 영역 이미지 정보(Z)가 오버랩된 상태이다. 마찬가지로 상기 카메라(10)에 의해 촬영된 픽셀 영역 이미지 정보(Z)가 모니터 (30)에 표시되면(제 120 단계), 사용자는 그래픽 작업 툴(21)을 통해 가로 및 세로 방향만으로 1차원적으로 영역을 지정한다(제 122 단계). 이는 픽셀 영역의 패턴이 반복적으로 구성되어 선과 선의 경계로 영역 구분이 가능한 것에 해당될 수 있다. 물론 단순한 픽셀 영역이라 할지라도 1차원적으로 영역을 지정하지 않고 전술한 바 있는 도형 영역 정보로서 픽셀 영역을 지정할 수도 있다.4 illustrates a state in which pixel region image information Z overlaps with reference image X. FIG. Similarly, when the pixel area image information Z photographed by the
상기 모니터(30)에 픽셀 영역 정보가 지정되면, 사용자는 그 영역에 대해 구분자를 부여한다. 그리고 이후부터는 상기 제어 로직부(20)가 상기 이미지 정보(Z)에 대한 결함 여부를 메모리(25)에 저장되어 있는 기준 이미지(X)와 비교하여 자동으로 검사하는 과정을 수행하는데, 그 과정은 전술한 도형 영역 정보에 대한 결함 검출과 유사하게 진행된다. 즉, 도 2를 다시 참조하면 제 124 단계 및 제 126 단계에서와 같이 이미지 검색/선택 툴(22)은 상기 이미지(Z)의 선 영역 정보와 유사성이 높은 선 영역 정보를 갖는 기준 이미지(X)를 메모리(25)로부터 검출한다. 그리고 이미지 일치 툴(23)은 상기 검출된 기준 이미지(X)와 상기 이미지(Z)를 오버랩시킨다. 이후 결함 추출 툴(24)에 의해 결함이 추출되는데, 도 4는 'D*B' 픽셀 영역에 결함이 있음을 나타내고 있다.If pixel area information is specified in the
이와 같이 상기 실시 예에 설명되고 있는 본 발명은, FPD을 이루는 단위 구조인 픽셀에서 점 결함이 존재할 때 그 점 결함이 픽셀의 어느 영역에 존재하는 지를 용이하게 알 수 있는 잇점이 있다.As described above, the present invention described in the above embodiment has an advantage that it is easy to know in which area of the pixel the point defect exists when the point defect exists in the pixel which is the unit structure constituting the FPD.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 FPD 광학 검사시에 추출된 이미지 정보를 이용하여 픽셀 영역에 존재하는 점 결함 등의 특이 결함을 용이하게 검출할 수 있는 효과가 있다. As described in detail above, according to the present invention, it is possible to easily detect specific defects such as point defects existing in the pixel region by using image information extracted during FPD optical inspection.
또한, 상기 특이 결함이 픽셀의 어느 영역에 있는지를 사용자가 손쉽게 확인할 수 있도록 함으로써, 결함 검출에 따른 대응을 빠르게 할 수 있는 효과도 있다.In addition, by allowing the user to easily identify in which region of the pixel the singular defect is located, there is an effect that the response according to the defect detection can be quickened.
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100842460B1 (en) * | 2006-09-22 | 2008-07-01 | 씨에스아이시스템주식회사 | Method for detecting dot defects in flat display panel |
WO2010094025A2 (en) * | 2009-02-16 | 2010-08-19 | Kla-Tencor Corporation | Use of design information and defect image information in defect classification |
CN108007913A (en) * | 2016-10-27 | 2018-05-08 | 中国人民解放军第二军医大学 | Spectral manipulation device, method and authenticity of medicament decision-making system |
WO2022260396A1 (en) * | 2021-06-09 | 2022-12-15 | 삼성디스플레이주식회사 | Display apparatus and method for inspecting display apparatus |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4135143B2 (en) * | 2003-04-22 | 2008-08-20 | 株式会社島津製作所 | Board inspection equipment |
KR100542747B1 (en) * | 2003-08-01 | 2006-01-11 | 삼성전자주식회사 | Apparatus and method for inspection a defect |
KR20050102943A (en) * | 2004-04-23 | 2005-10-27 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | Apparatus for testing color filter and method for testing color filter |
-
2006
- 2006-01-19 KR KR1020060005912A patent/KR100846811B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100842460B1 (en) * | 2006-09-22 | 2008-07-01 | 씨에스아이시스템주식회사 | Method for detecting dot defects in flat display panel |
WO2010094025A2 (en) * | 2009-02-16 | 2010-08-19 | Kla-Tencor Corporation | Use of design information and defect image information in defect classification |
WO2010094025A3 (en) * | 2009-02-16 | 2010-11-18 | Kla-Tencor Corporation | Use of design information and defect image information in defect classification |
US8175373B2 (en) | 2009-02-16 | 2012-05-08 | Kla-Tencor Corporation | Use of design information and defect image information in defect classification |
CN108007913A (en) * | 2016-10-27 | 2018-05-08 | 中国人民解放军第二军医大学 | Spectral manipulation device, method and authenticity of medicament decision-making system |
CN108007913B (en) * | 2016-10-27 | 2020-08-14 | 中国人民解放军第二军医大学 | Spectrum processing device, method and medicine authenticity judging system |
WO2022260396A1 (en) * | 2021-06-09 | 2022-12-15 | 삼성디스플레이주식회사 | Display apparatus and method for inspecting display apparatus |
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