KR20070039179A

KR20070039179A - 액정 표시 장치 제조용 열 압착 장치

Info

Publication number: KR20070039179A
Application number: KR1020050094211A
Authority: KR
Inventors: 김동원; 김태규; 황일권
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-10-07
Filing date: 2005-10-07
Publication date: 2007-04-11

Abstract

액정 표시 장치 제조 공정 중, 액정 패널의 주변 영역에 신호 전송 부재를 실장하는 압착 공정에 사용되는 열 압착 장치가 개시된다. 열 압착 장치는 지지 유닛, 가압 유닛 및 제1 가열 유닛을 포함한다. 지지 유닛은 액정 패널 및 신호 전송 부재를 포함하는 피압착 부재를 지지한다. 가압 유닛은 지지 유닛 상부에 배치되어 피압착 부재를 가압한다. 제1 가열 유닛은 가압 유닛과 일체형으로 형성되어 가압 유닛을 가열하되, 가압 유닛과 열팽창 계수가 동일한 소재로 형성된다. 이에 따라, 압착 공정 시 발생하는 가압 유닛의 열 변형이 감소되어 압착면의 평탄도가 개선된 열 압착 장치를 제공할 수 있다.

열 플럭스, 바이 메탈, 조정 볼트

Description

액정 표시 장치 제조용 열 압착 장치{HOT PRESS DEVICE FOR MANUFACTURING LIQUID DISPLAY DEVICE}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제1 열압착 장치의 개략적 사시도이다.

도 2는 도 1에서 도시된 제1 열압착 장치를 Ⅰ-Ⅰㅄ을 따라 절단한 단면도이다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 열압착 장치의 개략적 사시도이다.

도 4는 도 3에서 도시된 제2 열압착 장치를 Ⅱ-Ⅱㅄ을 따라 절단한 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

3 : 액정 패널 6 : 신호 전송 부재

7 : 이방성 도전 필름 8 : 단차 조정 시트

10 : 지지 유닛 20 : 가압 유닛

30, 50 : 제1 및 제2 가열 유닛 40, 60 : 제1 및 제2 조정 유닛

100, 200 : 제1 및 제2 열 압착 장치

본 발명은 액정 표시 장치 제조용 열 압착 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정 패널에 신호 전송 부재를 균일하게 압착시키는 열 압착 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정 표시 장치에는 박막 트랜지스터 패턴들을 구동시키기 위한 구동 회로가 사용된다. 이때, 구동 회로에서 공급하는 신호들을 박막 트랜지스터 패턴들이 위치하는 액정 패널에 전송하기 위해서 다수의 드라이버 집적 회로(Driver IC)가 필요하다. 드라이버 집적 회로를 액정 패널에 실장하는 방식은 별도의 구조물 없이 액정 패널에 드라이버 집적 회로를 직접 실장하는 방식인 씨오지(COG, Chip On Glass) 방식과, 드라이버 집적 회로가 탑재된 테이프 캐리어 패키지(TCP, Tape Carrier Package) 또는 칩 온 필름(COF, Chip On Film)을 통해 드라이버 집적 회로를 간접적으로 액정 패널에 실장하는 방식인 탭(TAB, Tape Automated Bonding) 방식이 있다.

탭 방식을 사용할 경우, 드라이버 집적 회로가 탑재된 테이프 캐리어 패키지 또는 칩 온 필름은 일종의 신호 전송 부재로서의 역할을 하게 되며, 이방성 도전 필름(ACF, Anisotropic Conductive film)을 통해 액정 패널과 접착된다. 마찬가지로, 액정 패널에 인접하며 구동 회로가 인쇄된 인쇄 회로 기판(PCB, Printed Circuit Board)에 신호 전송 부재를 접착시키는 경우에도 이방성 도전 필름이 이용될 수 있다.

이때, 상술한 방식으로 신호 전송 부재를 액정 패널에 안정적으로 실장시키 기 위해서는, 이방성 도전 필름이 개재된 액정 패널과 신호 전송 부재에 적당한 열과 압력이 가해져야 한다.

열과 압력을 가하기 위한 장치로서, 일반적으로 신호 전송 부재와 액정 패널이 놓이는 지지 유닛과 신호 전송 부재에 압력을 가하는 가압 유닛으로 구성된 열 압착 장치가 사용된다. 이때, 가압 유닛 혹은 지지 유닛에 열을 공급하는 가열 유닛이 별도로 배치되는 것이 일반적이다.

이방성 도전 필름을 통해 신호 전송 부재와 액정 패널을 접합하는 과정은 압착 장치의 가압 유닛을 이용한 열 압착 과정을 통해 이루어지며, 이 과정에서 압착 유닛의 평탄도 관리는 매우 중요한 요소로 작용한다.

그런데, 가압 유닛이나 지지 유닛은 가열 유닛에 의해 공급되는 열에 의한 변형을 일으키게 된다. 특히 가열 유닛과 가압 유닛 상호 간에 혹은 가열 유닛과 지지 유닛 상호 간에 열팽창 계수가 다를 경우, 그로 인해 이른 바 바이 메탈 효과(Bi-metal Effect)에 의한 구부러짐이 발생하여 평탄도가 저하되는 문제점이 발생한다.

이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 신호 전송 부재가 액정 패널에 균일하게 부착될 수 있도록 평탄도가 개선된 액정 표시 장치 제조용 열 압착 장치를 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 압착 장치는 제 1 지지 유닛, 가압 유닛 및 제1 가열 유닛을 포함한다. 상기 지지 유닛은 액정 패널 및 신호 전송 부재를 포함하는 피압착 부재를 지지한다. 상기 가압 유닛은 상기 지지 유닛 상부에 배치되어 상기 피압착 부재를 가압한다. 상기 제1 가열 유닛은 상기 가압 유닛과 일체형으로 형성되어 상기 가압 유닛을 가열하되, 상기 가압 유닛과 열팽창 계수가 동일한 소재로 형성된다.

이러한 압착 장치에 의하면, 상기 피압착 부재를 가압하는 가압 유닛이나 상기 피압착 부재를 지지하는 지지 유닛이 열에 의해 변형되는 것을 효과적으로 억제함으로써, 상기 피압착 부재가 균일한 상태로 압착되도록 할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

실시예

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제1 열 압착 장치의 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1에서 도시된 제1 열 압착 장치를 Ⅰ-Ⅰ'을 따라 절단한 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 열 압착 장치(100)는 지지 유닛(10), 가압 유닛(20), 제1 가열 유닛(30) 및 제1 조정 유닛(40)을 포함한다.

상기 지지 유닛(10)은 액정 표시 장치의 액정 패널(3)과 신호 전송 부재(6)를 포함하는 피압착 부재를 지지하는 역할을 한다. 상기 액정 패널(3)은 하부의 박막 트랜지스터 기판(1)과 상부의 컬러 필터 기판(2)을 포함한다. 상기 박막 트랜지스터 기판(1) 중 상기 컬러 필터 기판(2)에 의해 커버되지 않는 주변 영역에는 구동 회로에서 공급되는 신호를 상기 액정 패널(3)로 전송하기 위한 상기 신호 전송 부재(6)가 실장된다.

상기 신호 전송 부재(6)로서 베이스 필름(4)에 드라이버 집적 회로(5)가 탑재된 테이프 캐리어 패키지가 사용될 수 있으며, 상기 테이프 캐리어 패키지는 탭 방식에 의해 상기 액정 패널(3)에 실장된다. 이때, 상기 테이프 캐리어 패키지를 상기 액정 패널(3)에 실장하기 위해서 이방성 도전 필름(7)이 개재된다.

상기 가압 유닛(20)은 상기 피압착 부재에 압력을 가하는 역할을 한다. 즉, 상기 피압착 부재에 포함된 상기 테이프 캐리어 패키지에 일정한 압력을 가하여 상기 테이프 캐리어 패키지가 상기 액정 패널(3)에 완전히 접착되도록 한다.

상기 지지 유닛(10)에 놓이는 상기 피압착 부재를 상기 가압 유닛(20)으로 압력을 가하는 경우, 열경화성 수지인 상기 이방성 도전 필름(7)이 개재되므로 일정한 열을 함께 가하여 압착하게 된다. 따라서 상기 가압 유닛(20)에 열을 가하여 제1 온도를 갖도록 하는 제1 가열 부재(34)를 포함하는 제1 가열 블록(32)을 상기 가압 유닛(20)에 접촉시켜 일체형으로 형성한다. 이때, 상기 제1 가열 블록(32)은 상기 가압 유닛(20) 상부에 접촉시켜 일체형으로 형성함이 바람직하다. 한편 도시되지는 않았지만, 상기 지지 유닛(10) 하부에도 상기 지지 유닛(10)을 가열하여 제2 온도를 갖도록 하는 별도의 가열 부재를 더 배치할 수 있다.

상기 제1 가열 부재는(34) 상기 가압 유닛(20)을 국부적으로 가열하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 가열 부재(34)는 독립적으로 제어되는 복수개의 제1 서브 가열 부재들로 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 가압 유닛(20) 내의 각 부분에는 서로 다른 열이 공급됨으로써, 상기 가압 유닛(20)은 각 부분에 따라 서 로 다른 온도가 형성된다. 즉, 상기 제1 온도는 상기 가압 유닛(20)의 각 부분에 따라 다른 값을 가질 수 있으며, 후술하는 열 플럭스를 국부적으로 다르게 하여 상기 가압 유닛(20)의 수평 레벨을 조정하는 역할을 수행한다.

상기 제1 온도를 상기 제2 온도보다 높게 하는 경우, 상기 지지 유닛(10)과 가압 유닛(20)의 온도 차이로 인해 상기 가압 유닛(20)으로부터 상기 지지 유닛(10)으로 전달되는 상기 열 플럭스가 발생하게 된다. 상기 제1 온도를 대략 350도 정도로 하고 상기 제2 온도는 대략 100도 정도로 하는 경우, 상기 열 플럭스에 의해 상기 이방성 도전 필름(7)의 온도는 대략 180도 정도로 유지되며, 이때 상기 테이프 캐리어 패키지와 액정 패널(3)의 접착 효과는 우수하다.

상기 가열 부재(34)에 의해 발생하는 열이 상기 가압 유닛(20) 각 부분에 효과적으로 전달되기 위해서, 상기 가압 유닛(20)은 열 전도도가 큰 값을 갖는 소재를 사용하여 형성하는 것이 바람직하다. 그러나 상기 가압 유닛(20)은 상기 피압착 부재를 가압하는 역할도 해야 하므로, 단순히 열 전도도가 큰 값을 갖는 소재만을 고려할 수는 없으며, 열 및 압력에 의한 변형에 강한 특성도 고려하여야 한다. 예를 들어, 스테인레스 강철 계통의 소재가 상기 가압 유닛(20)의 소재로 사용될 수 있다.

한편, 상기 신호 전송 부재(6)로 사용되는 상기 테이프 캐리어 패키지는 복수개가 사용되며 상기 액정 패널(3) 위에 연속적으로 배치되지는 않으므로, 상기 가압 유닛(20)에 접촉되는 면이 일정하지 않게 되어 이를 조정하기 위한 단차 조정 시트(8)가 사용될 수 있다. 이때, 상기 단차 조정 시트(8)는 상기 가압 유닛(20)과 테이프 캐리어 패키지 사이에 개재된다.

액정 표시 장치 제조에서 반복적인 압착 공정을 수행하는 경우, 상기 지지 유닛(10)과 가압 유닛(20)에는 변형이 발생한다. 특히, 전술한 바와 같이 상기 가압 유닛(20)이 제1 가열 부재(34)에 의해 가열되는 경우는 고온에 의한 열적 변형이 함께 발생하게 된다. 상기 가압 유닛(20)의 변형은 압착면의 수평 레벨을 변화시켜 여러 문제점이 발생하는데, 예를 들어 압착 압력 균일도가 저하되어 접착 불량이 나타나거나, 국부적 온도 불균일로 인해 상기 이방성 도전 필름(7)이 균일하지 않게 부착되거나, 기타 상기 단차 조정 시트(8)의 파손 등이 초래된다.

특히, 상기 제1 가열 블록(32)과 가압 유닛(20)이 서로 다른 물질로 형성되는 경우에는 바이 메탈 효과가 발생할 수 있다. 즉, 상기 제1 가열 블록(32)과 가압 유닛(20)을 구성하는 소재가 다름으로 인해 열 팽창 계수 차이가 발생하고, 이에 따라 고온 상태에서 열에 의한 변형이 서로 달라 상기 열팽창 계수가 작은 쪽으로 휘어지는 문제점이 발생한다. 그러나 본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제1 가열 블록(32)을 구성하는 물질로서 상기 가압 유닛(20)과 열팽창 계수가 동일한 물질을 사용함으로써 상기 바이 메탈 효과에 의한 수직적 변형을 방지할 수 있다.

한편, 상기 가압 유닛(20)의 변형을 조정하기 위해 상기 제1 조정 유닛(40)이 배치된다. 상기 제1 조정 유닛(40)은 제1 조정 블록(42), 제1 푸시(Push) 조정 볼트(44), 제1 풀(Pull) 조정 볼트(46)를 포함하며, 상기 가압 유닛(20)의 수평 레벨을 조정하기 위해 상기 가압 유닛(20) 상부에 배치된다. 또한, 상기 제1 가열 유닛(30)은 상기 가압 유닛(20)과 일체형으로 형성되며, 바람직하게는 상기 가압 유 닛(20) 상부에 접촉하여 일체형으로 형성되므로, 상기 제1 조정 유닛(40)은 상기 제1 가열 유닛(30) 상부에 형성되게 된다.

즉, 상기 제1 조정 유닛(40)은 상기 제1 조정 블록(42)에 구비된 상기 제1 푸시 및 풀 조정 볼트(44, 46)를 통해 상기 가압 유닛(20)의 수평 레벨을 조정하며, 상기 가압 유닛(20)과 일체형으로 형성된 상기 제1 가열 유닛(30)을 조정함으로써 상기 가압 유닛(20)을 조정하는 효과를 얻는다. 이때, 상기 가압 유닛(20)의 각 부분에 따라 상기 수평 레벨을 정교하게 조정하기 위해서, 상기 제1 푸시 및 풀 조정 볼트(44, 46)는 각각 복수개의 제1 푸시 및 풀 서브 조정 볼트들로 구성될 수 있다.

상기 제1 푸시 조정 볼트(44)는 상기 제1 조정 블록(42)을 관통하여 일단이 상기 제1 가열 유닛(30) 표면에 접촉하고, 상기 제1 풀 조정 볼트(46)는 상기 제1 조정 블록(42)을 관통하여 일단이 상기 제1 가열 유닛(30) 내부에까지 삽입된다. 그리하여 상기 제1 푸시 조정 볼트(44)를 회전시켜 아래로 이동시킴으로써 상기 가압 유닛(20)의 수평 레벨을 아래쪽으로 밀어내릴 수 있으며, 상기 제1 풀 조정 볼트(46)를 회전시켜 위로 이동시킴으로써 상기 가압 유닛(20)의 수평 레벨을 위쪽으로 끌어올릴 수 있다.

상기 제1 푸시 조정 볼트(44)는 상기 제1 가열 유닛(30), 특히 상기 제1 가열 블록(32) 표면과 접촉하게 되므로, 상기 제1 푸시 조정 볼트(44) 및 제1 가열 블록(32)을 구성하는 각각의 소재가 다를 경우 상호 마모를 일으킬 수 있다. 그러나 본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제1 가열 블록(32)의 소재로서 상기 가압 유닛(20) 뿐만 아니라 상기 제1 푸시 조정 볼트(44)의 소재로 흔히 쓰이는 스테인레스 강철과 동일한 소재를 사용함으로써, 상기 마모를 줄일 수 있다.

또한, 상기 제1 가열 블록(32)의 소재로서 상기 스테인레스 강철 외에 열전도도가 대략 250W/m·K로서 높으면서도 열팽창 계수가 대략 6.5ppm/℃로서 작은 값을 갖는 실리콘 탄화물(SiC)에 알루미늄(Al)이 첨가된 혼합물을 사용할 수 있다.

이 경우, 상기 가압 유닛(20) 소재로 사용하는 상기 스테인레스 강철의 열팽창 계수는 대략 10ppm/℃이므로, 상기 제1 가열 블록(32) 및 가압 유닛(20) 사이에 열팽창 계수 차이가 비교적 작아, 상기 제1 가열 블록(32) 및 가압 유닛(20)이 상기 제1 가열 부재(34)에 의해 가열 되더라도 각각의 열팽창 정도 차이가 크지 않아 바이 메탈 효과가 심하게 나타나지 않는다. 따라서 상기 바이 메탈 효과에 의해 발생하는 상기 가압 유닛(20)의 휘어짐 현상은 상당 부분 억제될 수 있다.

또, 상기 제1 조정 유닛(40)이 포함하는 제1 푸시 조정 볼트(44)의 소재로 스테인레스 강철과 유사한 소재를 사용할 경우, 상기 제1 가열 블록(32)에 사용되는 소재인 실리콘 탄화물에 알루미늄을 첨가한 혼합물과의 상호 마모 현상도 거의 발생하지 않는 효과를 얻을 수 있다.

한편, 상기 제1 열 압착 장치(100)에는 상기 가압 유닛(20)의 상하 운동을 구동하기 위한 구동 유닛(미도시)이 상기 제1 조정 유닛(40) 상부에 배치될 수 있으며, 상기 구동 유닛(미도시)은 회전 운동을 하는 실린더(미도시)와 상기 실린더(미도시)의 회전 운동을 상하 운동으로 변환시키는 레버(미도시)를 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1 열 압착 장치(100)는 상기 액정 패널(3)을 상기 지지 유닛 (10)에 올려놓는 또 다른 구동 유닛(미도시)도 더 포함할 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 열 압착 장치의 개략적인 사시도이고, 도 4는 도 3에서 도시된 제2 열 압착 장치를 Ⅱ-Ⅱ'을 따라 절단한 단면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제2 열 압착 장치(200)는 지지 유닛(10), 가압 유닛(20), 제1 가열 유닛(30), 제1 조정 유닛(40), 제2 가열 유닛(50) 및 제2 조정 유닛(60)을 포함한다. 도 1 및 도 2와 비교하여 동일한 부분에는 동일한 도면 번호를 부여하고, 설명은 생략한다.

상기 제2 가열 유닛(50)은 상기 지지 유닛(10)을 가열하는 제2 가열 부재(54)가 제2 가열 블록(52)을 포함하며, 상기 지지 유닛(10)과 일체형으로 형성된다. 바람직하게는 상기 제2 가열 블록(52)은 상기 지지 유닛(10) 하부와 접촉하여 일체형으로 형성된다. 이때, 상기 제2 가열 블록(52)을 구성하는 소재로 상기 지지 유닛(10)을 구성하는 소재와 열팽창 계수가 동일한 소재를 사용하여 바이 메탈 효과에 따른 열적 변형을 줄일 수 있다.

한편, 상기 제2 가열 부재(54)는 상기 지지 유닛(10)을 국부적으로 가열하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 가열 부재(54)는 독립적으로 제어되는 복수개의 제2 서브 가열 부재들로 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 지지 유닛(10) 내의 각 부분에는 서로 다른 열이 공급됨으로써, 상기 지지 유닛(10)은 각 부분에 따라 서로 다른 온도가 형성된다.

상기 지지 유닛(10)의 소재로는 열전도도가 비교적 높은 값을 가지면서도, 열 및 압력에 의한 변형이 비교적 적은 소재인 스테인레스 강철 계통의 소재를 사용하는 것이 바람직하다.

상기 제2 조정 유닛(60)은 상기 지지 유닛(10)의 변형을 조정하기 위해 배치된다. 상기 제2 조정 유닛(60)은 제2 조정 블록(62), 제2 푸시(Push) 조정 볼트(64), 제2 풀(Pull) 조정 볼트(66)를 포함하며, 상기 제2 가열 유닛(50) 하부에 배치된다.

이때, 상기 제2 조정 유닛(60)이 상기 지지 유닛(10)의 변형을 조정하는 방법은 도 1 및 도 2에서 도시한 제1 조정 유닛(40)에 의해 가압 유닛(20)의 변형을 조정하는 방법과 동일하다. 이때, 본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 제2 가열 블록(52)을 구성하는 소재로 상기 지지 유닛(10)을 구성하는 소재인 스테인레스 강철과 유사한 소재를 사용하게 되므로, 상기 스테인레스 강철을 포함하는 소재를 주로 사용하는 상기 제2 푸시 조정 볼트(64)와의 마모를 줄일 수 있다.

또한, 상기 제2 가열 블록(52)의 소재로 실리콘 탄화물(SiC)에 알루미늄(Al)이 첨가된 혼합물을 사용할 수도 있다. 이 경우, 상기 제2 가열 블록(52) 및 지지 유닛(10)이 상기 제2 가열 부재(54)에 의해 가열 되더라도 바이 메탈 효과가 심하게 나타나지 않으므로, 상기 바이 메탈 효과에 의해 발생하는 상기 지지 유닛(10)의 휘어짐 현상은 상당 부분 억제될 수 있다.

또, 상기 제2 푸시 조정 볼트(64)의 소재로 스테인레스 강철과 유사한 소재를 사용할 경우, 상기 제2 가열 블록(52)에 사용되는 소재인 실리콘 탄화물에 알루미늄을 첨가한 혼합물과의 상호 마모 현상도 거의 발생하지 않는 효과를 얻을 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 액정 표시 장치 제조 공정 중 액정 패널에 신호 전송 부재를 실장하는 압착 공정에서 발생할 수 있는 열에 의한 변형을 효과적으로 방지할 수 있다. 특히 열 압착 공정 시 가압 유닛과 지지 유닛에 열을 공급하는 가열 유닛을 가압 유닛 및 지지 유닛을 구성하는 소재와 열팽창 계수가 동일하거나, 아예 동일한 소재로 형성함으로써 바이 메탈 효과에 의한 가압 유닛 및 지지 유닛의 수직적 변형을 방지할 수 있다.

또한, 가압 유닛 및 지지 유닛의 변형을 조정하기 위해 조정 볼트를 사용하는 경우, 조정 볼트와 유사한 소재를 가열 유닛에 사용함으로써 상호간의 마모를 방지할 수 있다.

본 발명에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

액정 패널 및 신호 전송 부재를 포함하는 피압착 부재를 지지하는 지지 유닛;

상기 지지 유닛 상부에 배치되어 상기 피압착 부재를 가압하는 가압 유닛; 및

상기 가압 유닛과 일체형으로 형성되어 상기 가압 유닛을 가열하되, 상기 가압 유닛과 열팽창 계수가 실질적으로 동일한 제1 가열 유닛을 포함하는 열 압착 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 가열 유닛의 열팽창 계수는 8 내지 12ppm/℃의 값을 갖는 것을 특징으로 하는 열 압착 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 가열 유닛은 상기 가압 유닛과 동일한 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 열 압착 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 가열 유닛은 스테인레스 강철을 포함하는 것을 특징으로 하는 열 압착 장치.
제1항에 있어서, 상기 가압 유닛 상부에 배치되어 상기 가압 유닛의 수평도 를 조정하는 제1 조정 볼트가 형성된 제1 조정 유닛을 더 포함하는 열 압착 장치.
제5항에 있어서, 상기 제1 가열 유닛은 상기 가압 유닛 상부에 접촉하여 일체형으로 형성된 것을 특징으로 하는 열 압착 장치.
제6항에 있어서, 상기 제1 조정 볼트는 상기 제1 가열 유닛 표면에 접촉하는 푸시 조정 볼트 및 상기 제1 가열 유닛 내부로 일부가 삽입되는 풀 조정 볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 압착 장치.
제6항에 있어서, 상기 제1 조정 볼트는 상기 제1 가열 유닛과 동일한 소재로 형성된 것을 특징으로 하는 열 압착 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 가열 유닛은 실리콘 탄화물에 알루미늄이 첨가된 혼합물을 포함하고, 상기 가압 유닛은 스테인레스 강철을 포함하는 것을 특징으로 하는 열 압착 장치.
제1항에 있어서, 상기 지지 유닛과 일체형으로 형성되어 상기 지지 유닛을 가열하되, 상기 지지 유닛과 열팽창 계수가 동일한 제2 가열 유닛을 더 포함하는 열 압착 장치.
제10항에 있어서, 상기 지지 유닛 하부에 배치되어 상기 지지 유닛의 수평도를 조정하는 제2 조정 볼트가 형성된 제2 조정 유닛을 더 포함하는 열 압착 장치.