KR20070016091A - 코팅물의 패턴화 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- a) 평판에 코팅물을 도포하는 단계;b) 상기 평판에 도포된 코팅물을, 돌출부와 홈부로 구성된 요철을 갖는 기판의 상기 돌출부에 접촉시킴으로써, 상기 평판의 코팅물 중 상기 기판의 돌출부에 접촉되는 부분을 상기 평판으로부터 상기 기판의 돌출부로 전사하는 단계; 및c) 상기 평판에 남은 코팅물 또는 상기 기판의 돌출부의 코팅물을 피인쇄체의 피인쇄면에 접촉시켜 상기 피인쇄체로 전사하는 단계를 포함하는 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 평판은 코팅물을 도포하기 위한 평판 블랑킷과, 상기 평판 블랑킷을 지지하는 평판 블랑킷 지지부로 이루어진 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 평판 블랑킷은 실리콘 고무로 이루어진 것이고, 상기 평판 블랑킷 지지부는 무기 재료 또는 스레인리스 스틸로 이루어진 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 요철을 갖는 기판과 상기 피인쇄체는 각각 기판 지지부 및 피인쇄체 지지부 상에 진공으로 부착 고정되어 있는 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 요철을 갖는 기판은 금속 또는 규소화합물로 이루어진 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 피인쇄체는 유리 재질, 플렉서블 플라스틱 재료, 및 경질의 플라스틱 재료 중 어느 하나로 형성된 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 b) 단계 또는 상기 c) 단계에서 접촉되는 면들은 이들 면의 표면에 대하여 수직방향으로 접촉되는 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 b) 단계 또는 상기 c) 단계에서 접촉을 전기적 또는 광학적 압착 감응 방법에 의하여 접촉되는 전면적에 대하여 균일한 압력으로 이루어지도록 조절하는 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 전기적 또는 광학적 압착 감응 방법은 압전소자 또는 레이져 간섭계를 이용하는 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 코팅물은 광학 잉크, 배선용 금속 용액, 도전성 페이스트(paste), 레지스트(resist), 접착제 및 점착제로 이루어진 군에서 선택되는 기 능성 물질인 것인 코팅물의 패턴화 방법.
- 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 방법을 이용하여 전자 소재를 미세 패턴화함으로써 전자소자를 제조하는 전자소자 제조 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 전자소자는 전자기 기록, 화상 또는 회로 장치의 부품인 것인 전자소자 제조 방법.
- 평판이송장치에 의해 판면을 기준으로 Z축 방향, X축 방향, Y축 방향, 및 θ축 방향으로 이송가능하게 마련된 평판;코터이송장치에 의해 상기 평판의 판면방향을 따라 이송가능하게 마련되어 상기 평판에 코팅물을 도포하는 코터; 및상기 평판의 하측에 배치되며, 돌출부가 형성된 기판을 포함하며,상기 평판이 상기 기판에 접촉되도록 상기 평판을 이송시켜 상기 평판의 코팅물을 상기 기판의 돌출부에 전사한 후, 상기 평판에 남은 코팅물 또는 상기 기판의 돌출부의 코팅물을 피인쇄체에 전사하여 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 코팅물의 패턴화 장치.
- 제13항에 있어서,상기 평판이송장치는상기 평판의 이동을 안내하는 이동지지프레임과, 상기 이동지지프레임에 설치되어 상기 평판의 판면에 대해 z축 방향으로 상기 평판의 이동을 조절하는 제1조절스크루를 갖는 제1이송장치; 및상기 평판에 설치되어 상기 평판의 판면방향을 따라 X축 방향, Y축 방향, 및 θ축 방향으로 상기 평판의 이동을 조절하는 제2조절스크루와 제3조절스크루를 갖는 제2이송장치를 포함하는 코팅물의 패턴화 장치.
- 제14항에 있어서, 상기 평판이송장치는 상기 제1조절스크루, 상기 제2조절스크루, 및 상기 제3조절스크루 중 적어도 어느 하나에 연결된 스텝핑 모터를 더 포함하는 코팅물의 패턴화 장치.
- 제13항에 있어서,상기 코터이송장치는상기 코터가 장착되는 코터장착프레임; 및상기 코터가 장착된 상기 장착프레임을 좌우로 이동시키는 리니어모터를 포함하는 코팅물의 패턴화 장치.
- 제13항에 있어서, 상기 기판과 상기 피인쇄체를 하측에서 지지하는 지지부 고정프레임을 더 포함하는 코팅물의 패턴화 장치.
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