KR20070068295A - Copper foiled substrate - Google Patents

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메구루 마에다
고이치 사와사키
마사히로 오구니
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듀폰 도레이 컴파니, 리미티드
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Abstract

A copper-attached plate is provided to secure excellent dimensional stability and heat resistance, to form fine wiring, and to prevent deformation even in using lead-free soldering. The copper-attached plate comprises a polyimide film consisting of paraphenylene diamine of 10~50mol.%, 4,4'-diaminodiphenyl ether of 50~90mol.%, and pyromellitic dianhydride of 100mol.% and a copper sheet formed by applying an adhesive agent on one or both surfaces of the polyimide film. The adhesive agent is not applied on one or both surfaces of the polyimide film, or applied on one surface of the polyimide film and not on the other surface. The polyimide film has elastic modulus of 3~6GPa, a coefficient of linear expansion of 5~20ppm/°C at 50~200°C, a coefficient of humidity expansion below 30ppm/%RH, absorptivity below 3.5%, and heating shrinkage below 0.10% at 200°C for one hour.

Description

구리 부착 판{COPPER FOILED SUBSTRATE} Copper attachment plate {COPPER FOILED SUBSTRATE}

본 발명은 전자·전기 기기 분야에서 사용되는 플렉서블 프린트 배선판, COF, TAB 등의 재료로서 적합한 구리 부착 판에 관한 것으로, 더 상세하게는 폴리이미드 필름을 기재로 하고, 그 편면 또는 양면에 구리를 가진 에칭 후의 치수 변화율이 작은 구리 부착 판에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a copper-clad board suitable as a material for flexible printed wiring boards, COF, TAB, etc. used in the field of electronic and electrical equipment. It relates to a copper-clad board with a small rate of dimensional change after etching.

프린트 배선판은 전자·전기 기기에 널리 사용되고 있다. 그 중에서도, 절곡 가능한 플렉서블 프린트 배선판은 퍼스널 컴퓨터나 휴대전화 등의 접는 부분, 하드 디스크 등의 굴곡이 필요한 부분에 널리 사용되고 있다. 이와 같은 플렉서블 프린트 배선판의 재료로서는, 통상적으로 각종 폴리이미드 필름이 사용된 구리 부착 판이 사용되고 있다. Printed wiring boards are widely used in electronic and electrical equipment. Especially, the flexible printed wiring board which can be bent is widely used for the folding part of a personal computer, a mobile phone, etc., and the part which requires the bending of a hard disk. As a material of such a flexible printed wiring board, the board with copper which used various polyimide films is used normally.

구리 부착 판에 사용되는 폴리이미드 필름으로 대표적인 것은 산이무수물 성분으로서 피로메리트산 이무수물을 사용하고, 디아민 성분으로서 4,4'-디아미노디페닐에테르를 사용하는 폴리이미드 필름을 들 수 있다. 이와 같은 폴리이미드 필름은 기계적, 열적 특성의 균형이 우수한 구조를 가지고 있고, 범용 제품으로서 공업적으로 널리 사용되고 있다. 그러나, 피로메리트산 이무수물과 4,4'-디아미노디페 닐에테르로 이루어지는 폴리이미드 필름은 구부리기 쉬운 장점을 가지는 반면, 너무 물러서 반도체를 탑재할 때에 기재가 구부러지게 되어, 접합 불량이 일어나는 문제점이 있었다. 또한, 피로메리트산 이무수물과 4,4'-디아미노디페닐에테르로 이루어지는 폴리이미드 필름은 열팽창 계수 (CTE)나 흡습 팽창 계수 (CHE)가 크고, 흡수율도 높기 때문에, 열이나 흡수에 의한 치수 변화가 크고, 미세한 배선 형성을 실시하였을 경우에 목표한 대로의 배선 폭이나 배선 간격을 형성할 수 없다는 문제가 있었다. Representative examples of the polyimide film used for the copper-clad plate include polyimide films using pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component and 4,4'-diaminodiphenyl ether as the diamine component. Such a polyimide film has a structure excellent in the balance of mechanical and thermal characteristics, and is widely used industrially as a general purpose product. However, the polyimide film made of pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether has the advantage of being easy to bend, whereas the substrate is bent when the semiconductor is mounted so that the defect of bonding occurs. there was. In addition, since the polyimide film composed of pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether has a high coefficient of thermal expansion (CTE) and a hygroscopic expansion coefficient (CHE) and a high water absorption, dimensions due to heat or absorption When the change was large and fine wiring was formed, there was a problem that the desired wiring width and wiring spacing could not be formed.

이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 폴리이미드 필름 이외의 치수 변화가 작은 기재, 예를 들면 액정 필름 등을 사용하여 플렉서블 프린트 배선판을 형성하는 방법 (예를 들면, 특허 문헌 1 참조) 등이 개시되어 있으나, 액정 필름은 폴리이미드 필름에 비하여 내열성이 떨어지고, 납땜 시에 기재가 변형되는 문제가 있었다. 특히 최근에는 환경 문제로 인하여 납을 사용하지 않는 무연 납땜이 많이 사용되고 있는데, 무연 납땜는 융점이 납 함유 납땜보다 높기 때문에, 액정 필름의 기재 변형 문제는 한층 심각하였다. In order to solve such a problem, the method of forming a flexible printed wiring board using the base material with small dimension change other than a polyimide film, for example, a liquid crystal film, etc. (for example, refer patent document 1), etc. is disclosed, The liquid crystal film had a problem that heat resistance was inferior compared with a polyimide film, and the base material deform | transformed at the time of soldering. In particular, in recent years, lead-free solders that do not use lead are frequently used due to environmental problems. Since lead-free soldering has a higher melting point than lead-containing solders, the problem of deformation of the substrate of the liquid crystal film is more serious.

특허 문헌 1: 일본 공개 특허 공보 2005-297405호 Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-297405

따라서, 본 발명의 목적은 이러한 플렉서블 프린트 배선판의 치수 변화와 내열성이라는 두 가지 문제를 모두 해결하고, 미세한 배선 형성이 가능하고, 또한 무연 납땜을 사용하여도 변형되지 않는 플렉서블 프린트 배선판용 구리 부착 판을 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to solve both of the problems of the dimensional change and the heat resistance of the flexible printed wiring board, to form a fine wiring, and to provide a copper-attached plate for a flexible printed wiring board that is not deformed even by using lead-free soldering. It is to offer.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 이하의 구성을 채용한다. The present invention adopts the following configurations in order to achieve the above object.

(1) 디아민 성분으로서 파라페닐렌디아민 및 4,4'-디아미노디페닐에테르, 산이무수물 성분으로서 피로메리트산 이무수물로 이루어지는 폴리이미드 필름을 사용하고, 이 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에 접착제를 개재시켜서 구리판을 가지고 있는 구리 부착 판.  (1) A polyimide film made of paraphenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, and a pyromellitic dianhydride as an acid dianhydride component is used as a diamine component, and an adhesive agent is used on one side or both sides of this polyimide film. Copper plate attached to having a copper plate through.

(2) 파라페닐렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐에테르 및 피로메리트산 이무수물로 형성된 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에 접착제를 개재시키지 않고 구리판을 가지고 있는 구리 부착 판.  (2) A copper-attached plate having a copper plate without interposing an adhesive on one or both sides of a polyimide film formed of paraphenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether and pyromellitic dianhydride.

(3) 파라페닐렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐에테르 및 피로메리트산 이무수물로 형성된 폴리이미드 필름의 편면은 접착제를 개재하여 구리판을 가지고, 다른 편면은 접착제를 개재하지 않고 구리판을 가지고 있는 구리 부착 판.  (3) One side of the polyimide film formed of paraphenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether and pyromellitic dianhydride has a copper plate via an adhesive, and the other side has a copper plate without an adhesive. Have copper attachment plate.

(4) 폴리이미드 필름의 디아민 성분이 파라페닐렌디아민 10 내지 50 몰%, 4,4'-디아미노디페닐에테르 50 내지 90 몰%, 산이무수물 성분이 피로메리트산 이무수물 100 몰%인 (1) 내지 (3)의 어느 하나에 기재된 구리 부착 판.  (4) The diamine component of the polyimide film is 10 to 50 mol% of paraphenylenediamine, 50 to 90 mol% of 4,4'-diaminodiphenyl ether, and the acid dianhydride component is 100 mol% of pyromellitic dianhydride ( The plate with copper as described in any one of 1)-(3).

(5) 탄성률 3 내지 6 GPa, 50 내지 200℃에서의 선팽창 계수가 5 내지 20 ppm/℃, 습도 팽창 계수가 30 ppm/%RH 이하, 흡수율이 3.5% 이하, 200℃ 1 시간의 가열 수축율이 0.10% 이하인 폴리이미드 필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (4)의 어느 하나에 기재된 구리 부착 판.  (5) Elastic modulus 3 to 6 GPa, linear expansion coefficient of 5 to 20 ppm / ℃ at 50 to 200 ℃, humidity expansion coefficient of 30 ppm /% RH or less, absorption rate of 3.5% or less, heat shrinkage rate of 200 ℃ 1 hour The copper adhesion plate in any one of (1)-(4) characterized by using the polyimide film which is 0.10% or less.

(6) 접착제가 에폭시계 접착제, 아크릴계 접착제 및 폴리이미드계 접착제로부터 선택되는 적어도 1종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 (1) 또는 (3) 내지 (5)의 어느 하나에 기재된 구리 부착 판.  (6) The copper-clad board according to any one of (1) or (3) to (5), wherein the adhesive comprises at least one selected from an epoxy adhesive, an acrylic adhesive and a polyimide adhesive.

(7) 접착측의 구리의 표면 조도 (Rz)가 0.1 내지 10 ㎛의 구리박인 (1), (3) 내지 (6)의 어느 하나에 기재된 구리 부착 판.  (7) The plate with a copper as described in any one of (1) and (3)-(6) whose surface roughness (Rz) of copper on the adhesion side is 0.1-10 micrometers copper foil.

(8) 전면 에칭 후의 치수 변화율이 -0.10% 내지 0.10%의 범위 내인 (1) 내지 (7)의 어느 하나에 기재된 구리 부착 판.  (8) The plate with a copper as described in any one of (1)-(7) whose dimension change rate after whole surface etching is in the range of -0.10%-0.10%.

발명의 효과Effects of the Invention

본 발명에 의하면, 미세한 배선 형성이 가능하고, 또한 무연 납땜을 사용하여도 변형되지 않는 플렉서블 프린트 배선판의 재료로서 유용한 구리 부착 판을 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the board with a copper which can be used as a material of the flexible printed wiring board which can form fine wiring and does not deform | transform even using lead-free soldering can be provided.

본 발명의 구리 부착 판은 기재로서 폴리이미드 필름을 사용하고, 이 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에 구리판을 가지는 것이다. The copper-clad board of this invention uses a polyimide film as a base material, and has a copper plate in the single side | surface or both surfaces of this polyimide film.

이 때, 기재의 폴리이미드 필름으로서는, 디아민 성분으로서 파라페닐렌디아민 및 4,4'-디아미노디페닐에테르, 산이무수물 성분으로서 피로메리트산 이무수물로 이루어지는 폴리이미드 필름이다. 좋기로는, 디아민 성분으로서 10 내지 50 몰%의 파라페닐렌디아민 및 50 내지 90 몰%의 4,4'-디아미노디페닐에테르를 사용하고, 산이무수물 성분으로서 피로메리트산 이무수물을 사용하여 이루어지는 폴리이미드 필름이다. 더 좋기로는, 탄성률이 3 내지 6 GPa, 50 내지 200℃에서의 선팽창 계수가 5 내지 20 ppm/℃, 습도 팽창 계수가 30 ppm/%RH 이하, 흡수율이 3.5% 이하, 200℃ 1 시간에서의 가열 수축율이 0.10% 이하인 폴리이미드 필름이다. 파라페닐렌 디아민이 너무 많으면 딱딱해지고, 너무 적으면 너무 물러지므로, 10 내지 50 몰%가 좋고, 더 좋기로는 15 내지 45 몰%, 더 좋기로는 20 내지 40 몰%이다. 4,4'-디아미노디페닐에테르가 너무 많으면 물러지고, 너무 적으면 딱딱해지므로, 50 내지 90 몰%가 좋고, 더 좋기로는 55 내지 85 몰%, 더 좋기로는 60 내지 80 몰%이다. 경도의 지표인 탄성률은 3 내지 6 GPa의 범위가 좋고, 6GPa 를 넘으면 너무 딱딱해지고, 3 GPa보다 작으면 너무 물러진다. 선팽창 계수는 5 내지 20 ppm/℃가 좋고, 20 ppm/℃를 넘으면 열에 의한 치수 변화가 너무 크고, 5 ppm/℃보다 적으면, 구리판과 선팽창 계수의 차이가 커지기 때문에 에칭 후에 뒤틀림이 발생한다. 습도 팽창 계수가 30 ppm/%RH를 넘으면 습도에 의한 치수 변화가 너무 크므로, 습도 팽창 계수는 30 ppm/%RH 이하가 좋다. 흡수율이 3.5%를 넘으면, 흡입된 물의 영향으로 필름의 치수 변화가 커지므로 3.5% 이하가 좋다. 200℃ 1 시간의 가열 수축율이 0.10%를 넘으면 역시 열에 의한 치수 변화가 커지므로, 가열 수축율은 0.10% 이하가 좋다. At this time, as a polyimide film of the base material, it is a polyimide film which consists of paraphenylenediamine, 4,4'- diamino diphenyl ether as a diamine component, and a pyromellitic dianhydride as an acid dianhydride component. Preferably, 10 to 50 mol% of paraphenylenediamine and 50 to 90 mol% of 4,4'-diaminodiphenyl ether are used as the diamine component, and pyromellitic dianhydride is used as the acid dianhydride component. It is a polyimide film made. More preferably, the modulus of elasticity is 3 to 6 GPa, the coefficient of linear expansion at 50 to 200 ° C is 5 to 20 ppm / ° C, the humidity expansion coefficient is at most 30 ppm /% RH, the absorption is at most 3.5%, at 200 ° C for 1 hour. It is a polyimide film whose heating shrinkage is 0.10% or less. Too much paraphenylene diamine becomes hard and too little to retire, so 10 to 50 mol% is preferred, more preferably 15 to 45 mol%, more preferably 20 to 40 mol%. Too much 4,4'-diaminodiphenylethers recede and too little to harden, so 50 to 90 mol% is preferred, more preferably 55 to 85 mol%, more preferably 60 to 80 mol% to be. The elasticity modulus which is an index of hardness is good in the range of 3-6 GPa, and when it exceeds 6 GPa, it will become hard too much, and when it is smaller than 3 GPa, it will fall back too much. The linear expansion coefficient is preferably 5 to 20 ppm / ° C. If the linear expansion coefficient exceeds 20 ppm / ° C, the dimensional change due to heat is too large. If the linear expansion coefficient is less than 5 ppm / ° C, the difference between the copper plate and the linear expansion coefficient becomes large, so that distortion occurs after etching. If the humidity expansion coefficient exceeds 30 ppm /% RH, the dimensional change due to humidity is too large, so the humidity expansion coefficient is preferably 30 ppm /% RH or less. If the water absorption exceeds 3.5%, the dimensional change of the film is large due to the influence of sucked water, so 3.5% or less is preferable. When the heat shrinkage rate at 200 ° C. for 1 hour exceeds 0.10%, the dimensional change due to heat also becomes large, so the heat shrinkage rate is preferably 0.10% or less.

중합 방법은 공지의 어떠한 방법으로 실시하여도 되는데, 예를 들면,The polymerization method may be carried out by any known method, for example,

(1) 먼저 방향족 디아민 성분 전량을 용매 중에 넣고, 그 후 방향족 테트라카르본산류 성분을 방향족 디아민 성분 전량과 등량이 되도록 가하고 중합하는 방법.  (1) A method in which the total amount of the aromatic diamine component is first placed in a solvent, and then the aromatic tetracarboxylic acid component is added so as to be equivalent to the amount of the aromatic diamine component and polymerized.

(2) 먼저 방향족 테트라카르본산류 성분 전량을 용매 중에 넣고, 그 후 방향족 디아민 성분을 방향족 테트라카르본산류 성분과 등량이 되도록 가하고 중합하는 방법.  (2) First, the whole amount of the aromatic tetracarboxylic acid component is put in a solvent, and then, the aromatic diamine component is added so as to be equivalent to the aromatic tetracarboxylic acid component and polymerized.

(3) 한쪽의 방향족 디아민 화합물을 용매 중에 넣은 후, 반응 성분에 대하여 방향족 테트라카르본산류 화합물이 95 내지 105몰%가 되는 비율로 반응에 필요한 시간 혼합한 후, 다른 한쪽의 방향족 디아민 화합물을 첨가하고, 계속하여 방향족 테트라카르본산류 화합물을 방향족 디아민 성분 전체와 방향족 테트라카르본산류 성분 전체와 등량이 되도록 첨가하여 중합하는 방법.  (3) After putting one aromatic diamine compound in a solvent and mixing it for the time required for reaction at a ratio which becomes 95-105 mol% of aromatic tetracarboxylic acid compounds with respect to a reaction component, the other aromatic diamine compound is added. And then adding the aromatic tetracarboxylic acid compound to the same amount as the entire aromatic diamine component and the whole aromatic tetracarboxylic acid component so as to polymerize.

(4) 방향족 테트라카르본산류 화합물을 용매 중에 넣은 후, 반응 성분에 대하여 한쪽 방향족 디아민 화합물이 95 내지 105 몰%가 되는 비율로 반응에 필요한 시간 혼합한 후, 방향족 테트라카르본산류 화합물을 첨가하고, 이어서 다른 한쪽의 방향족 디아민 화합물을 방향족 디아민 성분 전체와 방향족 테트라카르본산류 성분 전체가 거의 등량이 되도록 첨가하여 중합하는 방법.  (4) After putting the aromatic tetracarboxylic acid compound in a solvent and mixing for a time required for the reaction at a rate such that one aromatic diamine compound becomes 95 to 105 mol% with respect to the reaction component, an aromatic tetracarboxylic acid compound is added. Then, the other aromatic diamine compound is added and polymerized so that the whole aromatic diamine component and the whole aromatic tetracarboxylic-acid component may be substantially equivalent.

(5) 용매 중에서 한쪽의 방향족 디아민 성분과 방향족 테트라카르본산류를 어느 한쪽이 과잉이 되도록 반응시켜 폴리아미드산 용액 (A)를 조정하고, 다른 용매중에서 다른 한쪽의 방향족 디아민 성분과 방향족 테트라카르본산류를 어느 한쪽이 과잉이 되도록 반응시켜 폴리아미드산 용액 (B)를 조정한다. 이렇게 하여 얻은 각 폴리아미드산 용액 (A)와 (B)를 혼합하고, 중합을 완결하는 방법. 이 때, 폴리아미드산 용액 (A)를 조정할 때, 방향족 디아민 성분이 과잉인 경우, 폴리아미드산 용액 (B)에서는 방향족 테트라카르본산 성분을 과잉으로 하고, 또한 폴리아미드산 용액 (A)에서 방향족 테트라카르본산 성분이 과잉인 경우, 폴리아미드산용액 (B) 방향족 디아민 성분을 과잉으로 하여, 폴리아미드산용액 (A)와 (B)를 혼합하고, 이들 반응에 사용되는 방향족 디아민 성분 전체와 방향족 테트라카르본산류 성분 전 체가 등량이 되도록 조정한다.  (5) The polyamic acid solution (A) is adjusted by reacting one of the aromatic diamine components and the aromatic tetracarboxylic acids in excess in the solvent so as to become excess, and the other aromatic diamine component and the aromatic tetracarboxylic acid in the other solvent. The polyamic acid solution (B) is adjusted by reacting the streams so that either side becomes excess. The method of mixing each polyamic-acid solution (A) and (B) obtained in this way, and completing superposition | polymerization. At this time, when adjusting the polyamic acid solution (A), when the aromatic diamine component is excessive, the aromatic tetracarboxylic acid component is excessive in the polyamic acid solution (B), and the aromatic in the polyamic acid solution (A) When the tetracarboxylic acid component is excessive, the polyamic acid solution (B) is made an aromatic diamine component in excess, the polyamic acid solution (A) and (B) are mixed, and the whole aromatic diamine component and aromatics used for these reactions are aromatic. The tetracarboxylic acid component is adjusted to have the same amount.

또한, 중합 방법은 이들에 한정되는 것은 아니며, 기타 공지의 방법을 사용하여도 된다. In addition, the polymerization method is not limited to these, You may use other well-known methods.

또한, 본 발명에 있어서, 폴리아미드산 용액의 형성에 사용되는 유기 용매의 구체적인 예로서는, 예를 들면 디메틸술폭시드. 디에틸술폭시드 등의 술폭시드계 용매, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디에틸포름아미드 등의 포름아미드계 용매, N,N-디메틸아세트아미드, N,N-디에틸아세트아미드 등의 아세트아미드계 용매, N-메틸-2-피롤리돈, N-비닐-2-피롤리돈 등의 피롤리돈계 용매, 페놀, o-, m-, 또는 p-크레졸, 크실레놀, 할로겐화페놀, 카테콜 등의 페놀계 용매, 또는 헥사메틸포스포르아미드, γ-부틸로락톤 등의 비플로톤성 극성 용매를 들 수 있고, 이들을 단독 또는 혼합물로서 사용하는 것이 바람직하며, 나아가 크실렌, 톨루엔과 같은 방향족 탄화수소의 사용도 가능하다. In addition, in this invention, as a specific example of the organic solvent used for formation of a polyamic-acid solution, it is dimethyl sulfoxide, for example. Sulfoxide solvents such as diethyl sulfoxide, formamide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide Pyrrolidone solvents, such as an acetamide solvent, N-methyl- 2-pyrrolidone, and N-vinyl- 2-pyrrolidone, phenol, o-, m-, or p-cresol, xylenol, Phenol solvents such as halogenated phenol and catechol, or non-flotone polar solvents such as hexamethylphosphoramide and γ -butyrolactone. The use of aromatic hydrocarbons such as these is also possible.

이렇게 하여 얻은 폴리아미드산 용액은 고형분을 5 내지 40 중량%, 좋기로는, 10 내지 30 중량%를 함유하고 있고, 또한 그 점도는 브룩필드 점토계에 의한 측정값으로 10 내지 2000 Pa·s, 좋기로는, 100 내지 1000 Pa·s인 것이, 안정적인 송액을 위하여 바람직하게 사용된다. 또한, 유기 용매 용액 중의 폴리아미드산은 부분적으로 이미드화되어 있어도 좋다. The polyamic acid solution thus obtained contains 5 to 40% by weight of solid content, preferably 10 to 30% by weight, and the viscosity is 10 to 2000 Pa.s, measured by Brookfield clay meter. Specifically, 100 to 1000 Pa · s is preferably used for stable liquid feeding. In addition, the polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized.

다음으로, 본 발명의 폴리이미드 필름의 제조 방법에 대하여 설명한다. Next, the manufacturing method of the polyimide film of this invention is demonstrated.

폴리이미드 필름을 제막하는 방법으로서는, 폴리아미드산 용액을 필름 모양으로 캐스트하여 열적으로 탈환화 탈용매시켜서 폴리이미드 필름을 얻는 방법, 및 폴리아미드산 용액에 환화 촉매 및 탈수제를 혼합하여 화학적으로 탈환화시켜서 겔 필름을 작성하고, 이를 가열 탈용매함으로써 폴리이미드 필름을 얻는 방법을 들 수 있는데, 후자의 방법이 얻게 되는 폴리이미드 필름의 열팽창 계수를 낮게 억제할 수 있어서 좋다. As a method of forming a polyimide film, a method of obtaining a polyimide film by casting a polyamic acid solution into a film form and thermally decyclizing and desolventing therein, and chemically decyclizing by mixing a cyclization catalyst and a dehydrating agent with the polyamic acid solution The method of obtaining a polyimide film by creating a gel film by heating and desolventing it, but the thermal expansion coefficient of the polyimide film obtained by the latter method can be suppressed low.

또한, 필름의 미끄러짐성을 향상시키는 목적에서 실리카나 알루미나 등의 각 정 충전재를 첨가하여도 된다. 이들 사용하는 충전재의 입자 지름으로서는, 평균 입자 지름이 0.1 내지 1 ㎛인 것을 사용하는 것이 좋다. 평균 입자 지름 0.1 ㎛ 미만이면 필름의 미끄러짐성이 나쁘고, 또한 평균 입자 지름 1 ㎛를 넘으면 필름 제작시에 응집체가 많이 존재하게 되므로 바람직하지 않다. 또한, 평균 입자 지름이 1 ㎛를 초과하는 충전재를 사용하면 필름 표면 위에 크기 20 ㎛ 이상의 돌기가 10개/5 cm×5 cm보다 많아지고, 또한 높이 2 ㎛ 이상인 볼록부가 3개/5 cm×5 cm보다 많아지게 된다. 이 크기의 돌기의 존재량에 의하여, 배선간에 충전재가 걸쳐지게 되어 도전 불량을 일으키고, 또한 포토레지스트 마스크의 막 뚜께를 뚫게 되는 문제가 발생하기 쉬워지므로 바람직하지 않다. Moreover, you may add each crystal filler, such as a silica and an alumina, in order to improve the slipperiness | lubricacy of a film. As a particle diameter of these fillers, it is good to use an average particle diameter of 0.1-1 micrometer. If the average particle diameter is less than 0.1 µm, the slipperiness of the film is poor, and if the average particle diameter is more than 1 µm, many aggregates are present during film production, which is not preferable. In addition, when a filler having an average particle diameter of more than 1 µm is used, projections of 20 µm or more in size are more than 10/5 cm × 5 cm on the film surface, and 3/5 cm × 5 convex portions having a height of 2 µm or more. more than cm. The amount of projections of this size is not preferable because the fillers are interposed between the wirings, resulting in poor electrical conductivity, and the problem of puncturing the film thickness of the photoresist mask.

구리 부착 판에 접착제를 개재하여 갖는 구리판에 사용하는 구리박으로서는, 접착측의 구리의 표면 조도 (Rz)가 0.1 내지 10 ㎛인 구리박인 것이 좋다. 이것보다 표면 조도가 성기면 플렉서블 프린트 배선판으로서 고주파 신호 영역에서의 사용시에, 표면 효과에 의하여 전류가 흐르기 어려워져 고주파 영역에서의 사용이 곤란하게 된다. 여기서 말하는 표면 조도(Rz)라 함은 JISB O601-1994 「표면 조도의 정의와 표시」의 5.1 「10점 평균 조도의 정의」에 규정된 Rz이다. As copper foil used for the copper plate which has an adhesive agent through a copper adhesion plate, it is good that it is copper foil whose surface roughness Rz of copper on the adhesion side is 0.1-10 micrometers. On the other hand, when the surface roughness is used as a sparse surface flexible printed wiring board in the high frequency signal region, the current is less likely to flow due to the surface effect, making it difficult to use in the high frequency region. Surface roughness Rz here is Rz prescribed | regulated to 5.1 "Definition of 10-point average roughness" of JISB O601-1994 "Definition and display of surface roughness".

폴리이미드 필름의 두께에 대하여서는 특히 한정되지 않지만, 좋기로는 5 내지 125 ㎛. 더 좋기로는 9 내지 75 ㎛, 더 좋기로는 11 내지 55 ㎛이다. 너무 두꺼우면 롤상으로 하였을 때에 어긋나게 감기는 문제가 발생하기 쉽고, 너무 얇으면 주름이 생기기 쉬워진다. Although it does not specifically limit about the thickness of a polyimide film, Preferably it is 5-125 micrometers. More preferably 9 to 75 μm, more preferably 11 to 55 μm. If it is too thick, a problem of unwinding when the roll is formed easily occurs, and if too thin, wrinkles are likely to occur.

상기와 같은 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에 접착제를 개재시키거나, 또는 접착제 없이 구리판을 형성한다. 접착제를 사용하는 경우, 접착제는 에폭시계 접착제, 아크릴계 접착제 및 폴리이미드계 접착제로부터 선택되는 적어도 1종이 좋다. 이들 접착제에는 유연성을 갖게 할 목적으로 각종 고무, 가소제, 경화제, 인계 등의 난연제, 그 밖의 각종 첨가물이 부여되어 있어도 된다. 또한, 폴리이미드계 접착제의 수지 성분으로서는, 주로 열가소성 폴리이미드가 사용되는 것이 많지만, 열경화성 폴리이미드라도 좋다. 또한, 폴리이미드계 접착제로서는, 열가소성의 폴리이미드 필름을 접착제로서 사용하여도 좋다. An adhesive is interposed on one side or both sides of the polyimide film as described above, or a copper plate is formed without the adhesive. When using an adhesive agent, at least 1 sort (s) chosen from an epoxy adhesive, an acrylic adhesive, and a polyimide adhesive is preferable. These adhesives may be provided with various rubbers, plasticizers, hardeners, flame retardants such as phosphorus, and other various additives. In addition, although thermoplastic polyimide is used mainly as a resin component of a polyimide-type adhesive agent, a thermosetting polyimide may be sufficient. In addition, as a polyimide adhesive, you may use a thermoplastic polyimide film as an adhesive agent.

구리 부착 판의 전면 에칭 후의 치수 변화율은 플렉서블 프린트 배선판으로서 실장할 때의 문제점이 나타나지 않도록 하려면 -0.10% 내지 0.10%의 범위 내가 좋고, 더 좋기로는 -0.O5% 내지 0.O5%의 범위 내가 좋고, 더 좋기로는, -0.O3% 내지 0.O3%이다. The dimensional change rate after the front etching of the copper-clad board is in the range of -0.10% to 0.10%, and more preferably in the range of -0.O5% to 0.O5% so that the problem of mounting as a flexible printed wiring board does not appear. I like it, and more preferably, it is -0.O3%-0.O3%.

실시예Example

이하, 실시예를 들어 구체적으로 설명한다. 또한, 실시예에서 사용하는 폴리이미드 필름은 합성예 1 내지 6의 방법에 의하여 제막한 것을 사용하지만, 이들에 한정되지 않는다. 또한, 비교예 1 내지 2에서 사용하는 폴리이미드 필름은 합성예 7 내지 8에 의하여 제막한 것을 사용한다. 또한, 실시예에서 사용하는 접착제로서는 합성예 9 내지 10에 의하여 조제한 것을 사용하지만, 이들에 한정되지 않는다. Hereinafter, an Example is given and it demonstrates concretely. In addition, although the polyimide film used by an Example uses what was formed into a film by the method of the synthesis examples 1-6, it is not limited to these. In addition, the polyimide film used by the comparative examples 1-2 uses the film formed by the synthesis examples 7-8. In addition, although the agent prepared by the synthesis examples 9-10 is used as an adhesive agent used in an Example, it is not limited to these.

또한, 합성예에서 얻은 폴리이미드 필름 및 실시예의 구리 부착 판의 각 특성은 다음의 방법으로 평가하였다. In addition, each characteristic of the polyimide film obtained by the synthesis example, and the copper plate of an Example was evaluated by the following method.

(1) 필름 두께 (1) film thickness

미투토요(Mitutoyo)사 제품인 라이트마틱크 (Series 318) 두께계를 사용하여 다음과 같이 하여 측정하였다. 즉, 필름 전면으로부터 임의로 15부분을 선택하여, 이 15 부분에 대한 두께를 측정하고, 그 평균을 산출하여 두께로 하였다. It was measured as follows using a Lightmatictic (Series 318) thickness meter manufactured by Mitutoyo. That is, 15 parts were arbitrarily selected from the film front surface, the thickness about this 15 part was measured, the average was computed, and it was set as thickness.

(2) 선팽창 계수 (2) linear expansion coefficient

시마쓰세이사쿠쇼 제품인 TMA-50 열기계 분석 장치를 사용하여, 측정 온도 범위: 50 내지 200℃, 승온 속도: 10℃/분의 조건으로 측정하였다. 하중을 0.25 N로 하고, 먼저, 35℃에서 10℃/분으로 승온하여 300℃까지 온도를 올렸다. 300℃에서 5분간 유지하고, 그 후 10℃/분으로 강온하여 35℃까지 온도를 내리고, 35℃에서 30분간 유지하고, 그 후에 10℃/분으로 승온하여 300℃까지 온도를 올렸다. 두 번째의 35℃로부터 300℃까지의 승온시의 데이터를 읽어, 50 내지 200℃ 부분의 평균으로부터 선팽창 계수를 산출하였다. It measured on the conditions of the measurement temperature range: 50-200 degreeC, and a temperature increase rate: 10 degree-C / min using the TMA-50 thermomechanical analyzer which is a Shimadtsu Seisakusho product. The load was 0.25 N, first, the temperature was raised from 35 ° C to 10 ° C / min, and the temperature was raised to 300 ° C. It hold | maintained at 300 degreeC for 5 minutes, after that, it temperature-falled to 10 degree-C / min, it lowered to 35 degreeC, it hold | maintained at 35 degreeC for 30 minutes, after that, it heated up at 10 degree-C / min and raised temperature to 300 degreeC. The data at the time of temperature rising from 35 degreeC to 300 degreeC of the 2nd was read, and the linear expansion coefficient was computed from the average of 50-200 degreeC parts.

(3) 탄성률 (3) elastic modulus

에이 엔드 디사 제품인 RTM-250 텐시론 만능 시험기를 사용하여, 인장 속도:Tensile rate using the RTM-250 Tensileron Universal Testing Machine from Aend Disa

10O mm/분의 조건으로 측정하였다. 로드 셀 10 Kgf, 측정 정밀도 ±0.5% 풀 스케일로 하여, 응력-변형 곡선을 측정하고, 응력-변형 곡선의 상승 부분의 직선의 기울 기 (2N부터 15N의 2점간의 최소 이승법에 의하여 산출), 초기 시료 길이, 시료폭, 시료 두께로부터 이하와 같이 산출하였다. Measured under the condition of 100 mm / min. Load cell 10 Kgf, measurement accuracy ± 0.5% Full scale, measure the stress-strain curve, and the slope of the straight line of the rising part of the stress-strain curve (calculated by the least square method between 2N and 15N) From the initial sample length, sample width, and sample thickness, it was calculated as follows.

탄성률= (직선 부분의 기울기×초기 시료 길이)/ (시료 폭×시료 두께)Modulus of elasticity = (Slope X initial sample length) / (sample width X sample thickness)

(4) 습도 팽창 계수 (4) humidity expansion coefficient

25℃에서 ULVAC사 제품인 TM7000 로 내에 필름을 설치하여 노(爐)내에 건조한 공기를 불어넣어 2 시간 건조시킨 후, HC-1형 수증기 발생 장치로부터의 급기(給氣)에 의하여 TM7000 로 내를 90 %RH로 가습시키고, 그 사이의 치수 변화로부터 습도 팽창 계수를 구하였다. 가습 시간은 7 시간으로 하였다. 3 %RH로부터 90 %RH까지의 데이터를 읽어, 3 내지 9O %RH의 부분의 평균으로부터 습도 팽창 계수를 산출하였다. After installing the film in TM7000 furnace made by ULVAC at 25 ° C, blowing dry air into the furnace and drying it for 2 hours, the inside of the TM7000 furnace was cooled by air from the HC-1 type steam generator. It was humidified with% RH and the humidity expansion coefficient was obtained from the dimensional change therebetween. Humidification time was 7 hours. Data from 3% RH to 90% RH was read, and the humidity expansion coefficient was calculated from the average of the portions of 3 to 90% RH.

(5) 흡수율 (5) water absorption

98 %RH 분위기하의 디시케이터 내에 2일간 정치하고, 건조시 중량에 대한 증가 중량%로 평가하였다. It was left to stand in a dessicator for 2 days in 98% RH atmosphere, and it evaluated by the weight percent increase with respect to the weight at the time of drying.

(6) 가열 수축율 (6) heating shrinkage

20 cm×20 cm의 필름을 준비하여, 25℃, 60 %RH로 조정된 방에 2일간 방치한 후의 필름 치수 (L1)를 측정하고, 계속하여 200℃ 60분간 가열한 후 다시 25℃, 60 %RH로 조정된 방에 2일간 방치한 후 필름 치수 (L2)를 측정하고, 아래의 식 계산에 의하여 평가하였다. A film of 20 cm × 20 cm was prepared, and the film dimension (L1) after standing for 2 days in a room adjusted to 25 ° C. and 60% RH was measured, and subsequently heated to 200 ° C. for 60 minutes, and then again 25 ° C. and 60 ° C. After leaving in a room adjusted to% RH for 2 days, the film dimension (L2) was measured and evaluated by the following formula calculation.

가열 수축율 = -[(L2-L1)/L1]×100 Heat Shrinkage =-[(L2-L1) / L1] × 100

(7) 치수 변화율(7) dimensional change rate

구리 부착 판 에칭 전후의 치수 변화율의 측정은 온도 25℃, 습도 60%의 조건하, CNC 화상 처리 측정 시스템 ((주) 니콘 제품인 NEXIV VMR-3020)을 사용하여, 시야: 1.165 mm×0.875 mm (4배)로 구리 부착 판의 표면에 MD 방향으로 210 mm의 간격으로 2장 붙인 6 mm의 원형 마스킹 테이프의 원의 중심 간의 거리를 구리 전면 에칭 전후에 측정하고 산출함으로써 실시하였다. 에칭 전의 거리를 L3, 에칭 후의 거리를 L4로 하고, 구리 에칭 전후 모두, 측정 전에는 샘플을 온도 25℃, 습도 6 0%의 조건하에서 하룻밤 방치하고, 폴리이미드의 흡수에 의한 영향을 배제한다. 치수 변화율은 2점간의 거리를 5회 측정한 값의 평균값을 사용하여 아래의 식에 의하여 계산하였다. Measurement of the dimensional change rate before and after copper plate etching is performed using a CNC image processing measuring system (NEXIV VMR-3020, manufactured by Nikon Corporation) under conditions of a temperature of 25 ° C. and a humidity of 60%, and a field of view: 1.165 mm × 0.875 mm ( 4 times) was carried out by measuring and calculating the distance between the centers of the circles of the 6 mm circular masking tapes attached to the surface of the copper-clad plate at 210 mm intervals in the MD direction before and after copper front etching. The distance before etching is L3, and the distance after etching is L4, and before and after copper etching, a sample is left overnight under the conditions of temperature 25 degreeC and humidity 60%, and the influence by the absorption of a polyimide is excluded. The dimensional change rate was calculated by the following formula using the average value of the values measured five times between two points.

치수 변화율 (%)=[(L3-L4)/L3]×100 (합성예 1)Dimensional rate of change (%) = [(L3-L4) / L3] × 100 (Synthesis example 1)

(합성예 1)Synthesis Example 1

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)/파라페닐렌디아민 (분자량 108.14)을 몰비로 100/75/25의 비율로 혼합하고, DMAc(N,N-디메틸아세트아미드) 18.5 중량% 용액으로 하여 중합하고, 폴리아미드산을 얻었다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산 용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4 몰 당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 회전하는 10O℃의 스텐레스제 드럼 위에 캐스트하고, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 0.20 mm의 자기 지지성을 가지는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하고, 그 양단을 파지하여, 가열로로 200℃×30초, 350℃×30초, 550℃×30초 처리하고, 두께 25 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenylether (molecular weight 200.24) / paraphenylenediamine (molecular weight 108.14) was mixed in a molar ratio at a ratio of 100/75/25, and DMAc (N , N-dimethylacetamide) as a 18.5% by weight solution to obtain a polyamic acid. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amic acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum rotated from a T-type slit die on a stainless steel drum, to obtain a gel film having 55 wt% of the remaining volatile components and a self supporting property of about 0.20 mm in thickness. This gel film was peeled from the drum, the both ends were gripped, and 200 degreeC * 30 second, 350 degreeC * 30 second, and 550 degreeC * 30 second process was performed by the heating furnace, and the polyimide film of 25 micrometers in thickness was obtained.

(합성예 2) Synthesis Example 2

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)/파라페닐렌디아민 (분자량 108.14)을 몰비로 100/75/25의 비율로 혼합하고, DMAc(N,N-디메틸아세트아미드) 18.5 중량% 용액으로 하고 중합하여, 폴리아미드산을 얻었다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산 용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4 몰 당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 회전하는 10O℃의 스텐레스제 드럼 위에 캐스트하고, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 0.07 mm의 자기 지지성을 가지는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하고, 그 양단을 파지하여, 가열로로 200℃×30초, 350℃×30초, 550℃×30초 처리하고, 두께 9 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenylether (molecular weight 200.24) / paraphenylenediamine (molecular weight 108.14) was mixed in a molar ratio at a ratio of 100/75/25, and DMAc (N , N-dimethylacetamide) as a 18.5% by weight solution to polymerize to obtain a polyamic acid. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amic acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum rotated from a T-type slit die on a stainless steel drum, and a gel film having 55% by weight of the remaining volatile components and a thickness of about 0.07 mm in thickness was obtained. This gel film was peeled from the drum, and both ends were gripped, and 200 degreeC * 30 second, 350 degreeC * 30 second, and 550 degreeC * 30 second process was performed by the heating furnace, and the polyimide film of 9 micrometers in thickness was obtained.

(합성예 3) Synthesis Example 3

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)/파라페닐렌디아민 (분자량 108.14)을 몰비로 100/70/30의 비율로 혼합하고, DMF (N,N-디메틸포름아미드) 18.5 중량% 용액으로 하여 중합하여, 폴리아미드산을 얻었다. 이 때, 우선 피로메리트산 이무수물과 파라페닐렌디아민을 먼저 반응시키고, 그 후에 4,4'-디아미노디페닐에테르를 첨가하는 블록 중합을 실시하였다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산 용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4몰 당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 회전하는 10O℃의 스텐레스제 드럼 위에 캐스트하고, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 0.10 mm의 자기 지지성을 갖는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하여, 그 양단을 파지하고, 가열로로 200℃×30초, 350℃×30초, 550℃×30초 처리하고, 두께 12.5 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenylether (molecular weight 200.24) / paraphenylenediamine (molecular weight 108.14) was mixed in a molar ratio at a ratio of 100/70/30, and DMF (N , N-dimethylformamide) to a 18.5 wt% solution to obtain a polyamic acid. At this time, first, pyromellitic dianhydride and paraphenylenediamine were first reacted, and then block polymerization was performed in which 4,4'-diaminodiphenyl ether was added. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amic acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum rotated from a T-type slit die on a stainless steel drum, and a gel film having 55% by weight of the remaining volatile components and a thickness of about 0.10 mm was obtained. This gel film was peeled from the drum, the both ends were gripped, and 200 degreeC * 30 second, 350 degreeC * 30 second, and 550 degreeC * 30 second process was performed by the heating furnace, and the polyimide film of thickness 12.5micrometer was obtained.

(합성예 4) Synthesis Example 4

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)/파라페닐렌디아민 (분자량 108.14)을 몰비로 100/80/20의 비율로 혼합하고, DMAc(N,N-디메틸아세트아미드) 18.5 중량% 용액으로 하고 중합하여, 폴리아미드산을 얻었다. 이 때, 우선 피로메리트산 이무수물과 4,4'-디아미노디페닐에테르를 먼저 반응시키고, 그 후에 파라페닐렌디아민을 첨가하는 블록 중합을 실시하였다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드 산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4 몰당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 엔드리스 벨트상에 캐스트하고, 70℃의 열풍으로 가열하여, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 0.05 mm의 자기 지지성을 가지는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하여, 그 양단 을 파지하고, 가열로로 200℃×60초, 350℃×60초, 550℃×45초 처리하고, 두께 6 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenylether (molecular weight 200.24) / paraphenylenediamine (molecular weight 108.14) was mixed in a molar ratio at a ratio of 100/80/20, and DMAc (N , N-dimethylacetamide) as a 18.5% by weight solution to polymerize to obtain a polyamic acid. At this time, first, the pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether were first reacted, and then block polymerization was performed in which paraphenylenediamine was added. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amide acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on an endless belt from a T-type slit die and heated by hot air at 70 ° C. to obtain a gel film having 55 wt% of the remaining volatile components and a self supporting property of about 0.05 mm in thickness. This gel film was peeled from the drum, and both ends were gripped, and 200 degreeC * 60 second, 350 degreeC * 60 second, and 550 degreeC * 45 second process was performed by the heating furnace, and the polyimide film of thickness 6micrometer was obtained.

(합성예 5) Synthesis Example 5

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)/파라페닐렌디아민 (분자량 108.14)을 몰비로 100/50/50의 비율로 혼합하고, DMF (N,N-디메틸포름아미드) 18.5 중량% 용액으로 하여 중합하여, 폴리아미드산을 얻었다. 이 때, 우선 피로메리트산 이무수물과 파라페닐렌디아민을 먼저 반응시키고, 그 후에 4,4'-디아미노디페닐에테르를 첨가하는 블록 중합을 실시하였다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산 용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4몰 당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 회전하는 10O℃의 스텐레스제 드럼 위에 캐스트하고, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 1.0 mm의 자기 지지성을 갖는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하여, 그 양단을 파지하고, 가열로로 200℃×30초, 350℃×30초, 550℃×30초 처리하고, 두께 125 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenylether (molecular weight 200.24) / paraphenylenediamine (molecular weight 108.14) was mixed in a molar ratio at a ratio of 100/50/50, and DMF (N , N-dimethylformamide) to a 18.5 wt% solution to obtain a polyamic acid. At this time, first, pyromellitic dianhydride and paraphenylenediamine were first reacted, and then block polymerization was performed in which 4,4'-diaminodiphenyl ether was added. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amic acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum rotated from a T-type slit die on a stainless steel drum, to obtain a gel film having 55% by weight of the remaining volatile components and about 1.0 mm in thickness. This gel film was peeled from the drum, the both ends were gripped, and 200 degreeC * 30 second, 350 degreeC * 30 second, and 550 degreeC * 30 second process was performed by the heating furnace, and the 125-micrometer-thick polyimide film was obtained.

(합성예 6) Synthesis Example 6

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)/파라페닐렌디아민 (분자량 108.14)을 몰비로 100/60/40의 비율로 혼합하고, DMAc(N,N-디메틸아세트아미드) 18.5 중량% 용액으로 하고 중합하여, 폴리아미 드산을 얻었다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산 용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4 몰 당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 회전하는 10O℃의 스텐레스제 드럼 위에 캐스트하고, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 0.40 mm의 자기 지지성을 가지는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하고, 그 양단을 파지하여, 가열로로 200℃×30초, 350℃×30초, 550℃×30초 처리하고, 두께 50 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenylether (molecular weight 200.24) / paraphenylenediamine (molecular weight 108.14) was mixed in a molar ratio at a ratio of 100/60/40, and DMAc (N , N-dimethylacetamide) as a 18.5% by weight solution to polymerize to obtain a polyamide acid. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amic acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum rotated from a T-type slit die on a stainless steel drum, to obtain a gel film having 55% by weight of the remaining volatile components and a thickness of about 0.40 mm. This gel film was peeled from the drum, and both ends were gripped, and 200 degreeC * 30 second, 350 degreeC * 30 second, and 550 degreeC * 30 second process was performed by the heating furnace, and the polyimide film of 50 micrometers in thickness was obtained.

(합성예 7) Synthesis Example 7

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)을 몰비로 50/50의 비율로 혼합하고, DMF(N,N-디메틸포름아미드) 18.5 중량%용액으로 하여 중합하여, 폴리아미드산을 얻었다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산 용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4 몰 당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 회전하는 10O℃의 스텐레스제 드럼 위에 캐스트하고, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 0.20 mm의 자기 지지성을 가지는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하고, 그 양단을 파지하여, 가열로로 200℃×30초, 350℃×30초, 550℃×30초 처리하고, 두께 25 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.24) was mixed at a molar ratio of 50/50 in a ratio of 18.5% by weight of DMF (N, N-dimethylformamide) It superposed | polymerized as and obtained polyamic acid. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amic acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum rotated from a T-type slit die on a stainless steel drum, to obtain a gel film having 55 wt% of the remaining volatile components and a self supporting property of about 0.20 mm in thickness. This gel film was peeled from the drum, the both ends were gripped, and 200 degreeC * 30 second, 350 degreeC * 30 second, and 550 degreeC * 30 second process was performed by the heating furnace, and the polyimide film of 25 micrometers in thickness was obtained.

(합성예 8) Synthesis Example 8

피로메리트산 이무수물 (분자량 218.12)/4,4'-디아미노디페닐에테르 (분자량 200.24)을 몰비로 50/50의 비율로 혼합하고, DMF(N,N-디메틸포름아미드) 18.5 중량%용액으로 하여 중합하여, 폴리아미드산을 얻었다. 무수 초산 (분자량 102.09)과 이소퀴놀린으로 이루어지는 전화제를 폴리아미드산 용액에 대하여 50 중량%의 비율로 혼합, 교반하였다. 이 때, 폴리아미드산의 아미드산기에 대하여, 무수 초산 및 이소퀴놀린이 각각 2.0 및 0.4 몰 당량이 되도록 조제하였다. 얻은 혼합물을, T형 슬릿 다이로부터 회전하는 10O℃의 스텐레스제 드럼 위에 캐스트하고, 나머지 휘발 성분이 55 중량%, 두께 약 0.10 mm의 자기 지지성을 가지는 겔 필름을 얻었다. 이 겔 필름을 드럼으로부터 박리하고, 그 양단을 파지하여, 가열로로 200℃×30초, 350℃×30초, 550℃×30초 처리하고, 두께 12.5 ㎛의 폴리이미드 필름을 얻었다. Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4'-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.24) was mixed at a molar ratio of 50/50 in a ratio of 18.5% by weight of DMF (N, N-dimethylformamide) It superposed | polymerized as and obtained polyamic acid. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight based on the polyamic acid solution. At this time, acetic anhydride and isoquinoline were prepared so as to be 2.0 and 0.4 molar equivalents, respectively, with respect to the amic acid group of the polyamic acid. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum rotated from a T-type slit die on a stainless steel drum, to obtain a gel film having 55% by weight of the remaining volatile components and a thickness of about 0.10 mm. This gel film was peeled from the drum, and both ends were gripped, and 200 degreeC * 30 second, 350 degreeC * 30 second, and 550 degreeC * 30 second process was performed by the heating furnace, and the polyimide film of 12.5 micrometers in thickness was obtained.

합성예 1 내지 8의 특성을 표 1에 정리하여 나타낸다. The characteristic of the synthesis examples 1-8 is put together in Table 1, and is shown.

PMDAPMDA 4,4'-ODA4,4'-ODA PPDPPD 두께 (㎛)Thickness (㎛) 선팽창 계수 (ppm/℃)Coefficient of linear expansion (ppm / ℃) 탄성율 (GPa)Modulus of elasticity (GPa) 습도 팽창 계수 (ppm/%RH)Humidity Expansion Coefficient (ppm /% RH) 흡수율 (%)Absorption rate (%) 가열 수축율 (%)Heating shrinkage (%) 합성예1Synthesis Example 1 100100 7575 2525 2525 17.317.3 4.24.2 19.319.3 2.72.7 0.050.05 합성예2Synthesis Example 2 100100 7575 2525 99 17.517.5 4.24.2 19.019.0 2.72.7 0.050.05 합성예3Synthesis Example 3 100100 7070 3030 12.512.5 15.415.4 4.44.4 20.020.0 2.82.8 0.070.07 합성예4Synthesis Example 4 100100 8080 2020 66 19.519.5 4.04.0 17.317.3 2.72.7 0.050.05 합성예5Synthesis Example 5 100100 5050 5050 125125 9.29.2 5.25.2 23.623.6 3.43.4 0.080.08 합성예6Synthesis Example 6 100100 6060 4040 5050 12.012.0 4.94.9 22.522.5 3.23.2 0.050.05 합성예7Synthesis Example 7 100100 100100 00 2525 25.025.0 3.53.5 24.024.0 2.92.9 0.250.25 합성예8Synthesis Example 8 100100 100100 00 12.512.5 27.027.0 3.53.5 24.024.0 2.92.9 0.250.25

표 중의 PMDA는 피로메리트산 이무수물,PMDA in the table is pyromellitic dianhydride,

4,4'-ODA는 4,4'-디아미노디페닐에테르,    4,4'-ODA is 4,4'-diaminodiphenyl ether,

PPD는 파라페닐렌디아민이다.    PPD is paraphenylenediamine.

(합성예 9) Synthesis Example 9

유카 쉘(주) 제품인 에폭시 수지「에피코트」834를 중량부, 도도가세이(주) 제품인 인 함유 에폭시 수지 FX279BEK75를 100 중량부, 스미토모가가쿠(주) 제품인 경화제 4,4'-DDS를 6 중량부, JSR(주) 제품인 NBR(PNR-1H) 100 중량부, 쇼와덴코(주) 제품인 수산화알루미늄 30 중량부를 메틸이소부틸케톤 600 중량부에 30℃에서 교반, 혼합하여, 접착제 용액을 얻었다. 6 parts by weight of epoxy resin `` Epicoat '' from Yuka Shell Co., Ltd., 100 parts by weight of phosphorus-containing epoxy resin FX279BEK75 from Todogasei Co., Ltd., and 4,4'-DDS curing agent from Sumitomogagaku Co. Parts by weight, 100 parts by weight of NBR (PNR-1H) manufactured by JSR Corporation, and 30 parts by weight of aluminum hydroxide, produced by Showa Denko, were stirred and mixed with 600 parts of methyl isobutyl ketone at 30 ° C to obtain an adhesive solution. .

(합성예 10) Synthesis Example 10

유카 쉘(주) 제품인 에폭시 수지「에피코트」828을 50 중량부, 도도카세이(주) 제품인 인 함유 에폭시 수지 FX279BEK75를 80 중량부, 스미토모가가쿠(주) 제품인 경화제 4,4'-DDS를 6 중량부, JSR(주) 제품인 NBR (PNR-1H)를 100 중량부, 쇼와덴코(주) 제품인 수산화알루미늄 10 중량부를 메틸이소부틸케톤 600 중량부에 30℃에서 교반, 혼합하고, 접착제 용액을 얻었다. 50 parts by weight of Yuka Shell Co., Ltd. epoxy coat `` Epicoat '' 828, 80 parts of Todo Kasei Co., Ltd. phosphorus epoxy resin FX279BEK75, and 6,4'-DDS curing agent from Sumitomogagaku Co., Ltd. 100 parts by weight of NBR (PNR-1H) manufactured by JSR Co., Ltd., and 10 parts by weight of aluminum hydroxide, manufactured by Showa Denko Co., Ltd., were stirred and mixed at 600 ° C in methyl isobutyl ketone at 30 ° C. Got it.

(실시예 1) (Example 1)

합성예 1에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용하고, 이 편면에 합성예 9의 접착제를 도포하고, 150℃×5분간 가열 건조하고, 건조 막 두께 10 ㎛의 접착제층을 형성하였다. 이 편면 접착제 부착 폴리이미드 필름과 표면 조도 (Rz)가 1.5 ㎛인1/2 온스 구리박 (후루카와서킷호일(주) 제품인, FO-WS18)을, 열 롤 라미네이트기를 사용하여 라미네이트 온도 160℃, 라미네이트 압력 196 N/cm (20 ㎏f/㎠), 라미네이트 속도 1.5 m/분의 조건으로 열 라미네이트를 실시하고, 편면 플렉서블 구리 부착 판을 제작하였다. 얻은 구리 부착 판을 사용하여, 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율은 -0.004%이었다. Using the polyimide film formed into the film by the synthesis example 1, the adhesive agent of the synthesis example 9 was apply | coated to this single side | surface, it heat-dried at 150 degreeC x 5 minutes, and formed the adhesive layer of 10 micrometers of dry film thicknesses. This single-sided polyimide film with adhesive and 1/2 ounce copper foil (FO-WS18, manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a surface roughness (Rz) of 1.5 µm were laminated using a heat roll laminate machine to a laminate temperature of 160 ° C. The thermal lamination was performed on the conditions of the pressure of 196 N / cm (20 kgf / cm <2>), and the lamination speed | rate 1.5 m / min, and the single-sided flexible copper plate was produced. Using the obtained copper-clad board, the rate of dimensional change before and after copper full surface etching was measured, and the rate of dimensional change was -0.004%.

(실시예 2) (Example 2)

합성예 2에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용한 이외에는 실시예 1과 모두 동일하게 하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율 -0.006%이었다. Except using the polyimide film formed into the film by the synthesis example 2, it carried out similarly to Example 1, and produced the single-sided copper plate. The dimensional change rate before and after copper front surface etching was measured and found to be -0.006%.

(실시예 3) (Example 3)

합성예 3에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용한 이외에는 실시예 1과 모두 동일하게 하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율은 0.015%이었다. Except using the polyimide film formed into the film by the synthesis example 3, it carried out similarly to Example 1, and produced the single-sided copper plate. The dimensional change rate before and after copper front surface etching was measured, and the dimensional change rate was 0.015%.

(실시예 4) (Example 4)

합성예 4에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용한 이외에는 실시예 1과 모두 동일하게 하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율은 -0.021%이었다. Except using the polyimide film formed into the film by the synthesis example 4, it carried out similarly to Example 1, and produced the single-sided copper plate. The dimensional change rate before and after copper front surface etching was measured, and the dimensional change rate was -0.021%.

(실시예 5) (Example 5)

합성예 2에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용하여 진공조를 도달압력 1×10-3 Pa로 한 후, 아르곤 가스압 1 x10-1 Pa로 DC 마그네트론 스패터에 의하여 니켈/크롬=95/5 (중량비)의 니크롬 합금을 두께 5 nm가 되도록 편면에 스패터링하고, 또한 구리를 두께 50 nm가 되도록 스패터링하였다. 다음으로, 황산구리 욕에 의한 전해 도금으로 6 ㎛ 두께의 구리층을, 2 A/dm2의 전류 밀도의 조건에 의하여 적층하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 또한, 황산구리 욕의 조성은 황산구리 오수화물 80 g/리터, 황산 200 g/리터, 염산 50 ㎎/리터에 적당량의 첨가제를 가한 용액을 사용하였다. 얻은 구리 부착 판을 사용하여, 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율은 0.012%이었다. After using the polyimide film formed in the synthesis example 2, the vacuum chamber was made into 1 x 10 <-3> Pa of pressure, and nickel / chromium = 95/5 (weight ratio) by DC magnetron spatter at argon gas pressure of 1 x 10 <-1> Pa. Nichrome alloy was sputtered on one side to have a thickness of 5 nm, and copper was sputtered to have a thickness of 50 nm. Next, the 6-micrometer-thick copper layer was laminated | stacked on the conditions of the current density of 2 A / dm <2> by the electroplating by the copper sulfate bath, and the single-sided copper plate was produced. As the composition of the copper sulfate bath, a solution in which an appropriate amount of an additive was added to 80 g / liter of copper sulfate pentahydrate, 200 g / liter of sulfuric acid, and 50 mg / liter of hydrochloric acid was used. When the obtained copper clad board was used, the dimensional change rate in the front and back of copper front etching was measured, and the dimensional change rate was 0.012%.

(실시예 6) (Example 6)

합성예 5에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용하고, 이 편면에 합성예 10의 접착제를 도포하고, 150℃×5분간 가열 건조하고, 건조 막 두께 10 ㎛의 접착제층을 형성하였다. 이 편면 접착제 부착 폴리이미드 필름과 표면 조도 (Rz)가 1.5 ㎛인 1/2 온스 구리박 (후루카와서킷호일(주) 제품인, FO-WS18)을, 열 롤 라미네이트기를 사용하여 라미네이트 온도 160℃, 라미네이트 압력 196 N/cm (20 ㎏f/㎠), 라미네이트 속도 1.5 m/분의 조건으로 열 라미네이트를 실시하고, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 얻은 구리 부착 판을 사용하여, 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율은 0.014%이었다. Using the polyimide film formed into a film by the synthesis example 5, the adhesive agent of the synthesis example 10 was apply | coated to this single side | surface, it heat-dried at 150 degreeC x 5 minutes, and formed the adhesive layer of 10 micrometers of dry film thicknesses. This single-sided adhesive polyimide film and 1/2 ounce copper foil (FO-WS18, manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) having a surface roughness (Rz) of 1.5 µm were laminated using a heat roll laminate machine, and the lamination temperature was 160 ° C. The thermal lamination was performed on the conditions of the pressure of 196 N / cm (20 kgf / cm <2>), and the lamination speed | rate 1.5 m / min, and the plate with a single-sided copper was produced. When the obtained copper clad board was used, the dimension change rate before and behind copper front surface etching was measured, and the dimension change rate was 0.014%.

(실시예 7) (Example 7)

합성예 4에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용하여 진공조를 도달압력 1×10-3 Pa로 한 후, 아르곤 가스압 1 x10-1 Pa로 DC 마그네트론 스패터에 의하여 니켈/크롬=90/10 (중량비)의 니크롬 합금을 두께 3 nm가 되도록 편면에 스패터링하고, 또한 구리를 두께 10 nm가 되도록 스패터링하였다. 다음으로, 황산구리 욕에 의한 전해 도금으로 5 ㎛ 두께의 구리층을, 2 A/dm2의 전류 밀도의 조건에 의하여 적층하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 또한, 황산구리 욕의 조성은 황산구리 오수화물 80 g/리터, 황산 200 g/리터, 염산 50 ㎎/리터에 적당량의 첨가제를 가한 용액을 사용하였다. 얻은 구리 부착 판을 사용하여, 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율은 0.008%이었다. After using the polyimide film formed in the synthesis example 4, the vacuum chamber was made into 1 x 10 <-3> Pa of pressure, and nickel / chromium = 90/10 by DC magnetron spatter at argon gas pressure of 1 x 10 <-1> Pa (weight ratio) Nichrome alloy was sputtered on one side to have a thickness of 3 nm, and copper was sputtered to have a thickness of 10 nm. Next, the copper layer of 5 micrometers thickness was laminated | stacked on the conditions of the current density of 2 A / dm <2> by the electroplating by a copper sulfate bath, and the single-sided copper clad plate was produced. As the composition of the copper sulfate bath, a solution in which an appropriate amount of an additive was added to 80 g / liter of copper sulfate pentahydrate, 200 g / liter of sulfuric acid, and 50 mg / liter of hydrochloric acid was used. Using the obtained copper-clad board, the dimensional change rate before and after the copper front etching was measured, and the dimensional change rate was 0.008%.

(실시예 8) (Example 8)

합성예 6에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용하여 진공조를 도달압력 1×10-3 Pa로 한 후, 아르곤 가스압 1 x10-1 Pa로 DC 마그네트론 스패터에 의하여 니켈/크롬=90/10 (중량비)의 니크롬 합금을 두께 3 nm가 되도록 편면에 스패터링하고, 또한 구리를 두께 10 nm가 되도록 스패터링하였다. 다음으로, 황산구리 욕에 의한 전해 도금으로 12 ㎛ 두께의 구리층을, 2 A/dm2의 전류 밀도의 조건에 의하여 적층하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 또한, 황산구리 욕의 조성은 황산구리 오수화물 80 g/리터, 황산 200 g/리터, 염산 50 ㎎/리터에 적당량의 첨가제를 가한 용액을 사용하였다. 얻은 편면 구리 부착 판을 사용하여 구리층이 형성되어 있은 면의 반대면 (폴리이미드면)에 합성예 8의 접착제를 도포하고, 150℃×5 분간 가열 건조하고, 건조막 두께 10 ㎛의 접착제층을 형성하였다. 접착제 부착 편면 구리 부착 판과 표면조도 (Rz)가 1.5 ㎛인 1/3 온스 구리박 (후루카와서킷호일(주) 제품인 FO-WS12)를 열 롤 라미네이트기를 사용하여 라미네이트 온도 160℃, 라미네이트 압력 196 N/cm (20 ㎏f/㎠), 라미네이트 속도 1.5 m/분의 조건으로 열 라미네이트를 실시하고, 편면은 접착제를 개재하고, 다른 편면은 접착제를 개재하지 않고 구리가 형성되어 있은 양면 구리 부착 판을 얻었다. 얻은 양면 구리 부착 판을 사용하여, 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율은 0.011%이었다. After using the polyimide film formed in the synthesis example 6, the vacuum chamber was made into the reaching pressure of 1x10 <-3> Pa, and nickel / chromium = 90/10 by DC magnetron spatter at argon gas pressure of 1x10 <-1> Pa (weight ratio Nichrome alloy was sputtered on one side to have a thickness of 3 nm, and copper was sputtered to have a thickness of 10 nm. Next, the copper layer of 12 micrometers thickness was laminated | stacked on the conditions of the current density of 2 A / dm <2> by the electroplating by a copper sulfate bath, and the single-sided copper plate was produced. As the composition of the copper sulfate bath, a solution in which an appropriate amount of an additive was added to 80 g / liter of copper sulfate pentahydrate, 200 g / liter of sulfuric acid, and 50 mg / liter of hydrochloric acid was used. Using the obtained single-sided copper-clad board, the adhesive of Synthesis Example 8 was applied to the opposite side (polyimide surface) of the surface on which the copper layer was formed, heated and dried at 150 ° C. for 5 minutes, and an adhesive layer having a dry film thickness of 10 μm. Formed. Single-sided copper-clad board with adhesive and 1/3 ounce copper foil (Rz) of 1.5 µm (FO-WS12, manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd.) using a heat roll laminate machine, laminate temperature 160 ° C, laminate pressure 196 N thermal lamination under the conditions of / cm (20 kgf / cm 2) and a lamination speed of 1.5 m / min, one side is via an adhesive, and the other side is a double-sided copper plate attached with copper without an adhesive. Got it. Using the obtained double-sided copper plate, the rate of dimensional change before and after the entire copper etching was measured, and the rate of dimensional change was 0.011%.

(비교예 1) (Comparative Example 1)

합성예 7에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용한 이외에는 모두 실시예 1과 동일하게 하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율 -0.122%이었다. Except using the polyimide film formed into the film by the synthesis example 7, it carried out similarly to Example 1, and produced the single-sided copper plate. The dimensional change rate before and after the copper front etching was measured, and the dimensional change rate was -0.122%.

(비교예 2) (Comparative Example 2)

합성예 8에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용한 이외에는 모두 실시예 1과 동일하게 하여, 편면 구리 부착 판을 제작하였다. 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율 -0.132%이었다. Except using the polyimide film formed into the film by the synthesis example 8, it carried out similarly to Example 1, and produced the single-sided copper plate. The dimensional change rate before and after copper front surface etching was measured and found to be -0.132%.

(비교예 3) (Comparative Example 3)

합성예 7에서 제막한 폴리이미드 필름을 사용한 이외에는 모두 실시예 1과 동일하게 하여, 양면 구리 부착 판을 제작하였다. 구리 전면 에칭 전후에서의 치수 변화율을 측정하였더니, 치수 변화율 -0.105%이었다. Except for using the polyimide film formed into a film by the synthesis example 7, it carried out similarly to Example 1, and produced the board with a double-sided copper. The dimensional change rate before and after the copper front surface etching was measured and found to be -0.105%.

실시례 1 내지 8 및 비교예 1 내지 3의 치수 변화율을 표 2에 정리하여 나타내었다. The dimensional change rate of Examples 1-8 and Comparative Examples 1-3 was put together in Table 2, and is shown.

치수 변화율 (%)Dimensional rate of change (%) 실시예 1Example 1 -0.004-0.004 실시예 2Example 2 -0.006-0.006 실시예 3Example 3 0.015 0.015 실시예 4Example 4 -0.021-0.021 실시예 5Example 5 0.012 0.012 실시예 6Example 6 0.014 0.014 실시예 7Example 7 0.008 0.008 실시예 8Example 8 0.004 0.004 비교예 1Comparative Example 1 -0.122-0.122 비교예 2Comparative Example 2 -0.132-0.132 비교예 3Comparative Example 3 -0.105-0.105

본 발명에 따르면, 치수 안정성이나 내열성이 우수한 플렉서블 배선판용으로서 매우 적합한 구리 강판의 제공이 가능하게 된다. According to the present invention, it is possible to provide a copper steel sheet which is very suitable for flexible wiring boards having excellent dimensional stability and heat resistance.

Claims (8)

파라페닐렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐에테르 및 피로메리트산 이무수물로 형성된 폴리이미드 필름을 사용하고, 이 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에 접착제를 개재하여 구리판을 가지고 있는 구리 부착 판. Copper attachment plate which has a copper plate using the polyimide film formed from paraphenylenediamine, 4,4'- diamino diphenyl ether, and a pyromellitic dianhydride, and an adhesive on one side or both sides of this polyimide film. . 파라페닐렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐에테르 및 피로메리트산 이무수물로 형성된 폴리이미드 필름의 편면 또는 양면에 접착제를 개재하지 않고 구리판을 가지고 있는 구리 부착 판. A copper adhesion plate having a copper plate without interposing an adhesive on one or both sides of a polyimide film formed of paraphenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether and pyromellitic dianhydride. 파라페닐렌디아민, 4,4'-디아미노디페닐에테르 및 피로메리트산 이무수물로 형성된 폴리이미드 필름의 편면은 접착제를 개재하여 구리판을 가지고, 다른 편면은 접착제를 개재하지 않고 구리판을 가지고 있는 구리 부착 판.  One side of the polyimide film formed of paraphenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylether and pyromellitic dianhydride has a copper plate via an adhesive, and the other side has a copper plate without an adhesive. Attachment plate. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 폴리이미드 필름의 디아민 성분이 파라페닐렌디아민 10 내지 50 몰%, 4,4'-디아미노디페닐에테르 50 내지 90 몰%, 산이무수물 성분이 피로메리트산 이무수물 100 몰%인 구리 부착 판. The diamine component according to any one of claims 1 to 3, wherein the diamine component is 10 to 50 mol% of paraphenylenediamine, 50 to 90 mol% of 4,4'-diaminodiphenyl ether, and an acid dianhydride. The copper adhesion plate whose component is 100 mol% of pyromellitic dianhydride. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 탄성률 3 내지 6 GPa, 50 내지 200℃에서의 선팽창 계수가 5 내지 20 ppm/℃, 습도 팽창 계수가 30 ppm/%RH 이 하, 흡수율이 3.5% 이하, 200℃ 1 시간의 가열 수축율이 0.10% 이하인 폴리이미드 필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 구리 부착 판. The water absorption rate according to any one of claims 1 to 4, wherein the linear expansion coefficient at an elastic modulus of 3 to 6 GPa, 50 to 200 ° C is 5 to 20 ppm / ° C, and the humidity expansion coefficient is 30 ppm /% RH or less. The 3.5% or less of this, and the polyimide film whose heat shrinkage rate of 200 degreeC 1 hour is 0.10% or less is used. 제1항 또는 제3항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 접착제가 에폭시계 접착제, 아크릴계 접착제 및 폴리이미드계 접착제로부터 선택되는 적어도 1종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 구리 부착 판. The copper attachment plate according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive comprises at least one selected from an epoxy adhesive, an acrylic adhesive, and a polyimide adhesive. 제1항 또는 제3항 내지 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서, 접착측의 구리의 표면 조도 (Rz)가 0.1 내지 10 ㎛의 구리박인 구리 부착 판. The copper adhesion plate in any one of Claim 1 or 3-6 whose surface roughness Rz of copper on the adhesion side is a copper foil of 0.1-10 micrometers. 제1항 내지 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 전면 에칭 후의 치수 변화율이 -0.10% 내지 0.10%의 범위 내인 구리 부착 판. The copper clad plate according to any one of claims 1 to 7, wherein the rate of dimensional change after the entire surface etching is in the range of -0.10% to 0.10%.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102689463A (en) * 2012-05-28 2012-09-26 珠海亚泰电子科技有限公司 Flexible copper-clad plate

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