KR20070069310A

KR20070069310A - 초해상 광기록매체

Info

Publication number: KR20070069310A
Application number: KR1020050131267A
Authority: KR
Inventors: 이창호; 곽금철; 김진홍
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2005-12-28
Filing date: 2005-12-28
Publication date: 2007-07-03
Also published as: KR100747577B1

Abstract

본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것으로 특히, 회절한계 이하의 마크를 기록하고 재생할 수 있도록 하는 것으로, 기판과, 상기 기판 위에 위치하는 것으로, Ge를 포함하고 Ag, Au, W, Mn, Pt, Ti, Zr, V, Cr, Fe, Co, Ni, Pd, Sb, Ta, Al, In, Cu, Sn, Te, Zn 및 Bi 중 선택 되어지는 금속으로 이루어지는 기록층과, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 재생층과, 상기 기록층과 재생층 사이에 위치하는 제1유전체층을 포함하는 정보기록층과, 상기 정보기록층 위에 위치하는 광투과층을 포함하여 구성되어, 초해상 재생층이 포함된 광기록매체에서 회절한계 이하의 기록 피트를 재생할 수 있도록 할 수 있고, 기록 후에 재생 신호의 노이즈를 충분히 억제시키고, 충분한 기록 감도를 확보하며, 기록 전후의 반사율 변화를 충분히 크게 할 수 있는 것이다.

매체, 초해상, 기록층, 마크, 감도.

Description

초해상 광기록매체 {High definition optical media}

도 1은 종래의 광기록매체의 일례를 나타내는 단면 개략도

도 2는 본 발명의 초해상 광기록매체의 제 1실시예를 나타내는 단면 개략도

도 3은 본 발명의 초해상 광기록매체의 제 2실시예를 나타내는 단면 개략도

도 4는 본 발명의 초해상 광기록매체의 제 3실시예를 나타내는 단면 개략도

도 5는 본 발명의 초해상 광기록매체의 기록 파워에 대한 CNR 비를 나타내는 그래프

도 6은 본 발명의 초해상 광기록매체의 재생광 파워에 대한 CNR 비를 나타내는 그래프

<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명>

10 : 기판 20 : 반사층

30 : 정보기록층 31 : 기록층

32 : 재생층 33 : 제1유전체층

40 : 광투과층 50 : 제2유전체층

60 : 제3유전체층

본 발명은 초해상 광기록매체에 관한 것으로 특히, 게르마늄(Ge)/금속막으로 이루어진 기록층과 초해상 현상이 나타나게 하는 물질로 이루어진 재생층을 포함하여 회절한계 이하의 마크를 기록하고 재생할 수 있도록 하는 초해상 광기록매체에 관한 것이다.

현재 개발되어 사용되는 광디스크의 저장용량은, 적색 레이저를 사용한 DVD급 (4.7GB)과 최근 시장에 진입한 청색 레이저를 사용한 BD(Blue-lay Disk)급(25GB) 정도가 가능하다.

하지만 최근 도래하고 있는 고선명 디지털 비디오(High Density Digital Video)의 신호 흐름을 정보로서 저장하기 위해서는 20GB 이상의 용량과 25Mbps이상의 데이터 전송 속도로 기록할 수 있는 정보저장매체가 필요하다.

또한 2005년 이후에는 100GB/CD-size 이상, 2010년 이후에는 Terabyte(TB)/CD-size급 용량의 정보기록이 가능한 기술을 요구하게 될 것이다.

이와 같은 다양한 멀티미디어 환경에서 다기능 정보 저장기술의 여러 형태가 개발되어 오고 있다.

그 중에서도 광기록기술은 탈착 가능하면서도 대용량 정보저장이 가능하고, 멀티미디어 환경에서 필수적인 랜덤 액세스(random access) 및 데이터의 신뢰성을 지니고 있고, 비용이 저렴하기 때문에 여러 정보 저장방식 중 가장 각광 받고 있다.

이와 같은 광기록 매체의 용량(밀도)의 증가는 기록 피트(pit)의 크기를 줄 임으로써 가능하다.

기록 피트의 크기는 레이저 파장에 비례하고 대물렌즈의 개구수(Numerical Aperture: NA)에 반비례하므로(d ∝ λ/NA, 여기서 d는 레이저 빔 크기, λ는 파장, NA는 렌즈의 개구수), 이를 위해서는 입사 레이저의 파장을 줄이거나 대물렌즈의 개구수를 증가시켜 왔다.

따라서 단파장 레이저를 이용한 기록과 재생이 되는 기록매체는 고밀도 저장매체로 가는 첫걸음이 된다.

그러나 단파장 레이저(청색 레이저(405nm)) 및 고 개구수(NA=0.85) 사용으로 인한 고밀도화는 거의 이론적인 한계에 도달하였으며, 그 이상의 저장 용량을 구현하기 위해서는 새로운 방안을 필요로 한다.

따라서 기존 CD와 DVD 재생기기들과 호환이 되면서도 초기 CD 저장 용량인 650MB보다 수백배 높은 고밀도 정보저장이 가능한 광 메모리의 한 방안으로 초해상(super-resolution) 현상을 이용한 광디스크 연구개발이 진행되고 있다.

상기 초해상을 이용한 광디스크 기술은 종래의 레이저 광 픽업 시스템을 사용하면서 기록 마크 크기를 획기적으로 줄여 저장밀도를 증가시킬 수 있는 기술이다.

종래에 보고되었던 일회 기록형(Write once read many: WORM) 초해상 광디스크는 기록층에 버블(bubble) 형태의 마크를 기록하는데 나노 크기의 금속입자(예를 들어, 백금: Pt)와 산소 또는 질소 등의 결합체에서 특정온도 이상에서 나노입자가 분리되면서 만들어 내는 버블(bubble)을 마크로 이용하였다.

또한 비선형 광학물성 또는 열적 거동을 갖는 물질을 이용하여 회절한계 이하의 작은 크기의 개구(aperture)를 형성하여 작은 마크를 재생하는 것으로 알려져 있다.

도 1은 기록층(4)으로 PtO_x를, 재생층(5)으로 GeSbTe을 사용한 기록용 초해상 광디스크의 일반적인 구조를 나타내고 있다.

즉, 상기 구조는 기판(1) 위에 반사층(2)이 위치하고, 상기 기록층(4)과 재생층(5)은 유전체층(3)으로 덮힌 구조로서, 그 상측에는 광투과층(6)이 위치한다.

이와 같이 제작한 광디스크에 레이저를 조사함으로써 특정온도 이상에서 기록층에 형성되는 버블 형태의 마크를 이용하여 초해상 WORM 디스크로 이용하려는 연구가 많이 진행되어 왔는데, 상기와 같은 버블 형태 마크 모양의 불균일성으로 인하여 신호품질(jitter)을 향상시키는데 큰 걸림돌이 되고 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 초해상 재생층이 포함된 광기록매체에서 회절한계 이하의 기록 피트를 재생할 수 있도록 할 수 있고, 기록 후에 재생 신호의 노이즈를 충분히 억제시키고, 충분한 기록 감도를 확보하며, 기록 전후의 반사율 변화를 충분히 크게 할 수 있는 초해상 광기록매체를 제공하고자 한다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판과, 상기 기 판 위에 위치하는 것으로, Ge를 포함하고 Ag, Au, W, Mn, Pt, Ti, Zr, V, Cr, Fe, Co, Ni, Pd, Sb, Ta, Al, In, Cu, Sn, Te, Zn 및 Bi 중 선택 되어지는 금속으로 이루어지는 기록층과, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 재생층과, 상기 기록층과 재생층 사이에 위치하는 제1유전체층을 포함하는 정보기록층과, 상기 정보기록층 위에 위치하는 광투과층을 포함하여 구성함으로써 달성된다.

상기 정보기록층의 상하에는 각각 제2유전체층 및 제3유전체층이 위치하고, 상기 기판과 정보기록층 사이에는 입사하는 기록 빔을 반사하는 반사층을 구성하는 것이 바람직하다.

상기 기록층의 Ge와 Ag, Au, W, Mn, Pt, Ti, Zr, V, Cr, Fe, Co, Ni, Pd, Sb, Ta, Al, In, Cu, Sn, Te, Zn 및 Bi 중 선택 되어지는 금속은 합금을 이루거나, Ge와 상기 금속이 별도로 인접하여 적층될 수도 있고, Ge와 상기 금속이 연속하여 교대로 적층될 수도 있다.

상기 재생층은 비선형 광학물질, 온도 분포에 따라 광학특성이 변하는 thermochronic 물질, 상변화물질 등 어느 하나를 이용한다.

상기 제1유전체층은 Al₂O₃, AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO₂, SiO, SiO₂, Si₃N₄, SiC, La₂O₃, TaO 및 TiO₂ 중 적어도 어느 하나 이상으로 형성된다.

상기 기판에 대하여, 재생층과 기록층의 위치는 서로 다르게 할 수 있다. 즉, 재생층이 상측에 위치할 수도 있고, 반대로 기록층이 상측에 위치할 수도 있다.

경우에 따라서는 재생층이 둘 이상 구성되어, 이 재생층이 기록층의 상하에 위치하도록 구성될 수도 있다.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2와 도 3에서 도시하는 바와 같이, 본 발명의 초해상 광기록매체는 기판(10) 위에 반사층(20)과, 게르마늄(Ge) 및 금속으로 이루어지는 기록층(31), 초해상 현상을 일으키도록 하는 재생층(32) 및 이 기록층(31)과 재생층(32) 사이에 위치하는 제1유전체층(33)으로 이루어지는 정보기록층(30)과, 광투과층(40)으로 구성된다.

상기 반사층(20)과 정보기록층(30) 사이, 그리고 정보기록층(30)과 광투과층(40) 사이에는 각각 제2유전체층(50)과 제3유전체층(60)이 구성된다.

상기 기록층(31)과 재생층(32)의 위치는 도 2와 도 3에서와 같이 서로 다를 수 있다.

본 발명에 사용되는 상기 기록층(31)은 게르마늄(Ge)과 금속층을 연속하여 적층하는 구조를 이용하여 두 층 또는 그 이상의 층을 형성할 수도 있고 게르마늄과 금속을 동시에 적층하여 한 층의 형태로 이용할 수도 있다.

이 때 사용되는 금속으로는 Ag, Au, W, Mn, Pt, Ti, Zr, V, Cr, Fe, Co, Ni, Pd, Sb, Ta, Al, In, Cu, Sn, Te, Zn 및 Bi로부터 선택되어질 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 초해상 광기록매체는 기록층(31) 외에도 초해상 현상을 가능하게 하는 물질, 즉 비선형 광학 물질이나 온도 분포에 따라 광학 특성이 변하는 thermochromic 물질 또는 상변화물질 등을 사용한 초해상 막을 재생층(32)으로 포함시켜 재생이 가능하도록 한다.

상기 도 2 및 도 3에서 도시하는 광기록매체는 외경이 약 120mm, 두께가 약 1.2mm인 원반상의 광기록매체를 통상 사용한다.

본 실시 형태에 관련되는 광기록매체는 파장이 380 ~ 450nm, 바람직하게는 약 405nm인 레이저 빔(laser beam)을 광투과층(40)의 표면인 광 입사면으로부터 기록층(31)에 조사함으로써 데이터(data)의 기록 및 재생을 하다.

통상 상기와 같은 광기록매체는 기록이 1회 가능한 광기록매체일 수 있다.

상기와 같은 광기록매체에 대한 데이터의 기록 및 재생에 있어서는 개구수가 0.7 이상, 바람직하게는 0.85 정도의 대물 렌즈가 사용되고, 이에 따라 기록층(31) 상의 레이저 빔의 빔 스폿은 약 0.4㎛ 정도가 된다.

상기 기판(10)은 광기록매체의 두께를 확보하기 위해서 약 0.6 ~ 1.1mm의 원반상의 기판(10)을 사용하고 그 면에는 중심부에서 외주부, 또는 그 반대로 레이저를 가이드하기 위한 그루브 및 랜드가 나선형으로 형성된다.

상기 기판(10)의 재료로서는 유리, 세라믹, 수지 등 여러 가지가 가능하지만 가벼우면서, 사출성이 좋고, 레이저 입사 때 복굴절(Birefringence)이 작은 특성을 이용하여 신호 대 잡음비(CNR: Carrier-to Noise Ratio) 증가를 위해 PC(Polycarbonate)가 사용된다.

상기 기판(10)의 제작은 스탬퍼를 이용한 사출 성형법을 이용하는 것이 바람직하지만, 포토 폴리머법 등 다른 방법도 가능하다.

상기 반사층(20)은 광투과층(40)으로부터 입사되는 레이저 빔을 반사하고 다 시 한 번 광투과층(40)으로 출사시키는 역할을 한다.

상기 반사층(20)의 재료로는 마그네슘, 알루미늄, 티탄, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 게르마늄, 은, 백금 등을 이용할 수 있다.

이 중 높은 반사율을 가지는 것으로 알루미늄, 금, 은, 동, 또는 이런 합금 등의 금속 재료를 이용하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서 반사층(20)을 설치하는 것이 필수적이지는 않지만 반사도를 확보하면 광기록 후에 있어서 다중 간섭 효과에 의하여 높은 재생 신호(C/N비)를 얻기 용이해진다.

상기 반사층(20)의 두께로는 5 ~ 300nm로 하는 것이 바람직하고, 경우에 따라, 20 ~ 200nm에 설정하는 것이 바람직하다. 이는 반사층(20)의 두께가 5nm 미만일 때는 반사층(20)에 의한 효과를 충분히 얻을 수 없는 반면, 반사층(20)의 두께가 300nm 이상일 때는 반사층(20)의 표면성이 낮아질 뿐만 아니라 성막 시간이 길어지고, 생산성이 저하되기 때문이다.

한편, 상기 유전체층(33, 50, 60)은 사이에 설치되는 기록층(31) 및 재생층(32)을 물리적 및 화학적으로 보호하는 역할을 하고 기록 정보의 열화를 효과적으로 방지하고자 한다.

상기 유전체층(33, 50, 60)을 구성하는 재료는 사용되는 레이저 빔의 파장 영역에서 투명한 유전체라면 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 산화물, 유화물, 질화물 또는 이러한 조합을 주성분으로 하고 이용할 수 있다.

그런, 통상 기판(10) 등의 열변형 방지 및 기록층(31)의 보호 특성의 관점으 로 볼 때, Al₂O₃, AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO₂, SiO, SiO₂, Si₃N₄, SiC, La₂O₃, TaO 및 TiO₂ 등 알루미늄, 실리콘, 세륨, 티탄, 아연, 탄탈 등의 산화물, 유화물, 질화물 등 또는 그러한 혼합물을 이용하는 것이 바람직하다.

특히, 상기 물질 중에서 ZnS와 SiO₂의 혼합물을 이용하는 것이 보다 바람직하며, 이 경우 ZnS와 SiO₂의 몰비는 80:20 정도에 설정하는 것이 바람직하다.

상기 유전체층(33, 50, 60)은 서로 동일재료로 구성되어도 좋고 다른 재료로 구성되어져도 좋다. 또 유전체층(33, 50, 60)의 두께는 특별히 한정되지 않지만 3 ~ 200nm에 설정하는 것이 바람직하다.

이는 층두께가 3nm 미만일 때는 상기한 효과가 얻어지기 어려워질 수 있고 층두께가 200nm를 넘는다면 성막시간이 길어지고 생산성이 저하되는 우려가 있는 동시에 유전체층(33, 50, 60)이 가지는 응력에 따라서 크랙(crack)이 발생하는 우려가 있기 때문이다.

상기 기록층(31)은 비가역적인 기록 마크가 형성되는 층이고, 상기에 설명한 바와 같이, 게르마늄(Ge)과 금속으로 이루어져 있다.

이는 일정 파워를 가지는 레이저가 조사된 부분에는 상기 게르마늄(Ge)과 금속이 부분적 또는 전체적으로 혼합되면서 기록 마크를 형성하고 조사되지 않은 부분과의 반사율 차이에 의해서 기록 재생을 할 수 있는 것이다.

상기 기록층(31)은 게르마늄(Ge)과 금속층을 연속하여 적층하는 구조를 이용하여 두 층 또는 그 이상의 층을 형성할 수도 있고, 게르마늄(Ge)과 금속을 동시에 적층하여 한 층의 형태로 이용할 수도 있다.

이 때 사용되는 금속으로는 Ag, Au, W, Mn, Pt, Ti, Zr, V, Cr, Fe, Co, Ni, Pd, Sb, Ta, Al, In, Cu, Sn, Te, Zn 및 Bi이 바람직하고 그 중 Ag, Au, W, Ti, Cr, Co, Al, Cu가 더 적합할 수 있다.

각 층의 두께는 특별히 한정되지는 않지만 재생 신호의 노이즈 레벨을 충분히 억제하고 충분한 기록 감도를 확보하고 또한 기록 전후의 반사율 변화를 충분히 크게 하기 위해서는 1 ~ 30nm 인 것이 바람직하다.

상기 재생층(32)은 초해상 현상을 가능하게 하는 물질로 이루어져 있고 사용되는 물질로는 비선형 광학 물질이나 온도 분포에 따라 광학 특성이 변하는 thermochromic 물질 또는 상변화물질 등을 사용한다.

상기 재생층(32)은 상기한 바와 같이, 기판(10)에 적층되는 순서로 보았을 때 기록층(31)보다 위 쪽에 있을 수도 있고 아래 쪽에 있을 수도 있으며, 또한 도 4에서 도시하는 바와 같이, 기록층(31)의 양쪽에 구성될 수도 있다.

상기와 같이, 기록층(31)의 양쪽에 구성되는 경우에는 재생층(32)이 추가되는 만큼 유전체층(33)이 추가된다.

상기 재생층(32)의 두께는 특별히 한정되지는 않지만 초해상 현상을 충분히 발생시키면서 광학적인 변화율을 충분히 일으키기 위해서 3 ~ 200nm인 것이 바람직하다.

또한, 상기 반사층(20), 유전체층(33, 50, 60), 기록층(31) 및 재생층(32)의 형성 방법으로서는 이러한 구성원소를 포함하는 화학종을 이용한 상 성장법, 예를 들면, 스퍼터링 방법이나 진공 증착법을 이용할 수 있으며 이 중에서 스퍼터링법을 이용하는 것이 바람직하다.

상기 광투과층(40)은 레이저 빔의 입사면을 이루는 것과 동시에 레이저 빔의 광로가 되는 층이고 그 두께로서는 100㎛ ~ 0.6mm 정도를 사용한다.

상기 광투과층(40)의 재료로서는 사용되는 레이저 빔의 파장영역에서 광투과율이 충분히 높은 재료로 있는 한 특별히 한정되지 않지만 아크릴계 또는 에폭시계의 자외선 경화성 수지를 이용하는 것이 바람직하다.

또는 광투과성 수지로 제작된 광투과성 시트와 각종 접착제 또는 점착제를 이용할 수도 있다.

도 5에서는 상기 실시예로 제작된 광기록매체에 있어서 기록 파워에 대한 재생 신호의 CNR 비를 나타낸 그래프이다.

본 실시예에 사용된 기록층으로는 게르마늄(Ge)과 은(Ag) 합금을 사용하였고 재생층으로 GeSbTe 계열의 상변화물질을 사용하였다.

이 때 기록은 75nm의 단일 pit로 기록되었고, 측정은 재생광의 레이저 파장이 405nm, NA는 0.85, 선속도는 2.5m/sec, 재생광의 파워는 1.5mW의 조건으로 실시되었다.

이러한 광학계에서의 재생 한계는 119nm이지만 초해상 현상을 나타내는 구조를 이용하여 약 40dB 정도의 높은 신호대 잡음비를 나타내었다.

도 6은 상기와 같은 광학계에서 재생광의 파워에 대한 CNR 비를 나타낸 그래프이다. 기록은 마찬가지로 75nm의 단일 pit로 기록되었다.

상기 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 설명하기 위한 일례로서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 다양한 형태의 변형이 가능하고, 이러한 기술적 사상의 여러 실시 형태는 모두 본 발명의 보호범위에 속함은 당연하다.

이상과 같은 본 발명은 초해상 재생층이 포함된 광기록매체에서 회절한계 이하의 기록 피트를 재생할 수 있도록 할 수 있고, 기록 후에 재생 신호의 노이즈를 충분히 억제시키고, 충분한 기록 감도를 확보하며, 기록 전후의 반사율 변화를 충분히 크게 할 수 있는 효과가 있는 것이다.

Claims

기판과;

상기 기판 위에 위치하는 것으로, Ge를 포함하고 Ag, Au, W, Mn, Pt, Ti, Zr, V, Cr, Fe, Co, Ni, Pd, Sb, Ta, Al, In, Cu, Sn, Te, Zn 및 Bi 중 선택 되어지는 금속으로 이루어지는 기록층과, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 재생층과, 상기 기록층과 재생층 사이에 위치하는 제1유전체층을 포함하는 정보기록층과;

상기 정보기록층 위에 위치하는 광투과층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 정보기록층의 상하에 각각 형성되는 제2유전체층 및 제3유전체층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 기판과 정보기록층 사이에는 입사하는 기록 빔을 반사하는 반사층이 구성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 기록층의 Ge와 상기 금속은 합금을 이루는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 기록층은 Ge와 상기 금속이 인접하여 적층되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 기록층은 Ge와 상기 금속이 연속하여 교대로 적층되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 기록층의 두께는 1~30nm인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 재생층은 비선형 광학물질, 온도 분포에 따라 광학특성이 변하는 thermochronic 물질, 상변화물질 등 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 재생층은 GeSbTe인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 제1유전체층은 Al₂O₃, AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO₂, SiO, SiO₂, Si₃N₄, SiC, La₂O₃, TaO 및 TiO₂ 중 적어도 어느 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 1항에 있어서, 상기 제1유전체층은 ZnS와 SiO₂의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 11항에 있어서, 상기 ZnS와 SiO₂의 몰비는 80:20인 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
기판과;

상기 기판 위에 위치하는 것으로, Ge를 포함하고 Ag, Au, W, Ti, Cr, Co, Al 및 Cu 중 선택 되어지는 금속으로 이루어지는 기록층과, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 재생층과, 상기 기록층과 재생층 사이에 위치하는 제1유전체층을 포함하는 정보기록층과;

상기 정보기록층의 상하에 각각 형성되는 제2유전체층 및 제3유전체층과;

상기 정보기록층 위에 위치하는 광투과층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
제 13항에 있어서, 상기 제1유전체층, 제2유전체층 및 제3유전체층 중 적어도 어느 하나는 Al₂O₃, AlN, ZnO, ZnS, GeN, GeCrN, CeO₂, SiO, SiO₂, Si₃N₄, SiC, La₂O₃, TaO 및 TiO₂ 중 적어도 어느 하나 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 초 해상 광기록매체.
기판과;

상기 기판 위에 위치하는 제2유전체층과;

상기 제2유전체층 위에 위치하는 것으로, Ge를 포함하고 Ag, Au, W, Ti, Cr, Co, Al 및 Cu 중 선택 되어지는 금속으로 이루어지는 기록층과;

상기 기록층 위에 위치하는 제1유전체층과;

상기 제1유전체층 위에 위치하는 것으로, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 재생층과;

상기 재생층 위에 위치하는 제3유전체층과;

상기 제3유전체층 위에 위치하는 광투과층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
기판과;

상기 기판 위에 위치하는 제2유전체층과;

상기 제2유전체층 위에 위치하는 것으로, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 재생층과;

상기 재생층 위에 위치하는 제1유전체층과;

상기 제1유전체층 위에 위치하는 것으로, Ge를 포함하고 Ag, Au, W, Ti, Cr, Co, Al 및 Cu 중 선택 되어지는 금속으로 이루어지는 기록층과;

상기 기록층 위에 위치하는 제3유전체층과;

상기 제3유전체층 위에 위치하는 광투과층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.
기판과;

상기 기판 위에 위치하는 제2유전체층과;

상기 제2유전체층 위에 위치하는 것으로, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 제1재생층과;

상기 재생층 위에 위치하는 제1유전체층과;

상기 제1유전체층 위에 위치하는 것으로, Ge를 포함하고 Ag, Au, W, Ti, Cr, Co, Al 및 Cu 중 선택 되어지는 금속으로 이루어지는 기록층과;

상기 기록층 위에 위치하는 제3유전체층과;

상기 제2유전체층 위에 위치하는 것으로, 초해상 현상을 나타내는 물질로 이루어지는 제2재생층과;

상기 제2재생층 위에 위치하는 제4유전체층과;

상기 제4유전체층 위에 위치하는 광투과층을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초해상 광기록매체.