KR20070052403A - Programming method for nand flash memory - Google Patents

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KR20070052403A
KR20070052403A KR1020050110014A KR20050110014A KR20070052403A KR 20070052403 A KR20070052403 A KR 20070052403A KR 1020050110014 A KR1020050110014 A KR 1020050110014A KR 20050110014 A KR20050110014 A KR 20050110014A KR 20070052403 A KR20070052403 A KR 20070052403A
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이철호
이진엽
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 플래시 메모리 장치의 검증(Verify) 방법에 관한 것으로, 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)을 인가하는 단계; 상기 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)이 인가된 시점으로부터 소정의 시간 이후에 선택 워드라인으로 검증 읽기 전압(Vver)을 인가하는 단계를 포함한다. 상술한 단계들을 포함하는 본 발명에 의하면, 선택 워드라인에 인가되는 검증 전압이 X-디코더로부터의 거리에 관계없이 일정하게 분포하여 과-프로그램을 방지하고, 프로그램 속도를 증가시킬 수 있다.

Figure 112005066110340-PAT00001

The present invention relates to a method of verifying a flash memory device, comprising: applying a read voltage Vread to an unselected word line; And applying a verification read voltage Vver to the selected word line after a predetermined time from when the read voltage Vread is applied to the unselected word line. According to the present invention including the above-described steps, the verification voltage applied to the selected word line is uniformly distributed regardless of the distance from the X-decoder to prevent over-programming and to increase the program speed.

Figure 112005066110340-PAT00001

Description

낸드 플래시 메모리의 프로그램 방법{PROGRAMMING METHOD FOR NAND FLASH MEMORY}Program method of NAND flash memory {PROGRAMMING METHOD FOR NAND FLASH MEMORY}

도 1은 종래기술에 따른 프로그램 전압 인가 방식을 보여주는 워드라인 전압 파형도;1 is a word line voltage waveform diagram showing a program voltage application scheme according to the prior art;

도 2는 본 발명의 프로그램 방법을 구현하기 위한 메모리 장치의 블록도;2 is a block diagram of a memory device for implementing the program method of the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 워드라인 전압 인가방식을 보여주는 파형도;3 is a waveform diagram showing a word line voltage application method according to the present invention;

도 4a는 도 1의 워드라인 전압 인가시 설정되는 선택 워드라인 전압 파형도;4A is a view illustrating a selected word line voltage waveform set when the word line voltage of FIG. 1 is applied;

도 4b는 도 3의 워드라인 전압 인가시 설정되는 선택 워드라인 전압 파형도. 4B is a diagram illustrating a selected word line voltage waveform set when the word line voltage of FIG. 3 is applied.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for main parts of drawings *

10 : 전압 발생기 20 : X-디코더10: voltage generator 20: X-decoder

30 : 셀 어레이 40 : 페이지 버퍼 회로30 cell array 40 page buffer circuit

50 : Y-게이트 60 : 패스/페일 검출 회로50: Y-gate 60: pass / fail detection circuit

70 : 프로그램 제어부70: program control unit

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 낸드형 플래 시 메모리 장치의 프로그램 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a method of programming a NAND flash memory device.

일반적으로 낸드 플래시 메모리는 터널링(Tunneling) 현상을 이용하여 전하를 플로팅 게이트(Floating Gate)에 저장하거나 플로팅 게이트에 저장된 전하를 채널로 이탈시키는 방식으로 프로그램/소거 동작을 수행한다. 상술한 바와 같은 프로그램 및 소거 방식은 저장 데이터에 대한 우수한 보존성을 충족하고 있어 비휘발성 메모리에 적합하다. 또한, 플래시 메모리는 고집적화, 저소비전력 및 외부 충격에 대해 강한 내구성을 구비하고 있어 모바일 기기의 보조기억장치 및 기타 응용분야에서 점점 그 용도가 증가하고 있는 추세이다. 그러나 이러한 장점에도 불구하고, 플래시 메모리는 프로그램 및 소거동작의 효율화를 위한 새로운 기술들이 끊임없이 등장하고 있다. 특히 낸드 플래시 메모리의 경우, 과-프로그램에 따르는 문제들을 해결하기 위해 메모리 셀의 문턱전압(Threshold Voltage)이 조밀한 산포를 이루도록 제어하는 연구가 이루어지고 있다. 낸드 플래시 메모리의 프로그램 동작은 크게 프로그램 전압을 해당 워드라인으로 인가하는 프로그램 구간과 프로그램 전압의 인가로 인하여 셀의 문턱전압이 바람직한 산포로 이동되었는지를 검증(Verify)하는 검증구간으로 나눌 수 있다. 일반적인 플래시 메모리의 프로그램은 상술한 프로그램 전압(Vpgm)이 차츰 증가하면서, 프로그램과 검증동작을 반복하는 증가형 스텝 펄스 프로그램(Incremental Step Pulse Programming : 이하 ISPP) 스킴에 따라서 진행된다. In general, NAND flash memory performs a program / erase operation by storing charges in a floating gate or releasing charges stored in a floating gate to a channel by using a tunneling phenomenon. The program and erase method as described above satisfies the excellent preservation of stored data and is suitable for nonvolatile memory. In addition, flash memory has high integration, low power consumption, and strong durability against external shock, and thus its use is increasing in auxiliary storage devices and other applications of mobile devices. However, despite these advantages, new technologies for flash memory have been constantly emerging. In particular, in the case of NAND flash memory, research has been conducted to control the density distribution of threshold voltages of memory cells to solve problems caused by over-programming. The program operation of the NAND flash memory can be largely divided into a program section for applying a program voltage to a corresponding word line and a verification section for verifying whether a threshold voltage of a cell has moved to a desired distribution due to the application of the program voltage. A program of a general flash memory proceeds according to an incremental step pulse programming (ISPP) scheme in which the program voltage Vpgm is gradually increased, and the program and the verification operation are repeated.

도 1은 ISPP에서의 한 루프(Loop) 동안 워드라인에 인가되는 전압을 보여주는 파형도이다. 여기서 루프(Loop)는 워드라인에 대해 프로그램 전압(Vpgm)의 인가 와 그에 뒤따르는 검증(Verify)이 이루어지는 프로그램 사이클의 최소단위이다. 도 1을 참조하면, 하나의 프로그램 루프는 프로그램 실행 구간(PGM.EXE)과 검증 구간(VER) 및 그 사이의 모든 워드라인이 접지 레벨로 디스차지(Discharge)되는 회복 구간(RCV)으로 이루어진다.1 is a waveform diagram showing a voltage applied to a word line during one loop in ISPP. In this case, the loop is the minimum unit of a program cycle in which the program voltage Vpgm is applied to the word line and subsequent verification is performed. Referring to FIG. 1, one program loop includes a program execution section PGM.EXE, a verification section VER, and a recovery section RCV in which all word lines therebetween are discharged to the ground level.

프로그램 실행 구간(PGM.EXE)은 모든 워드라인으로 패스 전압(Vpass)을 인가되는 패스 인에이블 구간(Vpass.EN)과 선택 워드라인으로 프로그램 전압(Vpgm)을 인가하는 프로그램 인에이블 구간(Vpgm.EN)로 간략히 구분할 수 있다. 선택 워드라인으로 프로그램 전압(Vpgm)이 인가되면, 셀의 부유 게이트(Floating gate) 내로 F-N 터널링에 의한 전자주입이 일어날 수 있도록 바이어스된다. 반면, 비선택 워드라인으로는 패스 전압(Vpass)이 인가되며, 이는 비선택 워드라인에 포함되는 메모리 셀들을 프로그램 디스터브(Program Disturb) 시킨다. 동시에, 비선택 워드라인의 패스 전압 인가는 선택 워드라인에 연결되는 메모리 셀의 채널을 효과적인 F-N 터널링을 위하여 접지 전압으로 바이어스 시킨다.The program execution section PGM.EXE includes a pass enable section Vpass.EN for applying a pass voltage Vpass to all word lines, and a program enable section Vpgm. EN). When the program voltage Vpgm is applied to the select word line, electron injection by F-N tunneling may occur into the floating gate of the cell. On the other hand, a pass voltage Vpass is applied to the unselected word line, which causes the memory cells included in the unselected word line to be program disturbed. At the same time, the application of the pass voltage of the unselected word line biases the channel of the memory cell connected to the selected word line to ground voltage for effective F-N tunneling.

회복 구간(RCV)은 프로그램 전압(Vpgm)과 패스 전압(Vpass)이 인가되었던 워드라인을 접지 전압 레벨로 디스차지(Discharge) 시키는 구간이다. 특히 프로그램 전압(Vpgm)이 인가된 선택 워드라인은 상대적으로 높은 전압의 인가에 따라 디스차지 속도가 늦기 때문에, 도 1의 파형도와 같이 비선택 워드라인보다 먼저 디스차지시킨다. 바람직하게는, 회복 구간(RCV) 동안 모든 워드라인의 전압이 접지전압 레벨로 디스차지되어 전하 축적에 따르는 문제를 야기하지 않아야 한다. 그러나 워드라인을 접지 레벨로 디스차지하는 X-디코더(혹은 워드라인 드라이버)로부터 상대적 으로 거리가 먼 곳에 분포하는 워드라인은 회복 구간(RCV) 내에 충분히 디스차지 되지 못한다. 따라서 동일 워드라인이라 하더라도 X-디코더와의 거리에 따라 디스차지(Discharge)의 정도에 따라 접지레벨로 전압이 설정되지 못하고 전하가 축적된다. 이런 상태에서 검증 전압(Vver)이 인가되면, X-디코더로부터 상대적으로 먼 거리에 있는 워드라인의 전위는 전하 축적 효과에 따라 검증 전압(Vver) 이상으로 천이 될 수 있다.The recovery period RCV discharges the word line to which the program voltage Vpgm and the pass voltage Vpass are applied to the ground voltage level. In particular, the select word line to which the program voltage Vpgm is applied is discharged earlier than the unselected word line as shown in the waveform diagram of FIG. Preferably, during the recovery period RCV, the voltages of all word lines are discharged to the ground voltage level so as not to cause a problem due to charge accumulation. However, a word line distributed relatively far from the X-decoder (or word line driver) which discharges the word line to the ground level is not discharged sufficiently in the recovery period (RCV). Therefore, even in the same word line, the voltage is not set to the ground level according to the degree of discharge according to the distance from the X-decoder, and charge is accumulated. In this state, when the verify voltage Vver is applied, the potential of the word line which is relatively far from the X-decoder may transition to the verify voltage Vver or more depending on the charge accumulation effect.

검증 구간(Verify) 동안에는 선택 워드라인은 검증 전압(Vver:예를 들면 1.3V)이 인가되고, 비선택 워드라인으로는 독출 전압(Vread)이 인가된다. 그러나 독출 전압(Vread)은 검증 전압(Vver)보다 상대적으로 높은 전압이기 때문에 선택 워드라인과 인접한 비선택 워드라인 사이에는 커플링에 의한 영향이 발생하게 된다. 특히 소폭의 전위 상승이 있는 선택 워드라인과 상대적으로 큰 폭의 전위 상승이 일어나는 비선택 워드라인이 인접하고, 동시에 각 워드라인으로 해당 전압이 인가될 때 선택 워드라인은 커플링의 영향을 상대적으로 많이 받게 된다. 선택 워드라인과 인접한 비선택 워드라인의 전압은 접지 레벨에서 독출 전압(Vread, 예를 들면 5V)으로 증가하지만, 선택 워드라인은 접지 레벨에서 검증 전압(Vver, 예를 들면 1.3V)까지 증가하게 된다. 상술한 바와 같이 서로 다른 레벨의 전압이 동시에 인가됨에 따라 선택 워드라인의 전압은 커플링으로 인하여 적정 레벨(즉, 1.3V) 이상으로 상승할 수 있다.During the verify period Verify, a verify voltage Vver (for example, 1.3 V) is applied to the selected word line, and a read voltage Vread is applied to the unselected word line. However, since the read voltage Vread is a voltage that is relatively higher than the verify voltage Vver, a coupling effect occurs between the selected word line and the adjacent unselected word line. In particular, when the selection word line with a small potential rise and the non-select word line with a relatively large potential rise are adjacent, and at the same time, when the corresponding voltage is applied to each word line, the selection word line is relatively affected by the coupling. You will receive a lot. The voltage of the unselected word line adjacent to the select word line increases from the ground level to the read voltage (Vread, for example 5 V), but the select word line increases from the ground level to the verify voltage (Vver, for example 1.3 V). do. As described above, as voltages of different levels are simultaneously applied, the voltage of the selected word line may increase to an appropriate level (ie, 1.3V) or more due to the coupling.

상술한 바와 같이, X-디코더(20)로부터 상대적으로 멀리 분포하는 워드라인의 회복 구간(RCV)에서 발생할 수 있는 불충분한 디스차지와 검증 구간(Verify)에 서 발생할 수 있는 커플링은 다음의 문제를 야기시킨다. 즉, 프로그램 검증 동작 동안 선택 워드라인의 X-디코더로부터 먼 거리에 분포하는 워드라인의 설정전압이 증가하게 된다. 이 경우 규정된 검증 전압(Vver)보다 높은 상태에서 검증동작이 일어나기 때문에, 검증 패스(Verify Pass) 되기까지의 프로그램 루프 수가 증가하게 되고, 결국 이는 과-프로그램(Over-program)을 야기시킨다. 낸드(NAND) 플래시 메모리에서의 과-프로그램(Over-program)은 나머지 셀들의 독출 동작에 신뢰성을 떨어뜨리기 때문에 심각한 문제일 수밖에 없다. 또한, 프로그램 루프 수의 증가는 프로그램 속도의 감소를 의미한다.As described above, inadequate discharge that may occur in the recovery interval RCV of the word line distributed relatively far from the X-decoder 20 and coupling that may occur in the verify interval Verify may cause the following problems. Cause. That is, during the program verify operation, the set voltage of the word line distributed over a long distance from the X-decoder of the selected word line increases. In this case, since the verification operation occurs in a state higher than the specified verify voltage Vver, the number of program loops until the verify pass is increased, which in turn causes over-programming. Over-programming in NAND flash memory is a serious problem because it degrades the read operation of the remaining cells. In addition, an increase in the number of program loops means a decrease in program speed.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 X-디코더와의 거리에 관계없이 일정한 검증 전압으로 워드라인이 설정되도록 하는 방법을 제공하는 데 있다. The present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for setting a word line with a constant verify voltage regardless of the distance to the X-decoder.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플래시 메모리 장치의 검증(Verify) 방법에 따르면, 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)을 인가하는 단계; 상기 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)이 인가된 시점으로부터 소정의 시간 이후에 선택 워드라인으로 검증 읽기 전압(Vver)을 인가하는 단계를 포함한다.According to a method of verifying a flash memory device of the present invention for achieving the above object, the method includes: applying a read voltage Vread to an unselected word line; And applying a verification read voltage Vver to the selected word line after a predetermined time from when the read voltage Vread is applied to the unselected word line.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 선택 워드라인이 상기 검증 읽기 전압(Vver) 이하로 디스차지된다.In a preferred embodiment, the predetermined time is the select word line is discharged below the verify read voltage (Vver).

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인이 상 기 독출 전압(Vread)으로 고정되는데 소요되는 시간이다.In a preferred embodiment, the predetermined time is a time taken for the unselected word line to be fixed to the read voltage Vread.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인의 전압변동에 따른 상기 선택 워드라인의 커플링을 최소화하는 시간이다.In a preferred embodiment, the predetermined time is a time for minimizing the coupling of the selected word line due to the voltage variation of the unselected word line.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플래시 메모리 장치는, 복수의 워드라인을 구비한 메모리 셀 어레이와; 검증 읽기 전압과 독출 전압을 생성하는 전압 발생기와; 검증 동작시, 상기 검증 읽기 전압을 선택 워드라인으로, 상기 독출 전압을 비선택 워드라인으로 공급하는 X-디코더와; 상기 X-디코더가 상기 검증 읽기 전압을 상기 독출 전압보다 소정의 시간 지연하여 공급하도록 제어하는 프로그램 제어부를 포함한다.A flash memory device of the present invention for achieving the above object is a memory cell array having a plurality of word lines; A voltage generator for generating a verify read voltage and a read voltage; An X-decoder for supplying the verify read voltage to a selected word line and the read voltage to an unselected word line during a verify operation; And a program controller configured to control the X-decoder to supply the verify read voltage at a predetermined time delay from the read voltage.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 X-디코더는 검증 동작 이전에 상기 선택 워드라인과 상기 비선택 워드라인을 접지 레벨로 디스차지 시킨다.In a preferred embodiment, the X-decoder discharges the selected word line and the unselected word line to ground level prior to a verify operation.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 선택 워드라인이 상기 검증 읽기 전압(Vver) 이하로 디스차지 되는 시간이다.In a preferred embodiment, the predetermined time is a time when the selected word line is discharged below the verify read voltage Vver.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인이 상기 독출 전압(Vread)으로 고정되는데 소요되는 시간이다.In a preferred embodiment, the predetermined time is a time taken for the unselected word line to be fixed to the read voltage Vread.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플래시 메모리 장치의 프로그램 방법은, 선택 워드라인으로는 프로그램 전압을, 비선택 워드라인으로는 패스 전압을 인가하는 단계; 상기 선택 워드라인과 상기 비선택 워드라인을 디스차지하는 단계; 상기 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)을 인가하는 단계; 상기 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)이 인가된 시점으로부터 소정의 시간 이후에 상기 선택 워 드라인으로 검증 읽기 전압(Vver)을 인가하는 단계를 포함한다.The program method of the flash memory device of the present invention for achieving the above object comprises the steps of applying a program voltage to the selected word line, a pass voltage to the unselected word line; Discharging the selected word line and the unselected word line; Applying a read voltage (Vread) to the unselected word line; And applying a verify read voltage Vver to the selected word line after a predetermined time from when the read voltage Vread is applied to the unselected word line.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 선택 워드라인이 상기 검증 읽기 전압(Vver) 이하로 디스차지되는 시간이다.In a preferred embodiment, the predetermined time is a time when the selected word line is discharged below the verify read voltage Vver.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인이 상기 독출 전압(Vread)으로 고정되는데 소요되는 시간이다.In a preferred embodiment, the predetermined time is a time taken for the unselected word line to be fixed to the read voltage Vread.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인의 전압변동에 따른 상기 선택 워드라인의 커플링을 최소화하는 시간이다. In a preferred embodiment, the predetermined time is a time for minimizing the coupling of the selected word line due to the voltage variation of the unselected word line.

이상의 프로그램 방법 및 장치에 따른 본 발명은 검증 동작에서 선택 워드라인의 X-디코더와의 거리와는 상관없이 일정한 분포의 검증 전압의 인가가 가능하여, 불충분한 디스차지와 비선택 워드라인과의 커플링에서 기인하는 과-프로그램 현상을 방지할 수 있다. 신속한 검증 전압의 셋업에 따라 프로그램의 속도를 증가시킬 수 있다. According to the above-described program method and apparatus, in the verifying operation, it is possible to apply the verification voltage with a constant distribution irrespective of the distance to the X-decoder of the selected word line, so that insufficient discharge and couple with the unselected word line can be obtained. The over-programming phenomenon caused by the ring can be prevented. The speed of the program can be increased by setting up a fast verify voltage.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. do.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예를 보여주는 블록도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 검증 동작은 선택 워드라인의 검증 전압(Vver) 인가 시점을 비선택 워드라인의 독출 전압(Vread) 인가 시점과 다르게 제어한다. 이것은 프로그램 제어부(60)가 X-디코더(20)의 스위칭 시점을 조정하는 것으로 가능하다.2 is a block diagram showing a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the verify operation according to the present invention controls the application time of the verification voltage Vver of the selected word line differently from the application time of the read voltage Vread of the unselected word line. This can be done by the program controller 60 adjusting the switching timing of the X-decoder 20.

전압 발생기(10)는 각 워드라인으로 공급되는 전압들을 생성한다. 여기에서 는 프로그램 동작에서 선택 워드라인으로 인가되는 프로그램 전압(Vpgm), 검증 전압(Vver), 비선택 워드라인으로 공급될 패스 전압(Vpass), 그리고 독출 전압(Vread)들을 생성하여 X-디코더(20)로 공급한다. 전압 발생기(10)의 제반 동작과 발생 전압은 이에 국한되지 않으나, 본 발명의 스킴을 설명하기 위한 특징만이 여기에 개시하기로 한다.The voltage generator 10 generates voltages supplied to each word line. Here, the program voltage Vpgm applied to the selected word line, the verify voltage Vver, the pass voltage Vpass to be supplied to the unselected word line, and the read voltages Vread are generated in the program operation to generate the X-decoder ( 20). The general operation of the voltage generator 10 and the generated voltage are not limited thereto, but only the features for describing the scheme of the present invention will be described herein.

X-디코더(20)는 전압 발생기(10)로부터 공급받는 전압들을 행 어드레스(미도시됨)와 프로그램 제어부(60)에 응답하여 선택된 블록의 각 워드라인들로 인가한다. X-디코더(20)는 각 워드라인들로 전압을 인가하고 디스차지하기 위해 각 워드라인과 연결된 워드라인 드라이버를 포함하고 있음은 이 분야의 통상적인 지식을 습득한 자들에게는 이미 잘 알려져 있다. 각 워드라인으로 전압을 인가하는 시점은 후술하게 되는 프로그램 제어부(60)에 의해 제어된다. The X-decoder 20 applies voltages supplied from the voltage generator 10 to each word line of the selected block in response to the row address (not shown) and the program controller 60. It is well known to those skilled in the art that the X-decoder 20 includes a word line driver connected to each word line to apply and discharge voltage to each word line. The time point at which the voltage is applied to each word line is controlled by the program controller 60 which will be described later.

셀 어레이(30)는 복수의 블록으로 구성될 수 있으나, 설명의 편의를 위해 하나의 블록에 대하여 도시하였다. 셀 어레이(30)는 복수의 비트라인들(BL[0]~BL[m-1]) 각각에 연결되는 스트링들을 포함한다. 하나의 스트링은 스트링 선택 트랜지스터(이하 SST)와 접지 선택 트랜지스터(이하 GST)와 그리고 그 사이에 직렬로 연결되는 복수(예를 들면 32개)의 메모리 셀들로 구성된다. 각 스트링의 SST들은 X-디코더(20)로부터 제어되는 스트링 선택 라인을 게이트 전압으로 공유한다. 마찬가지로 각 스트링들의 접지 선택 트랜지스터(GST)들은 X-디코더(20)로부터 제어되는 접지 선택 라인(GSL)을 게이트 전압으로 공유하게 된다. 이는 각 스트링의 메모리 셀들에도 해당된다. 하나의 워드라인이 공유하게 되는 이러한 메모리 셀들을 일반적 으로 페이지 단위로 칭한다. 그러나 하나의 페이지 내의 메모리 셀들은 레이아웃 상에서 X-디코더(20)로부터의 거리가 각기 다르다. 페이지의 비트 수가 증가할수록 X-디코더(20)로부터 상대적으로 먼 거리에 배열되는 셀과의 물리적 거리는 증가하게 될 것이다. 이러한 거리는 특히 디스차지 시에 문제가 된다. 접지(예를 들면 0V) 레벨로 디스차지 할 경우 X-디코더(20)로부터 가까운 거리의 워드라인은 신속한 전하의 방전이 가능할 것이나, X-디코더(20)로부터 먼 거리의 워드라인 전위는 충분한 방전(혹은 디스차지) 시간이 보장되지 못할 경우 접지레벨로 전위가 감소되지 못할 수도 있다. 또한, 인접한 워드라인 간에는 커플링에 따라 전위의 변화에 상호 영향을 받게 된다. 특히 인접 워드라인의 전이 변화폭이 큰 경우에 더 큰 커플링이 일어나게 되고 이는 원치 않는 동작들을 수반하게 한다. 본 발명에서는 프로그램 루프의 검증 동작에서의 상술한 두 가지의 레이아웃 상의 문제로부터 야기되는 워드라인 전압의 불안정성을 해결할 수 있다. 이에 대한 상세한 기재는 후술하게 되는 도 3의 파형도에서 상세히 설명하기로 한다. The cell array 30 may be composed of a plurality of blocks, but one block is illustrated for convenience of description. The cell array 30 includes strings connected to each of the plurality of bit lines BL [0] to BL [m-1]. One string is composed of a string select transistor (hereinafter referred to as SST) and a ground select transistor (hereinafter referred to as GST) and a plurality (for example 32) of memory cells connected in series therebetween. The SSTs of each string share the string select line controlled from the X-decoder 20 as the gate voltage. Similarly, the ground select transistors GST of each string share the ground select line GSL controlled by the X-decoder 20 as the gate voltage. This also applies to memory cells of each string. These memory cells shared by one word line are generally referred to as page units. However, memory cells in one page have different distances from the X-decoder 20 in the layout. As the number of bits in the page increases, the physical distance to the cells arranged at a relatively long distance from the X-decoder 20 will increase. This distance is particularly problematic when discharging. When discharged to the ground (for example, 0V) level, a word line at a short distance from the X-decoder 20 will be able to discharge the charge quickly, but a word line potential at a distance from the X-decoder 20 is sufficient to discharge. If time is not guaranteed (or discharge), the potential may not be reduced to ground level. In addition, the adjacent word lines are mutually influenced by the change of potential according to the coupling. Especially when the transition variation of adjacent word lines is large, larger coupling occurs and this leads to unwanted operations. In the present invention, it is possible to solve the instability of the word line voltage resulting from the above two layout problems in the verify operation of the program loop. Detailed description thereof will be described in detail with reference to the waveform diagram of FIG. 3.

페이지 버퍼 회로(40)는 셀 어레이(30)의 비트라인들(BL[0]~BL[m-1]) 각각에 대응하는 페이지 버퍼(미도시됨)를 포함한다. 읽기 동작 동안, 페이지 버퍼 회로(40) 내의 각 페이지 버퍼는 선택된 셀로부터 데이터를 감지한다. 감지된 데이터는 Y-게이트(50)를 경유하여 외부로 전달된다. 반면에 프로그램 동작 동안에는 프로그램될 데이터를 일시 저장한다. 특히 프로그램 사이클 중 검증 동작에서는 선택된 셀의 데이터를 감지한다. 즉 페이지 버퍼 회로(40)는 셀 어레이의 데이터를 감지하고 래치한다. The page buffer circuit 40 includes a page buffer (not shown) corresponding to each of the bit lines BL [0] to BL [m-1] of the cell array 30. During a read operation, each page buffer in page buffer circuit 40 senses data from the selected cell. The sensed data is transferred to the outside via the Y-gate 50. On the other hand, the data to be programmed is temporarily stored during the program operation. In particular, the verify operation during the program cycle senses data of the selected cell. That is, the page buffer circuit 40 senses and latches data of the cell array.

Y-게이트(50)는 칼럼 어드레스에 응답하여 페이지 버퍼 회로(40)의 열들(페이지 버퍼들)을 일정 단위로 선택한다. 프로그램 동작의 경우, 선택된 페이지 버퍼들에는 Y-게이트(50)를 통해 프로그램 데이터 비트들이 저장된다. 읽기 동작의 경우, 선택된 페이지 버퍼들의 데이터 비트들이 Y-게이트(50)를 통해 외부로 출력된다. 검증 동작의 경우, 선택된 레지스터들의 데이터 비트들은 Y-게이트(20)를 통해 패스/페일 검출 회로(60)로 전달된다.The Y-gate 50 selects columns (page buffers) of the page buffer circuit 40 in a predetermined unit in response to the column address. In the case of a program operation, program data bits are stored through the Y-gate 50 in the selected page buffers. In the case of a read operation, data bits of the selected page buffers are output to the outside through the Y-gate 50. For the verify operation, the data bits of the selected registers are passed through the Y-gate 20 to the pass / fail detection circuit 60.

패스/페일(Pass/Fail) 검출 회로(60)는 프로그램 사이클의 검증 동작에서 상술한 페이지 버퍼(40)에 감지된 데이터를 참조하여 패스/페일 여부를 검출한다. 일반적으로는 프로그램 사이클에서 프로그램 금지(Inhibit)된 셀들의 데이터는 '1'로 설정되고, 프로그램 대상이 되는 셀들은 '0'로 페이지 버퍼에 로드된다. 그리고 프로그램 전압(Vpgm)의 인가에 따라 '0'로 로드된 페이지 버퍼의 데이터가 모두 '1'로 로드되는 시점에 프로그램 패스가 된다. 패스/페일 검출 회로(60)는 페이지 버퍼의 래치되는 비트 데이터가 모두 '1'로 되는 시점에 패스로 판별하여 프로그램 제어부(70)로 결과 신호를 출력한다. 이밖에 와이어드-오어(Wired-OR) 방식의 패스/페일 검출 회로(60)로 구성될 수 있음이 이 분야에서 통상의 지식을 습득한 자들에게는 잘 알려져 있다. The pass / fail detection circuit 60 detects whether a pass / fail is performed by referring to the data sensed in the page buffer 40 described above in the verify operation of the program cycle. In general, data of cells inhibited in a program cycle is set to '1', and cells to be programmed are loaded into the page buffer as '0'. When the program voltage Vpgm is applied, the program passes when the data of the page buffer loaded with '0' is all loaded with '1'. The path / fail detection circuit 60 determines the path at the time when the latched bit data of the page buffer becomes '1' and outputs a result signal to the program controller 70. In addition, it is well known to those skilled in the art that it can be configured as a wired-OR type pass / fail detection circuit 60.

프로그램 제어부(70)는 패스/페일 검출 회로(60)의 결과 신호를 참조하여 워드라인으로의 인가 전압을 제어한다. 프로그램 제어부(70)는 프로그램 사이클의 프로그램 펄스와 검증 펄스가 인가되는 하나의 루프 내에서, 검증 전압 인가 시점을 종래 기술과 달리 제어한다. 프로그램 제어부(70)는 선택 워드라인의 검증 전압 (Vver)의 인가를 비선택 워드라인들의 독출 전압(Vread)의 인가 시점보다 소정의 시간(도 3의 tVER1) 지연하여 선택 워드라인의 디스차지 시간을 보장한다. 또한, 이러한 제어를 통해서 인접한 비선택 워드라인으로부터의 커플링 영향을 감소시킬 수 있다. 프로그램 제어부(70)의 비트라인 전압 및 벌크 전압 인가 등의 프로그램 디스터브 성능과 관계된 제반 제어 동작에 대한 상세한 설명은 여기에서는 생략하기로 한다. 본 발명의 프로그램 제어부(70)는 단지 워드라인의 전압 제어에 한정하여 설명하기로 한다.The program controller 70 controls the voltage applied to the word line with reference to the result signal of the pass / fail detection circuit 60. The program control unit 70 controls the verification voltage application time point, unlike the prior art, in one loop to which the program pulse and the verify pulse of the program cycle are applied. The program controller 70 delays the application of the verification voltage Vver of the selected word line by a predetermined time (tVER1 in FIG. 3) from the time of applying the read voltage Vread of the non-selected word lines, and thus the discharge time of the selected word line. To ensure. This control can also reduce the coupling effects from adjacent unselected word lines. Detailed description of the control operation related to the program disturb performance such as the bit line voltage and the bulk voltage application of the program controller 70 will be omitted herein. The program control unit 70 of the present invention will be described with only the voltage control of the word line.

상술한 플래시 메모리 장치의 구성을 통하여 본 발명의 프로그램 방법이 구현될 수 있다. 프로그램 제어부(70)는 검증 동작에서 선택 워드라인의 검증 전압 인가를 비선택 워드라인의 독출 전압의 인가 시점과 달리함으로 X-디코더(20)와 상대적으로 먼 거리에 분포하는 워드라인의 불충분한 디스차지 및 커플링의 효과를 저감할 수 있다. 따라서, 본 발명은 인가되는 전압보다 높은 검증 전압이 유도되어 프로그램 루프의 증가로 말미암는 과-프로그램(Over-Program)될 확률을 줄일 수 있다.The program method of the present invention can be implemented through the above-described configuration of the flash memory device. In the verifying operation, the program control unit 70 differs from applying the verify voltage of the selected word line to the application time of the read voltage of the unselected word line, so that the insufficient amount of the word line is distributed at a relatively long distance from the X-decoder 20. The effects of charge and coupling can be reduced. Accordingly, the present invention can reduce the probability of over-programming caused by an increase in the program loop by inducing a verify voltage higher than the applied voltage.

도 3은 본 발명에 따른 워드라인 전압 인가 방법을 보여주는 파형도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 프로그램 방법은 검증 구간(Verify)에서 선택 워드라인의 검증 전압(Vver)과 비선택 워드라인의 독출 전압(Vread)의 인가 시점을 달리한다.3 is a waveform diagram illustrating a method of applying a word line voltage according to the present invention. Referring to FIG. 3, the program method of the present invention differs between application time of the verify voltage Vver of the selected word line and the read voltage Vread of the unselected word line in the verify period Verify.

프로그램 실행 구간(PGM.EXE)에서의 선택 워드라인 및 비선택 워드라인의 전압 인가 방법은 종래 기술과 동일하다. 비선택 워드라인으로는 선택 워드라인의 셀들의 채널 바이어스를 위해서 패스 전압(Vpass)이 인가된다. 비선택 워드라인으로 인가된 패스 전압(Vpass)이 고정값으로 안정화되면, 선택 워드라인으로는 프로그램 전압(Vpgm)을 인가한다. 도 3에서는 하나의 프로그램 전압(Vpgm)으로 도시하였으나, 일반적인 ISPP의 경우 프로그램 사이클에서는 루프 수가 증가함에 따라 프로그램 전압(Vpgm)은 단계적으로 일정 스텝 전압 크기로 증가하게 될 것이다. The voltage application method of the selected word line and the unselected word line in the program execution section PGM.EXE is the same as in the prior art. The pass voltage Vpass is applied to the unselected word line for channel bias of the cells of the selected word line. When the pass voltage Vpass applied to the unselected word line is stabilized to a fixed value, the program voltage Vpgm is applied to the selected word line. In FIG. 3, one program voltage Vpgm is illustrated. However, in a typical ISPP, as the number of loops increases in a program cycle, the program voltage Vpgm will increase stepwise to a predetermined step voltage level.

회복 구간(RCV)에서는 프로그램 전압의 인가가 완료되고 프로그램 패스 여부를 검증하기 이전에 모든 워드라인을 접지 레벨로 디스차지한다. 이는 이후의 검증 구간(Verify)에서 선택 워드라인으로 인가될 검증 전압(Vver)의 크기가 상대적으로 낮은 경우에는 더욱 필요한 단계이다. 이전의 프로그램 실행 구간(PGM.EXE)에서 선택 워드라인으로는 프로그램을 위한 고전압(예를 들면, 약 18V)이 인가되었기 때문에 상대적으로 낮은 패스 전압(예를 들면, 약 10V)이 인가된 비선택 워드라인보다 긴 디스차지 시간이 확보되는 것이 바람직하다. 특히 X-디코더(20)로부터 먼 거리에 분포하는 선택 워드라인 부분은 디스차지 속도가 느리기 때문에 보다 긴 시간의 확보가 필수적이다. 디스차지 효과를 현저히 하기 위한 본 발명은, 종래의 검증 구간(Verify)에서 선택 워드라인에 대해서 디스차지 시간을 더 할당하게 될 것이다. 도면의 (tVER1)으로 표시된 구간이 이에 해당된다. 이는 후술하게 되는 검증 구간(Verify)에 대한 설명에서 구체적으로 다루기로 한다.In the recovery period RCV, all word lines are discharged to the ground level before the application of the program voltage is completed and the program path is verified. This is a more necessary step when the magnitude of the verification voltage Vver to be applied to the selected word line is relatively low in the subsequent verification period Verify. In the previous program execution section (PGM.EXE), since the high voltage for the program (for example, about 18V) was applied to the selection word line, the non-selection with a relatively low pass voltage (for example, about 10V) was applied. It is desirable to ensure a discharge time longer than the word line. In particular, the select word line portion distributed over a long distance from the X-decoder 20 has a slow discharge speed, and thus a longer time is required. The present invention for remarkable discharge effect will further allocate a discharge time for the selected word line in the conventional verify period (Verify). The section indicated by tVER1 in the figure corresponds to this. This will be described in detail in the description of the verification section (Verify) which will be described later.

검증 구간(Verify) 제반 워드라인 전압 인가 동작은 회복 구간(RCV)에 뒤따라 수행된다. 선택 워드라인 및 비선택 워드라인의 검증 구간(Verify)에서의 전압인가는 도시하는 바와 같이 종래와는 달리 검증 전압(Vver)과 독출 전압(Vread)의 인가 시점을 달리한다. 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)이 인가된 이후, 소 정의 지연 시간(tVER1)이 경과한 뒤에 선택 워드라인으로 검증 전압(Vver)이 인가된다. 상술한 지연 시간(tVER1)은 바람직하게는 독출 전압(Vread)이 인가되고 안정화된 시점일 수 있다. 이는 상대적으로 고전압인 비선택 워드라인의 독출 전압(Vread)이 시간적 변화를 하게 되는 시점에서의 커플링의 영향이 최대가 되기 때문이다. 또는, X-디코더(20)로부터 상대적으로 먼 거리의 워드라인의 디스차지가 충분히 보장되는 시점일 수 있다. 바람직하게는 상술한 충분한 디스차지와, 독출 전압의 안정화가 모두 보장되는 시간으로 설정할 수 있다. 그러나 상술한 지연 시간(tVER1)은 프로그램 속도를 감소시키지 않는 범위 내에서 행해져야 할 것이다. Verification period The overall wordline voltage application operation is performed following the recovery period RCV. The voltage application in the verify period Verify of the selected word line and the unselected word line is different from the conventional point in time when the verify voltage Vver and the read voltage Vread are applied. After the read voltage Vread is applied to the unselected word line, the verify voltage Vver is applied to the selected word line after the predetermined delay time tVER1 has elapsed. The above-described delay time tVER1 may be a time point at which the read voltage Vread is applied and stabilized. This is because the coupling effect is maximized when the read voltage Vread of the relatively high voltage unselected word line changes over time. Alternatively, it may be a point in time where the discharge of a word line of a relatively long distance from the X-decoder 20 is sufficiently guaranteed. Preferably, it can be set to the time that both sufficient discharge mentioned above and stabilization of a read voltage are ensured. However, the above-described delay time tVER1 should be performed within a range that does not reduce the program speed.

상술한 바와 같은 검증 전압(Vver) 인가 방식에 따르면, X-디코더(20)와 상대적으로 먼 거리에 분포하는 선택 워드라인의 디스차지 시간을 증가시키는 동시에, 비선택 워드라인과의 커플링에 의한 전위 변동 효과를 미연에 방지하게 된다. 따라서 하나의 워드라인을 공유하는 페이지 내의 모든 셀들의 검증 전압을 균일하게 제공할 수 있고, X-디코더(20)로부터 먼 거리에 분포하는 셀들의 과-프로그램(Over-Program)의 문제를 해결할 수 있다.According to the verification voltage Vver application method as described above, the discharge time of the selected word line distributed at a relatively long distance from the X-decoder 20 is increased, and the coupling with the unselected word line is performed. The potential fluctuation effect is prevented in advance. Therefore, it is possible to uniformly provide the verification voltages of all the cells in the page sharing one word line, and solve the problem of over-program of cells distributed over a long distance from the X-decoder 20. have.

도 4a는 종래 기술에 따른 전압 인가 방식이 적용된 경우의 선택 워드라인의 전압 변동 양상을 보여주는 파형도이다. 즉 도 2에서와 같은 워드라인 전압을 인가했을 경우의 선택 워드라인의 전위변동을 나타낸다. 곡선1(Curve1)은 X-디코더(20)로부터 가까이 분포하는 선택 워드라인의 전압 파형이고, 곡선2(Curve2)는 선택 워드라인의 X-디코더(20)로부터 상대적으로 먼 거리에 분포하는 지점의 전압 파형이다. 종래 기술에 따라, 동일한 시점에서 선택 워드라인과 비선택 워드라인으로 각 각 검증 전압(Vver)과 독출 전압(Vread)을 인가한 경우(35㎲ 지점), 곡선2(Curve2)와 같이 먼 곳에 분포하는 선택 워드라인의 지점이 검증 전압으로 셋업(Set-up)되기 위해서는 t0의 시간이 경과해야 함을 알 수 있다. 만일, 40㎲ 부근에서 검증 동작이 일어나게 되면 프로그램 패스(Pass) 된 셀이 프로그램 페일(Fail) 셀로 판별될 가능성이 존재하게 된다.4A is a waveform diagram illustrating a voltage variation of a selected word line when a voltage application method according to the related art is applied. That is, the potential variation of the selected word line when the word line voltage as shown in FIG. 2 is applied is shown. Curve 1 is a voltage waveform of a selected word line distributed close to the X-decoder 20, and curve 2 is a point distributed relatively far from the X-decoder 20 of the selected word line. Voltage waveform. According to the related art, when the verify voltage Vver and the read voltage Vread are applied to the selected word line and the unselected word line at the same time point (a point of 35 microseconds), they are distributed far away as in curve 2 (Curve2). It can be seen that the time t0 must elapse in order for the point of the selected word line to be set-up to the verify voltage. If the verify operation occurs around 40 ms, there is a possibility that the cell that has been passed through the program is identified as a program fail cell.

도 4b는 본 발명의 프로그램 검증 방법을 적용한 경우의 선택 워드라인의 X-디코더(20)로부터의 거리에 따른 전압 변동 양상을 보여주는 파형도이다. 곡선3(Curve3)은 X-디코더(20)로부터 가까이 분포하는 선택 워드라인 지점의 전압 파형이고, 곡선4(Curve4)는 X-디코더(20)로부터 상대적으로 먼 거리에 분포하는 선택 워드라인 지점의 전압 파형이다. 선택 워드라인에 인가되는 검증 전압을 비선택 워드라인의 독출 전압(Vread) 인가보다 소정의 시간 지연된 시점에 인가하게 되면, 디스차지 타임의 증가와 비선택 워드라인과의 커플링 감소로 바람직한 검증 전압으로 선택 워드라인의 전 영역이 셋업(Set-up) 된다. 도 4b에는 독출 전압(Vread)이 인가된 이후 t1 시간이 경과된 이후에 X-디코더(20)로부터 먼 지점의 선택 워드라인 전압(곡선4)과 가까운 지점의 선택 워드라인 전압(곡선3)이 일치하게 됨을 알 수 있다. 따라서, 프로그램이 이루어지는 페이지의 셀들이 공유하는 선택 워드라인의 검증 전압(Vver)의 분포를 균일하게 할 수 있어 프로그램 이후의 셀의 분포도 좁힐 수 있다. 또한, 결과적으로 선택 워드라인에 인가되는 검증 전압(Vver)이 보다 신속히 셋업(set-up)되고, 목표하는 전압으로 설정되기 때문에 프로그램 루프의 수를 줄일 수 있으며, 이는 프로그램 속도가 증가됨을 의미한다.4B is a waveform diagram illustrating a voltage variation according to a distance from an X-decoder 20 of a selected word line when the program verification method of the present invention is applied. Curve 3 (Curve3) is the voltage waveform of the selected word line point distributed close to the X-decoder 20, curve 4 (Curve4) is the voltage waveform of the selected word line point distributed relatively far from the X-decoder 20 Voltage waveform. When the verify voltage applied to the selected word line is applied at a time delayed from the application of the read voltage Vread of the unselected word line, the verify voltage is preferably increased by increasing the discharge time and decreasing coupling with the unselected word line. This sets up the entire area of the selected word line. 4B shows a selection word line voltage (curve 3) close to the selection word line voltage (curve 4) far from the X-decoder 20 after t1 time has elapsed since the read voltage Vread is applied. It can be seen that. Therefore, the distribution of the verification voltage Vver of the selected word line shared by the cells of the page on which the program is made can be made uniform, and the distribution of cells after the program can be narrowed. Also, as a result, the verification voltage Vver applied to the selected word line is set up more quickly and set to the target voltage, thereby reducing the number of program loops, which means that the program speed is increased. .

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.On the other hand, in the detailed description of the present invention has been described with respect to specific embodiments, various modifications are of course possible without departing from the scope of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be defined by the equivalents of the claims of the present invention as well as the following claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 프로그램 방법은 X-디코더와의 거리에 관계없이 선택 워드라인의 전 영역에 일정한 검증 전압의 인가가 가능하기 때문에 과-프로그램될 확률을 줄이고, 프로그램 속도를 증가시킬 수 있다.  As described above, the programming method according to the present invention can apply a constant verify voltage to the entire area of the selected word line regardless of the distance to the X-decoder, thereby reducing the probability of over-programming and increasing the program speed. have.

Claims (12)

플래시 메모리 장치의 검증(Verify) 방법에 있어서,In the Verification method of a flash memory device, 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)을 인가하는 단계;Applying a read voltage Vread to an unselected word line; 상기 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)이 인가된 시점으로부터 소정의 시간 이후에 선택 워드라인으로 검증 읽기 전압(Vver)을 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.And applying a verify read voltage (Vver) to the selected word line after a predetermined time from when the read voltage (Vread) is applied to the unselected word line. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 소정의 시간은 상기 선택 워드라인이 상기 검증 읽기 전압(Vver) 이하로 디스차지되는 시간인 것을 특징으로 하는 방법.And wherein the predetermined time is a time for which the selected word line is discharged below the verify read voltage Vver. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인이 상기 독출 전압(Vread)으로 고정되는데 소요되는 시간인 것을 특징으로 하는 방법.And wherein the predetermined time is a time required for the unselected word line to be fixed to the read voltage Vread. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인의 전압변동에 따른 상기 선택 워드라인의 커플링을 최소화하는 시간인 것을 특징으로 하는 방법. And wherein the predetermined time is a time for minimizing coupling of the selected word line due to a voltage variation of the unselected word line. 복수의 워드라인을 구비한 메모리 셀 어레이와;A memory cell array having a plurality of word lines; 검증 읽기 전압과 독출 전압을 생성하는 전압 발생기와;A voltage generator for generating a verify read voltage and a read voltage; 검증 동작시, 상기 검증 읽기 전압을 선택 워드라인으로, 상기 독출 전압을 비선택 워드라인으로 공급하는 X-디코더와;An X-decoder for supplying the verify read voltage to a selected word line and the read voltage to an unselected word line during a verify operation; 상기 X-디코더가 상기 검증 읽기 전압을 상기 독출 전압보다 소정의 시간 지연하여 공급하도록 제어하는 프로그램 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치. And a program controller configured to control the X-decoder to supply the verify read voltage at a predetermined time delay from the read voltage. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 X-디코더는 검증 동작 이전에 상기 선택 워드라인과 상기 비선택 워드라인을 접지 레벨로 디스차지 시키는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And the X-decoder discharges the selected word line and the unselected word line to a ground level prior to a verify operation. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 소정의 시간은 상기 선택 워드라인이 상기 검증 읽기 전압(Vver) 이하로 디스차지 되는 시간인 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And the predetermined time is a time at which the selected word line is discharged below the verify read voltage Vver. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인이 상기 독출 전압(Vread)으로 고정되는데 소요되는 시간인 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And the predetermined time is a time required for the unselected word line to be fixed to the read voltage Vread. 플래시 메모리 장치의 프로그램 방법에 있어서,In the program method of the flash memory device, 선택 워드라인으로는 프로그램 전압을, 비선택 워드라인으로는 패스 전압을 인가하는 단계;Applying a program voltage to the selected word line and a pass voltage to the unselected word line; 상기 선택 워드라인과 상기 비선택 워드라인을 디스차지하는 단계;Discharging the selected word line and the unselected word line; 상기 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)을 인가하는 단계;Applying a read voltage (Vread) to the unselected word line; 상기 비선택 워드라인으로 독출 전압(Vread)이 인가된 시점으로부터 소정의 시간 이후에 상기 선택 워드라인으로 검증 읽기 전압(Vver)을 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.And applying a verify read voltage (Vver) to the selected word line after a predetermined time from when the read voltage (Vread) is applied to the unselected word line. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 소정의 시간은 상기 선택 워드라인이 상기 검증 읽기 전압(Vver) 이하로 디스차지되는 시간인 것을 특징으로 하는 방법.And wherein the predetermined time is a time for which the selected word line is discharged below the verify read voltage Vver. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인이 상기 독출 전압(Vread)으로 고정되는데 소요되는 시간인 것을 특징으로 하는 방법.And wherein the predetermined time is a time required for the unselected word line to be fixed to the read voltage Vread. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 소정의 시간은 상기 비선택 워드라인의 전압변동에 따른 상기 선택 워드라인의 커플링을 최소화하는 시간인 것을 특징으로 하는 방법. And wherein the predetermined time is a time for minimizing coupling of the selected word line due to a voltage variation of the unselected word line.
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