KR20070070751A - 반도체 제조 시스템 - Google Patents

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KR20070070751A
KR20070070751A KR1020050133596A KR20050133596A KR20070070751A KR 20070070751 A KR20070070751 A KR 20070070751A KR 1020050133596 A KR1020050133596 A KR 1020050133596A KR 20050133596 A KR20050133596 A KR 20050133596A KR 20070070751 A KR20070070751 A KR 20070070751A
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한종헌
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삼성전자주식회사
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Abstract

반도체 제조 시스템이 개시된다. 본 발명의 반도체 제조 시스템은, 반도체 제조공정을 관리하는 제조실행시스템(MES, Manufacturing Execution System); 및 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)를 인식하여 인식된 정보를 제조실행시스템(MES)에 전송하는 FOSB 인식부를 구비하며, 전면 개방 운반 용기(FOSB)를 통한 웨이퍼 이송 시에 제조실행시스템(MES)과 온 라인(on-line) 상태를 유지하는 소터 시스템(Sorter System)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 소터 시스템에서 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시에도 제조실행시스템(MES)과 온 라인 상태에서 작업이 가능할 수 있어 종래 소터 시스템에서 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시에 로컬 모드(Local Mode)로 전환 후 수동 작업으로 진행해야 함으로써 발생되는, 모드 전환에 따른 작업 공수 증가나 적절한 작업 모드 미전환으로 인한 작업 손실 또는 로컬 모드에서의 작업에 의한 웨이퍼 엇갈림 사고 발생 등의 여러 가지 제반 문제점을 해결할 수 있다.
반도체 제조 시스템, MES, FOUP, FOSB, FOSB 공용 RF 태그, 온 라인

Description

반도체 제조 시스템{Semiconductor Manufacturing System}
도 1은 반도체 웨이퍼용 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)의 사시도이다.
도 2는 반도체 웨이퍼용 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)의 사시도이다.
도 3은 종래의 반도체 제조 시스템의 소터 시스템의 웨이퍼 캐리어간의 웨이퍼 이송시 작업모드를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 시스템의 개략적 블록도이다.
도 5는 도 4의 반도체 제조 시스템의 소터 시스템의 웨이퍼 캐리어간의 웨이퍼 이송시 작업모드를 설명하기 위한 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 소터 시스템(Sorter System) 11 : FOSB 인식부
12 : FOSB 공용 RF 태그 13 : RF 리더(RF Reader)
15 : FOUP 인식부 16 : FOUP용 RF 태그
20 : 제조실행시스템(MES) 30 : 운영자(Operator)
본 발명은, 반도체 제조 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체 생산라인의 소터 시스템(Sorter System)에서 웨이퍼 캐리어 간 웨이퍼 이송 시 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)를 통한 웨이퍼 이송의 경우에도 소터 시스템을 로컬 모드(Local Mode)로 전환하지 않고 제조실행시스템(MES)과 온 라인(on-line) 상태로 작업을 수행할 수 있는 반도체 제조 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자 제조 공정에서는, 웨이퍼를 대상으로 하여 사진, 식각, 확산, 증착 및 금속 공정 등 다양하게 이루어지는 단위 공정을 수행한다. 이러한 단위 공정의 수행에서는 웨이퍼를 다수 매 적재시킨 웨이퍼 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 보관, 이동하거나 직접 생산 프로세스(process)에 투입한다.
이러한 웨이퍼 캐리어는, 반도체 소자의 수율 증가를 위해 웨이퍼가 점차 대구경 화됨에 따라 그 크기도 변화되고 있다. 예를 들어, 종래에는 200 mm(8 인치) 웨이퍼를 사용하고 웨이퍼 캐리어로서 웨이퍼 카세트를 사용하였는데, 300 mm(12 인치) 웨이퍼를 사용하면서 현재 웨이퍼 캐리어로서 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)와 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)가 제조되어 사용되고 있다.
도 1에 도시된 FOUP(101)은, 공정 용도로서, 주로 직접 생산 프로세스에 투입되는 데에 사용된다. FOUP(101)에는 복수 매의 웨이퍼가 수평하게 적재될 수 있 는데, 웨이퍼는 FOUP(101) 도어를 통하여 출입한다. 카세트를 이용할 경우, 적재된 웨이퍼가 노출되며 별도의 카세트 캐리어 박스가 필요한 것에 비하여, FOUP(101)은 적재된 웨이퍼에 대한 실링 특성이 우수하며 캐리어 박스와 같은 별도의 보조 기구가 필요 없는 장점을 갖는다. 또한 FOUP(101)에는 정보가 기록된 RF 태그(미도시, RF Tag)가 부착되어 있는 것이 일반적이다.
그리고, 도 2에 도시된 FOSB(103)는 주로 웨이퍼를 보관하거나 이동시키는 쉬핑(Shipping) 용도로 이용된다. FOSB(103)는 FOUP(101)과 유사한 구조를 가지는데, 도시하지 않은 도어를 작업자도 쉽게 열 수 있는 구조를 갖는다. 다만 FOSB(103)는 현재 FOUP(101)과 같이 RF 태그(RF Tag)가 부착되어 있지 않다.
한편, 반도체 제조 시스템의 소터 시스템(미도시, Sorter System)은, 웨이퍼 캐리어(Carrier)의 슬롯 내 웨이퍼를 다른 적정 웨이퍼 캐리어로 소팅(sorting)해서 웨이퍼를 이송하는 설비이다. 이러한 소터 시스템은 제조실행시스템(MES, Manufacturing Execution System)과 온 라인(on-line)으로 연결되어 상호 데이터를 주고받는다. 소터 시스템에 만약 FOUP(101)이 적재되는 경우에 소터 시스템은 웨이퍼 이송 시에 FOUP(101)에 부착되어 있는 RF 태그(미도시, RF Tag)의 정보를 받아들여 정보를 판독하고 그 정보를 제조실행시스템(MES)에 자동으로 전송하게 되며, 제조실행시스템(MES)은 그에 따라 사용자 인터페이스(User Interface) 화면을 제공하게 되고, 운영자는 이를 통하여 작업 명령을 내리게 된다. 따라서 웨이퍼 이송 시 FOUP(101)이 적재되는 경우에 소터 시스템은 제조실행시스템(MES)과 온 라인(On-Line) 상태에서 자동으로 작업이 가능하다.
그러나 소터 시스템에서 FOSB(103)를 통한 웨이퍼 이송 시에는 경우 도 3에 도시된 바와 같이 예를 들어 FOSB(103)에서 FOUP(101)으로 웨이퍼를 이송하는 경우 등에 있어서는 FOSB(103)에 RF 태그(RF Tag)가 부착되어 있지 않기 때문에 소터 시스템은 이를 자동으로 인식할 수 없다. 따라서 웨이퍼 이송 시에 FOSB(103)가 사용될 경우에는 소터 시스템을 일반적으로 로컬 모드(Local Mode)로 전환하여 수동(Manual) 작업을 통해서 웨이퍼(Wafer)를 이송시키게 된다. 또한 웨이퍼 이송 작업이 완료되면 그 결과를 제조실행시스템(MES)의 사용자 인터페이스 화면을 통해 입력하여야 한다.
그런데 만약 운영자(operator)가 로컬 모드로 전환하여 작업 후 제조실행시스템(MES)에 이력을 남기지 않는 경우에는 그 전의 FOUP(101)에 대한 정보대로 작업이 진행이 되어 공정 에러가 발생할 위험이 있다. 또한 다시 FOUP(101) 간의 웨이퍼 이동이 진행되는 경우에는 그 전에 설정해 놓은 로컬 모드를 해제하여야 하는데, 만약 운영자가 이를 하지 않고 바로 진행하는 경우에는 FOUP(101)과 FOUP(101) 사이의 웨이퍼 이송 시에도 로컬 모드로 작업이 진행됨으로써 역시 공정 에러가 발생하여 웨이퍼 이송 작업을 다시 해야 하는 문제점이 발생한다.
이상과 같이 종래의 반도체 제조 시스템에 있어서는, 소터 시스템에서 FOSB(103)를 통한 웨이퍼 이송 시 제조실행시스템(MES)과 온 라인(On-Line) 상태에서 진행할 수 없으므로 소터 시스템을 로컬 모드로 전환하여 수동으로 작업을 진행하여야 하므로, 로컬 모드 및 온 라인 상태로의 모드 전환을 위한 작업 공수가 발생하고 또한 로컬 모드와 온 라인 상태의 작업 전환 실수로 인하여 웨이퍼(Wafer) 간 뒤바뀜의 잠재원인이 되기도 하며, 온 라인(On-Line) 상태에서 작업이 진행되지 못함으로써 문제 발생 시 이력을 확인할 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 소터 시스템에서 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시에도 제조실행시스템(MES)과 온 라인 상태에서 작업이 가능할 수 있어 종래 소터 시스템에서 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시에 로컬 모드(Local Mode)로 전환 후 수동 작업으로 진행해야 함으로써 발생되는, 모드 전환에 따른 작업 공수 증가나 적절한 작업 모드 미전환으로 인한 작업 손실 또는 로컬 모드에서의 작업에 의한 웨이퍼 엇갈림 사고 발생 등의 여러 가지 제반 문제점을 해결할 수 있는 반도체 제조 시스템을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 반도체 제조공정을 관리하는 제조실행시스템(MES, Manufacturing Execution System); 및 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)를 인식하여 인식된 정보를 상기 제조실행시스템(MES)에 전송하는 FOSB 인식부를 구비하며, 상기 전면 개방 운반 용기(FOSB)를 통한 웨이퍼 이송 시에 상기 제조실행시스템(MES)과 온 라인(on-line) 상태를 유지하는 소터 시스템(Sorter System)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템에 의해 달성된다.
여기서, 상기 FOSB 인식부는, 소정의 코드가 기록되어 상기 제조실행시스템이 FOSB로 인식하는 FOSB 공용 RF 태그; 및 상기 FOSB 공용 RF 태그에 기록된 정보 를 판독하는 RF 리더(RF Reader)를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 FOSB 공용 RF 태그는 상기 소터 시스템에 적재되는 FOSB에 부착되어 있을 수 있다.
또는, 상기 FOSB 공용 RF 태그는 FOSB가 상기 소터 시스템에 적재될 때마다 운영자에 의하여 상기 RF 리더(RF Reader)에 인식될 수도 있다.
한편, 상기 소터 시스템은, 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod) 인식하여 인식된 정보를 상기 제조실행시스템(MES)에 자동으로 전송하는 FOUP 인식부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 FOUP 인식부는, 상기 FOUP에 부착되며, 소정의 코드가 기록되어 상기 제조실행시스템이 FOUP을 인식하는 FOUP용 RF 태그; 및 상기 FOUP용 RF 태그에 기록된 정보를 판독하는 FOUP용 RF 리더(RF Reader)를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 FOUP용 RF 리더(RF Reader)는 상기 FOSB 공용 RF 태그에 기록된 정보를 판독하는 RF 리더(RF Reader)와 동일한 것이 바람직하다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 시스템의 개략적 블록도로 서, 이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 시스템은, 제조실행시스템(20, MES, Manufacturing Execution System)과, 이에 온 라인(on-line) 상태로 연결되어 데이터를 주고받는 소터 시스템(10, Sorter System)을 구비한다. 제조실행시스템(20, MES)은 반도체 제조공정을 관리하며, 또한 운영자(30, operator)의 작동 명령을 위한 사용자 인터페이스(User Interface) 화면을 제공한다. 소터 시스템(10)은 웨이퍼 캐리어간의 웨이퍼 이송 작업을 수행하는데, 웨이퍼 이송 작업 수행 시, 전면 개방 운반 용기(미도시, FOSB, Front Opening Shipping Box)를 인식하여 인식된 정보를 제조실행시스템(20, MES)에 자동으로 전송하는 FOSB 인식부(11)와, 전면 개방 일체식 포드(미도시, FOUP, Front Open Unified Pod)를 인식하여 인식된 정보를 제조실행시스템(20, MES)에 자동으로 전송하는 FOUP 인식부(15)를 구비한다.
제조실행시스템(20, MES)은 현장(shop floor)에서 작업을 수행하기 위한 제반 활동(스케줄링, 작업지시, 품질관리, 작업실적집계 등)을 지원하기 위한 관리시스템이다. 특히 제조실행시스템(20, MES)은 생산계획과 실행의 차이를 줄이기 위한 시스템으로 현장상태의 실시간 정보제공을 통하여 운영자(30)의 의사결정을 지원하는 기능을 수행한다.
제조실행시스템(20, MES)의 기능을 살펴보면, 공정진행 정보 모니터링(monitoring) 및 제어(control), 설비제어 및 모니터링, 품질정보 추적(tracking) 및 제어, 실적정보 집계 등 생산 현장에서 발생할 수 있는 모든 정보를 통합 관리한다고 할 수 있다.
한편, 소터 시스템(10, Sorter System)은 웨이퍼 캐리어(Carrier)의 슬롯 내 웨이퍼를 다른 적정 웨이퍼 캐리어로 소팅(sorting)해서 웨이퍼를 이송하는 시스템이다. 소터 시스템(10)은 또한 제조실행시스템(20, MES)과 온 라인 상태로 연결되어 소터 시스템(10)에서 인식된 정보나 수행된 작업정보를 제조실행시스템(20, MES)으로 전송하고, 제조실행시스템(20, MES)은 미리 저장되어 있는 필요 정보를 사용자 인터페이스 화면에 표시하거나 또는 운영자(30)에 의하여 입력된 작동 명령 등을 소터 시스템(10)으로 전송한다. 이러한 소터 시스템(10)은, 전술한 바와 같이 FOSB 인식부(11)와, FOUP 인식부(15)를 구비한다.
FOSB 인식부(11)는, 소정의 코드가 기록되어 제조실행시스템(20)이 FOSB로 인식하는 FOSB 공용 RF 태그(12)와, FOSB 공용 RF 태그(12)에 기록된 정보를 판독하는 RF 리더(13, RF Reader)를 구비한다. 따라서 종래와 달리 FOSB 사용 시에도 FOUP과 같이 제조실행시스템(20, MES)과 온 라인(on-line) 상태에서도 웨이퍼 이송 작업이 가능하다.
즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 종래와 같이 FOUP과 FOUP 사이의 웨이퍼 이송 시에 온 라인 작업이 가능함은 물론, 종래에 제조실행시스템(20, MES)과 온 라인(on-line) 상태를 해제하여 로컬 모드로 전환한 뒤 수동으로 제조실행시스템(20, MES)에 정보를 입력하여야 했던, FOSB와 FOSB 사이의 웨이퍼 이송, FOSB와 FOUP 사이의 웨이퍼 이송, FOUP과 FOSB 사이의 웨이퍼 이송이 제조실행시스템(20, MES)과 온 라인(on-line) 상태에서도 진행될 수 있다. 따라서 소터 시스템(10)에서 모든 웨이퍼 이송 작업을 제조실행시스템(20, MES)과 온 라인(on-line) 상태에서 진행할 수 있게 된다.
FOSB 인식부(11)의 FOSB 공용 RF 태그(12)는, 소터 시스템(10)에 적재되는 FOSB 마다 별도로 부착되어 있도록 구성할 수도 있으나, 본 실시 예에서는 FOSB 공용 RF 태그(12)는 FOSB가 소터 시스템(10)에 적재될 때마다 운영자(30)가 소터 시스템(10)의 RF 리더(13, RF Reader)에 인식시킨 후 FOSB를 통한 이송 작업이 진행되도록 한다.
이러한 FOSB 공용 RF 태그(12)에는 제조실행시스템(20, MES)과 협의된 코드가 기록되어 있으며 소터 시스템(10)의 RF 리더(13)가 FOSB 공용 RF 태그(12)를 인식하여 그 정보를 제조실행시스템(20, MES)에 전송하게 된다. 이에 따라 제조실행시스템(20, MES)은 해당 사용자 인터페이스 화면을 제공하여 운영자(30)에 의한 작동 명령을 기다리게 된다.
이와 유사하게, 소터 시스템(10)의 FOUP 인식부(15) 또한, 전면 개방 일체식 포드(미도시, FOUP, Front Open Unified Pod)를 인식하여 인식된 정보를 제조실행시스템(20, MES)에 자동으로 전송한다.
FOUP 인식부(15)는, FOUP에 부착된 FOUP용 RF 태그(16)와, FOUP용 RF 태그(16)에 기록된 정보를 판독하는 FOUP용 RF 리더(13)를 구비한다. FOUP용 RF 태그(16)에는 소정의 코드가 기록되어 FOUP용 RF 리더(13)에 의하여 제조실행시스템(20)으로 그 정보가 전송되고, 제조실행시스템(20, MES)은 해당 정보를 사용자 인터페이스 화면을 제공한다.
이러한 FOUP용 RF 리더(13)는, FOSB 공용 RF 태그(12)에 기록된 정보를 판독 하는 RF 리더(13)와 별도로 마련될 수도 있지만, 본 실시 예에서는 FOSB 공용 RF 태그(12)에 기록된 정보를 판독하는 RF 리더(13)와 동일한 것이다. 즉 FOUP용 RF 리더(13)가 FOSB 공용 RF 태그(12)에 기록된 정보도 판독할 수 있도록 함으로써 FOSB 공용 RF 태그(12)를 판독하기 위한 별도의 RF 리더를 설치하지 않아도 된다.
이러한 구성에 의하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 시스템의 작용에 대하여 도 4 내지 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 운영자(30)가 소터 시스템(10)에 웨이퍼 캐리어를 적재시킨다. 그러면 소터 시스템(10)은, RF 리더(13)가 FOUP에 부착된 FOUP용 RF 태그(16)나 FOSB 공용 RF 태그(12)에 기록된 정보를 판독하여 자동으로 웨이퍼들의 위치 값인 슬롯 맵(slot map)을 체크하게 된다. 종래와 달리 본 발명에서는 FOSB 인식부(11)를 소터 시스템(10)이 구비하고 있기 때문에 FOSB를 통한 웨이퍼의 이송 시에도 소터 시스템(10)을 제조실행시스템(20, MES)과의 온 라인(on-line) 상태를 해제할 필요가 없다.
따라서 웨이퍼 이송을 하는 웨이퍼 캐리어가 FOUP 만으로 된 경우에는 종래와 같이 FOUP에 부착된 FOUP용 RF 태그(16)에 대한 정보를 RF 리더(13)가 판독하고, FOSB와 FOSB 사이 또는 FOSB와 FOUP 사이의 웨이퍼 이송의 경우에는, FOUP에 부착된 FOUP용 RF 태그(16)에 대한 정보를 RF 리더(13)가 판독하고 또한 운영자(30)가 FOSB 적재 시에 FOSB 공용 RF 태그(12)를 RF 리더(13)에 인식시킴으로써 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시의 정보가 제조실행시스템(20, MES)에 전송되도록 한다. 이 인식된 정보를 전송 받은 제조실행시스템(20, MES)은 소터 시스템(10)에서 전송된 정보에 기초하여 관련된 사용자 인터페이스 화면을 제공한다. 그러면 운영자(30)는 사용자 인터페이스 화면에 명령어를 입력하게 된다.
운영자(30)가 사용자 인터페이스 화면에 웨이퍼 이송 작동명령을 입력하게 되면 제조실행시스템(20, MES)을 통하여 소터 시스템(10)에 작동명령이 전송된다. 그러면 소터 시스템(10)은 이에 응답하여 웨이퍼 이송 작업을 진행하게 된다. 이송 작업이 완료되면 이에 대한 정보가 다시 제조실행시스템(20, MES)에 전송되고 제조실행시스템(20, MES)은 다시 새로운 사용자 인터페이스 화면을 제공하게 된다.
이상과 같이, FOSB 공용 RF 태그(12)를 RF 리더(13)에 인식시켜 그에 따른 정보를 제조실행시스템(20, MES)에 전송할 수 있게 하고 따라서 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시에도 제조실행시스템(20, MES)과 소터 시스템(10)의 온 라인 상태를 해제할 필요 없이 모든 웨이퍼 이송 작업이 온 라인으로 진행될 수 있게 함으로써, 소터 시스템(10)의 로컬 모드 전환으로 인해 발생할 수 있는 작업 공수의 증가나 수동 모드로 이송 작업을 진행함으로써 발생할 수 있는 웨이퍼 엇갈림 사고 발생 등 여러 가지 제반 문제점을 해결할 있다.
전술한 실시 예에서는, FOSB 인식부(11)가 FOSB 공용 RF 태그(12)와 RF 리더(13)를 구비한 것에 대하여 상술하였으나, FOSB 인식부(11)는 바코드 또는 적외선 등을 이용하여 FOSB를 인식할 수 있는 다양한 FOSB 인식장치가 될 수도 있을 것이다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에 서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서, 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 소터 시스템에서 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시에도 제조실행시스템(MES)과 온 라인 상태에서 작업이 가능할 수 있어 종래 소터 시스템에서 FOSB를 통한 웨이퍼 이송 시에 로컬 모드(Local Mode)로 전환 후 수동 작업으로 진행해야 함으로써 발생되는, 모드 전환에 따른 작업 공수 증가나 적절한 작업 모드 미 전환으로 인한 작업 손실 또는 로컬 모드에서의 작업에 의한 웨이퍼 엇갈림 사고 발생 등의 여러 가지 제반 문제점을 해결할 수 있다.
이에 의하여 제품의 불량을 감소시키고 제조 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.

Claims (7)

  1. 반도체 제조공정을 관리하는 제조실행시스템(MES, Manufacturing Execution System); 및
    전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)를 인식하여 인식된 정보를 상기 제조실행시스템(MES)에 전송하는 FOSB 인식부를 구비하며, 상기 전면 개방 운반 용기(FOSB)를 통한 웨이퍼 이송 시에 상기 제조실행시스템(MES)과 온 라인(on-line) 상태를 유지하는 소터 시스템(Sorter System)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 FOSB 인식부는,
    소정의 코드가 기록되어 상기 제조실행시스템이 FOSB로 인식하는 FOSB 공용 RF 태그; 및
    상기 FOSB 공용 RF 태그에 기록된 정보를 판독하는 RF 리더(RF Reader)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 FOSB 공용 RF 태그는 상기 소터 시스템에 적재되는 FOSB에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 FOSB 공용 RF 태그는 FOSB가 상기 소터 시스템에 적재될 때마다 운영자에 의하여 상기 RF 리더(RF Reader)에 인식되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 소터 시스템은,
    전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod) 인식하여 인식된 정보를 상기 제조실행시스템(MES)에 자동으로 전송하는 FOUP 인식부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 FOUP 인식부는,
    상기 FOUP에 부착되며, 소정의 코드가 기록되어 상기 제조실행시스템이 FOUP을 인식하는 FOUP용 RF 태그; 및
    상기 FOUP용 RF 태그에 기록된 정보를 판독하는 FOUP용 RF 리더(RF Reader)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 FOUP용 RF 리더(RF Reader)는 상기 FOSB 공용 RF 태그에 기록된 정보를 판독하는 RF 리더(RF Reader)와 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100984843B1 (ko) * 2008-07-31 2010-10-04 재단법인서울대학교산학협력재단 Ｒｆｉｄ 및 ｍｅｓ를 이용한 공정관리 시스템 및 방법
KR20160109747A (ko) * 2015-03-13 2016-09-21 세메스 주식회사 웨이퍼 제조 설비 시스템

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