KR20070066199A - Inspection device for material - Google Patents

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KR20070066199A
KR20070066199A KR1020050127076A KR20050127076A KR20070066199A KR 20070066199 A KR20070066199 A KR 20070066199A KR 1020050127076 A KR1020050127076 A KR 1020050127076A KR 20050127076 A KR20050127076 A KR 20050127076A KR 20070066199 A KR20070066199 A KR 20070066199A
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정수임
오원식
서연주
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삼성전자주식회사
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Abstract

A material inspection device is provided to inspect an abnormality of a material by inspecting the change in the component of the material according to the temperature of the material in real time. A material inspection device includes a material fixing section(300), a temperature changing section(400), a light generating section(500), and a material analyzing section(600). A material is fixed to the material fixing section. The temperature changing section receives the material fixing section to continuously change the temperature of the material. The light generating section generates an inspection light for inspecting the material. The material analyzing section analyzes the inspection light passing through the material to continuously inspect the change in the component of the material.

Description

시료 검사 장치{INSPECTION DEVICE FOR MATERIAL}Sample inspection device {INSPECTION DEVICE FOR MATERIAL}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 개략적으로 나타낸 개념도이다.1 is a conceptual diagram schematically showing an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 시료 분석부에서 검사된 결과의 일 실시예를 나타낸 그래프이다. FIG. 2 is a graph illustrating an example of the result of the test performed by the sample analyzer of FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시된 시료 고정부 및 온도 변화부의 일 실시예를 나타낸 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view showing an embodiment of the sample holding unit and the temperature change unit shown in FIG. 1.

도 4는 도 3에 도시된 홀더부를 나타낸 분해 사시도이다.4 is an exploded perspective view illustrating the holder unit illustrated in FIG. 3.

도 5는 도 3에 도시된 시료 고정부 및 온도 변화부를 결합한 단면도이다. FIG. 5 is a cross-sectional view of the sample fixing part and the temperature change part shown in FIG. 3.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 시료 검사 장치 200 : 시료100: sample inspection device 200: sample

300 : 시료 고정부 310 : 홀더부 300: sample fixing part 310: holder part

320 : 삽입홀 330 : 절개부 320: insertion hole 330: incision

400 : 온도 변화부 410 : 온도 상승부400: temperature change unit 410: temperature rise unit

412 : 히팅 코일 414 : 투과홀412: heating coil 414: through hole

420 : 온도 하강부 500 : 광 발생부420: temperature lowering unit 500: light generating unit

510 : 제1 광 공급부 520 : 제2 광 공급부510: first light supply 520: second light supply

530 : 광 혼합부 600 : 시료 분석부530: light mixing unit 600: sample analysis unit

700 : 온도 제어부700: temperature control unit

본 발명은 시료 검사 장치에 관한 것으로, 온도에 따른 시료의 성분 변화를 실시간으로 검사하여 검사 시간을 단축시킬 수 있는 시료 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sample inspection device, and relates to a sample inspection device that can shorten the inspection time by inspecting the component changes of the sample in accordance with the temperature in real time.

일반적으로, 이동통신 단말기, 디지털 카메라, 노트북, 모니터 등 여러 가지 전자기기에는 영상을 표시하기 위한 표시장치가 구비된다. 표시장치로는 다양한 종류가 사용될 수 있으나, 전자기기의 특성상 평판 형상을 갖는 표시장치가 주로 사용되며, 특히 액정(Liquid Crystal)을 이용하여 영상을 표시하는 액정표시장치(Liquid Crystal Display Apparatus : LCD)가 널리 사용되고 있다. 액정표시장치는 다른 표시장치에 비해 얇고 가벼우며, 낮은 구동전압 및 낮은 소비전력을 갖는 장점을 갖는다.In general, various electronic devices such as mobile communication terminals, digital cameras, notebook computers, and monitors are provided with a display device for displaying an image. Various types of display devices may be used, but a display device having a flat plate shape is mainly used due to the characteristics of an electronic device, and in particular, a liquid crystal display device (LCD) for displaying an image using liquid crystals (Liquid Crystal). Is widely used. The liquid crystal display device is thinner and lighter than other display devices, and has advantages of low driving voltage and low power consumption.

액정표시장치는 영상을 표시하기 위한 액정표시패널(Liquid Crystal Display Panel)을 포함한다. 액정표시패널은 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, TFT) 기판, TFT 기판에 대향하는 컬러필터(Color Filter) 기판 및 상기 양 기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 액정층에는 액정이 포함되어 있으며, 상기 액정을 일정한 방향으로 배향시키기 위하여 TFT 기판 및 컬러필터 기판의 내면에는 배향막(alignment film)이 형성된다.The liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel for displaying an image. The liquid crystal display panel includes a thin film transistor (TFT) substrate, a color filter substrate facing the TFT substrate, and a liquid crystal layer interposed between the substrates. The liquid crystal layer includes a liquid crystal, and an alignment film is formed on the inner surfaces of the TFT substrate and the color filter substrate to align the liquid crystal in a predetermined direction.

배향막은 액정에 단결정 질서를 부여하고, 액정분자를 1매 단위로 규칙적인 응답을 할 수 있도록 한다. 배향막은 무기 배향막과 유기 배향막으로 나누어지며, 특히 유기 배향막 중 폴리 이미드(polyimide)계 배향막이 많이 사용되고 있다. The alignment film imparts a single crystal order to the liquid crystal, and allows the liquid crystal molecules to respond regularly in a single unit. The alignment film is divided into an inorganic alignment film and an organic alignment film, and polyimide-based alignment films are used in particular among organic alignment films.

유기 배향막은 기판 상에 폴리 아믹산(polyamic acid)를 도포한 후, 폴리 아믹산에 존재하는 용매를 2 단계의 건조 공정을 통해 증발시켜 폴리 이미드가 생성됨으로써, 형성된다. The organic alignment layer is formed by applying polyamic acid on a substrate and then evaporating the solvent present in the polyamic acid through a two-step drying process to produce polyimide.

이러한 유기 배향막을 포함하는 액정표시장치를 장기간 사용 시, 유기 배향막은 일부에 균열 및 파괴와 같은 불량이 발생하여 액정을 올바르게 배향시키지 못하게 되므로, 화면에 얼룩을 발생시키는 문제점이 있다. When the liquid crystal display device including the organic alignment layer is used for a long time, the organic alignment layer may have defects such as cracks and fractures on the part thereof, thereby preventing the alignment of the liquid crystals correctly, thereby causing stains on the screen.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 최근에는 적외선 분광 분석기(Furier Transform Infrared Spectroscopy ; FT-IR)를 통해 유기 배향막의 폴리 이미드화율을 측정하여 불량 여부를 판단하는 방법이 시도되고 있다. In order to solve this problem, recently, a method of determining a defect by measuring a polyimide rate of an organic alignment layer through an infrared spectral analyzer (FT-IR) has been attempted.

그러나, 적외선 분광 분석기는 자체적으로 가열 및 냉각시키는 수단이 부재하여 유기 배향막의 온도에 따른 폴리 이미드화율을 통해 불량 여부를 검사하고자 할 경우, 별도의 가열 및 냉각 공정을 진행하여 검사함으로써, 검사 시간이 많이 소요되는 문제점이 발생된다. However, when the infrared spectrometer does not have a means for heating and cooling by itself and wants to check whether there is a defect through the polyimidation rate according to the temperature of the organic alignment layer, the infrared spectrometer performs a separate heating and cooling process to inspect the inspection time. This takes much trouble.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명은 온도에 따른 시료의 성분 변화를 실시간으로 검사하여 검사 시간을 단축시킬 수 있는 시료 검사 장치를 제공한다. Accordingly, the present invention has been made in view of such a problem, and the present invention provides a sample inspection apparatus capable of shortening the inspection time by inspecting a change in the composition of a sample with temperature in real time.

상술한 본 발명의 일 특징에 따른 시료 검사 장치에 따르면, 시료 검사 장치는 시료 고정부, 온도 변화부, 광 발생부 및 시료 분석부를 포함한다. 상기 시료 고정부는 시료를 고정한다. 상기 온도 변화부는 상기 시료 고정부를 수납하며, 상기 시료의 온도를 연속적으로 변화시킨다. 상기 광 발생부는 상기 시료를 검사하기 위한 검사광을 발생한다. 상기 시료 분석부는 상기 시료를 투과한 상기 검사광을 분석하여 상기 시료의 성분 변화를 연속적으로 검사한다. According to the sample inspection device according to an aspect of the present invention described above, the sample inspection device includes a sample fixing unit, a temperature change unit, a light generating unit and a sample analysis unit. The sample fixing part fixes the sample. The temperature change part accommodates the sample holding part and continuously changes the temperature of the sample. The light generating unit generates inspection light for inspecting the sample. The sample analyzer analyzes the inspection light that has passed through the sample and continuously inspects the component change of the sample.

상기 온도 변화부는 상기 시료의 온도를 상승시키는 온도 상승부를 포함한다.The temperature change part includes a temperature rise part for raising the temperature of the sample.

상기 온도 변화부는 상기 시료의 온도를 하강시키는 온도 하강부를 더 포함한다. The temperature change unit further includes a temperature drop unit for decreasing the temperature of the sample.

이러한 시료 검사 장치에 따르면, 시료 검사 장치가 시료의 온도를 연속적으로 변화시키는 온도 변화부를 포함함으로써, 온도에 따른 시료의 성분 변화를 통해 시료의 불량 여부를 실시간으로 검사하여 검사 시간을 단축시킬 수 있다.According to the sample inspection apparatus, the sample inspection apparatus includes a temperature change unit for continuously changing the temperature of the sample, thereby reducing the inspection time by inspecting whether the sample is defective in real time by changing the composition of the sample according to the temperature. .

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 개략적으로 나타낸 개념도이며, 도 2는 도 1의 시료 분석부에서 검사된 결과의 일 실시예를 나타낸 그래프이 다. 1 is a conceptual diagram schematically showing a test apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a graph showing an embodiment of the results tested in the sample analysis unit of FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 시료 검사 장치(100)는 시료 고정부(300), 온도 변화부(400), 광 발생부(500) 및 시료 분석부(600)를 포함한다. 1 and 2, the sample inspection apparatus 100 may include a sample fixing unit 300, a temperature change unit 400, a light generating unit 500, and a sample analyzing unit 600.

시료 고정부(300)는 중앙부에 시료(200)를 고정하고, 시료(200)에 광이 투과될 수 있도록 중앙부에서 양 단부 방향으로 개구된다. 시료 고정부(300)는 일 예로, 온도 변화부(400)에서 발생된 열이 시료(200)에 전도되기 용이하도록 열 전도성이 우수한 구리(Cu)와 같은 금속 재질로 이루어진다. The sample fixing part 300 fixes the sample 200 to the center part, and is opened in both end directions at the center part so that light may pass through the sample 200. For example, the sample fixing part 300 is made of a metal material such as copper (Cu) having excellent thermal conductivity so that heat generated from the temperature change part 400 is easily conducted to the sample 200.

온도 변화부(400)는 시료 고정부(300)를 수납하며, 시료(200)의 온도를 연속적으로 변화시킨다. 온도 변화부(400)는 시료(200)의 온도를 상승시키는 온도 상승부를 포함한다. The temperature change unit 400 accommodates the sample fixing unit 300 and continuously changes the temperature of the sample 200. The temperature change unit 400 includes a temperature rise unit for raising the temperature of the sample 200.

온도 상승부는 열을 발생시켜 시료 고정부(300)에 인가함으로써, 시료(200)를 상온보다 높은 온도로 상승시킨다. 이는, 시료(200)가 열이 가해진 공간에서 시간에 따라 적합한 안정성을 가지고 있는지 확인하기 위해서이다. 온도 상승부는 일 예로, 시료 고정부(300)를 둘러 싸는 히팅 코일을 포함한다. 이와 달리, 온도 상승부는 시료 고정부(300)의 주위에 자켓을 형성하여 가열된 액체 또는 기체를 첨가함으로써, 시료(200)의 온도를 상승시킬 수 있다. The temperature rising part generates heat and applies the sample to the sample fixing part 300, thereby raising the sample 200 to a temperature higher than room temperature. This is to confirm whether the sample 200 has suitable stability with time in a space to which heat is applied. For example, the temperature rising part includes a heating coil surrounding the sample fixing part 300. In contrast, the temperature rising part may increase the temperature of the sample 200 by forming a jacket around the sample fixing part 300 and adding a heated liquid or gas.

또한, 온도 변화부(400)는 시료(200)의 온도를 하강시키는 온도 하강부를 더 포함할 수 있다.In addition, the temperature change unit 400 may further include a temperature lowering unit for lowering the temperature of the sample 200.

온도 하강부는 시료 고정부(300)의 주위에 자켓을 형성하여 냉매제를 첨가함으로써, 시료(200)를 상온보다 낮은 온도로 하강시킨다. 이는, 시료(200)가 상온 보다 온도가 낮은 공간에서 시간에 따라 적합한 안정성을 가지고 있는지 확인하기 위해서이다. 특히, 온도 하강부는 냉매제로 기화점이 -196℃인 액화 질소(N2)를 사용하여 시료(200)가 극한 상황에서 안정한지를 확인할 수 있다. The temperature lowering part forms a jacket around the sample fixing part 300 to add the refrigerant, thereby lowering the sample 200 to a temperature lower than room temperature. This is to confirm whether the sample 200 has suitable stability with time in a space having a temperature lower than room temperature. Particularly, the temperature lowering part may determine whether the sample 200 is stable under extreme conditions by using liquefied nitrogen (N 2 ) having a vaporization point of -196 ° C as a refrigerant.

이와 같이, 온도 변화부(400)가 온도 상승부 및 온도 하강부를 포함함으로써, 시료(200)의 온도를 다양하게 변화시킬 수 있다.As described above, since the temperature change unit 400 includes the temperature riser and the temperature decreaser, the temperature of the sample 200 may be variously changed.

광 발생부(500)는 적외선광(512)을 발생시키는 제1 광 공급부(512), 레이저광(522)을 발생시키는 제2 광 공급부(520), 및 적외선광(512) 및 레이저광(522)을 혼합시켜 검사광(532)을 광 혼합부(530)를 포함한다. The light generator 500 includes a first light supply unit 512 for generating an infrared light 512, a second light supply unit 520 for generating a laser light 522, and an infrared light 512 and a laser light 522. ) By mixing the inspection light 532 includes a light mixing unit 530.

제1 광 공급부(512)에서 발생되는 적외선광(512)은 시료(200)의 성분 변화에 따라 투과율이 다르게 나타난다. 시료(200)의 성분 변화는 시료(200)에 균열이 발생되거나 파괴되었을 경우에 발생될 수 있다. 한편, 적외선광(512)은 시료(200)의 재질이 변화하였을 경우에도, 투과율이 다르게 나타날 수 있다. The infrared light 512 generated by the first light supply unit 512 has a different transmittance according to the change of the component of the sample 200. The change in the component of the sample 200 may occur when a crack is generated or broken in the sample 200. On the other hand, the infrared light 512 may have a different transmittance even when the material of the sample 200 is changed.

제2 광 공급부(520)에 발생된 레이저광(522)은 이러한 투과율을 이용하여 파장의 역수(λ-1)에 대비한 흡광도를 얻기 위한 소오스 데이터를 발생시킨다. 소오스 데이터는 퓨리에 변환(fourier transform) 방법을 통해 광에 대한 투과율의 역수의 상용대수인 흡광도 단위로 변경된다. The laser light 522 generated in the second light supply unit 520 generates source data for obtaining absorbance against the inverse of the wavelength λ −1 using the transmittance. The source data is converted into absorbance units, a common logarithm of the inverse of the transmittance to light through a Fourier transform method.

광 혼합부(530)는 적외선광(512)에 높은 에너지를 가지고 있는 레이저광(522)을 혼합시켜 검사광을 발생시킨다. The light mixing unit 530 mixes the laser light 522 having high energy with the infrared light 512 to generate inspection light.

시료 분석부(600)는 시료(200)를 투과한 검사광(532)을 분석하여 시료(200) 의 성분 변화를 연속적으로 검사한다. 즉, 시료 분석부(600)는 시료(200)를 투과한 적외선광(512)의 투과율을 검사하여 시료(200)의 성분 변화를 검사한다. The sample analyzer 600 continuously inspects the component change of the sample 200 by analyzing the inspection light 532 passing through the sample 200. That is, the sample analyzing unit 600 examines the transmittance of the infrared light 512 transmitted through the sample 200 to examine the component change of the sample 200.

검사한 결과는 파장의 역수(λ-1)에 대한 적외선광(512)의 투과율에 따라서 변화하는 흡광도의 그래프(610)로 나타난다. 그래프(610)는 일 예로, 도 2와 같이 다수의 피크를 가지며, 이를 통해 시료(200)의 성분 변화를 확인할 수 있다. The result of the inspection is represented by a graph 610 of absorbance which changes according to the transmittance of the infrared light 512 with respect to the inverse of the wavelength λ −1 . As an example, the graph 610 may have a plurality of peaks as shown in FIG. 2, and thus the component change of the sample 200 may be confirmed.

그래프(610)는 시료(200)에 균열 및 파괴가 발생되기 전에 측정한 제1 데이터선(612), 시료에 균열 및 파괴가 발생된 후, 발생되지 않은 정상부를 측정한 제2 데이터선(614), 및 시료에 균열 및 파괴가 발생된 후, 발생된 불량부를 측정한 제3 데이터선(616)으로 이루어진다. The graph 610 shows the first data line 612 measured before the crack and fracture occurs in the sample 200, and the second data line 614 measured after the crack and fracture occurred in the sample 200 and not occurring. And a third data line 616 in which the defective portion is generated after the crack and the fracture have occurred in the sample.

제1, 제2 및 제3 데이터선(612, 614, 616)의 피크들은 모두 동일한 파장의 역수(λ-1) 대역에서 나타나지만, 높이 및 변화폭은 서로 차이가 있다. 즉, 제1 데이터선(612)은 제2 및 제3 데이터선(614, 616)에 비해 일반적으로 피크가 높고, 변화폭 또한 현저하게 크게 나타난다. 그러나, 제2 및 제3 데이터선(614, 616)은 거의 유사한 높이의 피크 및 변화폭을 나타낸다. The peaks of the first, second and third data lines 612, 614, and 616 all appear in the inverse (λ −1 ) band of the same wavelength, but the height and the width of the change are different from each other. That is, the peak of the first data line 612 is generally higher than that of the second and third data lines 614 and 616, and the change width is remarkably large. However, the second and third data lines 614 and 616 exhibit peaks and varying widths of substantially similar heights.

이와 같이, 시료(200)에 균열 및 파괴 등과 같은 불량이 발생하면, 정상부에서 측정한 제2 데이터선(614)이든 불량부에서 측정한 제3 데이터선(616)이든 관계없이 불량 발생전인 제1 데이터선(612)과 피크의 높이 및 변화폭 측면에서 현저한 차이를 보이므로, 시료(200)의 불량 여부를 판단하기 용이하다. As described above, when a defect such as cracking or fracture occurs in the sample 200, the first before the failure occurs regardless of whether the second data line 614 measured at the top portion or the third data line 616 measured at the defective portion is present. Since the data line 612 shows a remarkable difference in terms of height and change width of the peak, it is easy to determine whether or not the sample 200 is defective.

한편, 시료 검사 장치(100)는 온도 변화부(400)와 연결되어 온도 변화부 (400)의 온도를 측정하면서 제어하는 온도 제어부(700)를 더 포함한다. 온도 제어부(700)은 임의의 온도로 온도 변화부(400)를 셋팅하고, 셋팅된 온도로 가열 및 냉각되는 동안 연속적으로 온도를 체크하여 시료 분석부(600)에 전달한다. Meanwhile, the sample inspection apparatus 100 further includes a temperature controller 700 connected to the temperature change unit 400 and controlling the temperature change unit 400 while measuring the temperature of the temperature change unit 400. The temperature controller 700 sets the temperature change unit 400 to an arbitrary temperature, continuously checks the temperature while being heated and cooled to the set temperature, and transmits the temperature to the sample analyzer 600.

이상에서 설명한 시료(200)는 일반적으로, 유기물 박막으로 이루어진다. 이러한 유기물 박막의 대표적인 물질로는 폴리 이미드(polyimide)를 들 수 있다. 폴리 이미드는 일 예로, 액정을 이용하여 영상을 표시하는 액정표시패널에 사용되는 배향막의 주성분이다. The sample 200 described above generally consists of an organic thin film. Representative materials of such organic thin films include polyimide. For example, the polyimide is a main component of an alignment layer used in a liquid crystal display panel that displays an image using a liquid crystal.

액정표시패널은 일반적으로, 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, TFT) 기판, TFT 기판에 대향하여 결합되는 컬러필터 기판 및 상기 양 기판 사이에 개재되는 액정층을 포함하여 영상을 표시한다. 또한, 액정표시패널은 자체적으로 광을 발생시키지 못하므로, 광을 공급하는 별도의 백라이트 어셈블리가 하부에 배치된다. BACKGROUND ART A liquid crystal display panel generally displays an image including a thin film transistor (TFT) substrate, a color filter substrate coupled to face the TFT substrate, and a liquid crystal layer interposed between the two substrates. In addition, since the liquid crystal display panel does not generate light by itself, a separate backlight assembly for supplying light is disposed below.

여기서, 액정표시패널의 액정층과 접하는 TFT 기판과 컬러필터 기판의 내면에는 액정에 단결정 질서를 부여하기 위하여 배향막이 형성된다. 배향막은 액정분자를 1매 단위로 규칙적인 응답을 할 수 있도록 한다. Here, an alignment film is formed on the inner surfaces of the TFT substrate and the color filter substrate in contact with the liquid crystal layer of the liquid crystal display panel in order to impart a single crystal order to the liquid crystal. The alignment film allows regular response of the liquid crystal molecules in units of one.

이러한 배향막은 TFT 기판과 컬러필터 기판의 내면에 배향물질 즉, 폴리 아믹산을 도포하여 박막을 형성하고, 상기 박막에 강도를 주기 위해 소정의 온도에서 2 단계에 걸쳐 건조함으로써, 경화시킨다. 여기서, 상기 박막에서는 탈수 반응이 일어나 폴리 아믹산으로부터 폴리 이미드가 형성된다. 이어서, 배향막은 경화된 상기 박막의 표면에 러빙처리를 함으로써, 미소한 홈이 형성되는 과정을 걸쳐 완성 된다. This alignment film is cured by applying an alignment material, that is, polyamic acid, to the inner surfaces of the TFT substrate and the color filter substrate to form a thin film, and drying it at a predetermined temperature in two steps to give strength to the thin film. Here, in the thin film, dehydration reaction occurs to form polyimide from polyamic acid. Subsequently, the alignment film is completed by a rubbing treatment on the surface of the cured thin film, thereby forming a minute groove.

따라서, 시료(200)가 배향막일 경우, 배향막의 온도에 따른 균열 및 파괴 등과 같은 불량 여부를 실시간으로 검사하여 배향막의 안정성을 판단할 수 있으므로, 신규 배향막의 개발에 유용하게 사용할 수 있다. 또한, 액정표시패널에 형성된 배향막을 샘플링하여 검사함으로써, 동일한 제품의 로트 번호에 대한 배향막의 안정성을 추정할 수 있다. Therefore, when the sample 200 is an alignment film, the stability of the alignment film may be determined in real time by inspecting defects such as cracks and fractures according to the temperature of the alignment film in real time, and thus it may be usefully used to develop a new alignment film. In addition, by sampling and inspecting the alignment film formed on the liquid crystal display panel, the stability of the alignment film with respect to the lot number of the same product can be estimated.

도 3은 도 1에 도시된 시료 고정부 및 온도 변화부의 일 실시예를 나타낸 분해 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 홀더부를 나타낸 분해 사시도이며, 도 5는 도 3에 도시된 시료 고정부 및 온도 변화부를 결합한 단면도이다. 3 is an exploded perspective view showing an embodiment of the sample holding unit and the temperature change unit shown in FIG. 1, FIG. 4 is an exploded perspective view showing the holder unit shown in FIG. 3, and FIG. 5 is a sample holding unit shown in FIG. And a cross-sectional view combining the temperature change unit.

도 3 및 도 5를 참조하면, 시료 고정부(300)는 시료(200)를 홀딩하기 위한 홀더부(310)를 포함한다. 3 and 5, the sample fixing part 300 includes a holder part 310 for holding the sample 200.

시료 고정부(300)는 홀더부(310)를 삽입하여 고정시키기 위한 삽입홀(320)이 형성된다. 홀더부(310)는 일 예로, 원기둥 형상을 가지고, 이로 인해 삽입홀(320)도 홀더부(310)에 대응되는 원홀 형상을 가진다. The sample fixing part 300 has an insertion hole 320 for inserting and fixing the holder part 310. The holder part 310 has, for example, a cylindrical shape, and thus the insertion hole 320 also has a circular hole shape corresponding to the holder part 310.

시료 고정부(300)는 삽입홀(320)의 일부가 외부로 트인 형상을 갖는 절개부(330)를 더 포함한다. 절개부(330)는 소정의 탄성력을 삽입홀(320)에 제공함으로써, 삽입홀(320)의 내경을 소정의 차이로 크게 하거나 작게 할 수 있다. 이로써, 시료 고정부(300)는 홀더부(310)를 보다 안정적으로 고정할 수 있다. 여기서, 홀더부(310)는 삽입홀(320)의 내경보다 소정의 차이로 작은 외경을 갖는 것이 바람직하다. The sample fixing part 300 further includes a cutout part 330 having a shape in which a part of the insertion hole 320 is opened to the outside. The cutout 330 may increase or decrease an inner diameter of the insertion hole 320 by a predetermined difference by providing a predetermined elastic force to the insertion hole 320. As a result, the sample fixing part 300 may fix the holder part 310 more stably. Here, the holder 310 preferably has an outer diameter smaller by a predetermined difference than the inner diameter of the insertion hole 320.

홀더부(310)는 중앙부가 개구된 원형의 제1 면(352)및 제1 면(352)으로부터 수직으로 연장된 제2 면(354)을 갖는 커버 부재(350), 커버 부재(350)에 커버되면서 시료(200)의 양면에 접하여 시료(200)에 검사광(532)이 투과되도록 가이드하는 가이드판(360), 가이드판(360)을 제1 면(352)에 밀착하여 고정시키면서 커버 부재(350)와 나사 결합을 하는 밀착부(370)를 포함한다. The holder portion 310 has a cover member 350 and a cover member 350 having a circular first surface 352 having an open central portion and a second surface 354 extending vertically from the first surface 352. While being covered, the cover member is in contact with both surfaces of the sample 200 to guide the inspection light 532 to pass through the sample 200, and the guide plate 360 is fixed to the first surface 352 while being fixed to the cover member. And a close contact portion 370 which is screwed to the 350.

커버 부재(350)는 시료 고정부(300)가 홀더부(310)를 고정하는 고정력에 직접적인 영향을 받으므로, 경도 및 강도가 우수한 재질로 이루어진다. 또한, 커버 부재(350)는 온도 변화부(400)에서 발생된 열이 시료(200)에 전도되기 용이하도록 열 전도성이 우수한 금속 재질로 이루어진다. 예를 들어, 커버 부재(350)는 구리(Cu)와 같은 금속 재질로 이루어진다. The cover member 350 is made of a material having excellent hardness and strength since the sample fixing part 300 is directly affected by the fixing force for fixing the holder part 310. In addition, the cover member 350 is made of a metal material having excellent thermal conductivity so that heat generated from the temperature change unit 400 is easily conducted to the sample 200. For example, the cover member 350 is made of a metal material such as copper (Cu).

가이드판(360)은 제1 면의 개구된 영역에 대응되도록 중앙부가 개구된다. 시료(200)와 직접적으로 접촉하는 부분으로써, 온도 변화부(400)에서 발생된 열이 시료(200)에 가장 잘 전달될 수 있도록 열 전도성이 매우 우수한 금속 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 가이드판(360)은 은(Ag) 재질로 이루어진다.The guide plate 360 has an open central portion so as to correspond to the opened area of the first surface. As a part directly contacting the sample 200, it is preferable that the heat generated from the temperature change unit 400 is made of a metal material having excellent thermal conductivity so that the heat can be best transmitted to the sample 200. For example, the guide plate 360 is made of silver (Ag) material.

밀착부(370)는 가이드판(360)의 개구된 영역에 대응되도록 중앙부가 개구된다. 밀착부(370)는 일 예로, 커버 부재(350)와의 마찰을 최소화하기 위하여 커버 부재(350)와 동일한 재질로 이루어질 수 있다. The close contact portion 370 has an open central portion so as to correspond to the open area of the guide plate 360. For example, the adhesion part 370 may be made of the same material as the cover member 350 in order to minimize friction with the cover member 350.

이와 같은 시료 고정부(300)는 시료(200)를 제외한 모든 구성 요소들이 중앙부가 개구되어 있으므로, 검사광(532)이 시료(200)에만 투과되도록 한다. Since the sample fixing part 300 has all of the components except for the sample 200 in the center portion thereof, the inspection light 532 is transmitted only to the sample 200.

온도 변화부(400)는 시료 고정부(300)를 수납하며, 시료(200)에 검사광(532) 이 투과되도록 투과홀(414)이 형성되어 시료(200)의 온도를 상승시키는 온도 상승부(410) 및 시료 고정부(300)의 상부에 결합되어 시료(200)의 온도를 하강시키는 온도 하강부(420)를 포함한다. The temperature change part 400 accommodates the sample fixing part 300, and a temperature rising part for raising the temperature of the sample 200 by forming a transmission hole 414 to transmit the inspection light 532 to the sample 200. 410 and a temperature lowering unit 420 coupled to the upper portion of the sample fixing unit 300 to lower the temperature of the sample 200.

온도 상승부(410)는 시료 고정부(300)를 수납하여 투과홀(414)의 길이 방향을 따라 중앙부에 배치시킨다. 투과홀(414)은 시료 고정부(300)의 삽입홀(320)과 동일한 길이 방향을 갖는다. 온도 상승부(410)는 투과홀(414)의 양 측부에는 히팅 코일(412)이 배치된다. 히팅 코일(412)은 투과홀(414)의 내면에 밀착되어 형성된다. 히팅 코일(412)은 전기에 의해 열을 발생하는 금속 재질로 이루어진다. 예를 들어, 히팅 코일(412)은 니크롬선 재질로 이루어진다. The temperature rising part 410 accommodates the sample fixing part 300 and arranges the sample fixing part 300 along the longitudinal direction of the transmission hole 414. The transmission hole 414 has the same length direction as the insertion hole 320 of the sample fixing part 300. In the temperature riser 410, heating coils 412 are disposed at both sides of the transmission hole 414. The heating coil 412 is formed in close contact with the inner surface of the transmission hole 414. The heating coil 412 is made of a metal material that generates heat by electricity. For example, the heating coil 412 is made of a nichrome wire material.

따라서, 온도 상승부(410)는 히팅 코일(412)을 시료 고정부(300)의 주위에 배치시킴으로써, 시료(200)의 온도를 상승시킬 수 있다.Therefore, the temperature rising part 410 can raise the temperature of the sample 200 by placing the heating coil 412 around the sample holding part 300.

온도 하강부(420)는 시료 고정부(300)의 상부에 결합된 원통 형상의 제1 연결부(422) 및 제1 연결부(422)의 상부에 결합된 제1 결합판(424)을 포함한다. 여기서, 시료 고정부(300)는 제1 연결부(422)와 결합된 영역에 제1 개구부(340)가 형성되고, 제1 개구부(340)와 삽입홀(320) 사이에는 소정의 공간이 형성된다. 또한, 제1 결합판(424)은 제1 연결부(422)와 결합된 영역에 제2 개구부(426)가 형성된다. The temperature lowering part 420 includes a cylindrical first connection part 422 coupled to the upper part of the sample fixing part 300 and a first coupling plate 424 coupled to the upper part of the first connection part 422. Here, the sample fixing part 300 has a first opening 340 is formed in the region coupled with the first connecting portion 422, a predetermined space is formed between the first opening 340 and the insertion hole 320. . In addition, a second opening 426 is formed in a region where the first coupling plate 424 is coupled to the first connection portion 422.

따라서, 온도 하강부(420)는 제2 개구부(426)에 냉매제를 첨가하여 제2 개구부(426)를 통해 제1 개구부(340)와 삽입홀(320) 사이에 형성된 소정의 공간에 배치시킴으로써, 시료(200)의 온도를 하강시킬 수 있다.Therefore, the temperature lowering part 420 is added to the second opening portion 426 by adding a coolant and disposed in a predetermined space formed between the first opening portion 340 and the insertion hole 320 through the second opening portion 426, The temperature of the sample 200 can be lowered.

한편, 온도 상승부(410)는 온도 하강부(420)와 결합하기 위하여 제1 결합판 (424)과 결합되는 제2 결합판(416) 및 제2 결합판(416)과 연결되면서 제1 연결부(422)를 커버하는 제2 연결부(418)를 포함한다.Meanwhile, the temperature riser 410 is connected to the second coupling plate 416 and the second coupling plate 416 coupled to the first coupling plate 424 in order to be coupled to the temperature lowering portion 420 and the first connection portion. And a second connection 418 covering 422.

이와 같은 시료 검사 장치에 따르면, 시료 검사 장치가 시료의 온도를 연속적으로 변화시킬 수 있는 온도 변화부를 포함함으로써, 온도에 따른 시료의 성분 변화를 실시간으로 검사하여 시료의 불량 여부 검사할 수 있다. 따라서, 시료의 온도에 따른 검사 시간을 단축시킬 있다. According to such a sample inspection apparatus, the sample inspection apparatus includes a temperature change unit capable of continuously changing the temperature of the sample, thereby real-time inspection of the component change of the sample according to the temperature, it is possible to inspect whether the sample is defective. Therefore, the inspection time according to the temperature of a sample can be shortened.

또한, 시료가 액정표시패널의 배향막일 경우, 시료 검사 장치에서 배향막의 온도에 따른 성분 변화를 액정표시패널에 배향막을 형성하는 것과는 별도로 검사하여 온도 및 시간에 따른 불량 여부를 판단함으로써, 장기 사용할 수 있는 배향막의 개발에 응용할 수 있다. In addition, when the sample is an alignment layer of the liquid crystal display panel, the sample inspection apparatus may inspect the component change according to the temperature of the alignment layer separately from forming the alignment layer on the liquid crystal display panel to determine whether the defect is caused by temperature and time, thereby allowing long-term use. It can be applied to the development of an alignment film.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Although the detailed description of the present invention described above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art will have the idea of the present invention described in the claims to be described later. And it will be understood that various modifications and changes of the present invention can be made without departing from the scope of the art.

Claims (8)

시료가 고정된 시료 고정부;A sample fixing part on which a sample is fixed; 상기 시료 고정부를 수납하며, 상기 시료의 온도를 연속적으로 변화시키는 온도 변화부;A temperature change unit accommodating the sample holding part and continuously changing a temperature of the sample; 상기 시료를 검사하기 위한 검사광을 발생하는 광 발생부; 및A light generator for generating inspection light for inspecting the sample; And 상기 시료를 투과한 상기 검사광을 분석하여 상기 시료의 성분 변화를 연속적으로 검사하는 시료 분석부를 포함하는 시료 검사 장치.And a sample analyzer configured to analyze the inspection light that has passed through the sample and continuously inspect the component change of the sample. 제1항에 있어서, 상기 온도 변화부는 상기 시료의 온도를 상승시키는 온도 상승부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.The sample inspection apparatus according to claim 1, wherein the temperature change unit includes a temperature rise unit for raising a temperature of the sample. 제2항에 있어서, 상기 온도 상승부는 상기 시료 고정부를 둘러 싸는 히팅 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.The sample inspection apparatus of claim 2, wherein the temperature rising part comprises a heating coil surrounding the sample holding part. 제2항에 있어서, 상기 온도 변화부는 상기 시료의 온도를 하강시키는 온도 하강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.The sample inspection apparatus of claim 2, wherein the temperature change unit further includes a temperature drop unit for lowering the temperature of the sample. 제1항에 있어서, 상기 온도 변화부의 온도를 측정하면서 제어하는 온도 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.The sample inspection apparatus according to claim 1, further comprising a temperature control unit for controlling while measuring the temperature of the temperature change unit. 제1항에 있어서, 상기 광 발생부는 The method of claim 1, wherein the light generating unit 적외선광을 발생시키는 제1 광 공급부; A first light supply unit for generating infrared light; 레이저광을 발생시키는 제2 광 공급부; 및 A second light supply unit generating a laser light; And 상기 적외선광 및 레이저광을 혼합시키는 광 혼합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.And a light mixing unit mixing the infrared light and the laser light. 제1항에 있어서, 상기 시료는 유기물 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치.The apparatus of claim 1, wherein the sample comprises an organic thin film. 제7항에 있어서, 상기 시료는 폴리 이미드(polyimide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 검사 장치. 8. The sample testing device of claim 7, wherein the sample comprises polyimide.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190115619A (en) * 2018-04-03 2019-10-14 한국기초과학지원연구원 Sample holder for effective thermal conductivity measurement of pebble-bed in laser flash apparatus
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