KR20070028542A - 통합된 자기저항 속도 및 방향 센서 - Google Patents

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KR20070028542A
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커티스 비. 존슨
웨인 티. 킬리안
웨인 에이. 램
그레고리 알. 펄롱
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허니웰 인터내셔널 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 통합된 자기 저항 속도 및 방향 센서에 관한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 센서는 AMR(이방성 자기 저항) 브리지 회로를 사용한다. 본 발명은 종래의 홀 효과 부품에 기초한 센서와 비교하여 개량된 에어 갭 성능을 갖게 된다. 본 발명의 AMR 센서는 요구되는 이동 구간을 따라서 하나 또는 그 이상의 자극으로 자화된 환형 자석 또는 바 자석을 감지할 수 있다. 자극의 수는 어플리케이션 디자인에 기초하여 최적화된다. 본 발명에 개시된 AMR 센서의 AMR 브리지 디자인은 최소한의 오프셋을 생성하고, 따라서 최적의 성능을 갖게 된다. 속도 및 방향 정보를 구하기 위해서, 2 개의 브리지 회로가 서로 인접하여 위치할 수 있다(여기서, 브리지의 정확한 위치 및 형상은 목표물 및 요구되는 성능에 기초하여 결정된다). 브리지 회로는 실리콘으로 구성된 집적회로 상에서 공동으로 형성되고, 브리지 회로로부터의 2개의 신호는 서로 비교된다. 브리지는 45도 회전되고, 오프 셋을 감소 및/또는 제거하도록 회전하여, 센서가 큰 에어 갭 성능을 갖도록 한다.
자기 저항, 속도 센서, 방향 센서, 에어 갭, AMR 센서, 브리지 회로

Description

통합된 자기저항 속도 및 방향 센서{INTEGRATED MAGNETORESITIVE SPEED AND DIRECTION SENSOR}
본 발명은 일반적으로 감지 방법 및 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 또한 속도 및 방향 센서에 관한 것이다. 본 발명은 AMR 감지 요소를 포함하는 자기저항 감지 장치 및 그 장치의 집적회로 구현에 관한 것이다.
자동차 및 항공산업에 있어서, 특히 전자 및 전자 기계적 제어 시스템 분야에 있어서 전자장치의 사용은 앞으로도 계속 증가하게 될 것이다. 예를 들어, 전자 엔진, 전자 변속기, 전자 조종(steering) 제어기 및 항공 산업에서 전자 구현 제어기 등은 모두 점점 일반화되고 있고 또한 더욱 복잡화되고 있다.
일반적으로, 제어기는 복수의 센서로부터 데이터를 제공받는다. 시스템이 복잡하게 됨에 따라서 센서가 제공하는 정보 또는 데이터의 복잡성 및 제공되는 정보의 양, 데이터의 정확성, 데이터의 상호 의존성 및 센서의 동작 속도는 점점 증가하고 있다. 현시점에서 센서에 있어서 요구 조건은 비용은 최소화시키면서 상기의 파라미터들을 증가시키는 것이다.
전자 제어기는, 예를 들어, 최신의 자동차에 제공되어 자동차의 동작을 모니터하고 엔진, 변속기 및 기타의 시스템에 정보를 제공하여 그것들의 동작을 제어한 다. 자동차의 여러 가지 시스템에서 모니터되는 하나의 파라미터는 회전 부품의 속도이다. 여러 가지 회전 부품들이 변속기, 구동라인 및 바퀴에 제공된다.
대부분의 기존의 시스템은 이러한 부품들의 속도를 감지하지만, 방향 정보를 제공하지 않는다. 이러한 시스템에서 센서는 회전 부품의 회전을 감지한다. 일반적으로, 회전자는 복수의 등 간격의 치상 돌기를 갖고, 회전축에 고정되어 제공된다. 회전자는 축과 함께 회전하고, 픽업 센서는 회전자에 인접하여 위치하여 회전자가 센서의 밑을 통과할 때 치상 돌기를 감지한다. 제어기가 제공되어 센서로부터 신호를 수신하다. 치상 돌기를 계수하고 시간을 측정하는 것에 의해서, 제어기는 축의 속도를 계산한다.
추가적인 센서가 기존의 시스템에서 부품의 회전 방향을 결정하기 위해서 요구된다. 그러한 시스템에서 2개의 센서가 회전자의 치상 돌기와 특별한 공간적 관계를 갖도록 위치한다. 센서는 에지가 감지되는 상대적인 횟수를 판단한다. 따라서 제어기는 회전 방향을 판단한다. 센서가 추가됨에 따라서 비용이 상승하고 신뢰도가 저하된다.
따라서, 자동차 및 항공 산업에서, 회전하는 목표물 및 선형운동하는 목표물의 방향 및 속도를 정확하고 효과적으로 감지하는 것이 필요하다. 기존의 시스템에 있어서 문제는 갭 성능이 기계적 허용 오차 및 전체 시스템의 변형을 허용할 만큼 커야하는 것이다. 기존의 시스템은 일반적으로 그러한 큰 갭 성능을 갖지 못한다. 즉, 센서와 목표물 사이의 간격은 목표물의 이동 또는 회전의 허용 오차(축 이탈 또는 위치의 오정렬)에 따라 변한다. 따라서, 에어 갭 성능은 속도 및 방향 감 지에 있어서 중요한 인자이다. 본 발명은 이러한 에어 갭 성능에 관한 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
이하에서 기재될 본 발명의 간단한 설명은 본 발명에 독특한 개량 기술에 대한 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명에 대해서 모든 설명을 기재하고자 하는 것은 아니다. 본 발명의 다양한 측면에 대한 상세한 설명은 본 발명에 대한 상세한 설명, 청구범위, 도면 및 초록을 전체적으로 참고하여 얻어질 수 있다.
따라서, 본 발명의 하나의 측면은 개선된 감지 방법 및 감지 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 하나의 측면은 개선된 속도 및 방향의 감지 방법 및 시스템을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 하나의 측면은 자기 저항 감지 요소를 갖는 개선된 속도 및 방향의 감지 방법 및 시스템을 제공하기 위한 것이다.
상기한 본 발명의 측면 및 기타의 목적 및 장점들은 본 발명의 기재에 의해서 달성될 수 있다. 통합된 자기 저항 속도 및 방향 센서는, 그 방법 및 시스템을 포함하여, 본 발명에 개시된다.
본 발명에 기재된 센서는 일반적으로 AMR (Anisotropic Magnetorestive: 이방성 자기 저항) 브리지 회로를 사용한다. 이러한 기술을 사용하는 것에 의해서 기존의 홀 효과 요소를 채택한 센서와 비교하여 개선된 에어 갭 성능을 수행한다.
본 발명에 개시된 AMR 센서는 요구되는 이동 경로를 따라서 하나 또는 그 이상의 자극으로 자화된 환형 자석 또는 바 자석을 감지할 수 있다. 자극의 수는 어플리케이션 디자인에 기초하여 최적화되어야 한다. 본 발명에 기재된 AMR 센서의 AMR 브리지 디자인은 최소의 오프셋을 갖도록 하여, 장치에 최적의 성능을 제공한다.
속도 및 방향 정보를 갖기 위해서, 2 개의 브리지 회로는 서로 인접하여 위치될 수 있다(브리지의 정확한 위치 및 형상은 목표물 및 요구되는 성능에 기초하여 결정된다). 2 개의 브리지 회로는 실리콘으로 집적된 전자장치에 공동으로 위치하고 브리지 회로의 신호는 전자 장치에서 비교된다. 브리지는 일반적으로 45도 회전하여 오프셋을 감소 및/또는 제거시켜서 큰 에어 갭 성능을 갖는 센서를 제공한다.
본 발명의 도면은 본 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리를 설명한다. 본 발명에 있어서, 참조 번호는 본 발명의 도면 및 상세한 설명에 있어서 동일하거나 기능적으로 유사한 구성요소를 동일한 참조번호에 의해서 나타낸다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른, 공급 전류 대 온도를 나타내는 인터페이스 다이어그램 및 그래프, 본드 패드 위치의 블록 다이어그램이다.
도 2는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 타이밍 다이어그램이다.
도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 파워 업 다이어그램이다.
도 4는 본 발명의 하나의 실시예에 따른, MR 브리지 사양 및 MR 브리지의 다이어그램이다.
도 5는 본 발명의 하나의 실시예에 따른, 환형 자석, 에어 갭 및 8 핀 패키지의 블록 다이어그램이다.
도 6은 본 발명의 하나의 실시예에 따른, 환형 자석 및 환형 자석의 사양의 예시이다.
도 7은 본 발명의 하나의 실시예에 따른, 45도 간격으로 위치한 러너(runners) 및 2 개의 브리지 회로를 포함하는 집적회로를 포함하는 시스템이다.
본 발명의 실시예에서 개시된 특정값 및 구성들은 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니고 변형될 수 있는 것이고, 본 발명의 적어도 하나의 실시예는 본 발명을 단순히 설명하기 위해서 인용된 것이고 본 발명의 보호범위를 제한하기 위한 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 있어서, 공급 전류 대 온도를 나타내는 인터페이스 다이어그램(110) 및 그래프(114), 본드 패드 위치의 블록 다이어그램이다. 도 2는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 타이밍 다이어그램이다. 도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 파워 업 다이어그램(118)이다. 도 1-2는, 그래프(114), 타이밍 다이어그램(116) 및 파워-업 다이어그램(118)이 도 1에 도시된 센서(100)의 성능을 나타내는 데이터를 제공한다는 점에서 서로 관련된다. 일반적으로, 센서(100)는 적어도 2 개의 MR 브리지(104, 106)를 갖는다. 본 발명에서 "브리지" 라는 용어는 "브리지 회로"와 동일한 부품을 지칭하는 것으로 일관되게 사용된다. 근사한 본드 위치(108)가 도 1에 도시된다.
센서(100)는 이방성 자기 저항(AMR) 기술을 사용하여 환형 자석의 속도 및 방향을 감지할 수 있는 환형 자석의 속도 및 방향(RM S&D) 센서로 동작한다. RM S&D IC는 일반적으로 속도 및 방향 정보를 제공하기 위해서 2 개의 출력 핀을 포함한다. 표준 구성은 속도 핀과 방향 핀이다. 속도 핀에 있어서 출력신호의 주파수는 환형 자석의 회전 속도에 비례한다. 방향 핀의 디지털 출력 상태는 환형 자석의 회전 방향을 나타낸다. 환형 자석의 방향은 집적회로(102) 상에 구성된 2개의 공간적으로 떨어진 AMR 브리지(104, 106) 간의 위상 차로부터 결정된다.
RM S&D 센서(100)는 예를 들어, 8 핀 SOIC 패키지에 내장된 집적회로로 구현된다. 집적회로는 박막 AMR 센서를 포함하는 바이폴라 기술로 구현될 수 있다. RM S&D 센서(100)는 변속 시스템, 바퀴 속도 시스템, 조종 시스템, 또는 "Smart" 도어 래치 시스템과 같은 환형 자석 어플리케이션의 회전 속도 감지 어플리케이션에 적합하다.
AMR 기반 센서(100)는 기계식, 또는 기타의 자기 위치 감지 장치와 비교하여 저 비용, 고 감도, 고속 응답, 소형, 고 신뢰성 등의 장점을 갖는다. 완전히 집적화된 회로는 AMR 센서를 신호 조절부 및 출력부 회로와 결합하여 저 비용의 고 신뢰도를 제공한다. 저 자기장에 대한 감도에 기인하여, 본 발명의 센서는 일반적으 로 동작 에어 갭을 갖기 때문에, 사용자는 실제로 적용되는 어플리케이션에서 발생하는 여러 가지 문제를 해결할 수 있다.
RM S&D 센서(100)는 공급 및 접지에 2개의 접속, 출력에 2개의 접속, 방향 및 속도 신호에 대해서 각각 1개의 접속을 갖는 8 핀의 SOIC 패키지로 구현될 수 있다. 이것은 개방형 컬렉터 타입 출력이다. 센서(100)의 IC 디자인은 2 개의 속도 출력을 제공하는 가능성을 제공하지만, 방향을 판단하기 위해서 외부 신호 처리가 요구된다. 이러한 선택이 상이한 웨이퍼 마스크를 통하여 얻어진다. 센서(100)는 주기적 구형파를 제공하며, 각각의 구형파는, 예를 들어 도 5 및 6에 개시된 환형 자석(502)과 같은, 환형 자석의 하나의 자극에 해당한다.
도 4는 본 발명의 하나의 실시예에 따른, 제시된 MR 브리지 사양 및 MR 브리지(400)의 다이어그램이다. 러너(runner)가 도 4에 도시된다. 러너(402)는 45도 간격으로 위치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 하나의 실시예에 따른, 환형 자석(502), 에어 갭(503) 및 8 핀 패키지(504)의 블록 다이어그램이다. 8 핀 패키지(504)는, 도 1의 센서(100)와 유사한 8 핀 리드 프레임과 S&D IC(506)를 포함하는 플라스틱 패키지로 구성될 수 있다. 도 1의 센서(100)는 디자인을 고려하여, S&D IC(506)의 자리에 구현될 수 있다.
도 6은 본 발명의 하나의 실시예에 따른, 환형 자석 및 환형 자석 사양의 예시이다. 본 발명에서 설명된 모든 사양은 단순히 제시되거나 바람직한 사양에 불과하고 그 사양들은 디자인 및 구현의 고려에 따라 더 크거나 더 작아질 수 있다. 그 러한 사양은 여기서 개시된 발명 및/또는 실시예의 특징을 제한하는 것으로 고려되지 않는다.
도 7은 본 발명의 하나의 바람직한 실시예에 따른, 45도 간격으로 위치한 러너(runners) 및 2 개의 브리지 회로 또는 브리지(702, 704)를 포함하는 집적회로를 포함하는 시스템(700)이다. 도 7에 도시된 각각의 브리지(702, 704)는 도 4에 도시된 MR 브리지(400) 및 도 1에 도시된 MR 브리지(104, 106)와 동일하거나 유사하다.
본 발명에서 개시된 실시예는 일반적으로, 바퀴 속도 센서, 변속기 센서, 및 유니버샬 래치 시스템에 대한 속도 및 방향 감지 요구 조건을 만족하는 시스템(700) 등의 센서 IC에 관한 것이다. 시스템 (700) 등의 IC는 회전 속도 및 방향을 판단하기 위해서 브리지(702, 704) 등의 2 개의 공간적으로 분리된 MR 브리지를 사용할 수 있다. IC는 8 핀의 SOIC 표면 탑재 패키지에 위치될 수 있다. 이러한 특징이 본 발명의 장치를 다른 MR 속도 및 방향 센서와 대비하여 독특하게 하는 것이다. 본 발명에 의한 감지 장치는 공급, 접지 및 2 개의 출력을 갖는 4 선 장치로 구현된다.
출력은 2 개의 속도 출력, 또는 각각 1의 속도 및 방향 출력을 제공할 수 있다. 이러한 구성은 유니버설 래치 시스템뿐만 아니라, 변속기 또는 바퀴의 속도에 관한 여러 가지 가능한 어플리케이션에 사용될 수 있다.
본 발명에 개시된 속도 및 방향 센서는 자동차 변속기 시스템 및 자동차 바퀴 속도 시스템 등의 여러 가지 시스템에 적용가능하다. 다른 어플리케이션은 자동차 조종 시스템 및 "스마트" 자동차 도어 래치 시스템을 포함한다. 추가적인 어플리케이션은 일반적인 회전 속도 정보 수집 장치를 포함한다.
본 발명에 개시된 실시예는 본 발명을 가장 잘 설명하기 위해서 또는 실질적인 어플리케이션을 위해서 제시된 것이고, 또한 본 발명의 당업자에게 본 발명을 실시할 수 있도록 하기 위한 것이다. 그러나, 본 발명의 당업자는 본 발명의 상세한 설명의 기재 및 실시예는 설명 및 예시를 위한 것에 불과하다는 것을 인식하여야 한다. 본 발명의 다른 변형예는 당업자에게 자명하고, 본 발명의 청구범위는 본 발명의 변형예를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
본 발명의 기재는 본 발명의 보호범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 다양한 변형이 본 발명의 청구범위의 범위로부터 이탈하지 않고 본 발명의 기재를 참작하여 가능하다. 본 발명의 사용은 상이한 특성을 갖는 부품을 포함하는 것으로 해석된다. 본 발명의 범위는 본 발명의 청구범위와 그것의 균등물에 의해서 해석될 수 있다.

Claims (20)

  1. 제 1 브리지 회로;
    상기 제 1 브리지 회로에 인접하여, 상기 제 1 브리지 회로로부터 공간적으로 떨어져 위치한 제 2 브리지 회로; 및
    요구되는 이동 경로를 따라서 복수의 자극으로 자화된 자기 목표물을 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 상기 자기 목표물에 인접하여 위치하고, 상기 제 1 브리지 회로는 제 1 신호를 생성하고, 상기 제 2 브리지 회로는 제 2 신호를 생성하고, 상기 제 1 신호 및 제 2 신호는 서로 비교되어 상기 자기 목표물의 속도 및 방향을 판단하기 위해서 사용되는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  2. 상기 청구항 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 집적 회로 (IC) 칩 상에 구현되는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  3. 상기 청구항 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 브리지 회로는 자기 저항(MR) 회로를 포함하고, 상기 제 2 브리지 회로는 자기 저항 (MR) 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  4. 상기 청구항 제 1 항의 시스템에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 브리지 회로를 포함하는 4 개의 단말 장치를 추가로 포함하고, 상기 4 개의 단말 장치는 전력 접속, 접지 접속, 제 1 및 제 2 출력을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 출력은 각각 속도 및 방향 데이터를 제공하고, 상기 속도 및 방향 데이터는 상기 자기 목표물의 속도 및 방향을 표시하는 데이터를 제공하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  5. 상기 청구항 제 4 항의 시스템에 있어서, 상기 제 1 출력은 상기 자기 목표물의 하나의 자극에 해당되는 주기를 갖는 구형파 신호의 형태로 속도 데이터를 제공하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  6. 상기 청구항 제 5 항의 시스템에 있어서, 상기 제 2 출력은, 상기 자기 목표물의 회전 방향을 나타내는 디지털 상태의 방향 데이터를 제공하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  7. 상기 청구항 제 1 항의 시스템에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 동작 온도 범위에서 일정한 자기 감도를 제공하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  8. 청구항 제 1 항의 시스템에 있어서, 상기 자기 목표물은 환형 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  9. 상기 청구항 제 1 항에 있어서, 상기 자기 목표물은 바(bar) 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  10. 제 1 브리지 회로;
    상기 제 1 브리지 회로에 인접하여, 상기 제 1 브리지 회로로부터 공간적으로 떨어져 위치한 제 2 브리지 회로; 및
    요구되는 이동 경로를 따라서 복수의 자극으로 자화된 자기 목표물을 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 집적 회로 (IC) 칩 상에 구현되고, 상기 제 1 브리지 회로는 자기 저항(MR) 회로를 포함하고, 상기 제 2 브리지 회로는 자기 저항 (MR) 회로를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 상기 자기 목표물에 인접하여 위치하고, 상기 제 1 브리지 회로는 제 1 신호를 생성하고, 상기 제 2 브리지 회로는 제 2 신호를 생성하고, 상기 제 1 신호 및 제 2 신호는 서로 비교되어 상기 자기 목표물의 속도 및 방향을 판단하기 위해서 사용되고,
    여기서, 상기 집적회로는 상기 제 1 및 제 2 브리지 회로를 포함하는 4 개의 단말 장치를 포함하고, 상기 4 개의 단말 장치는 전력 접속단, 접지 접속단, 제 1 및 제 2 출력단을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 출력은 각각 속도 및 방향 데이터를 제공하고, 상기 속도 및 방향 데이터는 상기 자기 목표물의 속도 및 방향을 표시하는 데이터인 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  11. 상기 청구항 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 출력은 상기 자기 목표물의 하나의 자극에 해당하는 각각의 주기를 갖는 구형파 신호의 형태로 속도 데이터를 제공하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  12. 상기 청구항 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 신호 출력은, 상기 자기 목표물의 회전 방향을 나타내는, 디지털 상태의 방향 데이터를 제공하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  13. 상기 청구항 제 12 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 동작 온도 범위에서 일정한 자기 감도를 제공하는 것을 특징으로 하는 센서 시스템.
  14. 감지 방법에 있어서,
    제 1 브리지 회로를 제 2 브리지 회로에 인접하게, 상기 제 1 브리지 회로 및 상기 제 2 브리지 회로를 공간적으로 분리되게 위치시키는 단계; 및
    요구되는 이동 경로를 따라서 복수의 자극으로 자화된 자기 목표물을 제공하는 단계를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 상기 자기 목표물에 인접하여 위치하고, 상기 제 1 브리지 회로는 제 1 신호를 생성하고, 상기 제 2 브리지 회로는 제 2 신호를 생성하고, 상기 제 1 신호 및 제 2 신호는 서로 비교되어 상기 자기 목표물의 속도 및 방향을 결정하기 위해서 사용되는 것을 특징으로 하는 감지 방법.
  15. 상기 청구항 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 브리지 회로를 집적 회로 (IC) 칩 상에 구현하는 단계를 추가로 포함하는 감지 방법.
  16. 상기 청구항 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1 브리지 회로는 자기 저항(MR) 회로를 포함하도록 구성하는 단계; 및
    상기 제 2 브리지 회로는 자기 저항 (MR) 회로를 포함하도록 구성하는 단계를 추가로 포함하는 감지 방법.
  17. 청구항 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 브리지 회로를 포함하는 4 개의 단말 장치를 추가로 포함하고, 상기 4 개의 단말 장치는 전력 접속, 접지 접속, 제 1 및 제 2 출력을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 출력은 각각 속도 및 방향 데이터를 제공하고, 상기 속도 및 방향 데이터는 상기 자기 목표물의 속도 및 방향을 표시하는 데이터를 제공하는 것을 특징으로 하는 감지 방법.
  18. 청구항 제 17 항에 있어서,
    속도 데이터를 상기 제 1 출력으로부터 상기 자기 목표물의 하나의 극에 해당되는 주기를 갖는 구형파 신호의 형태로 생성하는 단계;
    상기 제 2 출력으로부터 상기 자기 목표물의 회전 방향을 나타내는 디지털 상태의 방향 데이터를 생성하는 단계; 및
    상기 제 1 및 제 2 브리지 회로는 동작 온도 범위에서 일정한 자기 감도를 제공하는 것을 특징으로 하는 감지 방법.
  19. 청구항 제 14 항에 있어서, 환형 자석을 포함하는 상기 자기 목표물을 구성하는 단계를 추가로 포함하는 감지 방법.
  20. 청구항 제 14 항에 있어서, 바 자석을 포함하는 상기 자기 목표물을 구성하는 단계를 추가로 포함하는 감지 방법.
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