KR20070032528A - Apparatus for fixing Front Open Unified Pod - Google Patents

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KR20070032528A
KR20070032528A KR1020050086841A KR20050086841A KR20070032528A KR 20070032528 A KR20070032528 A KR 20070032528A KR 1020050086841 A KR1020050086841 A KR 1020050086841A KR 20050086841 A KR20050086841 A KR 20050086841A KR 20070032528 A KR20070032528 A KR 20070032528A
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wafer cassette
locker
lockers
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김현철
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삼성전자주식회사
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Abstract

A wafer cassette fixing apparatus is provided to improve the endurance of equipment and to prevent the processing error by using an improved locker structure. A wafer cassette fixing apparatus includes a horizontal frame(10) connected to one side of a vertical frame and a shuttle(20) for sliding finely the horizontal frame. A wafer cassette with a plurality of wafers is stably loaded on the shuttle. The shuttle includes lockers(50) installed at both vertical frame sides corresponding to a sensor at the center, respectively. The lockers are used for fixing a support unit, wherein the support unit is used for supporting the wafer cassette. The lockers are capable of sliding and rotating. The lockers are driven by a motor installed in the horizontal frame.

Description

웨이퍼 카세트 고정 장치{Apparatus for fixing Front Open Unified Pod}Wafer cassette fixing device {Apparatus for fixing Front Open Unified Pod}

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 고정 상태를 도시한 로드 포트의 측면도, 1 is a side view of a load port showing a conventional wafer cassette fixing state;

도 2는 종래의 웨이퍼 카세트가 안치되는 셔틀의 평면 구조도,2 is a plan view of a shuttle in which a conventional wafer cassette is placed;

도 3은 본 발명에 따른 셔틀의 평면 구조도,3 is a plan view of the shuttle according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 요부를 확대한 로드 포트의 측면도,4 is a side view of the load port in which the main portion according to the present invention is enlarged;

도 5 및 도 6은 본 발명에 따라 셔틀에 안치되는 웨이퍼 카세트의 고정되는 상태를 도시한 작동 상태도.5 and 6 is an operating state diagram showing a fixed state of the wafer cassette placed in the shuttle according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 수평의 프레임10: horizontal frame

20 : 셔틀(shuttle)20: shuttle

30 : 센서30: sensor

40 : 안착 돌기40: seating protrusion

50 : 록커(locker)50: locker

60 : 웨이퍼 카세트(FOUP)60 wafer wafer (FOUP)

본 발명은 웨이퍼 카세트 고정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고정 수단인 셔틀에서의 고정 수단을 셔틀의 앞쪽과 동시에 그에 대응되는 뒤쪽으로도 서로 대응되는 방향으로 이동 가능하게 구비되게 함으로써 셔틀에서의 웨이퍼 카세트가 견고하게 고정되도록 하는 웨이퍼 카세트 고정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer cassette holding device, and more particularly, a wafer in a shuttle by allowing the fixing means in the shuttle, which is a fixing means, to be movable in a direction corresponding to each other at the front of the shuttle and at the same time corresponding to the rear of the shuttle. A wafer cassette holding device for allowing a cassette to be firmly fixed.

최근 반도체 제조기술의 비약적인 발전으로 회로선폭이 초미세화되는 추세에 있음으로써 집적도보다는 보다 빠른 처리속도가 더욱 요구되고 있고, 그에 부합하는 반도체 디바이드가 계속적으로 개발되고 있다.Recently, due to the rapid development of semiconductor manufacturing technology, the circuit line width is becoming very fine, so that a faster processing speed is required rather than the degree of integration, and semiconductor devices corresponding thereto are continuously being developed.

이러한 대단히 정밀한 회로선폭을 구현하게 되는 반도체 디바이스는 더욱 민감해질 수 밖에 없으며, 따라서 미세한 파티클 등의 오염에 의해서도 제품 수율이나 제품 품질에 직접적인 영향을 미치게 된다.Semiconductor devices that realize such extremely precise circuit widths are inevitably more sensitive, and thus contamination of fine particles directly affects product yield or product quality.

이를 위해서 반도체 디바이스를 제조하는데 있어 제품 수율과 품질 향상을 위해서는 미세 파티클 등의 오염원을 미연에 차단 및 제거하는 것이 대단히 중요하다.To this end, it is very important to block and remove contaminants such as fine particles in order to improve product yield and quality in manufacturing semiconductor devices.

이렇게 반도체 디바이스를 제조하는데 있어서 공정과 공정을 이동하는 동안 발생되는 미세 파티클 등에 의한 오염을 최소화하고자 최근 300㎜ 이상의 웨이퍼 제조 공정에서는 웨이퍼를 운반하면서 외부로부터 보호하도록 하는 운송 수단인 전면 개방형 통합 퍼드(Front Open Unified Pod, 이하 약칭하여 FOUP라 함)를 사용하고 있다.In order to minimize contamination caused by the fine particles generated during the process and the process of manufacturing a semiconductor device, in the wafer manufacturing process of 300 mm or more in recent years, an open front integrated pod, a transportation means that protects the wafer while transporting the wafer. Open Unified Pod, hereinafter abbreviated as FOUP).

즉 300㎜ 직경의 웨이퍼는 웨이퍼의 무게로 인하여 복수 개의 슬롯(slot)이 구비된 웨이퍼 카세트와 이 웨이퍼 카세트를 적재한 상태로 이송하는 카세트 박스 등과 같은 이송 도구를 통합한 FOUP를 사용하도록 하고 있다In other words, a 300 mm diameter wafer uses a FOUP that incorporates a wafer cassette having a plurality of slots and a transfer tool such as a cassette box to which the wafer cassette is loaded, due to the weight of the wafer.

FOUP는 웨이퍼의 보관 및 운반을 동시에 행할 수 있도록 하면서 또한 먼지나 화학가스 등 외부의 이물질에 의한 웨이퍼 오염을 방지하기 위한 밀폐된 구조를 갖도록 하고 있다. The FOUP allows the wafer to be stored and transported at the same time, and has a sealed structure to prevent contamination of the wafer by foreign matter such as dust or chemical gas.

또한 FOUP의 전면부에는 웨이퍼가 인출입되는 개구부가 형성되고, 이 개구부에는 도어가 설치되며, 도어를 열고 닫기 위하여 설비에는 도어 개폐장치가 마련된어 공정 진행 중 자동으로 도어를 열고 닫도록 하고 있다.In addition, an opening through which the wafer is drawn in and out is formed in the front portion of the FOUP, and a door is provided in the opening, and a door opening and closing device is provided in the facility to open and close the door so that the door is automatically opened and closed during the process.

이렇게 FOUP를 고정시켜 도어를 열고 닫도록 하는 구성을 통상 로드 포트라고 하며, 로드 포트에서 특히 FOUP가 안치되는 부위는 셔틀(shuttle)이라고 한다.The configuration in which the FOUP is fixed to open and close the door is generally called a load port, and a portion of the load port where the FOUP is placed is called a shuttle.

도 1은 로드 포트에 FOUP가 안치된 상태를 측면에서 본 구조를 도시한 것으로서, 도시한 바와 같이 로드 포트(100)는 수직의 프레임(110)과 수평의 프레임(120)의 결합으로 이루어지며, 수평의 프레임(120)에는 미세하게 슬라이드 가능하게 셔틀(130)이 구비된다.1 is a view showing a structure in which the FOUP is placed in the load port from the side, as shown, the load port 100 is made of a combination of the vertical frame 110 and the horizontal frame 120, The horizontal frame 120 is provided with a shuttle 130 to be finely slidable.

FOPU(200)는 로드 포트(100)에서 수평의 프레임(120)에 구비되는 셔틀()에 안치되어 고정되며, 별도의 도어 개폐장치를 이용하여 FOUP(200)의 도어(210)를 열고 닫도록 하고 있다.The FOPU 200 is secured by being placed in a shuttle () provided in the horizontal frame 120 at the load port 100, and to open and close the door 210 of the FOUP 200 by using a separate door opening and closing device. Doing.

한편 셔틀(130)에는 통상 도 2에서와 같이 판면에 외주연부측으로 상향 돌출되게 하여 복수의 안착돌기(131)가 형성되도록 하고, 중앙에는 FOUP(200)의 안착 여부를 감지하도록 하는 센서(132)가 구비되도록 한다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the shuttle 130 protrudes upward toward the outer circumferential side to form a plurality of seating protrusions 131, and a sensor 132 to detect whether the FOUP 200 is seated in the center. To be provided.

또한 셔틀(130)에는 이들 안착돌기(131)와 센서(132) 외에 셔틀(130)에 안치되는 FOUP(200)의 이탈이 방지되도록 하기 위하여 록커(133)가 구비되도록 하고 있다.In addition, the locker 133 is provided in the shuttle 130 to prevent the detachment of the FOUP 200 placed in the shuttle 130 in addition to the seating protrusion 131 and the sensor 132.

이때의 록커(133)는 통상 FOUP(200)의 저면에 형성되는 받침 수단에 걸려지도록 구비되며, 주로 모터 구동에 의해 회전 또는 슬라이드 이동하면서 FOUP(200)를 고정 또는 해제시키도록 한다.At this time, the locker 133 is usually provided to be caught by the supporting means formed on the bottom surface of the FOUP 200, and mainly to fix or release the FOUP 200 while rotating or slidingly moving by a motor drive.

하지만 셔틀(130)에 구비되는 록커(133)는 FOUP(200)에 저면에 구비되는 받침 수단의 일측 주로 앞쪽의 단부 한곳만을 고정하도록 하고 있고, 따라서 고정 상태가 견고치 못하므로 뒤쪽에서 FOUP(200)를 들어올리게 되는 경우 FOUP(200)의 받침 수단과 함께 록커(133)가 쉽게 파손되는 문제가 있다.However, the locker 133 provided in the shuttle 130 is configured to fix only one end portion of the front side mainly of the support means provided on the bottom surface to the FOUP 200, and therefore, the fixed state is not firm. ), There is a problem that the locker 133 is easily broken together with the supporting means of the FOUP 200.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 셔틀에서의 FOUP를 더욱 견고하게 고정시킬 수 있도록 함으로써 FOUP의 안전한 이동 및 설비 보호가 가능한 웨이퍼 카세트 고정 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been invented to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a wafer cassette fixing device capable of securing the FOUP in the shuttle more securely, thereby enabling safe movement and facility protection of the FOUP. To provide.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 수직의 프레임의 일측으로 수 평의 프레임이 결합되고, 상기 수평의 프레임에는 미세하게 슬라이드 이동 가능하도록 셔틀을 구비하며, 상기 셔틀에는 다수의 웨이퍼를 적재시킨 웨이퍼 카세트가 안착되면서 고정되도록 하는 웨이퍼 카세트 고정 장치에 있어서, 상기 셔틀에는 중앙의 센서를 기준으로 수직의 프레임측과 그와 대칭되는 위치에 록커가 각각 구비되도록 하여 상기 양측의 록커에 의해서 상기 웨이퍼 카세트의 저면에 형성한 받침 수단의 양측을 견고하게 고정시킬 수 있도록 하는 것이다.In order to achieve the above object, the present invention has a horizontal frame coupled to one side of the vertical frame, the horizontal frame is provided with a shuttle to be able to slide finely, the shuttle is a wafer cassette having a plurality of wafers loaded In the wafer cassette fixing device to be fixed while seating, the shuttle has a locker at the frame side and the position symmetrical with respect to the vertical frame with respect to the center sensor so that the bottom surface of the wafer cassette by the lockers on both sides It is to be able to securely fix both sides of the support means formed in the.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 밀폐형의 웨이퍼 카세트인 FOUP가 안치되는 로드 포트에서 특히 셔틀에 구비되는 FOUP의 고정 수단인 록커를 서로 마주보게 한 쌍으로 구비되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.The present invention is most prominently characterized in that a pair of lockers, which are fixing means of the FOUP provided in the shuttle, face each other in a load port in which a closed wafer cassette FOUP is placed.

즉 본 발명에서 로드 포트는 수직의 프레임에 일측으로 수평의 프레임이 일체로 결합되도록 하며, 수평의 프레임에는 슬라이드 가능하게 셔틀이 구비되도록 한다.That is, in the present invention, the load port allows the horizontal frame to be integrally coupled to one side to the vertical frame, and the shuttle is slidably provided to the horizontal frame.

셔틀에는 통상 상부면 중앙에 센서가 구비되도록 하고, 외주연부에는 일정한 반경 내에 복수의 안착 돌기가 소정의 높이로 상향 돌출되도록 하고 있다.The shuttle is usually provided with a sensor at the center of the upper surface, and the plurality of seating protrusions are projected upward to a predetermined height within a predetermined radius on the outer periphery.

그리고 셔틀에는 수직의 프레임측으로 록커가 구비되며, 이 록커는 통상 모터의 구동에 의해서 회전 또는 직선 방향으로 미세하게 이동 가능하도록 한다.And the shuttle is provided with a locker to the vertical frame side, this locker is to be finely movable in the rotational or linear direction by the drive of the normal motor.

즉 셔틀에 FOUP가 안착되면 FOUP의 저면에 형성되는 받침 수단으로 록커의 회전 또는 슬라이드 이동에 의해 받침 수단을 클램핑하도록 한다.That is, when the FOUP is seated on the shuttle, the supporting means is clamped by the rotation or slide movement of the locker with the supporting means formed on the bottom of the FOUP.

이에 본 발명은 셔틀에 형성하는 록커를 중앙의 센서를 중심으로 수직의 프레임측 판면과 그에 대칭되는 판면에 서로 마주보게 록커가 한 쌍으로 구비되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.Accordingly, the present invention has the most prominent feature in that the lockers formed in the shuttle are provided with a pair of lockers facing each other on a frame side plate surface perpendicular to the center sensor and a plate surface symmetrical thereto.

도 3은 본 발명에 따른 셔틀의 구성을 도시한 평면도이다.3 is a plan view showing the configuration of a shuttle according to the present invention.

도시한 바와 같이 수평의 프레임(10)에서 미세하게 슬라이드 가능하게 구비되는 본 발명의 셔틀(20)에는 중앙에 FOUP의 안착을 감지하는 센서(30)가 구비되고, 이 센서(30)를 중심으로 일정 반경에는 소정의 높이로 상향 돌출되게 안착 돌기(40)가 형성되도록 한다.As shown, the shuttle 20 of the present invention which is provided to be slidably fine in the horizontal frame 10 is provided with a sensor 30 for detecting the seating of the FOUP at the center thereof. At a predetermined radius, the mounting protrusion 40 is formed to protrude upward to a predetermined height.

또한 본 발명의 셔틀(20)에는 센서(30)를 중심으로 동일한 반경의 수직의 프레임측 판면과 그에 대칭되는 판면에는 상호 마주보는 구조로 록커(50)가 구비되도록 한다.In addition, the shuttle 20 of the present invention is to be provided with a locker 50 in a structure facing each other on the vertical frame side plate surface and the plate surface symmetrical to the same radius around the sensor 30.

도 4는 본 발명의 로드 포트를 일측에서 본 측면도로서, 수평의 프레임(10)에는 상부면으로 셔틀(20)이 구비되고, 이 셔틀(20)에는 센서(30)가 구비되는 부위를 중심으로 서로 대칭이 되는 판면에 각각 록커(50)가 양측으로 형성되도록 한다.Figure 4 is a side view of the load port of the present invention viewed from one side, the horizontal frame 10 is provided with a shuttle 20 to the upper surface, the shuttle 20 is centered around the site where the sensor 30 is provided Lockers 50 are formed on both sides of the plate surfaces symmetrical to each other.

이때의 록커(50)는 통상 셔틀(20)의 상부면에서 "ㄱ"자형으로 상향 돌출되도록 하여 서로 마주보게 구비되도록 한다.The locker 50 at this time is to be provided to face each other by protruding upward in the "b" shape on the upper surface of the shuttle 20.

다만 한 쌍의 록커(50)는 서로 대응되는 방향으로 이동 가능하게 형성되게 할 수도 있고, 단순히 회전만 하도록 할 수도 있으며, 이러한 록커(50)의 구동은 수평의 프레임(10) 내부에 구비되는 모터(미도시)의 구동에 의해서 자동으로 이루어지도록 한다.However, the pair of rockers 50 may be formed to be movable in a direction corresponding to each other, or may be simply rotated, and the driving of the lockers 50 may be a motor provided in the horizontal frame 10. Automatically by the driving of (not shown).

한편 모터는 셔틀(20)의 중앙에 구비되는 센서(30)에 의해서 구동된다.Meanwhile, the motor is driven by the sensor 30 provided in the center of the shuttle 20.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 즉 FOUP를 고정시키는 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to the process of fixing the wafer cassette, that is, the FOUP according to the present invention configured as described above are as follows.

도 5에서와 같이 우선 셔틀(20)에 FOUP(60)가 안착되지 않은 상태에는 셔틀(20)에 형성되는 한 쌍의 록커(50)간은 FOUP(60)의 저면에 형성한 걸림턱(61)의 외경보다는 이격되는 거리로서 구비된다.First, as shown in FIG. 5, when the FOUP 60 is not seated on the shuttle 20, the locking jaw 61 formed on the bottom surface of the FOUP 60 is formed between the pair of lockers 50 formed in the shuttle 20. It is provided as a distance apart from the outer diameter of)

즉 셔틀(20)에 FOUP(60)를 안착시키게 될 때 FOUP(60)의 걸림턱(61)이 록커(50)들에 걸리지 않아야 하므로 걸림턱(61)의 외경보다는 더 외측에 형성되도록 한다.That is, when the FOUP 60 is seated on the shuttle 20, the locking jaw 61 of the FOUP 60 should not be caught by the lockers 50, so that the locking jaw 61 is formed at an outer side than the outer diameter of the locking jaw 61.

이렇게 FOUP(60)를 셔틀(20)에 안착시킬 때 셔틀(20)에 형성한 안착 돌기(40)에는 FOUP(60)의 저면으로 형성한 홈(미도시)이 정확히 맞춤 끼워질 수 있도록 한다.When the FOUP 60 is seated on the shuttle 20 in this way, the grooves (not shown) formed by the bottom surface of the FOUP 60 are accurately fitted to the seating protrusion 40 formed in the shuttle 20.

FOUP(60)를 안착 돌기(40)에 정확히 맞춤 결합하면 셔틀(20)에서 FOUP(60)는 정위치에 안착되는 상태가 된다.When the FOUP 60 is precisely fitted to the seating protrusion 40, the FOUP 60 is seated in the correct position in the shuttle 20.

FOUP(60)가 정위치하면 셔틀(20)의 중앙에 구비된 센서(30)를 통해 FOUP(60)를 감지하고, 이 감지된 신호에 의해 록커(50)의 구동 수단인 모터를 구동시킨다.When the FOUP 60 is in position, the FOUP 60 is sensed through the sensor 30 provided in the center of the shuttle 20, and the motor, which is a driving means of the locker 50, is driven by the detected signal.

모터 구동에 의해서 록커(50)는 도 6에서와 같이 서로 마주보는 방향으로 직선 이동하거나 회전을 하면서 FOUP(60)의 저면으로 형성한 걸림턱(61)으로 걸려지도록 한다.By the motor drive, the locker 50 is caught by the locking jaw 61 formed at the bottom of the FOUP 60 while linearly moving or rotating in a direction facing each other as shown in FIG. 6.

록커(50)가 걸림턱(61)의 앞쪽과 뒤쪽에서 동시에 걸려지게 되면 FOUP(60)는 고정된 상태에서 결코 셔틀(20)로부터는 분리되지 않게 된다.When the locker 50 is engaged at the front and rear of the locking jaw 61 at the same time, the FOUP 60 is never separated from the shuttle 20 in a fixed state.

다시 말해 일단 록커(50)에 의해 FOUP(60)를 결합한 상태에서는 FOUP(60)를 강제로 들어 올리려 하여도 한 쌍이 록커(50)에 의해 견고하게 고정되어 있으므로 절대로 들리질 않게 된다.In other words, once the FOUP 60 is coupled by the locker 50, even if the FOUP 60 is forcibly lifted, the pair is firmly fixed by the locker 50 so that it is never heard.

따라서 FOUP(60)를 셔틀(61)에 고정시킨 상태에서 공정을 수행 중 실수로 FOUP(60)를 건드리거나 록커(50)의 고정 상태를 해제시키지 않은 상태에서 FOUP(60)를 들어올리게 될 때 종전에는 일측에서만 록커에 의해 고정되므로 록커가 구비되지 않은 방향으로 FOUP를 들어올리게 되는 경우 일측의 록커로부터 FOUP가 쉽게 빠지기도 하고 이때 록커가 손상되는 사례가 종종 발생되나 본원발명에서는 록커(50)가 양측에서 동시에 고정하고 있으므로 록커(50)에 의한 고정 해제가 이루어지지 않게 되면 절대 셔틀(20)로부터 분리되지 않게 되므로 이들 결합 상태를 안전하게 유지시킬 수가 있다.Therefore, when the FOUP 60 is lifted up in a state in which the FOUP 60 is not accidentally touched or the locker 50 is not released while the FOUP 60 is fixed to the shuttle 61. Previously, since only one side is fixed by the locker, when lifting the FOUP in a direction in which the locker is not provided, the FOUP may easily come off from the rocker on one side, and the locker is often damaged, but in the present invention, the locker 50 is Since it is fixed at both sides at the same time, if the lock release is not released by the locker 50 will never be separated from the shuttle 20, it is possible to safely maintain these coupling states.

즉 FOUP(60)를 고정시킨 상태에서는 그 어떤 실수 등에 의해서도 결코 분리되지 않도록 함으로써 안전한 상태를 유지토록 하여 설비를 더욱 안전하게 보호할 수 있도록 한다.In other words, in the fixed state of the FOUP (60), it is never separated by any mistake, so as to maintain a safe state to further protect the equipment.

이와 같이 FOUP(60)의 결합 구조를 안전하게 유지되도록 함으로써 FOUP(60)의 사용 수명을 더욱 연장시키는 동시에 설비 또한 경제적으로 유지 관리할 수가 있게 된다.In this way, by maintaining the coupling structure of the FOUP 60 safely, the service life of the FOUP 60 can be further extended, and the equipment can be economically maintained.

한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한 다. On the other hand, while many matters have been described in detail in the above description, they should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention.

따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be defined by the described embodiments, but should be determined by the technical spirit described in the claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 간단히 FOUP(60)가 안치되는 셔틀(20)에서의 FOUP(60)를 고정시키는 수단인 록커(50)를 FOUP(60)의 저면측 걸림턱(61)의 서로 대응하는 양측을 지지할 수 있도록 한 쌍의 구조로 구비되게 함으로써 보다 견고한 고정 구조를 제공토록 하여 설비의 내구력을 향상시키면서 실수 등에 의한 공정 오류를 미연에 방지하여 안전하고 안정된 설비의 유지 관리가 가능토록 하는 매우 유용한 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, the locker 50, which is simply a means for fixing the FOUP 60 in the shuttle 20 in which the FOUP 60 is placed, is connected to each other at the bottom side locking jaw 61 of the FOUP 60. It is equipped with a pair of structures to support the corresponding sides so as to provide a more rigid fixing structure to improve the durability of the equipment and to prevent process errors due to mistakes in advance and to maintain safe and stable equipment. To provide a very useful effect.

Claims (4)

수직의 프레임의 일측으로 수평의 프레임이 결합되고, 상기 수평의 프레임에는 미세하게 슬라이드 이동 가능하도록 셔틀을 구비하며, 상기 셔틀에는 다수의 웨이퍼를 적재시킨 웨이퍼 카세트가 안착되면서 고정되도록 하는 웨이퍼 카세트 고정 장치에 있어서, The horizontal frame is coupled to one side of the vertical frame, the horizontal frame is provided with a shuttle to be able to slide finely, the shuttle cassette fixing device for fixing the wafer cassette is loaded with a plurality of wafers on the shuttle To 상기 셔틀에는 중앙의 센서를 기준으로 수직의 프레임측과 그와 대칭되는 위치에 록커가 각각 구비되도록 하여 상기 양측의 록커에 의해서 상기 웨이퍼 카세트의 저면에 형성한 받침 수단의 양측을 견고하게 고정시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 카세트 고정 장치.The shuttle may be provided with lockers at a vertical frame side and a position symmetrical with respect to a center sensor, thereby firmly fixing both sides of the supporting means formed on the bottom surface of the wafer cassette by the lockers on both sides. Wafer cassette holding device. 제 1 항에 있어서, 상기 록커는 상기 셔틀에서 상호 대응되는 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 구비되는 웨이퍼 카세트 고정 장치.The wafer cassette holding apparatus of claim 1, wherein the locker is slidably moved in a direction corresponding to each other in the shuttle. 제 1 항에 있어서, 상기 록커는 상기 셔틀에서 회전 가능하게 구비되는 웨이퍼 카세트 고정 장치.The wafer cassette holding device of claim 1, wherein the locker is rotatably provided in the shuttle. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 록커는 상기 수평의 프레임내에 구비되는 모터에 의해서 구동하는 웨이퍼 카세트 고정 장치.The wafer cassette holding device according to any one of claims 1 to 3, wherein the locker is driven by a motor provided in the horizontal frame.
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