KR20070065184A - 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 그 방법 - Google Patents

전송 장치의 마모 진단 시스템 및 그 방법 Download PDF

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KR20070065184A
KR20070065184A KR1020060005361A KR20060005361A KR20070065184A KR 20070065184 A KR20070065184 A KR 20070065184A KR 1020060005361 A KR1020060005361 A KR 1020060005361A KR 20060005361 A KR20060005361 A KR 20060005361A KR 20070065184 A KR20070065184 A KR 20070065184A
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춘-핀 판
시우-야 쳉
춘-치에 첸
치엔-민 린
시엔-쿤 차이
멩-옌 시에
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우 옵트로닉스 코포레이션
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Abstract

본 발명은 전송 장치의 마모 진단 방법에 관한 것으로서, 마모 임계값을 획득하며, 진동 감지기를 이용하여 특정 전송 단계에서 예정 위치를 측정하여 작동 측정값을 얻는 것을 포함한다. 또한 상기 작동 측정값과 마모 임계값을 비교하여 기계를 정지하여 검사해야 할지 여부를 결정하는데, 상기 작동 측정값이 상기 마모 임계값보다 크거나 같을 때에는 반드시 기계를 정지하고 검사하여야 한다.
반도체 제조 공정, 전송 장치, 마모 진단 방법, 마모 임계값, 진동 감지기

Description

전송 장치의 마모 진단 시스템 및 그 방법{WEAR MONITORING SYSTEM FOR A CONVEYOR AND METHOD THEREOF}
도 1은 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 방법의 비교적 바람직한 실시예의 흐름도이며,
도 2a는 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 시스템의 비교적 바람직한 실시예의 응용 배치도이며,
도 2b는 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 시스템의 비교적 바람직한 실시예의 시스템 블록도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
102a~114: 마모 진단 단계
200: 마모 진단 시스템 202: 진동 감지기
204: 신호 처리 장치 206: 표시 유닛
208: 원격 컴퓨터 시스템 210: 그래픽 유닛
212: 네트워크 214: 자동 경보기
220: 전송 장치 222: 모터
224: 클러치 226: 모터 대좌
228: 기어 전동축 230: 기어
232: 기판 전송축 242: 아날로그 디지털 변환기
244: 프로세서 246: 저장 유닛
본 발명은 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 특히 기판을 운송하는 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 방법에 관한 것이다.
기계설비는 각종 부품으로 조립 구성되며, 부품은 일반적으로 마모성 부품과 내구성 부품으로 나뉜다. 부품은 모두 고정된 사용기한을 가지고 있는데, 마모성 부품의 사용기한은 일반적으로 비교적 짧으며, 내구성 부품의 사용기한은 비교적 길다. 물론, 일부분 내구성 부품은 기계설비가 폐기할 때까지 계속 사용할 수 있어 교체할 필요가 없다.
만약 기계설비가 지속적으로 사용되면, 조작조건에 따라, 자연적으로 마모되는 속도가 변화되어 빨라지거나 느려질 수 있다. 기계설비에 설치된 부품을 교체해야 하는지 여부는 외형을 포함한 전체 기계를 분해하지 않는 상황에서는 판단할 수 없다. 다시 말하면, 부품을 분해해야만 상기 부품이 교체되어야 할 정도에 이르렀는지의 마모 정도를 판단할 수 있다.
각종 하이테크 제조공정에서, 예를 들면 반도체 제조공정에서의 웨이퍼의 전송 또는 모니터 액정 제조공정에서의 패널 기판 전송 등은 모두 전송 장치를 사용하며, 전송 장치 내부의 구성은 일반적으로 설계가 정교하고 서로의 작동관계가 밀 접한 전동부품으로 구성된다. 때문에 전송설비에서의 부품 교체 시점에 대한 요구는 더욱 엄격한데, 이는 기판의 가격이 비싸기 때문만이 아니라, 만약 제조공정에서 전송 장치 내부 부품의 과도한 마손(磨損)으로 작동이 정지되거나 비정상적으로 작동하게 되면 그로 인해 초래된 제조공정의 정지가 제조업자에게 극대의 손실을 가져다주기 때문이다.
따라서 제조공정에서 전송 장치의 부품의 과도한 마모로 인한 기계 정지를 방지할 수 있는 해결방법이 요구된다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제조공정에서 과도한 마모로 인하여 초래되는 기계의 돌연 정지를 방지하는 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전송 기계의 부품의 양호 상태를 진단하고 파악하기 위한 전송 장치의 마모 진단시스템 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 전송 장치 내부 부품의 마모 상태를 예측하여 사전에 부품을 교체하여 가장 원활한 제조공정의 운행에 도달하기 위한 전송 장치의 마모 진단시스템 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 다음과 같은 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 방법은, 마모 임계값을 획득하는 단계; 진동 감지기를 이용하여 특정 전송 시점에서 예정 위치를 측정하여 작동 측정값을 획득하는 단계; 및 상기 작동 측정값과 상기 마모 임계값을 비교하여 기계를 정지하고 검사해야 할지 여부를 결정하는 단계를 포함하고, 상기 결정 단계는 작동 측정값이 마모 임계값보다 크거나 같을 때 반드시 기계를 정지하고 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면 마모 임계값은 다음과 같은 단계로 정의된다. 새 전송 부품이 사용된 전송 장치를 시동하는 단계; 진동 감지기를 이용하여 전송 중 예정 위치의 진동을 측정하여 측정기간의 측정값을 획득함과 동시에, 상기 측정기간의 측정값을 기록하는 단계; 및 전송 장치가 마모에 의해 작동을 정지하였을 때 측정기간의 측정값에서 최대치의 80%로 상기 마모 임계값을 정의하는 단계를 포함한다.
예정 위치는 모터 대좌 위로 선정하며, 비교 단계는 신호 처리 장치를 이용하여 실행한다. 전송 장치의 마모 진단방법은 다음과 같은 단계 중의 하나 또는 그 조합을 더 포함할 수 있다. 작동 측정값이 마모 임계값보다 클 때 신호 처리 장치는 경보 신호를 발송하며, 자동 경보기를 시동하여 경보 작동을 실행하며, 작동 측정값을 표시 유닛에 출력하며, 작동 측정값에 대한 시간 순서 그래프를 그리거나 작동 측정값을 원격 컴퓨터에 전송하여 원격 감시 제어를 진행한다.
본 발명에 따른 전송 장치 마모 진단 시스템은, 전송 장치의 진동 상태를 측정하여 대응되는 진동 신호를 출력하며 진동 상태에 의해 전송 장치의 마모 상태를 나타내는 진동 감지기, 특정 전송 시점의 진동 신호를 획득하며, 상기 진동 신호를 디지털 신호로 변환하는 신호 처리 장치 및 디지털 신호를 수신하고 나타내는 표시 유닛을 포함한다.
비교적 바람직한 실시예에서, 신호 처리 장치는 아날로그 디지털 변환기, 프로세서, 저장 유닛을 포함하고 있으며, 아날로그 디지털 변환기는 진동 감지기와 전기적으로 접속되어 진동 감지기가 생성하는 아날로그 신호를 수신하여 디지털 신호로 변환하며, 프로세서는 디지털 신호를 수신하고 신호처리를 진행하며, 저장 유닛은 디지털 신호를 저장하여 진단 데이터베이스를 구축한다.
때문에, 본 발명을 적용하면 종래의 많은 인력이 필요하며 자주 전송기계를 정지하여 검사하던 방식을 개선하게 되며, 특정 시점의 진동값을 선택하여 전송 부품의 마모를 예측하고 평가하여, 예를 들면 반도체 또는 모니터 패널 영역에서의 제조공정에서 획기적인 효과를 가지게 되며, 제조공정에서의 작동의 원활성과 안정성을 크게 증진시킨다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작동을 설명한다.
본 발명은 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 진동 측정 방법으로 전송 장치 부품의 마모 상태를 평가하고 예측하며, 인력으로 기계를 검사해야 하는 필요성의 복잡함을 제거하여, 제조공정의 가장 원활한 방식의 작동을 확보하여, 갑자기 기계가 정지하는 일이 발생하지 않게 한다.
도 1을 참조하면, 도 1은 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 방법의 바람직한 실시예의 흐름도이다. 마모 진단 방법은, 마모 임계값을 획득하는 단계, 진동 감지기를 이용하여 특정 전송 시점에서 예정 위치의 진동을 측정하여 작동 측정값을 획득하는 단계, 상기 작동 측정값과 마모 임계값을 비교하여 기계를 정지하고 검사해야 할지 여부를 결정하는 단계를 포함하고, 상기 작동 측정값이 마모 임계값보다 크거나 같을 때 반드시 기계를 정지하고 검사하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시예에서 전송 장치의 마모 진단 방법은 다음과 같은 단계를 포함한다. 단계 102a에서, 새 전송 부품이 사용된 전송 장치를 시동한다. 먼저 전송 장치에 있어서, 각 부분 부품에 대해 교체하여 처음 사용하는데, 다시 말하면, 모두 새로운 부품을 사용하여 전송 장치로 하여금 새로운 상태에서 작동하게 한다.
단계 102b에서, 진동 감지기를 사용하여 특정 전송 시점에서 어느 한 예정 위치의 진동을 측정한다. 일반 반도체 또는 액정 표시 패널 제조공정에서 전송 장치를 이용하여 기판을 전송할 때 하나의 완전한 전송 작동이 여러 개의 단계로 나뉠 수 있으며, 또한 서로 다른 제조공정의 그 단계의 개수도 서로 다르다. 예를 들면, 하나의 완전한 전송 작동은 기판 전입(傳入) 단계, 전송 감속 단계, 진동 요동 단계, 중간 정지 단계 및 가속 전출(傳出) 단계를 포함할 수 있다. 상이한 전송 단계에서, 동일한 위치라고 하더라도 서로 다른 진동 상태를 나타내는데, 이는 작동의 강약 정도가 서로 상이하기 때문이다.
따라서, 특정 단계를 선택하여 고정된 감시 제어 시점으로 하며, 이를 전송 시점이라 한다. 자동화 전송 과정에서, 각 전송 단계는 고정 주기를 갖는 유기(有機)적인 단계인 바, 다시 말하면, 각 기판의 완전한 전송 작동은 기본적으로 설계와 정의를 통하여 수행된다. 예를 들면, 기판이 전입 단계의 시작 순간과 다음 기판의 전입 단계의 시작은 모두 고정된 시간 간격이 있다. 이런 상황에서 본 발명은 특정 시점을 선택하는 방식을 이용하여 진동 상태를 감시 측정하여 동일한 비교 기 초를 얻는다.
진동 감지기를 사용하여 선택된 시점 및 선택된 위치에서 전송 장치의 진동값을 측정하는 것을 측정기간의 측정값이라 하며; 동시에, 측정한 측정기간의 측정값을 기록한다. 측정 위치의 선택은 예를 들면 모터의 가장 근접하는 모터 대좌 또는 전동축으로 하는데 이 두 곳으로 제한되는 것은 아니다. 진동 감지기의 설치 편의와 안전한 사용 환경을 고려하여 본 실시예에서는 진동 감지기를 모터 대좌에 설치한다.
지속적으로 전송 장치를 작동시켜 작동을 측정하며, 측정기간에서 동일한 전송시점의 여러 개의 측정값을 전부 기록한다.
단계 102c에서, 상기 단계는 전송 장치가 마모로 인하여 정지할 때까지 계속 작동시키며, 기록한 여러 개의 측정값에서 최대치를 찾아서 안전계수를 곱하여 마모 임계값을 정의한다. 이 안전계수는 서로 다른 제조공정의 요구에 의해 결정된다. 일반적으로 이 계수가 작을수록 장치가 시작 작동을 하여 기계를 정지하고 검사하는 시간 간격이 더 짧지만, 장치의 작동 안정성은 비교적 많이 확보된다. 이 안전계수는 예를 들면 70%, 80%, 90%, 95% 또는 이 범위 내의 수치이다.
상기 마모 임계값을 획득하는 단계에서, 또한 다른 방식으로 마모 임계값을 결정할 수 있다. 이는 여러 개의 측정기간의 측정값을 얻은 후, 시간 순서 그래프를 그리는 것을 더 포함한다. 즉 전체 측정기간을 그리고, 측정기간의 측정값의 상태 분포 곡선을 그린다. 곡선에서, 횡축은 시간축이고 종축은 진동값을 대표한다.
실시예에서, 새 부품을 설치한 기계에 대하여 미리 진동 측정을 진행하며, 초기 측정 진동 값을 기록하여 초기 측정값이라고 한다. 여러 번의 측정을 통하여 얻은 초기 측정값이 4 또는 5이며, 기계가 마모로 인하여 기계가 정지될 때 측정값은 20 또는 21이다. 때문에 초기 측정값의 3~4배 되는 경험치를 선택하여 동일한 시스템 작동 하에서의 마모 임계값으로 할 수 있다.
단계 104에서, 마모 임계값을 획득한 후, 일반적인 정상 작동하는 제조공정에서 진동 감지기를 이용하여 동일하게 선택된 전송 시점 및 동일하게 선택된 위치의 진동 상태를 측정하는데 이를 작동 측정값이라고 한다. 이 후, 지속적으로 전송 장치를 측정하고 감시한다.
단계 106에서, 측정한 작동 측정값과 마모 임계값 비교에 따라 기계를 정지하고 검사를 할지 여부를 판단한다. 마모 임계값보다 크거나 또는 같은 작동 측정값을 측정하였을 때 기계를 정지하고 검사하는 작동을 실행한다. 이 비교단계는 신호 처리 장치를 이용할 수 있어 인력과 시간을 절약하는 효과를 가진다.
상기 비교 단계는 작동 측정값이 마모 임계값보다 클 때 신호 처리 장치를 이용하여 경보 신호를 발송하며, 이 경보 신호는 신호 처리 장치와 전기적으로 접속되어 있는 자동 경보기를 촉발하는데 사용되는 것을 더 포함한다. 경보 작동은 요구에 따라 설계할 수 있는데, 예를 들면 전송 장치의 작동을 정지하거나 경보 소리를 내거나 또는 경보 신호 등을 시동하는 등이다.
마모 진단 방법은 다음 단계 중의 하나 또는 그 조합을 더 포함할 수 있다. 단계 108, 작동 측정값을 표시 유닛에 출력하여 감시 참고로 제공한다. 예를 들면 신호 처리 장치를 이용하여 진동 정보를 음극선관 모니터(CRT display)나 액정 패 널 모니터(LCD display)에 나타낸다.
단계 110, 작동 측정값을 원격 컴퓨터 시스템에 전송하여 원격 제어를 진행한다. 네트워크로 연결된 시스템, 예를 들면 광역통신 네트워크, 구역통신 네트워크, 기업 내부통신 네트워크 등을 통하여 측정한 정보를 실시간으로 원격 감시 컴퓨터에 전송하며, 이렇게 하면 효율적인 인력배치를 할 수 있다. 동시에 측정한 모든 자료를 원격 컴퓨터 자료실에 저장할 수 있으며, 기계 작동의 이력 자료를 만들어 여러 가지 적용에 제공한다.
단계 112, 작동 측정값을 기록하며, 작동 측정값의 시간 순서 그래프를 그려낸다. 예를 들면 신호 처리 장치를 이용하여 그래픽 유닛에 연결하며, 동일 전송시점에 대하여 시간 순서 곡선을 그리며, 여기서 시간 순서 곡선은 전송 장치가 작동 과정에서 측정한 진동상태의 추이를 나타내며, 또한 장치 내부의 전송 부품의 마모 추이를 대표한다. 추이 그래프에 의해 전송 부품의 현재 양호상태를 편리하게 판단할 수 있으며, 사전 진단 및 예방에 매우 큰 도움을 가져다준다.
도 2a와 도 2b를 참고하면, 도 2a는 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 시스템의 바람직한 실시예의 배치도이며, 이 도면은 마모 진단 시스템(200)에 대응하는 여러 개의 전송 부품을 포함하고 있는 전송 장치(220)의 위치 분포를 나타내며, 전송 부품은 예를 들면 기판 전송축(232), 기어(230), 기어 전동축(228), 클러치(224), 모터(222)와 모터 대좌(226)를 포함한다. 도 2b는 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 시스템의 바람직한 실시예의 시스템 블록도이다. 본 발명의 전송 장치마모 진단 시스템(200)은 진동 감지기(202), 신호 처리 장치(204) 및 표시 유 닛(206)을 포함한다.
진동 감지기(202)는 전송 장치(220)의 진동상태를 측정하는데 사용되고 그에 대응하는 진동신호를 출력하며, 진동상태로 전송 장치(220)의 마모 상태를 대표한다. 신호 처리 장치(204)와 진동 감지기(202)는 전기적으로 접속되며, 특정 전송 시점의 진동 신호를 획득하여 상기 진동 신호를 디지털 신호로 처리한다. 표시 유닛(206)과 신호 처리 장치(204)는 전기적으로 접속되며, 표시 유닛(206)은 신호 처리 장치(204)에서 온 디지털 신호를 수신하고 표시한다.
바람직한 실시예에서, 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 시스템은 패널기판 전송 장치에 적용되었다. 진동 감지기(202)는 클러치(224)가 포함되어 있는 모터 대좌(226)에 설치된다.
여기서 특별히 주의해야 할 것은 진동 감지기(202)가 실행하는 작동은 지속되는 작동일 수 있으며, 또는 특정 시점에 대해 주기적인 측정을 진행할 수도 있는데 이는 모두 사용자의 요구에 따라 결정한다.
진동 감지기(202)가 지속적인 측정방식으로 작동할 때, 신호 처리 장치(204)를 통하여 모든 시점에서의 측정값을 기록하며, 동시에 특정시점 측정값을 특별히 추출하여, 이를 특정 독립 구간에 기록하여 특정시점에 대한 시간순서 그래프를 그리거나; 또는 모든 시점의 측정값을 모두 기록하여 이력으로 데이터베이스에 저장한다.
신호 처리 장치(204)는 아날로그 디지털 변환기(242), 프로세서(244) 및 저장 유닛(246)을 포함한다. 아날로그 디지털 변환기(242)는 진동 감지기(202)에 전 기적으로 접속되며, 진동 감지기(202)가 생성한 아날로그 신호를 수신하여 디지털 신호로 변환하며, 프로세서(244)는 이 디지털 신호를 수신하고 신호 처리 기능을 실행한다. 저장 유닛(246)은 대표 진동 측정값의 디지털 신호를 저장하여 진단 데이터베이스를 구축한다. 표시 유닛(206)은 음극선관 모니터이거나 액정 패널 모니터일 수 있다.
실제 조작시 마모 진단 시스템(200)을 작동시키기 전에 먼저 모든 전송 부품을 처음 사용하는 새 제품으로 교체한 다음 전송 장치(220)를 시동하여 기판을 전송하며, 모터 대좌(226)에 설치한 가속계기로 전송 장치(220)의 작동중의 진동값을 측정한다. 전송 장치(220)가 내부 전송 부품의 마모로 작동을 정지할 때까지 기다리며, 특정 전송 시점을 선택하여 모든 이 전송 시점에서의 측정값을 선택하며, 여기서 제일 큰 수치 하나를 참고값으로 한다.
이 참고값에 안전계수를 곱하여 얻은 값을 마모 임계값으로 한다. 안전계수의 결정은 요구에 따라 다른데 예를 들면 60%에서 95%사이의 백분비이다. 선택한 백분비가 작을수록 전송 장치를 더 빠른 시기에 부품을 검사하고 교체할 수 있으며, 장치 사용에서 더욱 안정하나; 더욱 높은 백분비를 선택하면 부품의 검사하고 교체하는 주기를 길게 하여 제조공정에서 검사 및 교체로 인한 작동 중지하는 차수를 줄일 수 있으며, 또한 비교적 전송 부품의 수명을 충분히 이용할 수 있다.
본 예에서 진동 감지기는 IMI SENSORS회사의 가속계기를 사용하며 부품번호는 641B01이며; 아날로그 디지털 변환기는 MITSUBISHI의 디지털 아날로그 변환모듈을 사용하는데 부품번호는 Q64A-D이다. 프로세서는 MITSUBISHI의 제품을 사용하며, 부품번호는 Q25HCPU이다. 물론 실제 적용에서 임의의 적당한 전자설비를 선택할 수 있으며, 이에 국한되지 않는다.
우선, 처음 사용하는 전송 부품을 설치한 전송 장치(220)의 초기상태 측정값을 측정하면 대략 7, 8이다. 전송 장치(220)가 정지할 때까지 작동하였을 때 측정한 값에서 제일 큰 것은 약 14, 15이다.
마모 임계값을 획득한 후, 계속 일반적인 제조공정 작업인 기판 전송 작동을 진행한다. 동시에 가속계기를 이용하여 전송 장치(220)의 진동 상태를 진단하며, 표시 유닛(206)에 나타나는 측정값의 변화 상황을 관찰한다. 장치가 작동 과정에서 측정한 값이 마모 임계값에 도달할 때 기계를 중지하고 검사하는 작동을 진행하며, 이때 부품을 교체하는 것을 결정할 수 있어 이후 안전한 작동을 담보한다.
마모 진단 시스템(200)은 자동 경보기(214), 그래픽 유닛(210), 원격컴퓨터시스템(208) 또는 상기 설비들의 조합이다. 신호 처리 장치(204)는 자동 경보기(214)에 전기적으로 접속되며, 신호 처리 장치(204)가 작동 측정값이 마모 임계값보다 같거나 큰 것을 발견하였을 때 경보 신호를 자동 경보기(214)에 전송하며, 자동 경보기(214)를 발동시켜 경보작동을 진행한다. 이 경보작동은 설계에 따라 결정하는데, 예를 들면 자동 경보기(214)와 접속되어 있는 경보 신호등(도면에 표시하지 않음)을 켜거나 또는 자동 경보기(214)와 연결되어 있는 스피커(도면에 표시하지 않음)로 소리를 낼 수 있다. 또는 자동 경보기(214)를 이용하여 전송 장치(220)의 정지 및 시동을 제어할 수 있다.
신호 처리 장치(204)는 그래픽 유닛(210)에 접속되며, 신호 처리 장치(204) 에서 연산 처리 후 측정 자료를 표시 유닛(210)을 통하여 그래프 형태로 나타낸다. 그래프를 사용하면 더욱 쉽게 사전에 전송 장치(220)의 마모 상태를 판단할 수 있으며, 사전에 방지하는 작동을 할 수 있다.
마모 진단 시스템(200)은 원격 컴퓨터 시스템(208)에 접속될 수 있는데, 예를 들면 네트워크(212)를 통하여 원격 감시 제어를 실현할 수 있으며, 인력 자원의 배치 효율을 높일 수 있다. 원격 컴퓨터 시스템(208)은 데이터베이스일 수도 있으며, 전송 장치(220)의 작동 이력 중의 진동 상태의 기록을 저장하는데 사용되어 여러 가지로 응용될 수 있는데, 예를 들면 전송 부품의 품질관리 또는 서로 다른 전송단계의 진동 분석 등이다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 그 방법은 실시예에서 알 수 있는 바와 같이, 다음과 같은 효과를 제공한다.
본 발명에 따른 전송 장치의 마모 진단 시스템 및 방법을 이용하면 제조공정 작동 기간에 전송 장치가 부품의 과도한 마모로 인하여 갑자기 기계가 정지하는 잠재적인 문제를 피할 수 있으며, 전송 부품의 마모 상태를 충분히 파악할 수 있다. 제조 공정에서의 원활한 작동을 유지할 수 있으며, 또한, 부품의 사용 수명을 충분히 이용할 수 있으며, 양자 간에서 탄력적인 평행을 얻을 수 있다.
그 외, 본 발명은 전송 기계의 유지보수 검사의 차수를 줄일 수 있으며, 유지보수 검사로 인하여 인력의 낭비뿐만 아니라 제조공정에서의 효율을 낮아지는 것을 감소시킬 수 있다. 자동경보 또는 원격 감시제어 기능을 함께 사용하면 공장 내 의 인력자원 배치의 효율을 제고할 수 있다.
위에서 본 발명의 바람직한 실시 예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 자명하다 할 것이다.

Claims (10)

  1. 마모 임계값을 획득하는 단계;
    진동 감지기를 이용하여 특정 전송 시점에서 예정 위치의 진동을 측정하여 작동 측정값을 획득하는 단계; 및
    상기 작동 측정값과 상기 마모 임계값을 비교하여 기계를 정지하고 검사해야 하는지 여부를 결정하는 단계를 포함하고,
    상기 결정 단계는 상기 작동 측정값이 상기 마모 임계값보다 크거나 같을 때 반드시 기계를 정지하고 검사하는 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마모 임계값을 획득하는 단계는,
    새 전송 부품이 사용된 상기 전송 장치를 시동시키는 단계;
    상기 진동 감지기를 이용하여 상기 특정 전송 시점의 상기 예정 위치의 진동을 측정하여 측정기간의 측정값을 얻는 동시에, 상기 측정기간의 측정값을 기록하는 단계; 및
    상기 전송 장치가 마모에 의해 작동을 정지하였을 때, 상기 측정기간의 측정값 중 최대치의 80%로 상기 마모 임계값을 정의하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 예정 위치는 모터 대좌(臺座) 또는 전동축인 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 특정 전송 시점은 기판 전입(傳入) 단계, 전송 감속 단계, 진동 요동 단계, 중간 정지 단계 및 가속 전출(傳出) 단계 중의 하나인 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 비교 단계는 신호 처리 장치를 이용하여 실행되며,
    상기 작동 측정값이 상기 마모 임계값보다 클 때, 상기 신호 처리 장치가 경보 신호를 발생함으로써 자동 경보기를 시동하여 경보 작동을 실행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 마모 임계값을 획득하는 단계는,
    새 전송 부품이 사용된 상기 전송 장치를 시동하는 단계;
    상기 진동 감지기를 이용하여 상기 특정 전송 시점에서 상기 예정 위치의 진 동에 대해 초기 측정을 실행하여 초기 측정값을 획득하는 단계; 및
    상기 초기 측정값의 3배 또는 4배를 마모 임계값으로 정의하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 방법.
  7. 전송 장치의 진동 상태를 측정하여, 대응되는 진동 신호를 출력하며, 상기 진동 상태에 의해 상기 전송 장치의 마모 상태를 나타내는 진동 감지기;
    특정 전송 시점의 상기 진동 신호를 획득하는 동시에, 상기 진동 신호를 처리하여 디지털 신호로 변환하는 신호 처리 장치; 및
    상기 디지털 신호를 수신 및 표시하는 표시 유닛을 포함하는 전송 장치의 마모 진단 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 신호 처리 장치는 아날로그 디지털 신호 변환기, 프로세서 및 저장 유닛을 포함하며,
    상기 아날로그 디지털 신호 변환기는 상기 진동 감지기와 전기적으로 접속되어 상기 진동 감지기가 생성하는 아날로그 신호를 수신하여 디지털 신호로 변환하며,
    상기 프로세서는 상기 디지털 신호를 수신하여 신호 처리를 실행하며,
    상기 저장 유닛은 상기 디지털 신호를 저장하여 진단 데이터베이스를 구축하는 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 시스템.
  9. 제7항에 있어서,
    자동 경보기를 더 포함하고 있으며,
    상기 자동 경보기는 상기 신호 처리 장치와 접속되어, 상기 신호 처리 장치가 경보 신호를 발송한 상기 경보 신호를 수신하여 경보 작동을 실행하는 것을 특징으로 하는 전송 장치의 마모 진단 시스템.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 진동 감지기는 모터 대좌 또는 전동축에 위치하는 것을 특징으로 하는 마모 진단 시스템.
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