KR20070054934A - 반도체 제조 설비의 히트 자켓 - Google Patents

반도체 제조 설비의 히트 자켓 Download PDF

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Abstract

본 발명은 잠금 및 풀림 기능의 체결 구조를 갖는 반도체 제조 설비의 히트 자켓에 관한 것이다. 히트 자켓은 질화막 공정에서의 파우더 생성을 억제시키기 위해 챔버에 연결되는 배관 외주면에 설치된다. 히트 자켓은 히트 커버부와, 다수의 온도 센서 및 온도 센서들을 전기적으로 연결하는 전선들을 배관 외주면에 설치하기 위한 다수의 체결 장치들을 구비한다. 본 발명의 체결 장치는 톱니 형상의 상부면을 갖는 제 1 체결부재와, 제 1 체결부재가 삽입되는 체결부와 체결부에 구비되어 제 1 체결부재와 결합 및 해제하는 제 1 및 제 2 버튼을 구비한다. 따라서 본 발명에 의하면, 히트 자켓의 체결 및 해제가 용이하고, 체결 장치를 영구적으로 사용할 수 있다.
반도체 제조 설비, 히트 자켓, 체결 장치, 버튼 방식, 잠금, 풀림

Description

반도체 제조 설비의 히트 자켓{HEAT JACKET FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}
도 1은 일반적인 확산 공정 설비의 일부 구성을 도시한 도면;
도 2는 도 1에 도시된 확산 공정 설비의 구성을 나타내는 블럭도;
도 3은 본 발명에 따른 확산 공정 설비의 일부 구성을 도시한 도면; 그리고
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 히트 자켓의 체결 구조를 나타내는 단면도들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 반도체 제조 설비 102 : 배관
104 : 히트 커버부 110 : 히트 자켓
112 : 제 1 버튼 112a : 이탈 방지 돌기
114 : 제 2 버튼 114a, 114b : 이탈 방지 돌기
116 : 제 1 체결부재 118 : 제 2 체결부재
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제 조 설비의 챔버 등에 연결되는 배관의 온도를 일정하게 유지시키는 히트 자켓(heat jacket)의 체결 구조에 관한 것이다.
일반적으로 증착 공정, 건식 식각 공정 또는 확산 공정 등의 반도체 제조 설비는 챔버와 연결되어 챔버로 공정 가스를 공급 및 배기하는 배관 내부에 공정 가스의 압력 및 온도 변화에 의하여 부산물이 발생되는 경우가 빈번하다. 이러한 부산물은 챔버와 연결된 다른 장치들(예를 들어, 펌프, 밸브 등)의 동작 및 성능을 저하시키는 요인이 된다.
배관 내부의 부산물이 발생되는 것을 방지하기 위하여, 일반적으로 반도체 제조 설비는 챔버와 연결된 배관에 열을 가하여 배관 내부를 일정 온도로 유지시키는 히트 자켓을 구비한다. 히트 자켓은 예를 들어, 열의 방출을 방지하도록 배관을 감싸는 커버와, 온도를 감지 및 조절하기 위한 센서 및 컨트롤러 등을 포함한다. 그리고 이들을 배관 외주면에 고정, 설치하는 다수의 체결 장치들을 구비한다.
그러나 일반적으로 히트 자켓의 체결 장치는 띠 형상의 체결부재에 양단에 똑닥이 버튼을 구비하여 히트 커버와, 온도 센서들 및 전선들을 고정한다.
예를 들어, 도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 반도체 제조 설비 중 확산(diffusion) 공정 설비(10)에서 사용되는 히트 자켓(heat jacket)(6)은 질화막(nitride) 공정에서의 설비 특성상 파우더(powder)를 억제시키기 위해 사용된다. 이 때, 히트 자켓(10)은 챔버(2) 일측의 배관(4)에 다수의 똑닥이 버튼(8)을 이용하여 체결된다. 또온도 판독을 위해 온도 센서(12, 14) 예를 들어, 히트 자켓용 열전대(T/C : Themo Couple)을 이용하여 온도를 감지하고 감지된 정보(16)를 컨트롤 러(18)로 전송함으로써, 히트 자켓(6)의 온도를 제어 및 감지하게 된다.
이러한 히트 자켓(6)은 띠 형태의 체결부재재 양단에 복수 개의 똑닥이 버튼(8)들로 체결되어 있어 엔지니어가 작업 시, 띠가 쉽게 파손되거나 띠의 길이가 짧아 세팅시 체결이 완벽하게 되지 않거나 떨어져 나가는 등의 현상이 발생된다. 또한 이러한 히트 자켓(6)의 체결 구조는 열전대(12, 14)와, 열전대(12, 14)를 전기적으로 연결하는 전선 등을 함께 히트 자켓과 함께 체결시키는데, 똑닥이 버튼이 풀리거나 하여 완벽하게 체결되지 않는 문제가 발생된다.
상술한 바와 같이, 반도체 제조 설비는 챔버와, 챔버에 공급된 공정 가스를 배출하는 배관과, 배관의 외주면에 설치되어 배관의 온도를 일정하게 유지시키는 히트 자켓을 포함한다. 그러나 챔버와 배관의 온도차로 인하여 배관 내부 표면에 공정 가스가 증착되어 파우더가 생성된다. 이러한 파우더는 공정에서의 파티클 소스가 된다.
본 발명의 목적은 반도체 제조 설비의 견고한 체결 구조를 갖는 히트 자켓을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 잠김 및 열림 기능이 용이한 반도체 제조 설비의 히트 자켓을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 반도체 제조 설비의 히트 자켓은 톱니 형태의 제 1 체결부재와 잠김 및 풀림 기능을 활성화시키는 다수의 버튼들을 갖는 제 2 체 결부재를 포함하는 체결 장치를 구비하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 히트 자켓은 체결이 견고하고 잠김 및 풀림 기능을 용이하도록 하게 한다.
본 발명의 히트 자켓은, 상기 반도체 제조 설비의 배관 외주면에 설치되어, 상기 배관 내부를 일정 온도로 유지시키는 히트 커버부와; 상기 히트 커버부 표면 상부에 구비되는 다수의 온도 센서 및; 잠금 및 풀림 기능을 활성화시키는 제 1 및 제 2 버튼을 구비하여 상기 히트 커버부와 상기 온도 센서를 상기 배관 외주면에 설치되도록 체결하는 복수 개의 체결 장치들을 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 체결 장치는; 상기 히트 커버부의 일측에 다수 개가 구비되고, 상부면이 돌출된 톱니 형상과, 그리고 하부면이 평면인 제 1 체결부재 및, 상기 히트 커버부의 타측에 상기 제 1 체결부재에 대응하여 다수가 구비되며, 상기 제 1 체결부재가 삽입되어 상기 톱니 사이에 상기 제 1 버튼이 걸려서 잠겨지고, 상기 제 2 버튼을 눌러서 상기 제 1 버튼이 상기 톱니 사이에서 풀리는 제 2 체결부재를 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 제 1 체결부재는 띠 형상으로 구비되며, 또한 상기 제 2 체결부재는; 상기 제 1 체결부재가 삽입되는 체결부와, 상기 체결부 상단에 구비되어 상기 체결부에 삽입된 상기 제 1 체결부재가 결합이 해제되도록 하는 제 1 버튼 및, 상기 체결부 하단에 구비되고 상기 제 1 체결부재가 상기 체결부에 삽입되어 상기 톱니 사이에 상기 체결부 일측이 걸려서 잠그도록 하는 제 2 버튼을 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 제 1 및 상기 제 2 버튼은 각각 상기 체결부로부 터 외부로 이탈되는 것을 방지하는 돌기들을 구비한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 반도체 제조 설비의 히트 자켓은, 상기 반도체 제조 설비의 배관 외주면에 설치되어, 상기 배관을 일정 온도로 유지시키는 히트 커버부와; 상기 히트 커버부의 일측에 다수 개가 구비되고, 상부면이 돌출된 톱니 형상과, 하부면이 평면으로 구비되는 제 1 체결부재들 및, 상기 제 1 체결부재와 대향하여 상기 히트 커버부의 타측에 다수가 구비되며, 상기 제 1 체결부재가 삽입되는 체결부와, 상기 체결부 상단에 구비되어 상기 체결부에 삽입된 상기 제 1 체결부재가 풀리도록 하는 제 1 버튼 및, 상기 체결부 하단에 구비되고 상기 제 1 체결부재가 상기 체결부에 삽입되어 상기 톱니 사이에 상기 체결부 일측이 걸려서 잠그도록 하는 제 2 버튼을 구비하는 제 2 체결부재를 포함한다.
본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다.
도 3는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 일부 구성을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 반도체 제조 설비는 예를 들어, 확산 공정 설비로서, 챔버(미도시됨)와 연결되는 배관(102)에 히트 자켓(100)을 구비한다.
히트 자켓(100)은 배관(102)의 외주면을 감싸는 히트 커버부(104)와, 히트 커버부(104)를 배관(102)의 외주면에 고정 설치되도록 체결하는 복수 개의 체결 장치(110 : 112 ~ 118)들을 포함한다. 히트 커버부(104)는 배관(102) 내부의 열이 방출되지 않도록 배관(102) 외주면을 덮으며, 체결 장치(110)는 히트 커버부(104)가 배관(102) 외주면에 고정 설치되도록 하기 위하여, 히트 커버부(104) 상에 다수의 제 1 체결부재(118)들과 제 2 체결부재(116)들이 각각 대향하여 구비된다. 제 1 체결부재(118) 및 제 2 체결부재(116)는 체결부에서 톱니 방식과 잠금 및 풀림 버튼(112, 114)을 구비하여 체결이 견고하고, 잠금 및 풀림이 용이하도록 한다.
구체적으로 체결 장치(110)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 버튼(112, 114)을 구비하는 제 1 체결부재(118)와, 제 1 체결부재(116)와 체결되어 히트 커버부(104)와 온도 센서(미도시됨)들 및 전선(미도시됨)들을 배관(102) 외주면에 고정, 설치하는 제 2 체결부재(116)를 포함한다.
제 1 체결부재(118)는 띠 형태 예를 들어, 케이블 타이(cable tie) 형태로 상부면이 톱니 방식으로 구비되며, 하부면이 평면으로 구비된다.
제 2 체결부재(116)는 제 1 체결부재(118)가 삽입되어 고정, 분리되는 체결부의 상하단에 제 1 및 제 2 버튼(112, 114)을 구비한다.
그리고 제 1 및 제 2 체결부재(116, 118)는 적정의 탄성을 갖는 재질로 구비되며, 제 1 및 제 2 버튼(112, 114)이 체결부로부터 이탈되지 않도록 이탈 방지부(112a, 114a, 114b, 116a)를 구비한다. 예컨대, 이탈 방지부는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제 2 체결부재(116)의 제 1 버튼(112)이 체결부 상부에서 외부로 이탈되지 않도록 하는 돌기(112a)와, 제 2 버튼(114)이 체결부 하부에서 상하로 눌려짐에 따라 외부로 이탈되지 않도록 하는 돌기(114a, 114b)들을 구비한다. 이 때, 체결부는 적정의 탄성을 가지고 있으므로 이들 돌기들이 탄성에 의해 상하로 눌려지게 된다. 또 체결부는 돌기(114a)들이 탄성에 의해 삽입되거나, 분리되도록 적정의 돌기홈(116a)을 구비한다.
따라서 도 4에 도시된 바와 같이, 제 2 체결부재(116)는 제 1 체결부재(118)가 체결부에 삽입되면, 제 2 버튼(114)을 눌러 제 1 체결부재(118)의 하면이 상부로 올려져서 삽입된 제 1 체결부재(118)의 톱니 사이의 공간에 체결부 일측이 걸려서 결합된다.
그리고 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 체결 장치(110)는 제 2 체결부재(116)의 체결부 상부의 제 1 버튼(112)을 누르면, 제 1 체결부재(118)의 상부면이 체결부의 하부로 내려져서 제 1 체결부재(118)의 톱니와 체결부의 일측이 분리되어 제 1 및 제 2 체결부재(118, 116)의 결합이 해제된다.
상술한 바와 같이, 종래 기술의 히트 자켓은 체결 시, 똑닥이 버튼 방식의 체결 구조로 인하여 엔지니어가 작업 시, 체결 구조가 쉽게 파손되거나 또는 체결 구조의 길이가 짧아서 세팅시 히트 자켓의 체결이 완벽하게 되지 않거나 떨어져 나가는 현상이 발생되었다. 이러한 문제점를 개선하기 위해 본 발명의 히트 자켓은 똑닥이 버튼 방식에서 체결 방식이 다시 풀릴 수 있는 공간을 확보하고, 체결부에 삽입되는 제 1 체결부재를 톱니 방식으로 구비하고 그리고 제 2 체결부재의 체결부 상하에 잠김/풀림(lock/unlock) 기능을 활성화할 수 있는 버튼 방식을 이용하여 체 결 장치를 영구적으로 사용할 수 있다.
이 때, 체결부는 톱니 방식과, 잠김 및 풀림 기능을 할 수 있도록 복수개의 버튼을 구비함으로써, 히트 자켓의 해체 및 세팅이 간편해진다. 예를 들어, 체결 방식은 케이블 타이(cable tie)와 유사한 방식을 적용한다. 즉, 아래 버튼을 누르면 자동 잠김 기능이 설정되고, 위쪽 버튼을 누르면 풀림 기능이 되도록 구비한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 히트 자켓은 톱니 방식과 잠금/풀림 버튼을 포함하는 체결 장치를 구비함으로써, 히트 자켓 및 온도 제어를 위한 주변 장치들을 견고하게 체결할 수 있다.
또한 잠금 및 풀림 기능의 버튼들을 이용하여 체결 및 해제함으로써 체결 장치를 영구적으로 사용할 수 있다.

Claims (6)

  1. 반도체 제조 설비의 히트 자켓에 있어서:
    상기 반도체 제조 설비의 배관 외주면에 설치되어, 상기 배관 내부를 일정 온도로 유지시키는 히트 커버부와;
    상기 히트 커버부 표면 상부에 구비되는 다수의 온도 센서 및;
    잠금 및 풀림 기능을 활성화시키는 제 1 및 제 2 버튼을 구비하여 상기 히트 커버부와 상기 온도 센서를 상기 배관 외주면에 설치되도록 체결하는 복수 개의 체결 장치들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 히트 자켓.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 체결 장치는;
    상기 히트 커버부의 일측에 다수 개가 구비되고, 상부면이 돌출된 톱니 형상과, 그리고 하부면이 평면인 제 1 체결부재 및,
    상기 히트 커버부의 타측에 상기 제 1 체결부재에 대응하여 다수가 구비되며, 상기 제 1 체결부재가 삽입되어 상기 톱니 사이에 상기 제 1 버튼이 걸려서 잠겨지고, 상기 제 2 버튼을 눌러서 상기 제 1 버튼이 상기 톱니 사이에서 풀리는 제 2 체결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 히트 자켓.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 체결부재는 띠 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 히트 자켓.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 체결부재는;
    상기 제 1 체결부재가 삽입되는 체결부와,
    상기 체결부 상단에 구비되어 상기 체결부에 삽입된 상기 제 1 체결부재가 결합이 해제되도록 하는 제 1 버튼 및,
    상기 체결부 하단에 구비되고 상기 제 1 체결부재가 상기 체결부에 삽입되어 상기 톱니 사이에 상기 체결부 일측이 걸려서 잠그도록 하는 제 2 버튼을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 히트 자켓.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 및 상기 제 2 버튼은 각각 상기 체결부로부터 외부로 이탈되는 것을 방지하는 돌기들을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 히트 자켓.
  6. 반도체 제조 설비의 히트 자켓에 있어서:
    상기 반도체 제조 설비의 배관 외주면에 설치되어, 상기 배관을 일정 온도로 유지시키는 히트 커버부와;
    상기 히트 커버부의 일측에 다수 개가 구비되고, 상부면이 돌출된 톱니 형상과, 하부면이 평면으로 구비되는 제 1 체결부재들 및,
    상기 제 1 체결부재와 대향하여 상기 히트 커버부의 타측에 다수가 구비되며, 상기 제 1 체결부재가 삽입되는 체결부와, 상기 체결부 상단에 구비되어 상기 체결부에 삽입된 상기 제 1 체결부재가 풀리도록 하는 제 1 버튼 및, 상기 체결부 하단에 구비되고 상기 제 1 체결부재가 상기 체결부에 삽입되어 상기 톱니 사이에 상기 체결부 일측이 걸려서 잠그도록 하는 제 2 버튼을 구비하는 제 2 체결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 히트 자켓.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101046617B1 (ko) * 2011-03-03 2011-07-05 권영선 배기용 히팅 파이프
KR101272078B1 (ko) * 2012-12-27 2013-06-07 김영덕 히터 자켓 모니터링 기구 및 이를 구비한 히터 자켓

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