KR20070020604A - Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy - Google Patents

Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy Download PDF

Info

Publication number
KR20070020604A
KR20070020604A KR1020050074679A KR20050074679A KR20070020604A KR 20070020604 A KR20070020604 A KR 20070020604A KR 1020050074679 A KR1020050074679 A KR 1020050074679A KR 20050074679 A KR20050074679 A KR 20050074679A KR 20070020604 A KR20070020604 A KR 20070020604A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
oven chamber
glass substrate
oven
cover
Prior art date
Application number
KR1020050074679A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100694785B1 (en
Inventor
최이섭
정용범
Original Assignee
주식회사 제우스
(주)하나기술
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 제우스, (주)하나기술 filed Critical 주식회사 제우스
Priority to KR1020050074679A priority Critical patent/KR100694785B1/en
Publication of KR20070020604A publication Critical patent/KR20070020604A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100694785B1 publication Critical patent/KR100694785B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/168—Finishing the coated layer, e.g. drying, baking, soaking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment

Abstract

본 발명에 따른 챔버 프레임에 탑재되는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는, 상기 오븐챔버의 윗부분을 덮으며, 들어올림으로써 분리가 가능하도록 설치되는 챔버 덮개; 상기 챔버의 덮개의 좌우측 각각에 복수개 돌출되는 걸림축; 상기 오븐챔버를 수평으로 상기 챔버 프레임의 밖과 안으로 이송시키도록 설치되는 가이드 레일; 및 상기 걸림축을 들어올리도록 상기 챔버 프레임의 내부와 외부에서 상기 챔버의 좌우측 각각에 복수개 설치되는 승하강기;를 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기 오븐챔버의 측벽에는 셔터가 글라스 기판이 출입할 수 있도록 셔터가 설치되는 것이 바람직한데, 이 경우 상기 셔터는 상기 오븐챔버의 수평이동시 옆쪽을 바라보는 위치에 설치되어야 한다. 본 발명에 의하면, 챔버덮개가 힌지방식으로 결합된 것이 아니기 때문에 그 개방에 있어서 공간적인 제약이 덜하고, 챔버 내부 뿐만 아니라 덮개의 유지보수도 용이하게 할 수 있게 된다. An oven chamber for an LCD glass substrate mounted on a chamber frame according to the present invention includes: a chamber cover covering an upper portion of the oven chamber and installed to be separated by lifting; A plurality of locking shafts protruding from the left and right sides of the cover of the chamber; A guide rail installed to transfer the oven chamber horizontally into and out of the chamber frame; And a plurality of elevators installed on each of the left and right sides of the chamber in and outside the chamber frame to lift the locking shaft. Shutters are preferably installed on the side walls of the oven chamber to allow the glass substrate to enter and exit. In this case, the shutter should be installed at a position facing the side when the oven chamber is horizontally moved. According to the present invention, since the chamber cover is not hingedly coupled, the space is less limited in its opening, and the maintenance of the cover as well as the inside of the chamber can be facilitated.

LCD, 글라스 기판, 가이드 레일, 챔버덮개, 힌지, 오븐챔버 LCD, glass substrate, guide rail, chamber cover, hinge, oven chamber

Description

유지보수가 용이한 ＬＣＤ 글라스 기판용 오븐챔버 {Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy}Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy}

도 1은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면;1 is a view for explaining an oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention;

도 2는 승하강기(30a)로 챔버덮개(10)를 들어올리는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 2 is a view for explaining the process of lifting the chamber cover 10 to the elevator 30a.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명><Description of reference numbers for the main parts of the drawings>

10: 챔버덮개 12a-12f: 걸림축10: chamber cover 12a-12f: locking shaft

20: 오븐챔버 30a-30h: 승하강기20: oven chamber 30a-30h: lift

32: 지지대 34: 실린더32: support 34: cylinder

36: 피스톤 40: 가이드 레일36: piston 40: guide rail

본 발명은 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 관한 것으로, 특히 유지보수를 용이하게 할 수 있는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 관한 것이다. The present invention relates to an oven chamber for an LCD glass substrate, and more particularly to an oven chamber for an LCD glass substrate that can facilitate maintenance.

LCD 글라스 기판 표면에 감광막을 코팅하기 전에 세정과정을 거치는데 이러한 세정과정 후에는 수분을 제거하기 위한 가열건조가 행해진다. 그리고 감광막을 LCD 글라스 기판에 코팅한 후에는 노광 및 현상 공정을 거치는데 이러한 노광 및 현상공정 전에는 프리 베이킹(pre-baking)이 행해지고, 노광 및 현상공정 후에는 포스트 베이킹(post-baking)이 행해진다. 이렇게 LCD를 제조하는 경우에 LCD 글라스 기판을 가열하여야 하는 경우가 종종 생긴다. 이러한 가열은 가열히터가 매립된 핫 플레이트에 기판을 올려 놓음으로써 이루어진다. Before the photoresist is coated on the surface of the LCD glass substrate, a cleaning process is performed. After this cleaning process, heat drying to remove moisture is performed. After the photoresist is coated on the LCD glass substrate, the photoresist film is subjected to an exposure and development process. Before this exposure and development process, pre-baking is performed, and after the exposure and development process, post-baking is performed. . In the case of producing LCDs, it is often necessary to heat the LCD glass substrate. This heating is performed by placing a substrate on a hot plate in which a heating heater is embedded.

챔버 내에서 LCD 글라스 기판을 베이킹 하는 과정에서 글라스 기판 표면에 코팅되어 있는 물질이 증발하는데, 이렇게 생긴 증기(fume)가 상대적으로 차가운 챔버 벽에 닿게 되면 고착되고 이것이 나중의 공정진행 중에 글라스 기판에 비산되어 수율 저하를 야기시킨다. 따라서 챔버 내부를 세정해야 할 필요성이 있다. 이러한 내부 세정 뿐만 아니라 파손 글라스의 제거 및 핫 플레이트의 유지보수를 위해서 오븐챔버를 개방시킬 필요가 있다. During the baking of the LCD glass substrate in the chamber, the material coated on the surface of the glass substrate evaporates, and when these fumes come into contact with the relatively cold chamber walls, they stick and scatter on the glass substrate during later processing. Resulting in a decrease in yield. Therefore, there is a need to clean the inside of the chamber. In addition to such internal cleaning, it is necessary to open the oven chamber for removal of the broken glass and maintenance of the hot plate.

그러나 글라스 기판이 대형화 되면서 이러한 챔버 내부의 접근성이 용이하지 않게 되었다. 종래에는 챔버 덮개가 힌지 방식으로 결합되었기 때문에 챔버덮개를 열기 위해서는 위로 상당히 회전시켜 들어올려야 하고 또한 이렇게 들어올려진 덮개를 지지하는 수단이 있어야 했다. 따라서 챔버의 개폐에 많은 제약이 따랐다. 이로 인해 장비가동 효율이 저하되고, 미완전한 세정으로 인해 생산수율의 저하가 발생했다. However, as the glass substrate is enlarged, accessibility inside such a chamber is not easy. Conventionally, because the chamber cover is hinged, the chamber cover had to be rotated up considerably in order to open the chamber cover and there must also be a means for supporting the lifted cover. Therefore, many restrictions were placed on the opening and closing of the chamber. As a result, the equipment operation efficiency was lowered and the production yield was lowered due to incomplete cleaning.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 챔버 내부 뿐만 아니라 나아가 챔버덮개의 유지보수도 용이하게 할 수 있는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 제공하는 데 있다.  Accordingly, a technical object of the present invention is to provide an oven chamber for an LCD glass substrate that can facilitate maintenance of the chamber cover as well as the inside of the chamber.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버는, 챔버 프레임에 탑재되는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버로서, An oven chamber for an LCD glass substrate according to the present invention for achieving the above technical problem, as an oven chamber for an LCD glass substrate mounted on a chamber frame,

상기 오븐챔버의 윗부분을 덮으며, 들어올림으로써 분리가 가능하도록 설치되는 챔버 덮개;A chamber cover covering an upper portion of the oven chamber and installed to be separated by lifting;

상기 챔버의 덮개의 좌우측 각각에 복수개 돌출되는 걸림축;A plurality of locking shafts protruding from the left and right sides of the cover of the chamber;

상기 오븐챔버를 수평으로 상기 챔버 프레임의 밖과 안으로 이송시키도록 설치되는 가이드 레일; 및 A guide rail installed to transfer the oven chamber horizontally into and out of the chamber frame; And

상기 걸림축을 들어올리도록 상기 챔버 프레임의 내부와 외부에서 상기 챔버의 좌우측 각각에 복수개 설치되는 승하강기;를 구비하는 것을 특징으로 한다. And a plurality of elevators installed on each of the left and right sides of the chamber in and outside the chamber frame to lift the locking shaft.

상기 오븐챔버의 측벽에는 셔터가 글라스 기판이 출입할 수 있도록 셔터가 설치되는 것이 바람직한데, 이 경우 상기 셔터는 상기 오븐챔버의 수평이동시 옆쪽을 바라보는 위치에 설치되어야 한다. Shutters are preferably installed on the side walls of the oven chamber to allow the glass substrate to enter and exit. In this case, the shutter should be installed at a position facing the side when the oven chamber is horizontally moved.

상기 가이드 레일은 상기 챔버의 좌우측 밑부분을 지지하도록 설치되며 상기 프레임의 바깥쪽까지 돌출되어 나오는 것이 바람직하다. The guide rail is installed to support the left and right bottom portions of the chamber and preferably protrudes to the outside of the frame.

상기 걸림축은 상기 챔버 덮개의 좌우측에 서로 대향하도록 설치되는 것이 바람직하다. The locking shaft is preferably installed to face each other on the left and right sides of the chamber cover.

상기 승하강기는, 옆으로 쓰러지지 않게 수직하게 설치되는 실린더; 상기 실린더에 삽입되어 외부 동력에 의하여 승하강운동하는 피스톤; 상기 피스톤에 연결되어 수평하게 설치되며, 상기 걸림축이 밑으로 삽입되면서 걸쳐지도록 홈이 형성된 지지대;를 구비하는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 실린더는 상기 가이드 레일에 부착설치되는 것이 바람직하다. The elevator, the cylinder is installed vertically not to fall sideways; A piston inserted into the cylinder to move up and down by external power; It is preferably provided with a support that is connected to the piston is installed horizontally, the groove is formed so that the locking shaft is inserted while hanging down. Here, the cylinder is preferably attached to the guide rail.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The following examples are only presented to understand the content of the present invention, and those skilled in the art will be capable of many modifications within the technical spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as limited to these embodiments.

[챔버덮개의 유지보수][Maintenance of Chamber Cover]

도 1은 본 발명에 따른 LCD 글라스 기판용 오븐챔버를 설명하기 위한 도면으로서, 챔버덮개(10)를 유지보수하는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a view for explaining the oven chamber for the LCD glass substrate according to the present invention, a view for explaining the process of maintaining the chamber cover (10).

도 1을 참조하면, 오븐챔버(20)는 통상 챔버 프레임에 복수개가 적층되는 형태로 탑재된다. 따라서 오븐챔버(20)의 내부를 유지보수하기 위해서는 오븐챔버(20)를 챔버 프레임의 외부로 꺼내야 한다. 그러나 외부로 꺼낸다 하더라도 종래의 힌지방식 덮개인 경우에는 덮개를 열 경우에 회전반경이 커서 공간적으로 많은 제약이 있게 된다. 따라서 본 발명의 경우는 덮개(10)가 힌지 결합되는 것이 아니라 들어올림으로써 열고 닫음이 가능한 형태로 오븐챔버(20)의 윗부분을 덮는다. Referring to FIG. 1, the oven chamber 20 is typically mounted in a plurality of stacked forms on a chamber frame. Therefore, in order to maintain the interior of the oven chamber 20, the oven chamber 20 should be taken out of the chamber frame. However, even if taken out to the outside in the case of the conventional hinge type cover, when the cover is opened, the radius of rotation is large and there are many restrictions in space. Therefore, in the case of the present invention, the lid 10 is not hinged, but covers the upper portion of the oven chamber 20 in a form that can be opened and closed by lifting.

챔버덮개(10)가 덮여 있는 채로 오븐챔버(20)가 챔버 프레임 내부에 존재하고 있는 상태에서 오븐챔버(20)를 챔버 프레임 밖으로 이동시킨다. 가이드 레일(40)을 설치하면 오븐챔버(20)를 챔버 프레임 안과 밖으로 자유스럽게 수평이동 시킬 수 있다. 가이드 레일(40)로는 LM 가이드 레일을 사용하면 좋다. 가이드 레일(40)은 오븐챔버(20)의 좌우측 밑부분을 지지하도록 설치되는 것이 바람직하며, 챔버 프레임 내부에서부터 외부까지 연장되도록 설치된다. The oven chamber 20 is moved out of the chamber frame while the oven chamber 20 is present inside the chamber frame while the chamber cover 10 is covered. When the guide rail 40 is installed, the oven chamber 20 can be horizontally moved freely in and out of the chamber frame. As the guide rail 40, an LM guide rail may be used. The guide rail 40 is preferably installed to support left and right bottom portions of the oven chamber 20, and is installed to extend from the inside of the chamber frame to the outside.

덮개(10)가 덮여져 있는 오븐챔버(20)를 챔버 프레임 밖으로 수평 이동시킨 다음에는 챔버 프레임 외부에 설치된 승하강기(30a, 30b, 30e, 30f)를 이용하여 챔버덮개(10)를 위로 들어 올린다. 챔버덮개(10)의 좌우측에는 걸림축(12a ~12f)이 서로 대향하도록 복수개 설치된다. 도면에서는 각각 3개씩 설치된 경우가 도시되었다. After moving the oven chamber 20 covered with the cover 10 horizontally out of the chamber frame, the chamber cover 10 is lifted up by using lifts 30a, 30b, 30e, and 30f installed outside the chamber frame. . A plurality of locking shafts 12a to 12f are provided on the left and right sides of the chamber cover 10 so as to face each other. In the drawings, three installed cases are shown.

승하강기로 챔버덮개(10)를 들어올리는 과정을 도 2와 결부하여 상세히 설명한다. 승하강기는 실린더(34), 피스톤(36), 및 지지대(32)로 구성된다. 실린더(34)는 옆으로 쓰러지지 않게 가이드 레일(40)에 부착되어 수직하게 설치된다. 피스톤(36)은 실린더(34)에 삽입되어 외부동력에 의하여 승하강 운동한다. 지지대(32)는 피스톤(36)에 연결되어 수평하게 안쪽으로 돌출되도록 설치되며, 걸림축(12b)이 밑으로 삽입되면서 걸쳐지도록 홈(38)이 형성되어 있다. 걸림축(12b)의 끝부분에는 홈(38)으로의 삽입이 원활하도록 베어링(13)이 끼워진다. The process of lifting the chamber cover 10 with the elevator will be described in detail with reference to FIG. 2. The elevator consists of a cylinder 34, a piston 36, and a support 32. The cylinder 34 is attached to the guide rail 40 so as not to fall sideways and is installed vertically. The piston 36 is inserted into the cylinder 34 to move up and down by external power. Support 32 is connected to the piston 36 is installed so as to protrude horizontally inward, the groove 38 is formed so that the engaging shaft 12b is inserted while hanging down. The bearing 13 is fitted to the end of the locking shaft 12b to facilitate insertion into the groove 38.

균형을 위해서 최소한 좌측과 우측에서 각각 두 군데에서 지지하면서 챔버덮개(10)를 들어올려야 하는데, 도 1에서는 참조번호 12b, 12c, 12e, 12f의 걸림축이 참조번호 30a, 30b, 30e, 30f의 승하강기에 걸쳐져서 들어올려지는 경우가 도시되었다. 챔버덮개(10)에 설치되는 걸림축(12a~12f)은 좌측과 우측에 있는 것이 서로 대향해야 균형상 바람직하다. For the balance, the chamber cover 10 should be lifted while supporting at least two positions on the left and the right, respectively. In FIG. 1, the locking shafts of reference numerals 12b, 12c, 12e, and 12f refer to reference numerals 30a, 30b, 30e, and 30f. The case of lifting and lifting over an elevator is shown. The locking shafts 12a to 12f installed in the chamber cover 10 are preferably on the left and right sides so as to face each other.

이렇게 챔버덮개(10)가 들어올려진 상태에서 오븐챔버(20)를 다시 챔버 프레임 내부로 이동시킨다. 그러면 결국에는 챔버덮개(10)만 챔버 프레임 외부로 나온 상태가 되어 챔버덮개(10)의 유지보수가 가능하게 된다. The oven chamber 20 is moved back into the chamber frame while the chamber cover 10 is lifted up. As a result, only the chamber cover 10 comes out of the chamber frame, thereby enabling maintenance of the chamber cover 10.

글라스 기판(미도시)의 입구는 덮개(10)가 있는 부분이 아니라 오븐챔버(20)의 측벽에 설치되는 셔터(22)가 있는 부분이다. 따라서 셔터(22)가 있는 부분이 오븐챔버(20)의 수평이동시 옆쪽을 바라보도록 하는 것이 챔버 프레임의 외부로 돌출된 가이드 레일(40)의 방해를 받지 않고 글라스 기판의 장입 반출이 이루어지게 되어 바람직하다. The inlet of the glass substrate (not shown) is not the portion with the cover 10 but the portion with the shutter 22 installed on the side wall of the oven chamber 20. Therefore, it is preferable that the portion having the shutter 22 face the side during the horizontal movement of the oven chamber 20 so that the loading and unloading of the glass substrate is made without being disturbed by the guide rail 40 protruding to the outside of the chamber frame. Do.

[챔버 내부의 유지보수][Maintenance inside chamber]

도 1은 챔버덮개(10)의 유지보수를 예로서 설명하기 위한 것이고, 오븐챔버(20) 내부의 유지보수는 이와는 약간 과정이 다르다. 챔버덮개(10)가 덮여 있는 채로 오븐챔버(20)가 챔버 프레임 내부에 존재하고 있는 상태에서 챔버 프레임 내에 설치되어 있는 승하강기(30c, 30d, 30g, 30h)를 이용하여 챔버덮개의 걸림축(12a, 12c, 12d, 12f)을 들어올린다. 1 is for explaining the maintenance of the chamber cover 10 as an example, the maintenance inside the oven chamber 20 is slightly different from this process. With the chamber cover 10 covered, the locking shaft of the chamber cover using the elevators 30c, 30d, 30g, and 30h installed in the chamber frame while the oven chamber 20 is present inside the chamber frame ( 12a, 12c, 12d, 12f).

그 다음에 오븐챔버(20)를 가이드 레일(40)을 따라 챔버 프레임 외부로 수평 이동시킨다. 그러면 오븐챔버(20)는 윗부분이 개방된 상태로 챔버 프레임의 외부에 위치하게 된다. 이 상태에서 작업자는 오븐챔버(20)의 내부를 세정하거나 보수한다. The oven chamber 20 is then horizontally moved out of the chamber frame along the guide rail 40. The oven chamber 20 is then located outside the chamber frame with the top open. In this state, the operator cleans or repairs the interior of the oven chamber 20.

챔버 프레임 내부에 있는 승하강기(30c, 30d, 30g, 30h)와 외부에 있는 승하강기(30a, 30b, 30e, 30f)의 간격은 도면에서는 서로 다르게 되어 있지만 같아도 무방하다. The distance between the elevators 30c, 30d, 30g, and 30h inside the chamber frame and the elevators 30a, 30b, 30e, and 30f outside may be different from each other in the drawing, but may be the same.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 챔버덮개가 힌지방식으로 결합된 것이 아니기 때문에 그 개방에 있어서 공간적인 제약이 덜하고, 챔버 내부 뿐만 아니라 덮개의 유지보수도 용이하게 할 수 있게 된다. As described above, according to the present invention, since the chamber cover is not hinged, the space is less restricted in opening, and the chamber cover can be easily maintained as well as inside the chamber.

Claims (6)

챔버 프레임에 탑재되는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버에 있어서, In the oven chamber for the LCD glass substrate mounted on the chamber frame, 상기 오븐챔버의 윗부분을 덮으며, 들어올림으로써 분리가 가능하도록 설치되는 챔버 덮개;A chamber cover covering an upper portion of the oven chamber and installed to be separated by lifting; 상기 챔버의 덮개의 좌우측 각각에 복수개 돌출되는 걸림축;A plurality of locking shafts protruding from the left and right sides of the cover of the chamber; 상기 오븐챔버를 수평으로 상기 챔버 프레임의 밖과 안으로 이송시키도록 설치되는 가이드 레일; 및A guide rail installed to transfer the oven chamber horizontally into and out of the chamber frame; And 상기 걸림축을 들어올리도록 상기 챔버 프레임의 내부와 외부에서 상기 챔버의 좌우측 각각에 복수개 설치되는 승하강기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버. And a plurality of elevators installed on each of the left and right sides of the chamber inside and outside the chamber frame to lift the locking shaft. 제1항에 있어서, 상기 오븐챔버의 측벽에는 셔터가 글라스 기판이 출입할 수 있도록 셔터가 설치되는데, 상기 셔터는 상기 오븐챔버의 수평이동시 옆쪽을 바라보는 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버. The LCD glass substrate of claim 1, wherein a shutter is provided on a sidewall of the oven chamber to allow the glass substrate to enter and exit the shutter, and the shutter is installed at a position facing the side when the oven chamber is horizontally moved. Oven chamber. 제 1항에 있어서, 상기 가이드 레일은 상기 챔버의 좌우측 밑부분을 지지하도록 설치되며 상기 프레임의 바깥쪽까지 돌출되어 나오는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버. The oven chamber of claim 1, wherein the guide rail is installed to support left and right bottom portions of the chamber and protrudes to the outside of the frame. 제 1항에 있어서, 상기 걸림축은 상기 챔버 덮개의 좌우측에 서로 대향하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버. The oven chamber of claim 1, wherein the locking shaft is disposed on the left and right sides of the chamber cover to face each other. 제 1항에 있어서, 상기 승하강기는,The method of claim 1, wherein the elevator is, 옆으로 쓰러지지 않게 수직하게 설치되는 실린더; A cylinder installed vertically so as not to fall to the side; 상기 실린더에 삽입되어 외부 동력에 의하여 승하강운동하는 피스톤;A piston inserted into the cylinder to move up and down by external power; 상기 피스톤에 연결되어 수평하게 설치되며, 상기 걸림축이 밑으로 삽입되면서 걸쳐지도록 홈이 형성된 지지대;를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버. And a supporter connected to the piston to be horizontally installed and having a groove formed so that the locking shaft is inserted downward. 제 5항에 있어서, 상기 실린더가 상기 가이드 레일에 부착설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스 기판용 오븐챔버. The oven chamber of claim 5, wherein the cylinder is attached to the guide rail.
KR1020050074679A 2005-08-16 2005-08-16 Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy KR100694785B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050074679A KR100694785B1 (en) 2005-08-16 2005-08-16 Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050074679A KR100694785B1 (en) 2005-08-16 2005-08-16 Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070020604A true KR20070020604A (en) 2007-02-22
KR100694785B1 KR100694785B1 (en) 2007-03-14

Family

ID=41623260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050074679A KR100694785B1 (en) 2005-08-16 2005-08-16 Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100694785B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100925172B1 (en) * 2007-12-24 2009-11-05 주식회사 에이디피엔지니어링 Apparatus and method for opening and closing lid
KR101327503B1 (en) * 2007-08-24 2013-11-20 세메스 주식회사 Apparatus of treating a substrate

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100473993B1 (en) 2003-04-23 2005-03-10 주식회사 제우스 Oven chamber position adjusting Apparatus for LCD glass substrate oven system
KR101023728B1 (en) * 2004-06-29 2011-03-25 엘지디스플레이 주식회사 Loader and unloader of sputter

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101327503B1 (en) * 2007-08-24 2013-11-20 세메스 주식회사 Apparatus of treating a substrate
KR100925172B1 (en) * 2007-12-24 2009-11-05 주식회사 에이디피엔지니어링 Apparatus and method for opening and closing lid

Also Published As

Publication number Publication date
KR100694785B1 (en) 2007-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100694785B1 (en) Oven chamber for LCD glass substrate which can maintain with easy
JP3908468B2 (en) High efficiency cooling heat treatment equipment
KR100616298B1 (en) Slide slit type thermal treatment unit
CN210345391U (en) Stage lamps and lanterns elevating gear
KR20050047677A (en) Processing chamber of fpd manufacturing machine having a device for opening the cover
KR100755429B1 (en) Shutter for heating furnace
KR20070109881A (en) Heat treatment device and heat treatment method and storage medium
KR101020154B1 (en) Vacuum chamber of side open type
JP3648589B2 (en) Heat treatment equipment
KR100765046B1 (en) Door apparatus with sub door for extractor in heating furnace
KR100841942B1 (en) Sliding door of apparatus that treatment substrate
KR100694780B1 (en) Lift pin unit used in oven chamber for LCD glass substrate
JP2009281601A (en) Baking furnace
KR100965515B1 (en) Flat panel display manufacturing machine
CN108956629B (en) Substrate detection equipment
JP4071594B2 (en) Glass substrate heat treatment equipment
KR20050081426A (en) Apparatus for manufacturing flat panel display
KR20090112407A (en) Vertical type vacuum furnace with elevation apparatus
KR101023115B1 (en) Door apparatus of heating furnace
JP3395287B2 (en) Batch type atmosphere heat treatment furnace and operation method thereof
KR101160167B1 (en) Substrate treating apparatus and storing unit
KR102315008B1 (en) Heat Treatment Apparatus for Manufacturing Display Panel and Shutter Device of Heat Treatment Apparatus
JP4369107B2 (en) Glass substrate heat treatment equipment
KR102587371B1 (en) Cleaning chamber including lifting cover door, glass chemical-strengthening apparatus including the same and method for strengthening ultra thin glass
KR100740453B1 (en) Apparatus for vacuum processing

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130307

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140305

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150302

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160302

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170302

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180302

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190307

Year of fee payment: 13