KR20070020864A - 반도체 제조설비의 공정관리방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 공정 특성상 서로 혼용하지 못하는 반도체 제조설비에서 엔지니어나 작업자의 오류로 인하여 잘못 입력시킨 공정조건으로 인한 공정진행 동작을 사전에 차단하는 반도체 제조설비의 공정관리방법에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 공정관리방법은, 작업자 또는 엔지니어에 의해 공정에 필요한 공정정보를 입력하는 단계와, 상기 입력된 공정정보가 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치하는지 검출하는 단계와, 상기 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치하지 않을 시 트랙인이 되지 않도록 하여 공정진행을 차단하는 단계와, 상기 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치할 시 트랙인이 되도록 하여 공정진행을 시작하는 단계를 포함한다.

반도체 제조설비에서 기준공정정보를 미리 세팅하여 놓은 후 EQPID별 공정등록 메뉴로부터 공정정보가 입력되어 수신될 때 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 입력된 공정정보가 다를 경우 공정진행이 되지 않도록 차단하므로, 엔지니어나 작업자 등이 PRC그룹의 잘못 입력에 의한 공정불량을 방지한다.

공정정보관리, 공정오류방지, 트랙인,

Description

반도체 제조설비의 공정관리방법{PROCESS MANAGEMENT METHOD OF SEMICONDUCTOR PRODUTION DEVICE}

도 1은 종래의 오퍼레이터 인터페이스 서버에서 EQPID별 공정등록을 위한 화면 예시도

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조설비를 관리하기 위한 시스템 구성도

도 3은 본 발명의 실시 예에 오퍼레이터 인터페이스 서버에서 EQPID별 공정등록 조회를 위한 화면 예시도

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 등록된 기준공정조건 정보외 다른 공정조건정보가 입력될 시 트랙인이 되지 않도록 제어하는 흐름도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10: 오퍼레이터 인터페이스서버 12: 유저 인터페이스서버

14: 설비관리서버 16: 데이터 수집서버

18: 장치인터페이스 콘트롤러 20: 공정설비

본 발명은 반도체 제조설비의 공정관리방법에 관한 것으로, 특히 공정 특성상 서로 혼용하지 못하는 반도체 제조설비에서 엔지니어나 작업자의 오류로 인하여 잘못 입력시킨 공정조건으로 인한 공정진행 동작을 사전에 차단하는 반도체 제조설비의 공정관리방법에 관한 것이다.

통상적으로 반도체장치를 제조하기 위한 웨이퍼는 세정, 확산, 포토레지스트 코팅, 노광, 현상, 식각 및 이온주입 등과 같은 공정을 반복하여 거치게 되며, 이들 과정별로 해당 공정을 수행하기 위한 설비가 사용된다.

이러한 공정을 처리하는 설비는 각 단위공정들을 처리하도록 배치되며, 각 해당 단위공정 진행시에는 대략 20 내지 25매 단위의 웨이퍼가 일개 단위의 롯을 이루어 최적의 공정조건으로 선택된 공정을 진행하게 된다. 각 해당스텝별 단위 공정이 진행 시 발생되는 파라미터들은 온라인으로 통신을 하게 되어 각 스텝별 단위 공정이 이루어지는 설비와 호스트 컴퓨터의 베이터 베이스에 저장된다. 이와 같은 통상의 반도체 설비의 공정은 진행된 공정이 해당 스텝별로 공정을 진행한 후 계측공정에서 해당 제품의 불량 여부를 판단하여 해당 제품에 불량이 발생된 것이 확인되면 각 스텝별 해당 장비에 인터록을 걸도록 한다.

통상적으로 반도체 제조설비는 인터록이 걸리면 그 설비에 부착된 경보장치에 경보신호가 발생되고 작업자는 이 경보를 확인하고 해당 설비에 인터록이 걸린 것을 엔지니어에게 전달한다. 인터록이 걸린상태를 전달받은 엔지니어는 해당 설비에 일련의 조치를 취하여 문제를 해결한 다음 이를 작업자에게 알려주면 작업자는 해당 설비의 인터록을 해제하여 다시 공정진행에 투입되도록 하고 있다.

이러한 배치타입 반도체 제조설비에서는 매엽식 설비와 달리 1배치(BATCH)에 1로트 내지 6로트씩 한꺼번에 프로세스를 진행한다. 그런데 이러한 반도체 제조설비는 엔지니어가 각 공정설비의 기준정보를 입력시키고, 특정공정에서만 보호기능을 설정하여 관리하여 왔다. 그러나 바코드 리더(Bar Cord Reader: BCR)을 사용하게 되면서 멀티 챔버에서 미처 보호기능을 설정하지 못한 설비에서 기준정보에 맞지 않는 로트가 트랙인 되어 품질 불량이 발생하는 문제가 있었다. 즉, 각 공정설비에 대한 기준정보는 오퍼레이터 인터페이스 서버에서 도 1과 같이 설정하도록 되어 있으며, EQPID가 EX0704호기에서 프로세싱 그룹(PROCESSING GROUP: PRC)이 EXO-MASK로 설정되어 있는데, 도 1에서 보는 바와 같이 EX0704-1호기, EX0704-2호기가 EXO-ACT/BLOX로 설정되어 트랙인 진행될 경우 있을 경우 EX0704-1호기, EX0704-2호기, EX0704-3호기가 EXO-ACT/BLOX로 트랙인되어 품질불량이 발생하는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 공정특성 상 서로 다른 공정을 혼용하지 못하는 반도체 제조설비에서 엔지니어나 작업자의 오류로 인하여 기준정보를 잘못 입력시켰을 경우 공정진행을 사전에 차단하여 품질불량을 방지할 수 있는 반도체 제조설비의 공정관리방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 공정관리방법은, 작업자 또는 엔지니어에 의해 공정에 필요한 공정정보를 입력하는 단계와, 상기 입력된 공정정보가 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치하는지 검출하는 단계와, 상기 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치하지 않을 시 트랙인이 되지 않도록 하여 공정진행을 차단하는 단계와, 상기 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치할 시 트랙인이 되도록 하여 공정진행을 시작하는 단계를 포함함을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 공정설비를 관리하기 위한 시스템 구성도이다.

다수의 공정설비(20)는 웨이퍼를 투입시켜 반도체 제조공정을 진행한다. 오퍼레이터 인터페이스서버(10)는 각 공정을 수행하기 위한 공정조건을 입력시켜 해당 공정을 시작하도록 한다. 유저인터페이스 서버(12)는 엔지니어가 원격지에서 공정설비(20)의 상태를 조회한다. 데이터 수집서버(16)는 버스에 연결되어 상기 오퍼레이터 인터페이스서버(10)로부터 각 공정을 시작하기 위한 명령을 받아 장치인터 페이스 콘트롤러(180)로 전달하고 상기 공정설비(20)로부터 제조공정 중에 발생되는 데이터를 실시간으로 수집하여 설비관리서버(14)로 전달한다. 설비관리서버(14)는 공정을 진행하기 위한 공정조건 데이터를 오퍼레이터 인터페이스서버(10)로 제공한다. 장치인터페이스 콘트롤러(18)는 상기 데이터 수집서버(16)와 공정설비(20)간에 통신이 이루어지도록 데이터를 인터페이싱하고, 상기 오퍼레이터 인터페이스서버(10)로부터 공정진행을 위한 공정조건 데이터를 받아 공정기준정보와 다른 공정조건이 입력되어 있을 경우 트랙인이 되지 않도록 공정설비(20)를 제어한다.

상기 설비관리서버(14)는 각종 공정을 진행하기 위한 공정조건 데이터(SPC: Statistic process control)를 저장하고 있는 데이터 베이스(24)를 구비하고 있다.

도 3은 본 발명의 실시 예에 오퍼레이터 인터페이스 서버에서 EQID별 공정등록 조회를 위한 화면 예시도이다.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 등록된 기준공정조건 정보외 다른 공정조건정보가 입력될 시 트랙인이 되지 않도록 제어하는 흐름도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 동작을 상세히 설명한다.

오퍼레이터 인터페이스 서버(10)는 도 3과 같은 EQPID 별 공정등록 화면에서 해당 설비의 기준공정조건에 대한 정보를 입력시킨다. 즉 도 3의 화면에서 EQPID와 프로세스 그룹(PRC)을 정의하여 입력시킨다. 그러면 상기 기준공정조건에 대한 정보는 데이터 수집서버(16)를 통해 장치인터페이스 서버(18)로 보낸다. 장치인터페이스서버(18)는 기준공정조건에 대한 정보를 받아 해당 공정설비(20)들이 공정조건 에 맞는 공정을 진행할 수 있도록 세팅한다. 그런 후 엔지어나 작업자가 도 3과 같은 EQPID 공정등록화면에서 EX0704호기가 EXO-MASK공정으로 세팅되어 있는데 EX0704-1호기, EX0704-2호기가 EXO-ACT/BLOX로 잘못 입력시켰을 경우 장치인터페이스 콘트롤러(18)는 공정설비(20)에서 EXO-MASK공정이외에 다른 공정을 진행하지 않도록 한다.

상기와 같이 해당 공정설비가 기준공정정보에 등록되어 있는 공정이외의 다른 공정으로 트랙인되지 않도록 하는 동작을 도 4의 흐름도를 참조하여 상세히 설명하면,

먼저 101단계에서 오퍼레이터 인터페이스서버(10)는 작업자가 공정에 필요한 공정정보를 입력시켜 스타트를 하게 되면 이 입력된 공정정보를 버스를 통해 데이터 수집서버(14)로 인가된다. 예를 들어 오퍼레이터 인터페이스 서버(10)의 화면에서 EQPID별 공정등록을 선택하면 도 3과 같은 EQPID별 공정등록 메뉴화면이 표시된다. 상기 메뉴화면에서 EQPID와 EQPTYPE을 선택하고 Value를 입력시킨 후 PRC그룹을 입력하고 요청버튼을 클릭한다. 그러면 이 입력된 공정정보가 버스를 통해 데이터 수집서버(14)로 인가된다. 버스를 통해 인가된 공정정보는 데이터 수집서버(16)에 의해 장치인터페이스 콘트롤러(18)로 인가된다. 이때 102단계에서 장치인터페이스 콘트롤러(18)는 트랙인(Track-In)을 위한 공정정보를 받아 저장한다. 상기 트랙인을 위한 공정정보는 EXO-MASK나 EXO-ACT/BLOX를 지정하는 정보가 된다. 그러면 103단계에서 장치인터페이스 콘트롤러(18)는 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 입력된 공정정보가 일치하는지 검사하여 일치하면 104단계로 진행하여 공정설비 (20)를 제어하여 공정동작을 진행한다. 그러나 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 입력된 공정정보가 일치하지 않으면 105단계로 진행하여 장치인터페이스 콘트롤러(18)는 공정설비(20)가 공정을 진행하지 못하도록 제어한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조설비에서 기준공정정보를 미리 세팅하여 놓은 후 EQPID별 공정등록 메뉴로부터 공정정보가 입력되어 수신될 때 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 입력된 공정정보가 다를 경우 공정진행이 되지 않도록 차단하므로, 엔지니어나 작업자 등이 PRC그룹의 잘못 입력에 의한 공정불량을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

1. 반도체 제조설비의 공정관리방법에 있어서,

   작업자 또는 엔지니어에 의해 공정에 필요한 공정정보를 입력하는 단계와,

   상기 입력된 공정정보가 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치하는지 검출하는 단계와,

   상기 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치하지 않을 시 트랙인이 되지 않도록 하여 공정진행을 차단하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 공정관리방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 미리 세팅되어 있는 기준공정정보와 일치할 시 트랙인이 되도록 하여 공정진행을 시작하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 공정관리방법.

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