KR20070059591A - 표시장치의 제조장치 및 그 제어방법 - Google Patents

표시장치의 제조장치 및 그 제어방법 Download PDF

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KR20070059591A
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Abstract

본 발명은 표시장치의 제조장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표시장치의 제조장치는 제조 중인 표시장치가 안착되는 안착부와; 상기 안착부의 상부에 위치하며 상기 표시장치에 잉크를 토출하는 적어도 하나의 노즐부를 포함하는 제팅 부재와; 상기 안착부 및 상기 제팅 부재를 수용하는 챔버와; 상기 제팅 부재에 상기 잉크를 공급하는 잉크 공급부와; 상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 측정하는 제 1압력 센서와; 상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 조절하는 압력조절부와; 상기 챔버의 내부 압력을 측정하는 제 2압력 센서와; 상기 제 1압력 센서 및 상기 제 2압력 센서로부터 각각 전달받은 압력 측정 결과를 바탕으로 상기 잉크 압력을 조절하도록 상기 압력조절부를 제어하는 제어부를 포함한다. 이에 의해 챔버 내부의 압력에 변화에 대응하여 제팅 부재의 노즐부 내부의 잉크압력을 적절히 조절할 수 있다.

Description

표시장치의 제조장치 및 그 제어방법{APPARATUS OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE AND CONTROLLING METHOD OF THE SAME}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 사시도,
도 2는 압력 변화에 따른 노즐부 내부의 잉크 상태를 설명하기 위한 단면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 제어블록도, 및
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 제어흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 안착부 20 : 제팅 부재
21 : 본체부 22 : 노즐부
30 : 챔버 40 : 잉크공급부
41 : 잉크 저장부 43 : 잉크공급라인
45 : 잉크 50 : 압력조절부
52 : 연결관 60 : 기체배출부재
61 : 펌프 63 : 배출관
71 : 제 1압력센서 73 : 제 2압력센서
80 : 제어부 100 : 제조 중인 표시장치
본 발명은 표시장치의 제조장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제팅 부재를 구비한 표시장치의 제조장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.
평판 표시장치(flat panel display) 중 저전압 구동, 경량 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여, 최근 OLED(organic light emitting diode)가 각광 받고 있다. OLED는 구동방식에 따라 수동형(passive matrix)과 능동형(active matrix)으로 나누어진다. 이중 수동형은 제조과정은 간단하지만 디스플레이 면적과 해상도가 증가할수록 소비전력이 급격히 증가하는 문제가 있다. 따라서 수동형은 주로 소형 디스플레이에 응용되고 있다. 반면 능동형은 제조과정은 복잡하지만 대화면과 고해상도를 실현할 수 있는 장점이 있다.
능동형 OLED는 박막트랜지스터가 각 화소 영역마다 연결되어, 각 화소 영역별로 발광층의 발광을 제어한다. 각 화소 영역에는 화소전극이 위치하고 있는데, 각 화소전극은 독립된 구동을 위해 인접한 화소전극과 전기적으로 분리되어 있다. 화소전극 상에는 정공주입층과 발광층을 포함하는 유기층이 존재한다. 유기층은 저분자 유기물질로 이루어진 저분자 유기층과 고분자 유기물질로 이루어진 고분자 유기층으로 나누어진다.
저분자 유기층은 저분자 유기물질을 열 증발법 등을 통해 증착하여 형성하며, 고분자 유기층은 고분자 물질을 스핀 코팅이나 잉크젯 프린팅 방법에 의해 형 성된다.
잉크젯 프린팅 방법은 고분자 유기물질을 용매에 의해 용해 또는 분산시켜 고분자 잉크를 만든 후 이 잉크를 제팅 부재의 노즐부를 통해 화소전극의 화소영역에 드로핑 한 후, 건조시켜 유기층을 완성하는 방법이다.
이러한 잉크젯 프린팅 방법에 있어서, 효율적인 잉크젯 프린팅을 위해서는 노즐부가 잉크를 토출하지 않는 상태에서는 노즐부 내부의 잉크가 메니스커스(meniscus) 형상을 유지하는 것이 중요하며, 노즐부가 잉크를 토출하는 경우에는 적량의 잉크가 지속적으로 토출되는 것이 중요하다. 이러한 메니스커스 형상 유지 및 적량의 잉크 토출을 위해서는 노즐부 내부의 잉크 압력과 노즐부 외부의 압력간의 차이가 소정의 허용범위 내에 있도록 노즐부 내부의 잉크 압력을 적절히 조절하여야 한다. 최근 잉크젯 프린팅 과정에서의 오염 방지하고, 잉크가 각종 유기용제를 용매를 포함함에 따라 환경적인 측면을 고려하여 외부와 격리 가능한 챔버 내에 제팅 부재를 설치하여 잉크젯 프린팅을 수행하고 있다. 챔버의 내부 압력은 배기장치에 의한 유기용제의 배출과정이나 잉크젯 프린팅이 요구되는 표시장치의 투입 및 반출 등에 의한 챔버의 개폐 등으로 인해 변화하게 된다. 따라서 노즐부 내부의 잉크의 압력을 일정하게 유지하더라도 노즐부 외부의 챔버 압력이 변함에 따라 양 압력간의 차이가 일정하지 않게 된다. 이러한 압력 차이가 소정의 허용범위를 벗어나면 메니스커스 형상 유지 및 적량의 잉크 토출이 되지 않아 노즐부의 적정 상태 유지를 위한 제어가 힘들어지고 잉크젯 프린팅의 정밀도가 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 챔버 내부의 압력에 변화에 대응하여 제팅 부재의 노즐부 내부의 잉크압력을 적절히 조절할 수 있는 표시장치의 제조장치 및 그 제어방법을 제공하는데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 제조 중인 표시장치가 안착되는 안착부와; 상기 안착부의 상부에 위치하며 상기 표시장치에 잉크를 토출하는 적어도 하나의 노즐부를 포함하는 제팅 부재와; 상기 안착부 및 상기 제팅 부재를 수용하는 챔버와; 상기 제팅 부재에 상기 잉크를 공급하는 잉크 공급부와; 상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 측정하는 제 1압력 센서와; 상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 조절하는 압력조절부와; 상기 챔버의 내부 압력을 측정하는 제 2압력 센서와; 상기 제 1압력 센서 및 상기 제 2압력 센서로부터 각각 전달받은 압력 측정 결과를 바탕으로 상기 잉크 압력을 조절하도록 상기 압력조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 표시장치의 제조장치에 의해 달성된다.
상기 제어부는 상기 노즐부 내부의 상기 잉크가 메니스커스(meniscus) 형상을 유지하도록 상기 압력조절부를 제어하는 것이 바람직하다.
상기 제어부는 상기 제팅 부재가 적량의 상기 잉크를 토출하도록 상기 압력조절부를 제어하는 것이 바람직하다.
상기 챔버의 내부에 존재하는 기체를 외부로 배출하는 기체배출부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 잉크공급부는 상기 챔버의 외부에 마련되어 있는 것이 바람직하다.
상기 잉크공급부는, 상기 잉크를 저장하는 잉크 저장부와; 상기 잉크 저장부로부터 상기 제팅 부재로 상기 잉크를 공급하는 잉크 공급라인을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 압력조절부는 상기 잉크 저장부에 연결되어 있으며, 상기 잉크 저장부내의 압력을 조절함으로써 상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 조절하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 제조 중인 표시장치가 수용되어 있는 챔버의 내부 압력과 상기 표시장치에 잉크를 토출하는 적어도 하나의 노즐부를 포함하는 제팅 부재 내의 잉크 압력의 차이를 측정하는 단계와; 상기 압력의 차이가 소정의 허용범위 이내인지 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단결과 상기 소정의 허용범위를 벗어난 경우 상기 압력 차이를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치의 제어방법에 의해서도 달성된다.
상기 허용범위 이내인지 여부를 판단하는 단계 전에, 상기 제팅 부재의 상기 잉크가 토출 중인지 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 잉크의 토출 중인지 여부의 판단 결과 상기 잉크가 토출 중인 경우, 상기 소정의 허용범위는 상기 제팅 부재가 적량의 상기 잉크를 상기 표시장치용 기판에 토출하도록 설정되는 것이 바람직하다.
상기 잉크 토출 여부의 판단 결과 상기 잉크가 토출 중이 아닌 경우, 상기 소정의 허용범위는 상기 노즐부 내부의 상기 잉크가 메니스커스(meniscus) 형상을 유지하도록 설정되는 것이 바람직하다.
상기 압력 차이의 조절은 상기 잉크 압력을 조절함으로써 이루어지는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 도 1 내지 도 3를 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 사시도이고, 도 2는 압력 변화에 따른 노즐부 내부의 잉크 상태를 설명하기 위한 단면도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 제어블록도이다. 본 실시예에서 제조되는 표시장치는 OLED이다.
본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치는 안착부(10), 제팅 부재(20), 안착부(10) 및 제팅 부재(20)를 수용하고 있는 챔버(30), 잉크 공급부(40), 압력조절부(50), 기체배출부재(60), 제1압력센서(71), 제 2압력센서(73) 및 제어부(80)를 포함한다.
안착부(10)는 잉크젯 프린팅에 의해 유기층 등 특정물질층의 형성을 요하는 제조 중인 표시장치(100)가 안착되는 부분이다. 제조 중인 표시장치(100)는 챔버(30)가 개방된 상태에서 로봇팔에 의해 안착부(10)에 안착되게 된다.
안착부(10)의 상부에는 제조 중인 표시장치(100)에 잉크(45)를 토출하는 복수개의 노즐부(22) 및 노즐부(22)를 고정하는 본체부(21)를 포함하는 제팅 부재(20)가 마련되어 있다. 여기서, 잉크(45)는 고분자 유기물질을 용매에 의해 용해 또는 분산시킨 고분자 용액을 말한다.
도 2에서 보는 바와 같이 노즐부(22)의 내부에는 제조 중인 표시장치(100)로의 토출을 위한 잉크(45)가 존재한다.
노즐부(22) 내부에 존재하는 잉크면의 형상은 (a)에서 보는 바와 같이 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출하지 않는 경우에는 곡면인 메니스커스(meniscus) 형상을 하고 있어야 한다. 메니스커스 형상을 유지하기 위해서는 노즐부(22)의 외부 압력에 대해 소정의 허용범위(이하, 제 2허용범위라 한다.) 내에서 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 미세하게 낮도록 양 압력간의 차이가 나야 한다. 본 실시예에서 노즐부(22)의 외부 압력은 노즐부(22)를 수용하는 챔버(30)의 내부 압력이다.
만일 제 2허용범위를 벗어나 노즐부(22)의 외부 압력보다 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 너무 낮으면 노즐부(22)로부터 본체부(21)로 잉크(45)가 밀려들어가 노즐부(22)가 말라버리게 되며, 노즐부(22)의 외부 압력보다 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 높으면 잉크(45)가 외부로 토출되게 되어 챔버를 오염시킬 수 있다.
한편, 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출해야 하는 경우에는 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 형상은 (b)와 같아야 된다. (b)의 형상은 노즐부(22)의 외부 압력에 대해 소정의 허용범위(이하, 제 1허용범위라 한다.) 내에서 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 일정정도 높도록 양 압력간의 차이가 나야 한다. 만일 제 1허용범위를 벗어나 노즐부(22)의 외부 압력보다 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 너무 높으면 과도한 잉크(45)가 제조 중인 표시장치(100)에 토출되어 프린팅의 정밀도가 떨어지게 되며, 노즐부(22)의 외부 압력보다 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 높기는 하나 미세한 정도인 경우에는 노즐부(22)로부터 잉크(45)가 제대로 토출되지 않는 문제점이 생기게 된다.
따라서, 노즐부(22)의 외부 압력이 시간에 따라 변한다면, 잉크(45)가 토출되지 않는 경우에 노즐부(22) 내부에서 잉크(45)가 메니스커스 형상 유지하고, 잉크(45)가 토출되는 경우에 적량의 잉크(45)를 토출하도록 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력도 외부 압력의 변화에 대응하여 양 압력의 차이가 제 1허용범위 또는 제 2허용범위 내에 들어가기 위해 낮거나 높도록 변해야 한다. 이를 위해 본 발명인 표시장치의 제조장치는 압력조절부(50)를 구비하고 있으며 후술한다.
본체부(21)의 일측에는 노즐부(22)에 연결되어 노즐부(22) 내부의 잉크 압력을 측정하는 제 1압력센서(71)가 부착되어 있다. 제 1압력센서(71)는 노즐부(22) 내부의 잉크 압력을 측정 가능한 곳이면 노즐부(22)에 부착되는 것도 가능하며 후술할 잉크공급부(40)에 부착되어도 무방하다.
안착부(10) 및 제팅 부재(20)는 개폐 가능한 챔버(30)에 수용되어 있다.
챔버(30)의 일측은 잉크 공급부(40)의 일부인 잉크공급라인(43)이 관통하고 있다. 잉크 공급부(40)는 챔버(30)의 외부에 마련되어 있으며 잉크공급라인(43)을 통해 제팅 부재(20)에 공급되는 잉크(45)가 저장되어 있는 잉크 저장부(41)를 포함하고 있다. 본 실시예와 달리 잉크 공급부(40)는 챔버(30) 내부에 수용되어 있어도 무방하다.
잉크 저장부(41)의 상부에는 연결관(52)에 의해 압력조절부(50)가 잉크 저장부(41)에 연결되어 있다. 압력조절부(50)는 제어부(80)의 제어신호에 따라 잉크 저 장부(41)에 기체를 주입하거나 주입된 기체를 배출시켜 잉크 저장부(41)에 저장되어 있는 잉크(45)를 가압하거나 감압한다. 이를 통해 잉크 공급부(40)와 연결되어 있는 제팅 부재(20)의 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력을 간접적으로 조절한다. 따라서 챔버(30)의 내부 압력이 변하더라도 노즐부(22) 내부의 잉크(45)가 메니스커스 형상을 유지할 수 있게 되며, 필요에 따라 노즐부(22)가 적량의 잉크(45)를 토출할 수 있게 된다.
챔버(30)의 타면에는 격리된 챔버(30) 내의 기체를 제거하는 기체배출부재(60)가 연결되어 있으며, 챔버(30)의 내부 압력 변화를 지속적으로 측정하는 제 2압력 센서(73)가 부착되어 있다.
기체배출부재(60)는 기체 배출을 위한 펌프(61)와 펌프(61)의 작동에 의해 기체가 챔버(30)로부터 빠져나가는 통로인 배출관(63)으로 이루어져 있다.
제 2압력센서(73)는 챔버(30)의 내부 압력 변화를 측정할 수 있는 곳이면 어디에 부착되더라도 무방하다.
도 1에는 도시하지 않았으나 표시장치의 제조장치는 제 1압력센서(71) 및 제 2압력센서(73)로부터 각각 전달받은 압력 측정 결과를 바탕으로 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출하지 않는 경우에는 계속적으로 노즐부(22) 내부의 잉크면이 메니스커스 형상을 유지하도록 하며, 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출하는 경우에는 적량의 잉크(45)가 토출되도록 하기 위해 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력을 조절하는 압력조절부(50)를 제어하는 제어부(80)를 더 포함하고 있다.
상기의 구성을 가지는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치에 의하 면, 챔버(30)의 개폐 및 기체배출부재(60)의 작동에 의해 노즐부(22) 외부의 압력인 챔버(30) 내부 압력이 변하더라도 이에 대응하여 압력조절부(50)가 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 변화되도록 적절히 조절할 수 있다. 이를 통해 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출하지 않는 경우에는 계속적으로 노즐부(22) 내부의 잉크면이 메니스커스 형상을 유지할 수 있으며, 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출하는 경우에는 적량의 잉크(45)가 토출될 수 있어 노즐부(22)의 적정 상태 유지가 가능하고 잉크젯 프린팅의 정밀도를 높일 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 제어방법을 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다. 도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 제어블록도 및 제어흐름도이다.
본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 제어방법은 먼저, 제조 중인 표시장치(100)가 수용되어 있는 챔버(30)의 내부 압력과 표시장치(100)에 잉크(45)를 토출하는 적어도 하나의 노즐부(22)를 포함하는 제팅 부재(20) 내의 잉크(45) 압력의 차이를 측정하는 단계에서 출발한다(S100).
시간에 따라 지속적으로 변화되는 챔버(30)의 내부 압력은 챔버(30)의 일측에 부착되어 내부 압력 변화를 지속적으로 측정하는 제 2압력 센서(73)에 의해 이루어진다. 한편, 제팅 부재(20)의 노즐부(22) 내의 잉크(45) 압력 측정은 제팅 부재(20)에 부착되어 있는 제 1압력센서(71)에 의해 측정된다. 제 1압력센서(71) 및 제 2압력 센서(73)에 의해 측정된 잉크(45) 압력 및 챔버(30)의 내부 압력에 대한 정보는 제어부(80)에 전달되게 된다.
제 1압력센서(71) 및 제 2압력센서(73)에 의해 측정된 잉크(45) 압력 및 챔버(30)의 내부 압력에 대한 정보를 전달 받은 제어부(80)는 제팅 부재(20)가 토출 작업을 진행 중인지 여부를 판단한다(S200). 토출 작업 진행 중 여부 판단은 상기 압력 차이를 측정하는 단계(S100)전에 이루어져도 무방하다.
제팅 부재(20)가 잉크(45)를 토출 중인 경우에는, 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력과 챔버(30)의 내부 압력의 차이가 적량의 잉크(45) 토출을 위한 제 1허용범위 이내인지를 제어부(80)가 판단한다(S300).
제 1허용범위는 제어부(80)에 이미 저장되어 있거나 제어부(80)와는 별도의 메모리부(미도시)에 저장되어 있을 수 있다.
판단 결과 제 1허용범위를 벗어난 경우 잉크(45) 압력을 조절함으로써 양 압력간의 차이를 조절한다(S400).
이를 자세히 살펴보면, 제어부(80)의 판단 결과 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력과 챔버(30)의 내부 압력의 차이가 적량의 잉크(45) 토출을 위한 제 1허용범위를 벗어난 경우에는 제어부(80)는 압력조절부(50)에 잉크(45) 압력을 조절하도록 제어신호를 보낸다.
제어부(80)로부터 제어신호를 전달 받은 압력조절부(50)는 제어신호에 따라 잉크저장부(41)에 기체를 주입하거나 주입된 기체를 배출시켜 잉크 저장부(41)에 저장되어 있는 잉크(45)를 가압하거나 감압함으로써, 잉크공급부(40)에 연결되어 있는 제팅 부재(20)의 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력을 간접적으로 조절한다. 이를 통해 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력과 챔버(30)의 내부 압력의 차이가 적 량의 잉크(45) 토출을 위한 제 1허용범위 내에 있도록 함으로써 챔버(30)의 내부 압력이 변하더라도 노즐부(22)가 적량의 잉크(45)를 토출할 수 있게 된다.
한편, 제팅 부재(20)가 토출 작업을 진행 중인지 여부를 판단(S200) 한 결과, 잉크(45)가 토출 중이 아닌 경우에는 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력과 챔버(30)의 내부 압력의 차이가 노즐부(22) 내부의 잉크(45)가 메니스커스 형상을 유지하기 위한 제 2허용범위 이내인지를 제어부(80)가 판단한다(S310).
제 2허용범위는 제어부(80)에 이미 저장되어 있거나 제어부(80)와는 별도의 메모리부(미도시)에 저장되어 있을 수 있다.
판단 결과 소정의 제 2허용범위를 벗어난 경우 잉크(45) 압력을 조절함으로써 양 압력간의 차이를 조절한다(S410).
이를 자세히 살펴보면, 제어부(80)의 판단 결과 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력과 챔버(30)의 내부 압력의 차이가 노즐부(22) 내부의 잉크(45)가 메니스커스 형상을 유지하기 위한 제 2허용범위를 벗어난 경우에는 제어부(80)는 압력조절부(50)에 잉크(45) 압력을 조절하도록 제어신호를 보낸다.
제어부(80)로부터 제어신호를 전달 받은 압력조절부(50)는 제어신호에 따라 잉크 저장부(41)에 기체를 주입하거나 주입된 기체를 배출시켜 잉크 저장부(41)에 저장되어 있는 잉크(45)를 가압하거나 감압함으로써, 잉크공급부(40)에 연결되어 있는 제팅 부재(20)의 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력을 간접적으로 조절한다. 이를 통해 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력과 챔버(30)의 내부 압력의 차이가 노즐부(22) 내부의 잉크(45)가 메니스커스 형상을 유지하기 위한 제 2허용범위 내에 있도록 함으로써 챔버(30)의 내부 압력이 변하더라도 노즐부(22) 내부의 잉크(45)가 메니스커스 형상을 계속 유지 할 수 있게 된다.
본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조장치의 제어방법에 의하면, 챔버(30)의 개폐 및 기체배출부재(60)의 작동에 의해 노즐부(22) 외부의 압력인 챔버(30) 내부 압력이 변하더라도 이에 대응하여 압력조절부(50)가 노즐부(22) 내부의 잉크(45) 압력이 변화되도록 적절히 조절할 수 있다. 이를 통해 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출되지 않는 경우에는 계속적으로 노즐부(22) 내부의 잉크면이 메니스커스 형상을 유지할 수 있으며, 노즐부(22)가 잉크(45)를 토출하는 경우에는 적량의 잉크(45)가 토출될 수 있어, 노즐부의 적정 상태 유지가 가능하고 잉크젯 프린팅의 정밀도를 높일 수 있다.
상기 실시예는 다양하게 변형가능하다. 본 발명의 상기의 실시예에서 제조되는 표시장치는 OLED이나, 잉크젯 프린팅방법을 사용하여 제조되는 컬러필터층을 포함하는 액정표시장치 또는 잉크젯 방법으로 유기 반도체층이 형성되는 모든 표시장치의 제조에도 적용 가능함은 물론이다.
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 챔버 내부의 압력에 변화에 대응 하여 제팅 부재의 노즐부 내부의 잉크압력을 적절히 조절할 수 있는 표시장치의 제조장치 및 그 제어방법이 제공된다.

Claims (12)

  1. 제조 중인 표시장치가 안착되는 안착부와;
    상기 안착부의 상부에 위치하며 상기 표시장치에 잉크를 토출하는 적어도 하나의 노즐부를 포함하는 제팅 부재와;
    상기 안착부 및 상기 제팅 부재를 수용하는 챔버와;
    상기 제팅 부재에 상기 잉크를 공급하는 잉크 공급부와;
    상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 측정하는 제 1압력 센서와;
    상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 조절하는 압력조절부와;
    상기 챔버의 내부 압력을 측정하는 제 2압력 센서와;
    상기 제 1압력 센서 및 상기 제 2압력 센서로부터 각각 전달받은 압력 측정 결과를 바탕으로 상기 잉크 압력을 조절하도록 상기 압력조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 노즐부 내부의 상기 잉크가 메니스커스(meniscus) 형상을 유지하도록 상기 압력조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 제팅 부재가 적량의 상기 잉크를 토출하도록 상기 압력조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에 존재하는 기체를 외부로 배출하는 기체배출부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 잉크공급부는 상기 챔버의 외부에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 잉크공급부는,
    상기 잉크를 저장하는 잉크 저장부와;
    상기 잉크 저장부로부터 상기 제팅 부재로 상기 잉크를 공급하는 잉크 공급라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 압력조절부는 상기 잉크 저장부에 연결되어 있으며, 상기 잉크 저장부내의 압력을 조절함으로써 상기 제팅 부재 내의 상기 잉크 압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치.
  8. 제조 중인 표시장치가 수용되어 있는 챔버의 내부 압력과 상기 표시장치에 잉크를 토출하는 적어도 하나의 노즐부를 포함하는 제팅 부재 내의 잉크 압력의 차이를 측정하는 단계와;
    상기 압력의 차이가 소정의 허용범위 이내인지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 판단결과 상기 소정의 허용범위를 벗어난 경우 상기 압력 차이를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치의 제어방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 허용범위 이내인지 여부를 판단하는 단계 전에,
    상기 제팅 부재의 상기 잉크가 토출 중인지 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치의 제어방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 잉크의 토출 중인지 여부의 판단 결과 상기 잉크가 토출 중인 경우,
    상기 소정의 허용범위는 상기 제팅 부재가 적량의 상기 잉크를 상기 표시장치용 기판에 토출하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치의 제어방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 잉크 토출 여부의 판단 결과 상기 잉크가 토출 중이 아닌 경우,
    상기 소정의 허용범위는 상기 노즐부 내부의 상기 잉크가 메니스커스(meniscus) 형상을 유지하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치의 제어방법.
  12. 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 압력 차이의 조절은 상기 잉크 압력을 조절함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조장치의 제어방법.
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