KR20070066492A - 카세트이송대차 - Google Patents

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KR20070066492A
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김종두
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 카세트이송대차에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 평판표시장치용 제조설비를 따라 운행하면서 카세트를 운반하는 카세트이송대차로서, 특히 운행 중에 전방의 장애물 출몰여부를 감지하고, 이에 따른 돌발상황에 효과적으로 대처할 수 있는 카세트이송대차에 관한 것이다.
구체적으로 본 발명은 전면이 이동방향을 향하고, 카세트가 안착되는 스테이지를 제공하는 본체와; 상기 본체 하단부에 부설되어 전체를 지탱 및 이동시키는 이동부와; 상기 스테이지 상에 부설되어 카세트를 적재 및 하역하는 아암부와; 상기 전면에 장착되어, 이동방향에 대한 전방의 방해물을 감지하는 복수개의 광센서와; 상기 광센서의 감지결과를 통해 상기 이동부를 제어하는 제어부를 포함하는 카세트이송대차를 제공하는바, 운행 중에 이동경로 상의 전방을 감지하여 장애물 출몰여부를 확인할 수 있고, 이에 따른 신속하고 적절한 대처가 가능하여 사고발생가능성을 줄이고 보다 원활한 평판표시장치의 공정진행을 가능케 한다.

Description

카세트이송대차{cassette transfer vehicle}
도 1은 일반적인 평판표시장치의 제조설비 배치도.
도 2는 일반적인 AGV의 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 AGV의 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 AGV의 전면을 나타낸 정면도.
도 5a와 도 5b는 각각 본 발명에 따른 AGV의 제 1 및 제 2 광센서에 대한 감지범위를 나타낸 평면도와 측면도.
도 6은 본 발명에 따른 AGV의 제어부 및 연동요소를 나타낸 블록도.
도 7은 본 발명의 변형예에 따른 AGV의 전면을 나타낸 정면도.
도 8a와 도 8b는 각각 본 발명의 변형예에 따른 AGV의 제 1 및 제 2 광센서에 대한 감지범위를 나타낸 평면도와 측면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110 : 카세트이송대차 120 : 본체
128 : 전면 130 : 이동부
132 : 휠 140 : 아암부
142 : 회전디스크 144 : 아암
146 : 켓치플레이트 150 : 광센서
152 : 제 1 광센서 154 : 제 2 광센서
C : 카세트
본 발명은 카세트이송대차(cassette transfer vehicle)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 평판표시장치(Flat Panel Display device)용 제조장비 사이를 운행하면서 카세트(cassette)를 운반하는 카세트이송대차로서, 특히 운행 중의 전방에 대한 장애물 출몰여부를 감지하고, 이에 따른 돌발상황에 효과적으로 대처할 수 있는 카세트이송대차에 관한 것이다.
현대의 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 전기적 신호를 통해 화상을 표시하는 디스플레이(display)분야 또한 급속도로 발전해왔고, 이에 부응하여 사이즈의 경박단소(輕薄短小)와 저소비전력화 특징을 지닌 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)로서, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등이 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이러한 평판표시장치는 공통적으로 화상구현을 위한 평판표시패널(plat display panel)을 필수적인 구성요소로 하며, 이는 고유의 형광 또는 편광 물질층을 사이에 두고 두 기판을 나란히 대면 합착시킨 형태를 나타내는바, 최근에는 특히 평판표시패널 상에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬로 배열하고 각각을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭소자로 개별 제어하는 능동행렬방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색재현성에서 뛰어나 널리 이용되고 있다.
한편, 일반적인 평판표시장치의 제조를 위해서는 기판을 대상으로 여러 가지 다양한 공정이 수행되며, 예를 들면 기판 표면에 소정물질의 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo-lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거함으로써 목적하는 형태로 패터닝(patterning) 하는 식각(etching) 공정이 수 차례 반복되고, 그 외 세정, 합착, 절단 등의 다양한 공정이 수반된다.
그리고 이들 각각의 공정진행 중에 처리대상물인 기판은 해당공정을 수행하는 고유의 공정장비에 순차적 또는 그룹형태로 공급되는데, 이 경우 기판의 운반 및 보관에 드는 시간과 노력을 절감하고자 다수의 기판이 수납되는 카세트(cassette)가 사용되며, 이를 운반하기 위한 무인 이송수단으로서 카세트이송대차(Cassette Transfer Vehicle : CTV)가 동원된다.
특히, 현재 널리 사용되고 있는 카세트이송대차로는 레일을 따라 이동하는 RGV(Rail Guided Vehicle), 컨트롤러(Controller)에 의한 자체 구동력으로 지정된 경로를 이동하는 AGV(Automatic Guided Vehicle) 등이 있고, 최근 레이저 항법시스템을 갖춘 LGV(Laser Guided Vehicle)가 이용되기도 한다.
첨부된 도 1은 일반적인 평판표시장치의 제조설비에 대한 배치관계를 나타낸 평면 모식도로서, 서비스에어리어(service area) 내에 구획된 공간이며 공정장비가 놓여지는 베이(bay : A)들 사이로 수 개의 이동경로(2)가 적절히 설정되어 있고, 이들 각각의 이동경로(2)를 따라 복수개의 카세트이송대차(4)가 운행하면서 카세트를 운반하는 방식을 취하는바, 이동경로의 좌우 측으로는 카세트이송대차(4)를 위한 카세트의 적재 및 하역위치인 다수의 포트(port : P)가 마련된다.
다음으로 도 2는 카세트이송대차의 가장 대표적인 예로 꼽히는 AGV(10)의 사시도로서, 카세트(C)가 안착되는 스테이지(22)를 제공하는 본체(20)와, 상기 본체(20) 하단에 마련된 이동부(30) 그리고 본체(20)의 스테이지(22)에 장착된 아암부(40)를 포함한다.
이때 이동부(30)는 AGV(10) 전체를 지탱 및 이동시키는 부분으로 바닥을 따라 회전하는 휠(wheel : 32) 및 이를 회전시키기 위한 모터 등의 구동수단을 포함하고, 아암부(40)는 스테이지(22) 상에 장착된 회전디스크(42)와, 상기 회전디스크(42)에 일단이 결합되며 수축 및 신장되는 아암(44) 및 이의 말단에 결합되어 직접적으로 카세트(C)를 지지하는 캣치플레이트(46)를 포함하는바, 이동부(30)를 통해 진행경로를 따라 운행하면서 목적하는 포트에 도달하면 아암부(40)의 회전, 수축, 신장 동작을 통해 카세트(C)를 적재 또는 하역한다.
한편, 평판표시장치의 제조를 위한 서비스에이리어 내에서 AGV(10) 등의 카세트이송대차는 그물망 형태로 정의된 이동경로를 따라 많은 수가 분주하게 운행하며, 이에 따른 사고의 위험성이 큰 단점을 보인다.
즉, 앞서 도 1에서는 편의상 카세트이송대차(4)의 이동경로(2)를 최소한으로 나타내었지만, 실제 카세트이송대차(4)의 이동경로(2)는 다수의 제조설비들 사이에서 서로 교차되는 등 매우 복잡하게 정의되며, 각각을 따라 운행하는 카세트이송대차(4)의 수량 또한 다수를 이룬다.
따라서 모든 카세트이송대차(4)의 운행을 제어하는 것은 사실상 불가능하며, 이에 따른 사고의 위험성이 항상 도사리고 있는데, 특히 카세트이송대차(4)의 운행 중에 이동경로(2) 상의 전방으로 사람 또는 다른 카세트이송대차(4)가 돌발적으로 출몰할 경우에 대처방안이 전무하여 충돌 가능성이 크고, 충돌 시 카세트를 비롯한 기판파손에 의한 비용낭비는 물론 부상 등의 인력손실이 수반된다.
이에 카세트이송대차(4)의 안전운행과 사고발생 가능성을 저감시키기 위한 노력이 계속되고 있는 실정이다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 카세트이송대차의 운행 중에 발생될 수 있는 충돌 등의 사고발생률을 감소시켜 보다 안 정적인 평판표시장치의 제조공정이 진행되도록 하는데 그 목적이 있다.
이를 위해 구체적으로 본 발명은 카세트이송대차의 운행 중에 이동경로 상의 전방을 감지할 수 있도록 하여 장애물 출몰여부를 확인하고, 이에 따른 신속하고 적절한 대처가 가능한 카세트이송대차를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은, 전면이 이동방향을 향하고, 카세트가 안착되는 스테이지를 제공하는 본체와; 상기 본체 하단부에 부설되어 전체를 지탱 및 이동시키는 이동부와; 상기 스테이지 상에 부설되어 카세트를 적재 및 하역하는 아암부와; 상기 전면에 장착되어, 이동방향에 대한 전방의 방해물을 감지하는 복수개의 광센서와; 상기 광센서의 감지결과를 통해 상기 이동부를 제어하는 제어부를 포함하는 카세트이송대차를 제공한다.
이때 상기 복수개의 광센서는 유효감지거리가 상기 전면으로부터 2.5 내지 3.5m 범위인 것을 특징으로 한다.
또한 상기 복수개의 광센서는, 상기 전면의 중앙에 장착되어 상기 이동방향에 대한 전방의 좌우 110 내지 130°, 상하 20 내지 40°범위를 감지하는 제 1 광센서와; 상기 제 1 광센서를 사이에 둔 상기 전면의 좌우측 가장자리에 장착되어, 각각 상기 이동방향에 대한 전방의 좌우 20 내지 40°, 상하 110 내지 130°범위를 감지하는 한 쌍의 제 2 광센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때 상기 제 1 광센서는, 상기 이동방향에 대한 좌우 80 내지 90°, 상하 20 내지 40°범위를 감지하는 제 1 주센서와; 상기 제 1 주센서와 상기 한 쌍의 제 2 광센서 사이에 장착되어, 각각 상기 이동방향에 대한 좌우 30 내지 50°, 상하 20 내지 40°범위를 감지하는 한 쌍의 제 1 보조센서를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 이 경우 상기 제 1 주센서는 유효감지거리가 상기 전면으로부터 2.5 내지 3.5m 범위이고, 상기 한 쌍의 제 1 보조센서는 각각 유효감지거리가 상기 전면으로부터 1 내지 2m 인 것을 특징으로 한다.
또한 상기 한 쌍의 제 2 광센서는 각각, 상기 이동방향에 대한 상하 80 내지 90°, 좌우 20 내지 40°범위를 감지하는 제 2 주센서와; 상기 각각의 제 2 주센서를 사이에 둔 상하로 장착되어, 상기 이동방향에 대한 상하 30 내지 50°, 좌우 20 내지 40°범위를 각각 감지하는 한 쌍의 제 2 보조센서를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 이 경우 상기 제 2 주센서는 유효감지거리가 상기 전면으로부터 2.5 내지 3.5m 범위이고, 상기 한 쌍의 제 2 보조센서는 각각 유효감지거리가 상기 전면으로부터 1 내지 2m 인 것을 특징으로 한다.
또한 상기 이동부는, 바닥에 접촉되는 휠과; 상기 휠을 회전시키는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하고, 이 경우 상기 제어부는 상기 복수개의 광센서 중 적어도 하나가 방해물을 감지한 경우에 상기 휠을 정지시키는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 아암부는, 상기 스테이지 상에 장착된 회전디스크와; 상기 회전디스크에 일단이 결합된 상태로 수축 및 신장하는 아암과; 상기 아암의 타단에 결합되어 상기 카세트를 직접 지지하는 캣치플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 카세트이송대차는 RGV(Rail Guided Vehicle), AGV(Automatic Guided Vehicle) 또는 LGV(Laser Guided Vehicle)인 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
본격적인 설명에 앞서, 후술하는 본 발명은 현재의 평판표시장치 제조공정에서 사용되고 있는 모든 종류의 카세트이송대차로서 RGV(Rail Guided Vehicle), AGV(Automatic Guided Vehicle) 또는 LGV(Laser Guided Vehicle) 등에 범용적으로 적용 가능한 것을 특징으로 하지만, 편의상 가장 널리 이용되고 있는 AGV를 통해 설명하고자 하는바, 첨부된 도 3은 본 발명의 기술적 사상에 따른 AGV(110)를 나타낸 사시도이다.
이때 본 발명에 따른 AGV(110) 역시 기본적으로 서비스에이리어 내에 기(旣) 설정된 진행경로를 따라 운행하면서 카세트(C)를 운반하는 역할을 하며, 외관상 본체(120)와 상기 본체(120) 하단의 이동부(130) 그리고 상기 본체(120) 상단의 아암부(140)로 구분될 수 있다.
각각을 좀더 구체적으로 살펴보면, 먼저 본체(120)는 이동부(130)와 아암부(140)를 비롯해서 이하의 모든 구성요소가 장착되는 모체(母體)를 이루며, 카세트(C)가 안착될 수 있는 스테이지(122)를 제공하고 있다.
그리고 이러한 본체(120)는 이동부(130)에 의해 기(旣) 설정된 이동경로를 따라 운행함에 따라 진행방향을 향하는 전면(128)이 정의되는데, 특히 본 발명에 따른 AGV(110)의 본체(120) 전면(128)에는 복수개의 광센서(150)가 장착되고, 이를 통해 운행 중에 전방을 감지할 수 있다.
이때 본 발명에 따른 AGV(110)의 본체(120) 전면(128)에 장착된 복수개의 광센서(150)는 감지범위 내지는 장착위치에 따라 제 1 및 제 2 광센서(152,154)로 구분될 수 있고, 이중 제 1 광센서(152)는 본체(120)의 전면(128) 중앙에 장착되어 AGV(110)의 이동방향에 따른 전방의 좌우 120±10°, 상하 30±10°범위를 감지하고, 제 2 광센서(154)는 본체(120) 전면(128)의 좌우측 가장자리로 장착되는 한 쌍으로 이루어져 각각 AGV(110)의 이동방향에 따른 전방의 상하 120±10°, 좌우 30±10°범위를 감지한다.
즉, 첨부된 도 4는 본 발명에 따른 AGV(110)의 본체(120) 전면(128)을 바라본 정면도이고, 도 5a와 도 5b는 각각 상기 본체(120) 전면(128)에 장착된 복수개의 제 1 및 제 2 광센서(152,154)에 대한 감지범위를 나타낸 평면도와 측면도로서, 본체(110)의 전면(128) 중앙에 장착되어 이동방향에 따른 전방의 좌우 110 내지 130°, 상하 20 내지 40°범위를 감지하는 제 1 광센서(152)와, 상기 제 1 광센서(152)를 사이에 둔 본체(120)의 전면(128) 좌우 가장자리에 장착되어 각각 이동방향에 따른 전방의 좌우 20 내지 40°, 상하 110 내지 130°범위를 감지하는 한 쌍의 제 2 광센서(154)를 확인할 수 있다.
이때 제 1 및 제 2 광센서(152,154)의 정확한 장착위치는 여러 가지 요인을 감안하여 적절하게 조절될 수 있지만, 제 1 광센서(152)는 본체(120) 높이의 중간지점 보다 낮은 위치에 장착되는 것이 바람직하고, 제 2 광센서(154)는 본체(120) 높이의 중간지점 보다 낮은 위치에서 제 1 광센서(152)보다는 높게 장착되는 것이 바람직한데, 제 1 광센서(152)는 AGV(110) 본체(120)의 전면(128) 하단에서 전방에 대한 방해물의 존재 내지는 출몰여부를 종 방향으로 확인하고, 제 2 광센서(154)는 AGV(110) 본체(120)의 전면(128) 양 가장자리에서 전방에 대한 방해물의 존재 내지는 출몰여부를 횡 방향으로 확인한다.
다시 말해, 제 1 광센서(152)는 본체(120)의 전면(128) 하단 중앙에서 좌우 110 내지 130°, 상하 20 내지 40°범위의 전방을 감지함으로써 이동부(130)에 영향을 줄 수 있는 바닥측의 방해물을 종 방향으로 감지하는 것으로, 예컨대 AGV(110)의 이동경로 상의 바닥에 충돌가능성이 있는 장애물이 방치되거나 갑작스러운 출몰을 감지하는 역할을 한다. 하지만 이러한 제 1 광센서(152)의 감지범위 이외의 영역, 구체적으로 AGV(110)의 진행방향 전방에 대해 제 1 광센서(152)의 감지범위를 초과하는 상단 등은 사각이 되는바, 제 1 광센서(152)의 사각지역을 최소화하기 위해 제 2 광센서(154)가 함께 사용되며, 이는 제 1 광센서(152) 보다 높은 지점인 본체(120)의 전면(128) 좌우측 가장자리에서 각각 전방의 상하 110 내지 130°, 좌우 20 내지 40°의 범위를 횡 방향으로 감지한다.
이때 제 1 및 제 2 광센서(152,154)의 감지범위를 보다 확대하는 것도 고려할 수 있지만, 해당 각도범위 이외에 존재하는 물체는 AGV(110) 운행에 영향을 줄 가능성이 적고, 지나치게 감지범위를 확대할 경우에 AGV(110)와 충돌할 가능성은 없으나 가까이 지나치게 될 물체까지도 방해물로 오인할 수 있으므로 해당 각도범위만 감지하여도 충분한 역할을 기대할 수 있다.
이로써 제 1 및 제 2 광센서(152,154)는 서로의 사각지역을 줄여 AGV(110)의 운행에 영향을 줄 수 있는 이동경로 상의 전방에 대한 장애물의 존재 내지는 출몰여부를 확인할 수 있다.
그리고 이들 제 1 및 제 2 광센서(152,154)의 유효감지거리는 방해물의 감지 후 이에 따른 대처시간을 확보할 수 있는 정도이면 가능하고, AGV(110)의 이동속도 등을 감안하면 2.5 내지 3.5m정도가 가장 알맞다.
다시 도 3으로 돌아가서, 본 발명에 따른 AGV(110)의 이동부(130)는 본체(120) 하단에 부설되어 전체를 지탱함과 동시에 사용자의 목적에 따라 AGV(110) 전체가 이동될 수 있도록 하는 부분으로서, 바닥을 따라 회전되는 복수개의 휠(132) 그리고 비록 도면에 명확하게 표시되진 않았지만 상기 휠(132)을 회전시키기 위한 모터 등의 구동수단과 휠(132)의 회전을 강제로 정지시킬 수 있는 브래이크(break)를 포함한다. 이때 휠(132)은 진동과 소음의 저감을 위해 우레탄 또는 고무재질로 이루어질 수 있고, 방향전환이 자유로운 캐스터(caster)의 형태를 나타낼 수 있다.
다음으로 아암부(140)는 본체(120)의 스테이지(122) 상에 회전 가능하게 장착된 회전디스크(142)와, 상기 회전디스크(142)에 일단이 고정된 상태로 수축 및 신장이 가능한 아암(144) 그리고 이의 말단에 결합되어 직접적으로 카세트(C)를 지지하는 캣치플레이트(146)를 포함한다. 이때 아암(144)은 도면에 나타낸 것처럼 슬라이딩 방식도 가능하지만, 힌지(hinge)를 매개로 수 개의 링크(link)가 연결되어 접거나 펼쳐지는 이른바 다관절 방식도 가능하다.
그 결과 본 발명에 따른 AGV(110)는 이동부(130)에 의해 이동경로를 따라 운 행하면서 목적하는 지점으로부터 아암부(140)의 회전, 수축, 신장 동작을 연계하여 카세트(C)를 적재 또는 하역할 수 있고, 이 과정 중에 본체(120) 전면(128)에 구비된 제 1 및 제 2 광센서(152,154)를 이용해서 이동경로 상의 전방에 있는 방해물을 감지할 수 있다.
이때 본 발명에 따른 AGV(110)는 이동경로 상의 전방으로 갑작스러운 방해물이 나타날 경우에 이에 따른 적절한 대처가 가능한 것을 또 다른 특징으로 하는데, 이를 위해 AGV(110)의 본체(120) 내에는 제 1 및 제 2 광센서(152,154)의 감지결과를 토대로 이동부(130)를 제어할 수 있는 제어부가 구비된다.
즉, 첨부된 도 6은 본 발명에 따른 AGV(110)의 제어부(200)를 비롯한 제 1 및 제 2 광센서(152,154)와 이동부(130)를 간략하게 나타낸 블록도로서, 제어부(200)는 제 1 및 제 2 광센서(152,154) 중 어느 하나가 방해물을 감지한 경우에 이동부(130)의 브래이크를 구동시켜 휠(도 3의 132 참조)의 회전을 강제 제어함으로써 AGV를 정지시킬 수 있고, 이를 통해 충돌 등의 사고를 예방할 수 있다.
한편, 이상에서 설명한 본 발명에 따른 AGV(110)의 제 1 및/또는 제 2 광센서(152,154)는 각각 단일 광센서를 사용할 수도 있지만 감지각도와 감지거리가 상이한 수 개의 광센서를 조합한 클러스터타입을 활용할 경우에 보다 탁월한 효과를 기대할 수 있다.
이러한 본 발명의 활용예에 따른 AGV(110) 본체(120)의 전면(128)을 나타낸 정면도인 도 7과 광센서들의 감지범위를 나타낸 평면도인 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 앞서 설명에서 제 1 광센서(도 4 내지 도 5a, 도 5b의 152 참조)에 해당되는 제 3 광센서(180)는 하나의 제 1 주센서(182) 및 이의 좌우양편에 위치되는 한 쌍의 제 1 보조센서(184)를 포함할 수 있고, 제 1 광센서(180)의 전체적인 감지범위가 좌우 110 내지 130°, 상하 20 내지 40°라는 전제 하에, 제 1 주센서(182)의 유효감지각도는 좌우 75 내지 105°, 상하 20 내지 40°, 유효감지거리는 2.5 내지 3.5m를 나타내고, 한 쌍의 제 1 보조센서(184) 각각의 유효감지범위는 좌우 25 내지 35°, 상하 20 내지 40°, 유효감지거리는 1 내지 2m 정도를 나타낼 수 있다.
또한 이는 앞서 제 2 광센서(도 4 내지 도 5a, 도 5b의 154 참조)에 해당되는 제 4 광센서(190)의 경우에도 마찬가지로, 각각 제 2 주센서(192) 및 이의 상하 양측으로 위치되는 제 2 보조센서(194)를 포함할 수 있고, 제 2 주센서(192)의 유효감지각도는 상하 75 내지 105°, 좌우 20 내지 40°, 유효감지거리는 2.5 내지 3.5m를 나타내고, 제 2 보조센서(194) 각각의 유효감지범위는 상하 25 내지 35°, 좌우 20 내지 40°, 유효감지거리는 1 내지 2m 정도를 나타낼 수 있다.
이로써 광센서의 사각을 보다 최소화 할 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명의 핵심적인 기술사상은 복수개의 광센서를 카세트이송대차의 전면에 장착하여 이동경로 상의 전방을 감지할 수 있도록 함과 동시에 이에 따른 돌발상황에 카세트이송대차를 정지시키는 등의 적절한 대처가 가능하도록 한 것으로, 본 발명의 기술사상을 만족시키는 여러 가지 변형이 있을 수 있지만 이는 모두 본 발명의 권리범위에 속한다 해야 할 것이다.
즉, 본 발명은 AGV 이외의 모든 카세트이송대차에 적용될 수 있음은 물론, 제 1 및 제 2 광센서나 제 3 및 제 4 광센서의 수량과 구체적인 형태 내지 장착 위치 등은 목적에 따라 얼마든지 변형될 수 있다는 것은 당업자에게는 자명한 사실이지만, 이러한 변형은 본 발명의 권리범위 내에 있는 것이며, 이는 이하의 특허청구범위를 통해 보다 명확하게 자명하게 이해될 수 있을 것이다.
따라서 본 발명에 따른 카세트이송대차를 이용하면, 이의 이동경로 전방으로 사람 또는 다른 카세트이송대차가 돌발적으로 출몰할 경우에도 용이하게 대처할 수 있는 장점이 있다.
즉, 본 발명에 따른 카세트이송대차는 운행 중에 이동경로 상의 전방을 감지하여 장애물 출몰여부를 확인할 수 있고, 이에 따른 신속하고 적절한 대처가 가능한 것을 특징으로 하는바, 사고발생가능성을 줄이고 보다 원활한 평판표시장치의 공정진행을 가능케 한다.

Claims (11)

  1. 전면이 이동방향을 향하고, 카세트가 안착되는 스테이지를 제공하는 본체와;
    상기 본체 하단부에 부설되어 전체를 지탱 및 이동시키는 이동부와;
    상기 스테이지 상에 부설되어 카세트를 적재 및 하역하는 아암부와;
    상기 전면에 장착되어, 이동방향에 대한 전방의 방해물을 감지하는 복수개의 광센서와;
    상기 광센서의 감지결과를 통해 상기 이동부를 제어하는 제어부
    를 포함하는 카세트이송대차.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수개의 광센서는 유효감지거리가 상기 전면으로부터 2.5 내지 3.5m 범위인 카세트이송대차.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 복수개의 광센서는,
    상기 전면의 하단 중앙에 장착되어 상기 이동방향에 대한 전방의 좌우 110 내지 130°, 상하 20 내지 40°범위를 감지하는 제 1 광센서와;
    상기 제 1 광센서 보다 높은 위치에서 상기 제 1 광센서를 사이에 둔 상기 전면의 좌우측 가장자리에 장착되어, 각각 상기 이동방향에 대한 전방의 좌우 20 내지 40°, 상하 110 내지 130°범위를 감지하는 한 쌍의 제 2 광센서
    를 포함하는 카세트이송대차.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1 광센서는,
    상기 이동방향에 대한 좌우 75 내지 105°, 상하 20 내지 40°범위를 감지하는 제 1 주센서와;
    상기 제 1 주센서와 상기 한 쌍의 제 2 광센서 사이에 장착되어, 각각 상기 이동방향에 대한 좌우 25 내지 35°, 상하 20 내지 40°범위를 감지하는 한 쌍의 제 1 보조센서
    를 더욱 포함하는 카세트이송대차.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1 주센서는 유효감지거리가 상기 전면으로부터 2.5 내지 3.5m 범위이고,
    상기 한 쌍의 제 1 보조센서는 각각 유효감지거리가 상기 전면으로부터 1 내 지 2m 인 카세트이송대차.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제 2 광센서는 각각,
    상기 이동방향에 대한 상하 75 내지 105°, 좌우 20 내지 40°범위를 감지하는 제 2 주센서와;
    상기 각각의 제 2 주센서를 사이에 둔 상하로 장착되어, 상기 이동방향에 대한 상하 25 내지 35°, 좌우 20 내지 40°범위를 각각 감지하는 한 쌍의 제 2 보조센서
    를 더욱 포함하는 카세트이송대차.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 2 주센서는 유효감지거리가 상기 전면으로부터 2.5 내지 3.5m 범위이고,
    상기 한 쌍의 제 2 보조센서는 각각 유효감지거리가 상기 전면으로부터 1 내지 2m 인 카세트이송대차.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 이동부는,
    바닥에 접촉되는 휠과;
    상기 휠을 회전시키는 모터
    를 포함하는 더욱 카세트이송대차.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 복수개의 광센서 중 적어도 하나가 방해물을 감지한 경우에 상기 휠을 정지시키는 카세트이송대차.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 아암부는,
    상기 스테이지 상에 장착된 회전디스크와;
    상기 회전디스크에 일단이 결합된 상태로 수축 및 신장하는 아암과;
    상기 아암의 타단에 결합되어 상기 카세트를 직접 지지하는 캣치플레이트
    를 포함하는 카세트이송대차.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 카세트이송대차는 RGV(Rail Guided Vehicle), AGV(Automatic Guided Vehicle) 또는 LGV(Laser Guided Vehicle)인 카세트이송대차.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101441482B1 (ko) * 2012-11-30 2014-09-18 주식회사 에스에프에이 전동식 캐리어 이송대차
CN107331640A (zh) * 2016-04-29 2017-11-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种片盒运输装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101441482B1 (ko) * 2012-11-30 2014-09-18 주식회사 에스에프에이 전동식 캐리어 이송대차
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JP2019515497A (ja) * 2016-04-29 2019-06-06 シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド ウェハボックスコンベア
US11107717B2 (en) 2016-04-29 2021-08-31 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Wafer box conveyor

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