KR20070022270A - 마이크로웨이브 에너지를 이용하여 살균제 유체를증발시키는 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마이크로웨이브 에너지를 사용하여 살균제 유체를 증발시키는 방법 및 장치에 관한 것이다. 살균제 유체는 분무되어 살균제 유체의 분무, 미스트 또는 안개를 생성한다. 그 다음 분무 살균제 유체는 마이크로웨이브 발생기에 의하여 생성되는 마이크로웨이브 에너지에 노출된다. 살균제 유체의 최소한 하나의 화학 성분의 분자는 마이크로웨이브 에너지에 대한 노출에 반응하여 회전되며, 이에 의하여 살균제 유체가 증발된다.

증발, 살균제 유체, 마이크로웨이브 에너지

Description

마이크로웨이브 에너지를 이용하여 살균제 유체를 증발시키는 방법 및 장치{Method and apparatus for vaporizing a sterilant fluid using microwave energy}

본 발명은 일반적으로 살균제 유체(sterilant fluid)의 증발에 관한 것이며, 보다 상세하게는 마이크로웨이브 에너지(microwave energy)를 사용하여 살균제 유체를 증발시키는 방법 및 장치에 관한 것이다.

일반적으로 물품은 증발된 살균제에 노출시키므로서 살균되거나 소독된다. 종래기술에서, 액체 살균제를 고온 표면에 미터링(metering)함으로서 액체 살균제를 증발시키는 것은 잘 알려져 있다. 고온 표면은 액체 살균제를 가열하며, 이에 의하여 증발 살균제가 생성된다. 증발에 대한 이와같은 접근에는 많은 결점이 있다. 예컨대, 고온 표면을 소정 온도까지 가열하기 위하여 상당한 시간이 요구될 수 있다. 더욱이, 이러한 형태의 증발 시스템은 에너지 소모 고와트량 가열기를 요구한다.

본 발명은 공지 기술의 이들 및 기타 결점을 극복하고, 증발 체임버에서 살균제 유체를 증발시키기 위하여 마이크로웨이브 에너지원을 이용하는 증발 시스템을 제공하여 주며, 이에 의하여 살균 또는 정화 공정에 사용하기에 적당한 증기가 생성된다.

본 발명에 의하면, 살균 시스템에서 살균제 유체를 증발시키는 방법이 제공되며, 이 방법은 (a) 최소한 제1 화학 성분의 분자로 구성되는 살균제 유체를 분무하는 단계, 및 (b) 분무 살균제 유체를 제1 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 노출시켜 분무 살균제 유체를 증발시키는 단계로 구성되며, 이 경우 제1 화학 성분의 분자는 제1 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 반응하여 회전된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 살균 시스템에서 살균제 유체를 증발시키는 증발 시스템이 제공되며, 이 증발 시스템은 (a) 최소한 제1 화학 성분의 분자로 구성되는 살균제 유체를 분무하는 수단, 및 (b) 살균제 유체를 증발시키기 위하여 제1 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지를 생성하는 제1 마이크로웨이브 발생기로 구성되며, 이 경우, 제1 화학 성분의 분자는 제1 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 반응하여 회전된다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 살균제 성분 및 캐리어 성분으로 구성되는 살균제 유체를 증발시키는 방법이 제공되며, 이 방법은 (a) 상술한 살균제 성분 및 상기 캐리어 성분의 최소한 하나가 방사에 반응하는 네트(net) 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 분자로 구성되는 살균제 유체를 분무하는 단계, 및 (b) 분무 살균제 유체를 제1 주파수를 갖는 방사에 노출시켜 분무 살균제 유체를 증발시키는 단계로 구성되며, 이 경우, 상기 분자는 제1 주파수를 갖는 방사에 반응하여 회전된다.

본 발명의 이점은 통상적인 열가열 시스템 보다 효율적으로 살균제 유체를 증발시키는 증발 방법 및 장치의 제공이다.

본 발명의 다른 이점은 다양한 양의 살균제 유체를 증발시키기 위하여 용이하게 계량될 수 있는 증발 방법 및 장치의 제공이다.

본 발명의 또 다른 이점은 마이크로웨이브 에너지로 다성분 살균제 유체의 분자를 선택적으로 여기 시킬 수 있는 증발 방법 및 장치의 제공이다.

도1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 증발 시스템의 블록선도이다.

도1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 증발 시스템(10)의 블록선도를 나타낸 것이다. 살균제(살균) 및 정화제(오염제거)는 서로 교환하여 사용됨은 물론이다.

일반적으로 증발 시스템(10)은 증발기 조립체(20), 분사 시스템(60) 및 마이크로웨이브 발생기(90)로 구성되어 있다. 증발기 조립체(20)는 입구 도관(22), 출구 도관(32) 및 하우징(40)을 포함한다. 하우징(40)은 증발 체임버(42)를 한정한다. 입구 도관(22)은 캐리어 가스가 증발 체임버(42)에 들어가는 통로를 제공한다. 출구 도관(32)은 상세히 후술하는 바와같이 캐리어 가스 및 증발 유체가 증발 체임버(42)를 나오는 통로를 제공한다. 출구 도관(32)은 처리 체임버 또는 대역(도시되지 않음)과 유체 연통 관계에 있으며, 여기에서 물품은 증발 유체에 노출되어 물품의 살균/오염제가 수행된다. 증발 체임버(42)를 통하여 캐리어 가스를 운반하기 위하여 송풍기 또는 팬(도시되지 않음)이 작동할 수 있다.

도시된 실시예에서, 또한 증발기 조립체(20)는 입구 도관(22)과 관련되는 입구 스크린(24), 및 출구 도관(32)과 관련되는 출구 스크린(34)을 포함한다. 입구 스크린(24) 및 출구 스크린(34)은 이를 통하여 유동하는 유체로부터 입자를 제거하는 필터로서 작용한다.

도시된 실시예에 의하면, 일반적으로 분사 시스템(60)은 분사 매니 포울드(70), 다수의 분사기(72), 제어 유니트(80), 및 펌프(62)로 구성되어 있다. 분사 시스템(60)은 상세히 후술하는 바와같이 살균제 유체를 분무하여 살균제 유체의 분무, 미스트 또는 안개를 생성한다.

매니포울드(70)는 다수의 출구 도관에 이르는 입구 도관으로 구성되어 있다. 분사기(72)는 각각 매니포울드(70)의 출구 도관의 각각에 제공되어 있다. 분사기(72)의 조작은 제어 유니트(80)에 의하여 제어된다. 매니포울드(70)의 입구 도관은 펌프(62)와 연통 관계에 있다. 펌프(62)는 살균제 유체원(100)으로부터 살균제 유체를 매니포울드(70)로 양수한다. 바람직한 실시예에서, 펌프(62)는 살균제 유체를 적당한 압력으로 가압한다.

분사기(72)는 연소 기관에서 사용되는 것과 같은 통상적인 액체 분사기가 바람직하다. 분사기(72)가 가압되면 전자석은 분사기(72)에서 밸브를 개방하는 플런저를 이동시킨다. 이는 가압 살균제 유체가 소형 노즐을 통하여 분출하도록 한다. 노즐은 살균제 유체를 분무하여 살균제 유체의 미세한 분무 또는 미스트를 생성한다. 제어 유니트(80)는 분사기(72)를 활동시키고 활동을 제거하여 분사기(72)의 밸브가 개폐되게 한다.

마이크로웨이브 발생기(90)는 마이크로웨이브 에너지원을 제공한다. 마이크로웨이브 발생기(90)는 마이크로웨이브 에너지의 펄스를 제공하기 위하여 펄스 모드로 작동될 수 있다. 마이크로웨이브는 대략 30cm(1 GHz의 주파수에 해당) ~ 1mm(300 GHz의 주파수에 해당)의 범위의 파장을 갖는다. 바람직한 실시예에 의하면, 마이크로웨이브 발생기(90)는 마그네트론의 형태를 취한다. 마그네트론은 코우히어런트 마이크로웨이브를 발생하는 고출력 진공 튜브이다. 진공 튜브는 직류에 의하여 하전되고 자장에 놓이는 공명 공동 및 전체 조립체에 조립되는 고온 필라멘트를 포함하며, 이는 전자를 편향시켜 필라멘트를 정련하고 공동에 어너지를 가한다.

마이크로웨이브 발생기(90)는 클라이스트론 또는 메이저를 포함하여 다른 형태를 취할 수도 있다. 메어저는 이것이 마이크로웨이브 주파수에서 작용하는 것을 제외하고 레이저와 유사한 장치이다.

증발시스템(10)의 조작은 이하 상세히 설명한다. 펌프(62)는 활성화되어 살균제 유체원(100)으로부터 살균제 유체를 가압한다. 살균제 유체는 상세히 후술하는 바와같이 최소한 하나의 살균제 또는 정화제 화학 성분을 포함한다. 제어 유니트(80)는 분사기(72)를 가압하여 그로부터 살균제 유체를 방출시키며, 이에 의하여 분무, 미스트 또는 안개가 증발 체임버(42)로 방출된다. 증발 체임버(42)내에서, 살균제 유체의 분무, 미스트 또는 안개는 마이크로웨이브 발생기(90)에 의하여 생성되는 마이크로웨이브에 노출된다. 마이크로웨이브 발생기(90)는 상세히 후술하는 바와같이 살균제 유체를 증발시키게 하는 마이크로웨이브 에너지를 생성하기 위하 여 조정된다.

캐리어 가스(예턴대, 공기)는 입구 도관(22)을 통하여 증발 체임버(42)로 유동한다. 증발 체임버(42) 내부에 발생되는 증발 살균제 유체는 출구 도관(32)을 통하여 증발 체임버(42)로부터 운반된다. 출구 도관(32)은 처리 체임버(도시되지 않음)와 유체 연통 관계에 있으며, 이곳에서 물품은 증발 살균제 유체에 노출되어 물품의 살균 또는 정화가 수행된다.

살균제 유체는 두개 이상의 화학 성분, 즉 살균제 성분 및 캐리어 성분으로 구성될 수 있다. 살균제 성분은 살균 또는 정화 공정을 위한 활성 화학 약품이다. 캐리어 성분은 살균제 성분에 대한 희석제로서 작용할 수 있는 유체이다. 또한 캐리어 성분은 살균 또는 정화 공정을 위한 활성 화학 약품일 수도 있음은 물론이다.

일반적인 살균제 성분은 액체 과산화수소, 과산화아세트산 같은 과산, 및 표백제를 포함하지만 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 살균제 성분은 오존, 이산화염소, 및 산화 에틸렌을 포함하는 가스일 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다. 일반적인 캐리어 성분은 물, 탈이온수, 증류수, 알콜(예컨대, 삼급 알콜), 과산화물, 글리콜 함유 화합물, 및 이들의 혼합물을 포함하지만 이에 한정되는 것은 아니다. 글리콜 함유 화합물은 폴리에틸렌 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 트리에틸렌 글리콜, 테트라에틸렌 글리콜, 글리콜 에테르, 폴리프로필렌 글리콜, 프로필렌 글리콜, 및 이들의 혼합물을 포함하지만 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 상술한 액체 살균제 성분(예컨대, 과산화수소)이 캐리어 성분으로서 작용할 수도 있다.

살균제 성분 및 캐리어 성분의 몇개의 전형적인 혼합물은 과산화수소 및 물, 표백제 및 물, 과산화아세트산 및 물, 과산화수소 및 알콜, 알콜 및 물, 및 오존 및 물을 포함하지만 이에 한정되는 것은 아니다.

네트 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 분자는 특정 주파수의 마이크로웨이브 방사에 의하여 여기될 수 있다. 이와 관련하여, 네트 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 분자에 충돌하는 마이크로웨이브 방사는 분자에 토오크를 가하게 된다. 적용된 방사의 진동 전기장은 전기장의 축을 따라 전기 쌍극자 모우먼트를 정렬시키려고 시도한다. 마이크로웨이브 방사의 전기장은 그의 크기 및 방향에 연속적으로 변화를 주며, 따라서 쌍극자 모우먼트를 회전시키고 분자를 회전시킨다. 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 몇몇 분자는 특정 주파수의 적외선 방사에 의하여 여기될 수 있음은 물론이다.

전기장이 분자를 회전시킬 수 있는 용이성은 관성의 모우먼트(I)같은 분자의 특성에 따라 변하게 됨을 알아야 한다. 관선의 모우먼트(I)는 다음과 같이 표시될 수 있다.

I=∑m_i(r_i)²,

상기 식에서, m_i 는 분자의 질량이고, r_i 는 분자의 원자에 대한 거리이다.

예컨대, 과산화수소 및 물로 구성되는 살균제 유체와 관련하여, 과산화수소 분자는 물 분자의 질량의 거의 두배를 가지며, 0.149nm의 거리만큼 분리된 두개의 산소 원자를 갖는다. 특히 과산화수소 분자는 약 34×10^-40(g)(㎠)의 관성의 모우먼 트(I)을 갖는 반면에, 물 분자는 약 1.1×10^-40(g)(㎠)의 관성의 모우먼트(I)를 갖는다. 따라서, 과산화수소 분자의 관성의 모우먼트(I)는 물 분자의 관성의 모우먼트(I) 보다 약 34배 크다. 물 분자에 대한 적은 관성의 모우먼트(I)로 인하여, 마이크로웨이브 에너지로 과산화수소 분자를 회전시키는 것 보다 마이크로웨이브 에너지로 물 분자를 회전시키는 것이 용이하다. 더욱이, 작은 방울 형태에 있어서, 과산화수소 분자의 아령형 구조로 인하여, 과산화수소 분자가 회전하는 것 보다 물 분자가 회전하는 것이 용이하다.

상술한 설명은 각각의 분자에 대한 에너지 전달의 메카니즘에 역할을 하는 수소 결합의 효과를 배제하고 있음을 알 수 있다. 즉 상술한 설명은 마이크로웨이브 에너지로 공간의 부근에 단일 물 분자 및 단일 과산화수소 분자에 충격을 가하는 것을 고려하고 있다.

상술한 바와 같이, 마이크로웨이브 발생기(90)는 살균제 유체를 증발시키는 마이크로웨이브를 생성하기 위하여 조정된다. 본 발명의 일 실시예에서, 마이크로웨이브 발생기(90)는 살균제 성분의 분자를 여기시키는 주파수를 갖는 마이크로웨이브를 생성토록 조정될 수 있다. 본 발명의 제2실시예에서, 마이크로웨이브 발생기(90)는 캐리어 성분의 분자를 여기시키는 주파수를 갖는 마이크로웨이브를 생성토록 조정될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에서, 마이크로웨이브 발생기(90)는 살균제 성분의 분자를 여기시키는 제1 주파수 및 캐리어 성분의 분자를 여기시키는 제2 주파수 사이에서 번갈아 일어나는 마이크로웨이브를 생성할 수 있다. 본 발명 의 또다른 실시예에서, 두개의 마이크로웨이브 발생기가 동시에 사용된다. 이와 관련하여, 마이크로웨이브 발생기(90)는 살균제 성분의 분자를 여기시키는 제1 주파수의 마이크로웨이브를 생성하는 한편, 제2 마이크로웨이브 발생기는 캐리어 성분의 분자를 여기시키는 제2 주파수의 마이크로웨이브를 동시에 생성한다.

분무 살균제 유체가 마이크로웨이브 방사로 충격을 받으면, 본래 마이크로웨이브의 주파수에 의하여 여기되는 분자는 여기된 분자의 쌍극자 모우먼트가 회전됨에 따라 여기되지 않은 분자로부터 멀리 밀어내어지거나 또는 증발되게 된다. 따라서, 여기된 분자 및 여기되지 않은 분자는 증기로서 방출된다. 또한 운동 에너지는 여기된 분자가 여기되지 않은 분자에 충돌할 때 여기되지 않은 분자에 부여되게 되며, 따라서 여기된 분자 및 여기되지 않은 분자의 증발이 촉진된다.

본 발명은 살균제 유체의 살균제 성분 및/또는 캐리어 성분이 특정 주파수의 마이크로웨이브 방사의 흡수를 허용하는 네트 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 분자로 구성되는 살균제 유체를 증발시키는데 사용될 수 있음을 알 수 있다. 따라서 살균제 유체의 살균제 성분 또는 캐리어 성분만이 특정 주파수의 마이크로웨이브 방사의 흡수를 허용하는 네트 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 것이 필요하다. 이와 관련하여, 본 발명과 관련하여 사용하기에 적당한 살균제 유체는 마이크로웨이브 방사에 의하여 여기될 수 없는 분자를 갖는 살균제 성분, 및 마이크로웨이브 방사에 의하여 여기될 수 있는 분자를 갖는 캐리어 성분으로 구성될 수 있거나, 또는 이와 반대로 구성될 수 있다.

물 분자는 약 2.450 GHz 의 주파수에서 마이크로웨이브 에너지를 흡수하게 된다. 과산화수소 분자에 대한 대략적인 마이크로웨이브 흡수 주파수는 하기 표에 제공되어 있다.

과산화수소에 대한 마이크로웨이브 흡수 스펙트럼

14.829 GHz

37.518 GHz

22.054 GHz

27.640 GHz

11.072 GHz

35.916 GHz

39.033 GHz

39.495 GHz

39.790 GHz

본 발명은 살균제 성분 및 캐리어 성분으로 구성되는 살균제 유체와 관련하여 기술되었지만 본 발명은 살균제 성분 단독으로 구성되는 살균제 유체와 관련하여 사용될 수 있음은 물론이다. 살균제 성분은 상술한 바와 같이 분무되고, 그 다음에 살균제 성분의 분자를 여기시키는 주파수를 갖는 마이크로웨이브에 노출되며, 이에 의하여 살균제 성분이 증발된다.

이상 본 발명에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 본 발명의 정신 및 범위를 일탈함이 없이 여러가지 변형이 가능함은 물론이다.

Claims (37)

1. 살균 시스템에서 살균제 유체를 증발시키는 방법에 있어서,

   최소한 제1 화학 성분의 분자로 구성되는 살균제 유체를 분무하는 단계, 및 분무 살균제 유체를 제1 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 노출시켜 살균제 유체를 증발시키는 단계로 구성되며, 상기 제1 화학 성분의 분자는 제1 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 반응하여 회전됨을 특징으로 하는 방법
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 살균제 성분임을 특징으로 하는 방법
3. 제2항에 있어서, 상기 살균제 성분은 과산화수소, 과산, 및 표백제로 구성되는 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 방법
4. 제1항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 캐리어 성분임을 특징으로 하는 방법
5. 제4항에 있어서, 상기 캐리어 성분은 물, 탈이온수, 증류수, 알콜, 과산화물, 글리콜 함유 화합물, 및 이들의 혼합물로 구성되는 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 방법
6. 제5항에 있어서, 상기 글리콜 함유 화합물은 폴리에틸렌 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 트리엘틸렌 글리콜, 테트라에틸렌 글리콜, 글리콜 에테르, 폴리프로필렌 글리콜, 프로필렌 글리콜, 및 이들의 혼합물로 구성되는 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 방법
7. 제1항에 있어서, 상기 살균제 유체는 제1 화학 성분의 분자, 및 제2 화학 성분의 분자로 구성됨을 특징으로 하는 방법
8. 제7항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 살균제 성분이고, 상기 제2 화학 성분은 캐리어 성분임을 특징으로 하는 방법
9. 제7항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 캐리어 성분이고, 상기 제2 화학 성분은 살균제 성분임을 특징으로 하는 방법
10. 제7항에 있어서, 분무 살균제 유체를 제2 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 노출시키는 것을 추가적으로 포함하며, 상기 제2 화학 성분의 분자는 제2 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 반응하여 회전됨을 특징으로 하는 방법
11. 제10항에 있어서, 제1 주파수를 갖는 상기 마이크로웨이브 에너지는 제2 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지와 동시에 생성됨을 특징으로 하는 방법
12. 제10항에 있어서, 제1 주파수를 갖는 상기 마이크로웨이브 에너지는 제2 주파수를 갖는 상기 마이크로웨이브 에너지와 교대로 생성됨을 특징으로 하는 방법
13. 제1항에 있어서, 상기 제1 주파수는 1 GHz ~ 300 GHz 의 범위임을 특징으로 하는 방법
14. 제13항에 있어서, 상기 제1 주파수는 약 2.450 GHz 임을 특징으로 하는 방법
15. 제13항에 있어서, 상기 제1 주파수는 약 14.829 GHz, 약 37.518 GHz, 약 22.054 GHz, 약 27.640 GHz, 약 11.072 GHz, 약 35.916 GHz, 약 39.033 GHz, 약 39.495 GHz, 및 약 39.790 GHz 로 구성되는 주파수로 부터 선택됨을 특징으로 하는 방법
16. 제1항에 있어서, 상기 마이크로웨이브 에너지는 펄스가 발생됨을 특징으로 하는 방법
17. 살균 시스템에서 살균제 유체를 증발시키는 증발 시스템에 있어서, 최소한 제1 화학 성분의 분자로 구성되는 살균제 유체를 분무시키는 수단, 및 살균제 유체를 증발시키기 위하여 제1 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지를 생성하는 제1 마이크로웨이브 발생기로 구성되며, 제1 화학 성분의 분자는 제1 주파수를 갖는 마 이크로웨이브 에너지에 반응하여 회전됨을 특징으로 하는 증발 시스템
18. 제17항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 살균제 성분임을 특징으로 하는 증발 시스템
19. 제18항에 있어서, 상기 살균제 성분은 과산화수소, 과산, 및 표백제로 구성되는 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 증발 시스템
20. 제17항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 캐리어 성분임을 특징으로 하는 증발 시스템
21. 제20항에 있어서, 상기 캐리어 성분은 물, 탈이온수, 증류수, 알콜, 과산화물, 글리콜 함유 화합물, 및 이들의 혼합물로 구성되는 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 증발 시스템
22. 제21항에 있어서, 상기 글리콜 함유 화합물은 폴리에틸렌 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 트리에틸렌 글리콜, 테트라에틸렌 글리콜, 글리콜 에테르, 폴리프로필렌 글리콜, 프로필렌 글리콜, 및 이들의 혼합물로 구성되는 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 증발 시스템
23. 제17항에 있어서, 상기 살균제 유체는 제1 화학 성분의 분자, 제2 화학 성분의 분자로 구성됨을 특징으로 하는 증발 시스템
24. 제23항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 살균제 성분이고, 상기 제2 화학 성분은 캐리어 성분임을 특징으로 하는 증발 시스템
25. 제23항에 있어서, 상기 제1 화학 성분은 캐리어 성분이고, 상기 제2 화학 성분은 살균제 성분임을 특징으로 하는 증발 시스템
26. 제23항에 있어서, 제2 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지를 생성하기 위한 제2 마이크로웨이브 발생기를 추가적으로 포함하며, 제2 화학 성분의 분자는 제2 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지에 반응하여 회전됨을 특징으로 하는 증발 시스템
27. 제26항에 있어서, 제1 주파수를 갖는 상기 마이크로웨이브 에너지는 제2 주파수를 갖는 상기 마이크로웨이브 에너지와 동시에 생성됨을 특징으로 하는 증발 시스템
28. 제23항에 있어서, 상기 제1 마이크로웨이브 발생기는 제2 주파수를 갖는 마이크로웨이브 에너지를 생성하고, 제2 화학 성분의 분자가 제2 주파수 에너지를 갖 는 마이크로웨이브 에너지에 반응하여 회전되고, 제1 주파수를 갖는 상기 마이크로웨이브 에너지가 제2 주파수를 갖는 상기 마이크로웨이브 에너지와 교대로 생성됨을 특징으로 하는 증발 시스템
29. 제17항에 있어서, 상기 제1 주파수는 1 GHz ~ 300 GHz 의 범위임을 특징으로 하는 증발 시스템
30. 제29항에 있어서, 상기 제1 주파수는 약 2.450 GHz 임을 특징으로 하는 증발 시스템
31. 제29항에 있어서, 상기 제1 주파수는 약 14.829 GHz, 약 37.518 GHz, 약 22.054 GHz, 약 27.640 GHz, 약 11.072 GHz, 약 35.916 GHz, 약 39.033 GHz, 약 39.495 GHz, 및 약 39.790 GHz 로 구성되는 주파수로 부터 선택됨을 특징으로 하는 증발 시스템
32. 제17항에 있어서, 상기 제1 마이크로웨이브 발생기에 의하여 발생되는 상기 마이크로웨이브 에너지는 펄스가 발생됨을 특징으로 하는 증발 시스템
33. 살균제 성분 및 캐리어 성분으로 구성되는 살균제 유체를 증발시키는 방법에 있어서, 상기 살균제 성분과 상기 캐리어 성분의 최소한 하나가 방사에 반응하는 네트 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 분자로 구성되는 살균제 유체를 분무시키는 단계, 및 분무 살균제 유체를 제1 주파수를 갖는 방사에 노출시켜 살균제 유체를 증발시키는 단계로 구성되며, 상기 분자가 제1 주파수를 갖는 방사에 반응하여 회전됨을 특징으로 하는 방법
34. 제33항에 있어서, 상기 살균제 성분만이 방사에 반응하는 네트 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 분자로 구성됨을 특징으로 하는 방법
35. 제33항에 있어서, 상기 캐리어 성분만이 방사에 반응하는 네트 전기 쌍극자 모우먼트를 갖는 분자로 구성됨을 특징으로 하는 방법
36. 제33항에 있어서, 상기 방사는 마이크로웨이브 방사임을 특징으로 하는 방법
37. 제33항에 있어서, 상기 방사는 적외선 방사임을 특징으로 하는 방법

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