KR20070048946A - 반도체 공정설비를 위한 칠러 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 반도체 공정설비, 브라인 인렛, 증발기내 브라인경로, 열교환기, 브라인펌프, 브라인 아웃렛, 및 상기 반도체 공정설비를 순환하는 브라인 경로; 및압축기, 전자식 팽창밸브, 상기 증발기내 브라인경로와 열교환하는 증발기내 냉매경로 및 상기 압축기를 순환하는 냉매 경로를 포함하며,전단이 상기 압축기와 연결되고 후단이 상기 증발기의 입력단과 연결되어 상기 전단과 후단의 압력 차이에 의해 작동되어 상기 압축기로부터의 핫가스 냉매를 상기 증발기에 공급하는 핫가스 바이패스 레귤레이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정설비를 위한 칠러 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 핫가스 바이패스 레귤레이터와 병렬로 연결되어 상기 압축기와 상기 증발기 입구단 사이에 설치되어 제어 프로그램에 의해 상기 브라인의 설정온도를 기준으로 상기 브라인의 현재 온도에 따라 개방되거나 폐쇄되는 솔레노이드 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정설비를 위한 칠러 장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 솔레노이드 밸브는, 평상시 폐쇄되어 있고, 상기 브라인의 현재 온도가 상기 브라인의 설정온도보다 낮은 경우 개방되며, 시간에 경과에 따라 상기 브라인 의 현재 온도가 상기 브라인의 설정온도와 같아지는 경우 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정설비를 위한 칠러 장치.
- 청구항 1 또는 2에 있어서,상기 전자식 팽창밸브는 상기 브라인 경로 상의 브라인의 온도를 피드백 받아 상기 브라인의 설정온도와 비교하여 그 개도를 PID 제어에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정설비를 위한 칠러 장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 전자식 팽창밸브는 디지털화된 전기적 신호를 입력받아 스텝퍼 구동방식으로 0 내지 N 단계로 개도가 변화되는 밸브인 것을 특징으로 하는 반도체 공정설비를 위한 칠러 장치.
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