KR20070054938A - 선 격자 편광자 제조 방법 - Google Patents

선 격자 편광자 제조 방법 Download PDF

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KR20070054938A
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이상훈
이기동
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 액정 디스플레이(LCD)에 사용되는 선 격자 편광자에 관한 것으로서, 종래의 선 격자 편광자를 제조하기 위한 마스터 스탬프가 제작방식상 가격이 고가인데다가, 스탬핑 작업시 열과 압력으로 인하여 쉽게 마모가 일어나고 자주 교체해야 하는 등의 단점이 있었는데, 이러한 단점을 극복하기 위해, 기존의 마스터 스탬프와 동일한 형상으로 만들어진 복제 스탬프를 이용하기 때문에, 종래에 비해서 비용이 저렴하고, 이와 같은 복제 스탬프를 통한 격자 패턴을 제작하는 과정에서도 열과 압력에 의한 스탬핑 방식이 아닌, 자외선(UV) 경화형 레진막을 통해 경화시켜 제작하기 때문에, 스탬프의 마모 및 오염을 줄일 수 있고, 저렴한 비용으로 선 격자 편광자를 제조할 수 있는 방법을 제공한다.
격자, 편광자, 반사형, 스탬프, LCD, 고휘도, 레진

Description

선 격자 편광자 제조 방법{Method Of Fabricating Wire Grid Polarizer}
도 1은 일반적인 선 격자 편광자를 나타낸 단면도.
도 2는 일반적인 액정 디스플레이(LCD)에서 선 격자 편광자가 휘도를 향상시키는 원리를 설명하기 위한 개략적인 도면.
도 3은 본 발명의 제조방법에 따른 선 격자 편광자의 원리를 설명하기 위한 도면.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 선 격자 편광자 제조방법에 따른 바람직한 일 실시 예를 개략적으로 나타낸 단면도
<도면의 주요부분에 대한 설명>
100. 투명 기판 110. 돌출부
120. 메탈
200. 마스터 스탬프 210. 돌출부
220, 225. 제 1 레진막 221. 홈
230. 복제 스탬프용 기판 240, 245. 제 2 레진막
241. 복제된 돌출부 250. 선 격자 편광자용 기판
260. 메탈
300. 복제 스탬프
400. 선 격자 편광자
본 발명은 액정 디스플레이에 관한 것으로서, 특히, 선 격자 편광자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
액정 디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD)는 두 개의 편광판 사이에 위치하는 액정 패널에서 각 픽셀(pixel)에 전기 신호를 인가하여 액정의 배열을 변경시킴으로써 빛을 투과시키거나 차단하는 소자이다.
이러한 LCD는 현재 휴대전화, 노트북, 모니터 및 TV에 이르기까지 광범위하게 사용되고 있다.
LCD를 동작시키기 위해서는 일정한 광원이 필요하며 광원의 사용 방식에 따라 반사형, 투과형, 반투과형으로 구분할 수 있다.
LCD에 사용되는 광원으로는 일반적으로 백라이트 유닛(Back Light Unit, BLU)이 사용되는데, 백라이트 유닛은 형광등, 발광 다이오드(Light Emitting Diode, LED) 등의 램프와, 상기 램프에서 나온 빛을 LCD 패널 전면에 고르게 보내주기 위한 도광판, 확산 쉬트, 프리즘 쉬트 등으로 구성된다.
상기한 BLU에 있어서, 램프로부터 출발한 빛은 도광판, 확산 쉬트, 프리즘 쉬트 등을 거치는 동안 상당한 부분이 손실된다.
더구나 LCD패널의 전면과 후면에 위치한 편광판은 흡수형이므로 LCD패널로 향하는 빛의 50%를 흡수한다.
따라서, 실제 디스플레이에서 사용자가 보게 되는 빛은 램프로부터 나온 빛의 10%이하의 빛만을 보게 되는 것이다.
이러한 낮은 광 이용 효율을 향상시키고, 휘도를 증가시키기 위한 기술로 3M사의 DBEF(Dual Brightness Enhancement Film)가 있다.
상기 DBEF는 다층의 고분자 박막 형태의 반사형 편광판으로서, 투과형 LCD의 경우 백라이트 유닛과 LCD패널 사이에 위치하여 휘도를 60%까지 증가시킬 수 있다.
그러나, 상기 DBEF는 광학적으로 이방성인 고분자막과 등방성인 고분자막을 교차하여 다층으로 제작하기 때문에 가격이 비싸고, 제조 공정이 복잡하다는 문제점이 있다.
이에 따라, LCD의 광 이용 효율을 높이기 위해 선 격자 편광자(Wire Grid Polarizer)를 사용하여 LCD 휘도를 증가시키려는 연구가 진행되고 있다.
이하, 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 일반적인 선 격자 편광자에 대해 설명한다.
도 1은 일반적인 선 격자 편광자를 나타낸 단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 투명한 기판(10) 상부에 금속 격자(11)들이 일정한 주기를 가지고 평행하게 배열되어 있다.
이와 같이 구성된 선 격자 편광자에 있어서, 상기 금속 격자(11)들의 주기가 입사되는 전자기파의 반 파장보다 짧을 경우, 상기 선 격자 편광자에 입사하는 빛 중 상기 금속 격자(11)와 평행한 편광을 가지는 S 편광의 빛은 반사되고, 상기 금속 격자(11)에 수직한 편광을 가지는 P 편광의 빛은 투과한다.
참고로, 반사율이 좋은 금속이라고 하더라도 입사하는 빛 중에서 90 ~ 95%만을 반사시킬 수 있으며, 평면 유리라 해도 표면 반사 때문에 입사광을 100% 투과시키지는 못한다.
일반적으로, 선 격자 편광자의 성능은 편광 소멸비(polarization extinction ratio)와 투과율로써 나타낼 수 있는데, 편광 소멸비는 S 편광의 빛이 입사할 경우에 입사되는 S 파(Si)와 투과되는 S 파(St)의 광 출력(optical power)비를 나타내고, 투과율은 P 편광의 빛이 입사할 경우에 투과되는 P 파(Pt)와 입사되는 P 파(Pi)의 광 출력비를 나타낸다.
즉, 상기 편광 소멸비와 투과율이 높을수록 선 격자 편광자는 상기 금속 격자(11)에 평행한 편광을 가지는 S 편광의 빛은 더 잘 반사하고, 상기 금속 격자(11)에 수직한 편광을 가지는 P 편광의 빛은 더 잘 투과시키게 된다.
한편, 선 격자 편광자가 높은 편광 소멸비와 투과율을 가지기 위해서는, 상기 금속 격자(11)의 주기가 입사하는 광의 파장에 비해 상당히 짧아야 한다는 전제 조건이 있다.
그런데, 상기 금속 격자(11)의 주기를 짧게 할수록 선 격자 편광자의 제작이 어려워지기 때문에, 선 격자 편광자는 주로 마이크로파 또는 적외선 영역에서 제작되어 사용되어 왔다.
그리고, 반도체 제조 장비와 노광 기술의 발달로 미세 패턴 제작이 가능해짐에 따라 가시광선에서 동작하는 선 격자 편광자의 제작이 가능해지고 있다.
도 2는 일반적인 액정 디스플레이(LCD)에서 선 격자 편광자가 휘도를 향상시키는 원리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
일반적으로 백라이트 유닛의 광원에서 나온 빛 중에서 P1 편광의 빛은 LCD패널을 투과하지만, P2 편광의 빛은 LCD패널의 후면 편광판에 흡수된다.
이때, P1 편광의 빛은 LCD 패널을 투과하는 편광의 빛을 말하고, P2 편광의 빛은 LCD패널의 후면 편광판에서 흡수되는 편광의 빛을 말한다.
그러나, 도면에 도시된 바와 같이 선 격자 편광자를 상기 백라이트 유닛과 상기 LCD 패널 사이에 위치시키는 경우, 백라이트 유닛(20)에서 나온 빛 중 P1 편광의 빛은 선 격자 편광자(21)와 LCD 패널(22)을 투과하지만, P2 편광의 빛은 선 격자 편광자(21)에 의해 반사되어 다시 백라이트 유닛(20)으로 돌아가게 된다.
백라이트 유닛(20)으로 들어간 빛은 백라이트 유닛(20)의 최하부에 위치한 반사판(미도시)에서 반사되어 다시 전면을 향하여 나오게 되는데, 반사판, 도광판, 확산 쉬트, 프리즘 쉬트 등을 거치면서 다시 무작위(Random)의 편광 성분을 갖게 된다.
그리고, 이 중에서 P1 편광의 빛은 다시 선 격자 편광자(21)와 LCD 패널(22)을 투과하고, P2 편광의 빛은 상기 선 격자 편광자(21)에서 반사되어 다시 백라이트 유닛(20)으로 돌아가게 되는데, 이와 같은 과정을 반복하면서 많은 양의 빛이 LCD 패널을 투과하게 된다.
즉, 백라이트 유닛의 광원에서 나온 빛 중 P2 편광의 빛은 기존의 LCD에서는 버려지는 빛이었으나, 선 격자 편광자(21)를 도입함으로써 P2 편광의 빛을 재활용할 수 있으며, 그로 인해 LCD의 휘도를 향상시킬 수 있는 것이다.
한편, 기존의 선 격자 편광자의 격자 패턴은 스텝퍼(Stepper)라는 자외선 노광 반도체 장비를 이용하여 만들어진 마스터 스탬프를 통해 스탬핑(Stamping) 하여 제조하였는데, 고가의 반도체 장비를 이용하는 제작방식상 마스터 스탬프의 가격이 비싸고, 스탬핑(Stamping) 공정 시 열과 압력으로 인해 스탬프의 마모 및 오염이 심하여 마스터 스탬프를 자주 교체해야 하는 문제점이 있었다.
이를 보완하기 위해서, 마스터 스탬프를 대신하여 상대적으로 저렴한 복제 스탬프를 이용하는 방법이 나오게 되었는데, 먼저, 마스터 스탬프는 통상적으로, Si, SiO2 위에 포토레지스트를 도포하여 노광 후에 식각 공정 등을 통하여 제작한다.
그리고, 이와 같은 마스터 스탬프를 이용하여 복제 성형을 하기 위해서 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 원판에 부은 후, 열 경화를 하고, 이형을 하면, 복제 스탬프 제작이 가능하다.
이와 같이, PDMS 복제 스탬프를 제작하면 고분자 특유의 연성이 패턴을 성형하고자 하는 면과 잘 접촉할 수 있게 되어 일반적인 패턴을 제작하는 데는 유용하다는 장점이 있지만, 패턴 폭이 200nm 이하이면서 100nm 이상의 미세 패턴을 복제하고자 할 때는 어려움이 있어서, 패턴(격자) 주기가 가시광선 파장의 절반 이하일 때 편광 소멸비와 투과율이 좋은 선 격자 편광자를 제작하는 데는 적합하지가 않다는 문제점이 있었다.
이와 같은 종래 기술의 문제점을 극복하기 위해서, 본 발명은, 종래의 마스터 스탬프와 동일한 형상으로 비용이 저렴하고, 레진을 이용한 복제 스탬프 제조 과정을 도입하여, 교체시에도 부담이 없는 선 격자 편광자의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 상기한 바와 같이 만들어진 복제 스탬프에 레진막을 덮고, 자외선(UV)으로 경화하는 방식으로 격자 패턴을 제조함으로써, 종래와 같은 스탬프의 마모 및 오염이 잘 일어나지 않으며, 따라서, 선 격자 패턴을 만들기 위한 스탬프를 반복하여 여러번 사용할 수 있는 선 격자 편광자의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 선 격자 편광자 제조방법은, 상호 이격된 복수개의 돌출부를 갖는 마스터 스탬프에 돌출부를 감싸는 제 1 레진막을 형성하고, 형성된 제 1 레진막 상부에 복제 스탬프용 기판을 부착시키는 단계; 제 1 레진막을 경화시키고, 제 1 레진막에 마스터 스탬프를 이탈시켜, 마스터 스탬프의 형상과 반대되는 형상의 홈을 형성하는 단계; 홈이 형성된 제 1 레진막 상부를 덮는 제 2 레진막을 형성하고, 형성된 제 2 레진막 상부에 선 격자 편광자용 기판을 부착시키는 단계; 제 2 레진막을 경화시키고, 제 1 레진막을 이탈시켜, 제 2 레진막에 마스터 스탬프와 같은 형상으로 상호 이격된 복수개의 돌출부를 형성시키는 단계 및; 제 2 레진막의 상호 이격된 복수개의 돌출부 각각의 측 상부 면에 메탈을 경사 증착시키는 단계를 포함한다.
일반적으로, 선 격자 편광자는 다양한 재질의 기판, 다양한 형태의 돌출부 구조, 즉, 선 격자 구조를 가질 수 있다.
선 격자를 이루는 물질은 가시 광선에서 반사율이 좋은 알루미늄, 은 등이 대표적으로 사용될 수 있으며, 꼭 여기에 한정되는 것은 아니다.
또한, 선 격자의 보호를 위해 보호막을 형성할 수도 있다.
그러므로, 한쪽 방향으로 일정한 주기를 갖고 길게 늘어선 선 격자를 형성한 것은 모두 사용될 수 있다.
단, 선 격자 편광자를 만들 때 중요한 점은, 선 격자의 주기가 사용하는 광 원의 파장의 절반 이하로 형성되어야 하며, LCD는 사람의 육안으로 영상 등을 보기 위한 장치인 만큼, 그 선 격자의 주기는 가시광선 파장의 절반 이하인 220nm이하가 되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 선 격자 편광자의 원리와 바람직한 제조방법의 일 실시 예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 제조방법에 따른 선 격자 편광자의 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 선 격자 편광자는, 투명기판(100) 상부에 고분자 물질로 이루어진 단면이 삼각형 형상의 돌출부(110)가 복수 개 구비되고, 상기 복수개의 돌출부(110) 측 상부 면에는 메탈(120)이 경사 증착 방법을 통해 형성되어 있다.
앞에서 언급한 바와 같이, 선 격자 편광자가 높은 편광 소멸비와 투과율을 가지기 위해서는 격자의 주기가 입사하는 광의 파장에 비해 상당히 짧아야 한다.
그러므로, 같은 파장의 입사광이라면, 상기 돌출부(110) 측 상부 면에 증착된 메탈(120)의 간격이 작으면 작을수록 선 격자 편광자의 편광 소멸비와 투과율을 향상시킬 수 있다는 말과 동일하다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 선 격자 편광자 제조방법에 따른 바람직한 일 실시 예를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 4a는 상호 이격된 복수개의 돌출부(210)를 갖는 마스터 스탬프(200)에 상기 돌출부를 감싸는 제 1 레진막(220)을 형성하고, 형성된 제 1 레진막(220) 상부에 복제 스탬프용 기판(230)을 부착시키기 위한 준비 단계를 나타낸다.
종래의 마스터 스탬프가 선 격자 편광자를 스탬핑(Stamping)하기 위한 형상인 것과 달리, 여기서 상기 마스터 스탬프(200)는 도면에 도시된 바와 같이, 그 자체가 만들고자 하는 선 격자 편광자 형상을 본 뜬 것으로써, 종래의 마스터 스탬프와 동일한 형상의 복제 스탬프를 만들기 위한 형상이라는 점을 유의해야 한다.
상기 마스터 스탬프(200)는 실리콘(Si) 또는 실리콘 산화막(SiO2)로 형성되어진 것이 바람직하다.
그리고, 상기 복수개의 돌출부(210)들 각각은 도면에 도시된 바와 같이, 단면의 형상은 하단이 넓고, 상단으로 올라갈수록 좁아지는 삼각형 형상이며, 주기적으로 이격되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 마스터 스탬프에서 상호 이격된 복수개의 돌출부(210)가 형성되어 있는 면에 제 1 레진막(220)을 도포하기 전에, 이형성을 높이기 위해서, 표면 처리를 하는 것이 좋다.
이때, 표면 처리는 프롤린 계열 물질을 SAM(Self Assembled Monolayer) 처리하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 제 1 레진막(220)은 자외선(UV) 경화형 고분자로써, 수축율이 적고, 나노 패턴 형성이 잘 되는 물질이고, 후공정에서 복제 스탬프로 사용하기 위해서, 이형성이 좋은 물성인 것이 바람직하다.
이와 같은 상기 제 1 레진막(220)을 이루는 물질의 예로써, MINS-LE01(미뉴타텍) 또는 Ormocer(Micro Resist Technology)와 같은 물질을 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 복제 스탬프용 기판(230)은 상기 제 1 레진막(220)과 접착성이 좋은 물질이라면 어떠한 재료이든 사용할 수 있다.
도 4b는 제 1 레진막(220)을 경화시키고, 마스터 스탬프(200)를 이탈시켜, 제 1 레진막(225)에 마스터 스탬프(200)의 형상과 반대되는 형상의 홈(221)을 형성하는 단계를 나타낸다.
도면에 도시된 바와 같이, 도 4a에서 만들어진 구조물을 UV 경화시키면, 제 1 레진막(220)에 마스터 스탬프의 반대형상, 즉, 상호 이격된 복수개의 돌출부 형상이 아닌 상호 이격된 복수개의 홈(221) 형상이 형성되고, 상기 마스터 스탬프(200)를 이탈시키면, 상호 이격된 복수개의 홈(221)이 형성된 제 1 레진막(225)을 갖는 복제 스탬프(300)가 만들어진다.
도 4c는 복제 스탬프(300)에서 경화된 제 1 레진막(225)을 표면처리시키는 단계를 나타낸다.
이와 같은 표면 처리는, 앞에서 마스터 스탬프의 경우와 마찬가지로 복제 스탬프(300)를 스탬프로서의 이형성을 높이기 위해서 필요한 과정이다.
먼저, O2 플라즈마 처리를 짧은 시간 수행하여 표면 개질을 한 후에, 프롤린(Proline) 계열 물질을 SAM(Self Assembled Monolayer) 처리한 후, 반응을 일으켜서 표면 에너지를 낮추는 방법으로 표면 처리하는 것이 바람직하다.
도 4d는 선 격자 편광자용 기판(250) 상부에 제 2 레진막(240)을 도포하고, 제 2 레진막 상부에 복제 스탬프(300)를 올려놓은 단계를 나타낸다.
바꾸어 말하자면, 홈(221)이 형성된 제 1 레진막(225) 상부를 덮는 제 2 레진막(240)을 형성하고, 형성된 제 2 레진막 상부에 선 격자 편광자용 기판(250)을 부착시키기 위한 단계를 나타낸 것이다.
이때, 상기 선 격자 편광자용 기판(250)은 글래스(Glass) 또는 폴리에틸렌수지(PET)로 이루어진 것이 바람직하다.
다시 말해서, 도 4a에서 설명한 레진 가공 방법과 마찬가지로, 상기 제 2 레진막(240)에 최초의 마스터 스탬프 형상인 상호 이격된 복수개의 돌출부 형상을 형성한다.
여기서, 상기 제 2 레진막(240)을 이루는 물질은 제 1 레진막과 마찬가지로 자외선(UV) 경화형 고분자로써, 수축율이 적고, 나노 패턴 형성이 잘 되는 물질이다.
그 예로써, MINS-LE01(미뉴타텍) 또는 mr-L6000xp(Micro Resist Technology)등의 물질을 사용하는 것이 바람직하다.
그러므로, 여기서 제 2 레진막(240)을 상호 이격된 복수개의 돌출부 형상으로 형성하기 위해서는 자외선(UV)으로 경화시킨다.
도 4e는 제 2 레진막(245)을 경화시키고, 제 1 레진막(225)을 이탈시켜, 마스터 스탬프의 상호 이격된 복수개의 돌출부를 제 2 레진막(245)에 형성시킨 단계를 나타낸다.
도면에 도시된 바와 같이, 경화된 제 2 레진막(245)은 복수개의 돌출부(241)형상으로 경화되어져, 최초의 마스터 스탬프 형상이 그대로 복제되었음을 알 수 있다.
또한, 이와 같은 레진을 이용하여 자외선 경화 방법으로 돌출부 형상, 즉, 격자 패턴을 형성하면, 종래와 같은 열과 압력을 통한 스탬핑에 비해 상대적으로 복제 스탬프의 마모 및 오염을 줄일 수 있고, 사용한 복제 스탬프는 이후에 선 격자 패턴을 형성하기 위해 재사용할 수도 있기 때문에, 매우 경제적이다.
도 4f는 제 2 레진막(245)의 상호 이격된 복수개의 돌출부(241) 각각의 측 상부 면에 메탈(260)을 경사 증착시켜 선 격자 편광자(400)를 최종적으로 완성한 단계를 나타낸다.
이와 같이 복수개의 돌출부들 각각의 측 상부 면에 메탈을 경사 증착시키는 방식을 통해, 돌출부들 사이의 간격, 즉 격자의 주기를 줄이는 효과가 있어서, 선 격자 편광자의 편광 소멸비와 투과율이 높아지며, 이러한 구조를 이용하면 고휘도의 LCD를 구현할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 예에 따른 발명의 구성을 상세히 설명하였지만, 본 발명은 반드시 이러한 실시 예로 국한되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.
본 발명의 선 격자 편광자 제조 방법에 따르면, 종래의 마스터 스탬프와 동일한 형상의 복제 스탬프를 저렴한 비용과 간단한 공정으로 제작하여, 선 격자 편광자를 제작하는데 있어서, 전체적인 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 레진을 이용한 자외선(UV) 경화 방식으로 격자 패턴을 형성하기 때문에, 복제 스탬프의 마모나 오염이 적다.
또한, 본 발명에 따르면, 복제 스탬프를 한번 사용 후에도 다른 격자 패턴을 제작하는데 재사용할 수 있으므로, 다시 복제 스탬프를 제작하기 위한 공정을 수행할 필요없이 공정이 간단해지고, 설령 오랜 사용으로 인해 복제 스탬프의 상태가 불량하여 교체하게 되더라도, 복제 스탬프를 제작하는데 드는 비용이나 공정 면에서 부담이 없다는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 격자들 각각의 측 상부 면에 메탈을 경사 증착하므 로, 격자의 주기를 줄이는 효과가 있기 때문에, 선 격자 편광자의 성능을 나타내는 편광 소멸비와 투과율이 향상되고, 따라서, 이러한 선 격자 편광자를 구비한 LCD의 휘도를 보다 향상시킬 수 있다.

Claims (6)

  1. 상호 이격된 복수개의 돌출부를 갖는 마스터 스탬프에 상기 돌출부를 감싸는 제 1 레진막을 형성하고, 형성된 제 1 레진막 상부에 복제 스탬프용 기판을 부착시키는 단계;
    상기 제 1 레진막을 경화시키고, 상기 마스터 스탬프를 이탈시켜, 상기 제 1 레진막에 마스터 스탬프의 형상과 반대되는 형상의 홈을 형성하는 단계;
    상기 홈이 형성된 제 1 레진막 상부를 덮는 제 2 레진막을 형성하고, 형성된 제 2 레진막 상부에 선 격자 편광자용 기판을 부착시키는 단계;
    상기 제 2 레진막을 경화시키고, 상기 제 1 레진막을 이탈시켜, 상기 제 2 레진막에 상기 마스터 스탬프와 같은 형상으로 상호 이격된 복수개의 돌출부를 형성시키는 단계 및;
    상기 제 2 레진막의 상호 이격된 복수개의 돌출부 각각의 측 상부 면에 메탈을 경사 증착시키는 단계를 포함하는 선 격자 편광자 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 마스터 스탬프는,
    실리콘(Si) 또는 이산화규소(SiO2)로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 선 격자 편광자용 기판은,
    글래스(Glass) 또는 폴리에틸렌 수지(PET)로 이루어진 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 복수개의 돌출부는,
    단면이 삼각형 형상이고, 상호 주기적으로 이격된 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 마스터 스탬프의 상호 이격된 복수개의 돌출부가 있는 면은,
    이형성을 높이기 위해, 플로린 계열 물질로 SAM(Self Assembled Monolayer)처리된 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 홈이 형성된 제 1 레진막 상부를 덮는 제 2 레진막을 형성하기 전에,
    이형성을 높이기 위해, 제 1 레진막 상부에 O2 플라즈마 처리 및 플로린 처 리를 순차적으로 수행하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 선 격자 편광자 제조방법.
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