KR20070008774A - Cassette for loading glasses - Google Patents

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KR20070008774A
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이영진
조병일
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Abstract

Provided is a cassette for loading substrates by using a drive pulley and a driven pulley so as to freely load and unload the substrates in a desired position by rotating a substrate support bar. The cassette includes a bottom frame(102), a top frame(104) spaced apart from an upper portion of the bottom frame at regular intervals, plural side frames(106) positioned between the top frame and bottom frame in a state of fixedly spacing apart from the top frame and bottom frame, a substrate support bar(116) rotatably installed on the side frame for supporting a lower surface of the substrate, and rotating member(120) for rotating the substrate support bar for loading and unloading the substrate. The substrate support bar has a driven pulley installed on one portion thereof. The rotating member has a drive motor having a drive pulley installed on a drive shaft.

Description

기판 적재용 카세트{Cassette for loading Glasses}Cassette for loading Glasses

도 1 은 종래 카세트의 정면도이다.1 is a front view of a conventional cassette.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate stacking cassette according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트에 구비된 기판 지지바의 일실시예이다.Figure 3 is an embodiment of a substrate support bar provided in the substrate loading cassette according to an embodiment of the present invention.

도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트에 구비된 회전수단의 일실시예이다.4 to 6 is an embodiment of a rotating means provided in the substrate loading cassette according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트에 구비된 회전수단의 다른 실시예이다.Figure 7 is another embodiment of a rotating means provided in the substrate loading cassette according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트에 구비된 회전수단의 또 다른 실시예이다.8 is another embodiment of a rotating means provided in the cassette for loading the substrate according to the embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재용 카세트의 사용상태도이다.9 is a state diagram of use of the substrate loading cassette according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for main parts of drawings *

102.....보텀 프레임 104.....톱 프레임102 ..... bottom frame 104 ..... top frame

106.....사이드 프레임 112.....서포트 바106 ..... Side Frame 112 ..... Support Bar

116(216).....기판 지지바 120.....회전수단116 (216) ..... Substrate support bar

122.....구동모터 222.....종동풀리122 ..... driving motor 222 ..... driven pulley

224.....구동풀리 226.....밸트224 ..... drive pulley 226 ..... belt

본 발명은 기판 적재용 카세트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 단위 면적당 기판의 적재 수가 증가되어 적재효율이 향상되고, 임의 위치의 기판을 선택적으로 적재 및 유출할 수 있는 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate stacking cassette, and more particularly, to a substrate stacking cassette capable of increasing the stacking efficiency of a substrate per unit area and improving loading efficiency and selectively loading and draining out substrates at arbitrary positions.

PDP(Plasma Display Panel) 및 LCD(Liquid Crystal Display)와 같은 평판디스플레이에 사용되는 기판 또는 글라스는 외부의 작은 충격에도 손상될 우려가 크기 때문에 이들의 취급은 각별한 주의를 요한다.Substrates or glasses used in flat panel displays such as plasma display panels (PDPs) and liquid crystal displays (LCDs) are highly susceptible to damage from small external shocks.

더욱이 이러한 기판이 사용되는 제작공정에는 이물질의 개입을 최소화하는 것이 제품의 질을 향상시키는 관건이 된다.Moreover, minimizing the involvement of foreign substances in the manufacturing process in which these substrates are used is a key to improving product quality.

이러한 기판은 디스플레이의 형태에 따라 다양한 크기로 제작되고 있으며, 캐리어(Carrier) 또는 카세트(Cassette)라 지칭된 장치에 적재되거나 운반된다.Such substrates are manufactured in various sizes depending on the shape of the display, and are loaded or transported in a device called a carrier or a cassette.

근간에 제작되는 디스플레이용 기판은 현재 개발 중인 7세대와 향후 개발될 8세대 형태로 기술이 진전됨에 따라 갈수록 대형화 추세로 제작되고 있으며, 대형화에 따른 기판 적재장치 역시 대형화된 기판을 적재할 수 있는 형태로 제작되고 있다.Display substrates manufactured in recent years are becoming more and more large in size as technology is advanced in the form of 7th generation under development and 8th generation to be developed in the future. Substrate loading devices also can be loaded with large sized substrates. It is produced.

종래에 사용된 대표적인 카세트는 서포트바 타입과 크로스바 타입이 있다.Representative cassettes used conventionally are a support bar type and a crossbar type.

서포트바 타입은 도 1과 같은 형태로, 톱프레임(1)과 보텀 프레임(3)이 있으 며, 톱프레임(1)과 보텀 프레임(3)의 사이에는 이들이 상하 일정한 간격을 유지하도록 다수개의 사이드 프레임(5)이 구비되어 있다.The support bar type has a shape as shown in FIG. 1, and includes a top frame 1 and a bottom frame 3, and a plurality of sides between the top frame 1 and the bottom frame 3 so as to maintain a constant distance up and down. The frame 5 is provided.

그리고 좌우측의 사이드 프레임(5)에는 기판(G)의 양단을 받쳐 지지하기 위한 다수개의 서포트 핑거(7)가 구비되어 있다.The left and right side frames 5 are provided with a plurality of support fingers 7 for supporting both ends of the substrate G.

한편, 크로스바 타입은 사이드 프레임(5)의 양단에 설치되는 크로스바가 구비된 형태이다.On the other hand, the crossbar type is a form provided with crossbars provided at both ends of the side frame (5).

이러한 종래의 카세트에 기판을 적재하거나 꺼내는 방법은 로봇 아암에 의해 순차적으로 실시하는 방법을 사용한다. 이와 같은 종래의 카세트에 기판을 적재하거나 꺼낼 경우 일일이 로봇 아암을 사용해야 하기 때문에 시간이 과다하게 소요되는 문제가 있다.The method of loading or unloading a substrate into such a conventional cassette uses a method sequentially performed by a robot arm. When loading or taking out a substrate in such a conventional cassette, there is a problem that excessive time is required because the robot arm must be used one by one.

더욱이 종래의 카세트는 로봇아암에 의해 유출입이 이루어지기 때문에 기판을 적재하거나 꺼내기가 어려운 문제가 있는데, 이러한 문제는 로봇 아암의 작업을 위한 크로스바 또는 핑거의 상하 간격이 충분하지 않기 때문에 발생한다.Moreover, the conventional cassette has a problem that it is difficult to load or unload a substrate because of the flow in and out by the robot arm. This problem occurs because the vertical gap between the crossbar or the finger for the robot arm is not sufficient.

이러한 문제가 발생하였다 하여 크로스바나 핑거의 간격을 충분히 확보한다는 것 자체도 어려움이 있는데, 만약 이들의 간격을 넓게 한다면 단위 공간에 대한 적재 효율이 떨어져 기판의 적재량이 줄어들기 때문이다.It is difficult to ensure sufficient spacing between the crossbars and the fingers due to such a problem, because if the spacing is widened, the loading efficiency of the unit space is reduced and the loading amount of the substrate is reduced.

또한 종래와 같은 카세트는 임의의 위치에 적재된 상태의 기판을 유출하는데 어려운 문제가 있다.In addition, the conventional cassette has a problem that it is difficult to flow out the substrate in a state loaded at any position.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 임의 위 치에 대한 기판의 적재 및 유출이 가능하고, 적재 효율이 향상되는 기판 적재용 카세트를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide a cassette for loading the substrate that can be loaded and discharged to any position, the loading efficiency is improved.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트는 보텀 프레임; 상기 보텀 프레임의 상부에 일정간격 이격된 상태로 위치하는 톱프레임; 상기 톱프레임과 상기 보텀 프레임의 사이에 위치하여 상기 톱프레임과 상기 보텀 프레임을 이격된 상태로 고정하기 위한 복수개의 사이드 프레임; 적어도 하나의 일단이 상기 사이드 프레임에 회전 가능하도록 설치되며, 기판의 저면을 지지하기 위한 기판 지지바; 및 상기 기판 지지바를 회전시켜 적재된 상기 기판의 유출이 가능하도록 하는 회전수단으로 구성된다.Substrate loading cassette according to the present invention for achieving the above object is a bottom frame; A top frame positioned at a predetermined distance from an upper portion of the bottom frame; A plurality of side frames positioned between the top frame and the bottom frame to fix the top frame and the bottom frame apart from each other; At least one end rotatably installed on the side frame, the substrate support bar supporting a bottom surface of the substrate; And rotating means for rotating the substrate support bar to enable the outflow of the loaded substrate.

그리고 상기 기판 지지바의 일단에는 종동풀리가 구비되고, 상기 회전수단은 구동축에 구동풀리가 구비된 구동모터, 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리에 권취되는 벨트로 구성되는 것이 바람직하며, 상기 기판 지지바의 일단에는 종동스프로킷이 구비되고, 상기 회전수단은 구동축에 구동스프로킷이 구비된 구동모터, 상기 구동스프로킷 및 상기 종동스프로킷에 맞물리는 체인으로 구성되는 것이 바람직하다.And one end of the substrate support bar is provided with a driven pulley, the rotating means is preferably composed of a drive motor provided with a drive pulley on the drive shaft, the drive pulley and the belt wound around the driven pulley, the substrate support bar One end of the driven sprocket is provided, the rotating means is preferably composed of a drive motor provided with a drive sprocket on the drive shaft, the drive sprocket and the chain engaged with the driven sprocket.

그리고 상기 기판 지지바의 일단에는 종동기어가 구비되고, 상기 회전수단은 상기 종동기어에 맞물리도록 구동축에 구동기어가 구비된 구동모터인 것이 바람직하고, 상기 기판 지지바는 상기 사이드 프레임에 각각 양단이 연결된 형태인 것이 바람직하며, 상기 기판 지지바는 각각의 상기 사이드 프레임에 일단이 연결되고, 타단이 자유단 형태인 것이 바람직하다.And one end of the substrate support bar is provided with a driven gear, the rotating means is preferably a drive motor provided with a drive gear on the drive shaft to engage the driven gear, the substrate support bar is both ends of the side frame respectively Preferably, the substrate support bar is connected to one end of each of the side frames, and the other end of the substrate support bar is preferably of a free end.

상기와 같은 구성의 본 발명에 따르면 기판 지지바의 상하 간격이 줄어드는 형태로 제작할 수 있어 이로 인한 기판의 적재 효율이 증가되는 카세트를 얻는 효과가 있다.According to the present invention having the configuration described above can be produced in a form in which the vertical gap of the substrate support bar is reduced, thereby resulting in a cassette to increase the loading efficiency of the substrate.

또한, 각각의 기판을 지지하고 있는 기판 지지바가 회전 가능한 형태로 구비되어 임의 위치에 대한 기판의 적재 및 유출이 가능하여 효율적이며, 시간 단축이 가능한 카세트를 얻는 효과가 있다.In addition, a substrate support bar supporting each substrate is provided in a rotatable form, so that the substrate can be loaded and discharged at any position, thereby providing an efficient and time-saving cassette.

이하에서는 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 하며, 각 도면에 도시된 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일부재를 가리킨다.Hereinafter, one preferred embodiment according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings, wherein the same reference numerals shown in each of the drawings indicate the same member having the same function.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트(100)는 보텀 프레임(102), 보텀 프레임(102)의 상부에 일정간격 이격된 상태로 위치하는 톱프레임(104), 톱프레임(104)과 보텀 프레임(102)의 사이에 위치하여 이들을 이격된 상태로 고정하기 위한 복수개의 사이드 프레임(106), 적어도 하나의 일단이 사이드 프레임(106)에 회전 가능하도록 설치되며, 기판(G)의 저면을 지지하기 위한 기판 지지바(116) 및 기판 지지바(116)(216)를 회전시켜 적재된 기판(G)의 유출이 가능하도록 하는 회전수단(120)으로 구성된다.As shown in Figures 2 and 3, the substrate stacking cassette 100 according to the present invention is a bottom frame 102, the top frame 104 is located at a predetermined interval spaced above the bottom frame 102 Located between the top frame 104 and the bottom frame 102, a plurality of side frames 106 for fixing them in a spaced apart state, at least one end is rotatably installed on the side frame 106, The substrate support bar 116 for supporting the bottom of the substrate (G) and the substrate support bar 116, 216 is rotated by the rotating means 120 to enable the outflow of the loaded substrate (G).

본 발명에서 지칭하는 기판(G)은 글래스 및 이와 유사한 판과 같은 모든 형태의 것을 포괄하여 나타내는 것이나, 본원 발명의 가장 바람직한 실시예를 효과적으로 나타내기 위한 것으로는 글래스이기 때문에 별도의 설명이 없는 한 글래스로 해석함이 바람직할 것이다.The substrate G referred to in the present invention encompasses all types of glass and similar plates, but the glass is effectively used to represent the most preferred embodiment of the present invention, unless otherwise described. It would be desirable to interpret as.

이하에서 보다 구체적으로 각각의 구성요소에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, each component will be described in more detail.

기판(G)의 저면을 지지하는 기판 지지바(116)(216)는 동일 수평면 상에 다수개가 설치되어 적재되는 기판(G)의 저면을 안정적으로 지지하게 된다.The substrate support bars 116 and 216 supporting the bottom surface of the substrate G stably support the bottom surface of the substrate G which is installed and mounted on the same horizontal surface.

각각의 기판 지지바(116)(216)는 회전가능한 형태로 사이드 프레임(106)에 설치된다.Each substrate support bar 116, 216 is mounted to the side frame 106 in a rotatable form.

회전 가능한 형태의 기판 지지바(116)는 도 2와 같이 사이드 프레임(106)에 양단이 각각 연결되는 크로스바 형태로 설치할 수 있다.The rotatable substrate support bar 116 may be installed in the form of a crossbar having both ends connected to the side frame 106 as shown in FIG. 2.

다른 형태로 기판 지지바(216)는 도 3과 같이 양측에 위치한 각각의 사이드 프레임(106)에 일단이 연결되고, 타단이 자유단인 형태 즉, 종래의 카세트의 핑거 형태로도 설치할 수 있다.In another embodiment, the substrate support bar 216 may have one end connected to each side frame 106 located at both sides as shown in FIG. 3, and the other end may be installed at a free end, that is, in the form of a finger of a conventional cassette.

도 3과 같은 형태로 실시할 경우 배면측에는 기판 지지바(216)의 사이에 위치하도록 연장되는 서포트 바(112)가 설치되는데, 이렇게 설치된 서포트 바(112)는 적재된 상태의 기판(G)의 중심 부분을 받침으로 기판(G) 중심의 처짐을 방지하게 된다. 이 경우 종래의 핑거 타입과 같이 기판 지지바(116)(216)와 서포트 바(112)는 수직 상태를 이룬다.When implemented in the form as shown in Figure 3, the back side is provided with a support bar 112 extending to be located between the substrate support bar 216, the support bar 112 is installed in this way of the substrate (G) Supporting the center portion prevents sagging of the center of the substrate G. In this case, as in the conventional finger type, the substrate support bars 116 and 216 and the support bar 112 form a vertical state.

또한 도 3과 같이 서포트 바(112)가 구비된 형태일 경우 서포트 바(112)에는 구동롤러(195)가 구비되는데, 구동롤러(195)를 구비하는 것은 기판(G)의 중심부분을 받치고 있는 서포트 바(112)에 의해 기판(G)이 긁히는 것을 방지하고 원활하게 기판(G)의 유출입이 가능하도록 하기 위한 것이다.In addition, when the support bar 112 is provided as shown in Figure 3, the support bar 112 is provided with a drive roller 195, the drive roller 195 is provided with a central portion of the substrate (G) It is for preventing the board | substrate G from being scratched by the support bar 112, and making it possible to flow in and out of the board | substrate G smoothly.

그리고 도시하지는 않았으나 서포트 바(112)에 구비된 구동롤러(195)는 자체 회전이 가능하도록 모터 등에 연결하여 회전가능하도록 할 수 있다.Although not shown, the driving roller 195 provided in the support bar 112 may be rotatable by being connected to a motor or the like so as to enable self-rotation.

도 2 및 도 3과 같은 기판 지지바(116)(216)가 설치된 형태의 카세트(100)에는 기판 지지바(116)(216)를 회전시키기 위한 회전수단(120)이 구비된다.The cassette 100 having the substrate support bars 116 and 216 installed as shown in FIGS. 2 and 3 includes a rotation means 120 for rotating the substrate support bars 116 and 216.

회전수단(120)은 다양한 형태로 할 수 있으며, 그 하나의 바람직한 실시예로 도 4와 같은 형태가 될 수 있다.Rotating means 120 may be in a variety of forms, it may be in the form as shown in Figure 4 as one preferred embodiment.

도 4는 기판 지지바(116)(216)의 일측 단부에 종동풀리(222)를 설치하는 것으로, 이 경우 회전수단(120)은 구동축(124)에 구동풀리(224)가 구비된 구동모터(122)와 구동풀리(224) 및 종동풀리(222)에 권취되는 벨트(226)로 구성된다.4 is to install a driven pulley 222 at one end of the substrate support bar 116, 216, in this case, the rotating means 120 is a drive motor provided with a drive pulley 224 on the drive shaft 124 ( 122 and a belt 226 wound around the driving pulley 224 and the driven pulley 222.

이러한 구성으로 구동모터(122)가 작동하게 되면 기판 지지바(116)(216)는 회전하게 되며, 기판(G)이 적재 되었을 경우 외부로 유출이 가능하게 된다.In this configuration, when the driving motor 122 operates, the substrate supporting bars 116 and 216 rotate, and when the substrate G is loaded, it is possible to leak out.

그리고 구동모터(122)를 반대 방향으로 작동하도록 작동시킨다면 기판(G)을 적재할 경우 빠른 시간에 적재가 가능한 형태가 된다.In addition, when the driving motor 122 is operated to operate in the opposite direction, when the substrate G is loaded, the driving motor 122 may be loaded quickly.

이러한 형태는 도 5와 같은 형태로도 변형이 가능한데, 구동모터(122)의 구동축(124)에 설치되는 구동풀리(224)(224a)를 다른 형태로 제작한 것이다.This form can be modified in the form as shown in Figure 5, the drive pulley 224, 224a installed on the drive shaft 124 of the drive motor 122 is manufactured in another form.

이 경우 구동풀리(224)(224a)에는 직접 연결하고자 하는 기판 지지바(116)(216)의 수와 동일한 개수가 되도록 구동풀리(224)(224a)를 설치한 후 각각의 풀리에 별도의 밸트(226)(226a)를 설치하여 각각의 기판 지지바(116)(216)와 직접 연결하는 것이다.In this case, after the driving pulleys 224 and 224a are installed to have the same number as the number of substrate support bars 116 and 216 to be directly connected, separate belts are provided to each pulley. 226 and 226a are installed to directly connect with the respective substrate support bars 116 and 216.

또한, 변형가능한 다른 형태로 도 6과 같은 방법이 있을 수 있다.In addition, there may be another method as shown in FIG.

기본적인 구성은 도 4와 같은 형태로 하고, 구동모터(124)의 동력이 직접 전달되는 기판 지지바(116)(216)에 2개의 구동풀리(222)(232)를 설치한 형태이다.The basic configuration is the same as that of FIG. 4, and two driving pulleys 222 and 232 are installed on the substrate support bars 116 and 216 to which power of the driving motor 124 is directly transmitted.

이러한 실시예에서 동일 수평면 상에 위치한 다른 기판 지지바(116a)(216a)에는 각각 구동풀리(232a)가 구비된다. 이 경우 동력이 직접 전달되지 않는 구동풀리(232a)는 동력이 직접 연결되는 기판 지지바(116)(216)의 구동풀리(232)와 다른 밸트(226a)에 의해 연결된다.In this embodiment, each of the other substrate support bars 116a and 216a located on the same horizontal plane is provided with driving pulleys 232a, respectively. In this case, the drive pulley 232a to which power is not directly transmitted is connected to the drive pulley 232 of the substrate support bars 116 and 216 to which power is directly connected by another belt 226a.

즉, 구동모터(122)에 의한 동력은 하나의 기판 지지바(116)(216)에 직접 전달되며, 나머지 기판 지지바(116a)(216a)는 동력이 직접 전달되는 기판 지지바(116)(216)에 다른 밸트(226a)에 연결되어 회전하는 간접회전의 방식을 나타낸 것이다.That is, power by the driving motor 122 is directly transmitted to one substrate support bar 116, 216, and the other substrate support bars 116a and 216a are directly supported by the substrate support bar 116 ( 216 is connected to the other belt 226a shows the way of indirect rotation to rotate.

도 7은 회전수단(120)의 다른 실시예를 나타낸 것으로, 기판 지지바(116)(216)의 일단에 종동스프로킷(322)이 구비되고, 회전수단(120)은 구동축(124)에 구동스프로킷(324)이 구비된 구동모터(122), 구동스프로킷(324) 및 종동스프로킷(322)에 맞물리는 체인(326)으로 구성되는 형태이다.FIG. 7 illustrates another embodiment of the rotating means 120. A driven sprocket 322 is provided at one end of the substrate support bars 116 and 216, and the rotating means 120 is driven to the drive shaft 124. A chain 326 is engaged with the driving motor 122, the driving sprocket 324 and the driven sprocket 322 provided with the 324.

이러한 형태 역시 상술한바 있는 밸트(226)에 의한 방법의 변형으로 나타낸 도 5 및 도 6과 같은 형태로 적용하여 실시할 수 있게 된다.This form can also be carried out by applying in the form as shown in Figures 5 and 6 as a modification of the method by the belt 226 described above.

도 8은 회전수단(120)의 또 다른 실시예를 나타낸 것으로, 기판 지지바(116)(216)의 일단에 종동기어(422)가 구비되고, 회전수단(120)은 종동기어(422)에 맞물리도록 구동축(124)에 구동기어(424)가 구비된 구동모터(122)로 구성되는 형태 이다.FIG. 8 shows another embodiment of the rotating means 120. A driven gear 422 is provided at one end of the substrate support bars 116 and 216, and the rotating means 120 is connected to the driven gear 422. As shown in FIG. It is a form consisting of a drive motor 122 is provided with a drive gear 424 on the drive shaft 124 to engage.

도 8과 같은 형태의 변형 실시예로 임의 위치의 기판 지지바(116)(216)를 선택적으로 회전시킬 수 있는 클러치를 사용하는 방법이 있을 수 있다. 이러한 클러치에 의한 방법을 사용할 경우 구동모터(122)의 회전력을 임의 위치의 기판 지지바(116)(216)에 전달시켜 기판(G)이 유출되거나 적재되도록 할 수 있게 된다.8, there may be a method using a clutch capable of selectively rotating the substrate support bars 116 and 216 at any position. In the case of using the clutch method, the rotational force of the driving motor 122 may be transmitted to the substrate support bars 116 and 216 at any position so that the substrate G may leak or be loaded.

도 9는 상기와 같은 구성의 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트(100)의 사용상태를 나타낸 것으로, 기판(G)이 모두 적재되면 회전수단(120)을 작동시켜 임의 위치에 적재된 기판(G)을 유출할 수 있게 된다.9 is a view illustrating a state of use of the substrate stacking cassette 100 according to the present invention having the above configuration, and when the substrates G are all loaded, the rotating means 120 is operated to load the substrates G at arbitrary positions. ) Can be leaked.

상기와 같은 구성의 형태로 카세트(100)를 제작할 경우 기판 지지바(116)(216)의 사이 간격을 줄일 수 있기 때문에 적재 효율이 향상된다.When the cassette 100 is manufactured in the form of the above configuration, the spacing between the substrate support bars 116 and 216 may be reduced, thereby increasing the loading efficiency.

또한, 회전수단(120)에 의한 구성을 사용할 경우 종래 카세트에 기판(G)을 적재하는 방법에 비해 적재 시간이 단축되는 효과도 부가적으로 발생하게 된다.In addition, in the case of using the configuration by the rotating means 120, compared to the conventional method of loading the substrate (G) in the cassette, the effect of shortening the loading time also occurs additionally.

이러한 이유는 기판(G)의 입구 부분에 기판(G)을 위치시킨 상태에서 유출과 반대 방향으로 기판 지지바(116)(216)를 회전시킬 경우 손쉽게 기판(G)의 적재가 가능해지기 때문이다. 이 경우 카세트(100) 내부에 센서 등을 부가적으로 부착하여 기판(G)을 감지하는 방법을 통해 안전한 상태로 적재가 가능하게 할 수 있다.This is because the substrate G can be easily loaded when the substrate support bars 116 and 216 are rotated in the opposite direction to the outflow while the substrate G is positioned at the inlet of the substrate G. . In this case, a sensor or the like may be additionally attached to the cassette 100 so that the stacking may be performed in a safe state through a method of sensing the substrate G.

이러한 본 발명의 카세트(100)를 보다 효과적으로 사용할 수 있는 방법의 하나로 이송장치(160)를 사용하는 방법이 있을 수 있다. 이송장치(160)는 상하 조절이 가능함과 동시에 회전이 가능한 형태이기 때문에 임의 위치의 기판(G)을 유출하고자 할 경우 해당 위치의 높이로 상하 작동한 상태에서 해당 기판 지지바 (116)(216)를 회전시켜 이송장치(160)에 위치시킨다.There may be a method of using the transfer device 160 as a method of using the cassette 100 of the present invention more effectively. Since the transfer device 160 is capable of adjusting up and down and rotates at the same time, when the substrate G is to be discharged at any position, the substrate support bars 116 and 216 are operated up and down to the height of the corresponding position. Rotate to position the transfer device 160.

이송장치(160)에 기판(G)이 위치되면 인접한 다른 카세트(미도시)에 기판(G)을 적재하거나 다른 공정으로 이송하게 된다.When the substrate G is positioned in the transfer apparatus 160, the substrate G is loaded in another adjacent cassette (not shown) or transferred to another process.

상기와 같이 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트는 기판의 저면을 지지하고 있는 기판 지지바를 회전가능한 형태로 하여 임의 위치의 기판을 손쉽게 유출할 수 있으며, 기판 지지바 사이 간격을 줄여 단위 면적당 기판 지지바의 설치개수를 증가시켜 적재효율이 향상된다는 기술적 사상을 가지고 있는 것이다.As described above, the substrate stacking cassette according to the present invention has a rotatable shape of the substrate support bar supporting the bottom of the substrate, and easily discharges the substrate at an arbitrary position. It has the technical idea that the loading efficiency is improved by increasing the number of installations.

따라서 도시하지는 않았으나 기판의 저면을 지지하고 있는 기판 지지바가 회전 가능하도록 다른 형태로 변형하여 실시할 수 있을 것이다.Therefore, although not shown, the substrate support bar supporting the bottom of the substrate may be modified in other forms so as to be rotatable.

그러나 이러한 실시예들이 임의의 위치에 적재된 기판의 유출이 자유자재로 가능하도록 이를 받치고 있는 기판 지지바가 회전하는 형태라면 모두 본 발명의 기술적 사상에 포함된다고 보아야 할 것이다.However, all of these embodiments should be considered to be included in the technical spirit of the present invention as long as the substrate support bar is rotated so as to freely discharge the substrate loaded at an arbitrary position.

상기와 같은 구성의 본 발명에 따르면 기판 지지바의 상하 간격이 줄어드는 형태로 제작할 수 있어 이로 인한 기판의 적재 효율이 증가되는 카세트를 얻는 효과가 있다.According to the present invention having the configuration described above can be produced in a form in which the vertical gap of the substrate support bar is reduced, thereby resulting in a cassette to increase the loading efficiency of the substrate.

또한, 각각의 기판을 지지하고 있는 기판 지지바가 회전 가능한 형태로 구비되어 임의 위치에 대한 기판의 적재 및 유출이 가능하여 효율적이며, 시간 단축이 가능한 카세트를 얻는 효과가 있다.In addition, a substrate support bar supporting each substrate is provided in a rotatable form, so that the substrate can be loaded and discharged at any position, thereby providing an efficient and time-saving cassette.

Claims (6)

보텀 프레임;Bottom frame; 상기 보텀 프레임의 상부에 일정간격 이격된 상태로 위치하는 톱프레임;A top frame positioned at a predetermined distance from an upper portion of the bottom frame; 상기 톱프레임과 상기 보텀 프레임의 사이에 위치하여 상기 톱프레임과 상기 보텀 프레임을 이격된 상태로 고정하기 위한 복수개의 사이드 프레임;A plurality of side frames positioned between the top frame and the bottom frame to fix the top frame and the bottom frame apart from each other; 적어도 하나의 일단이 상기 사이드 프레임에 회전 가능하도록 설치되며, 기판의 저면을 지지하기 위한 기판 지지바; 및At least one end rotatably installed on the side frame, the substrate support bar supporting a bottom surface of the substrate; And 상기 기판 지지바를 회전시켜 적재된 상기 기판의 유출이 가능하도록 하는 회전수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.And a rotating means for rotating the substrate support bar to enable the outflow of the loaded substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 지지바의 일단에는 종동풀리가 구비되고, 상기 회전수단은 구동축에 구동풀리가 구비된 구동모터, 상기 구동풀리 및 상기 종동풀리에 권취되는 벨트로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.According to claim 1, wherein one end of the substrate support bar is provided with a driven pulley, the rotating means is characterized in that the drive motor is provided with a drive pulley on the drive shaft, the drive pulley and the belt is wound around the driven pulley Substrate cassette for loading. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 지지바의 일단에는 종동스프로킷이 구비되고, 상기 회전수단은 구동축에 구동스프로킷이 구비된 구동모터, 상기 구동스프로킷 및 상기 종동스프로킷에 맞물리는 체인으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.According to claim 1, wherein one end of the substrate support bar is provided with a driven sprocket, the rotating means is characterized in that the drive motor is provided with a drive sprocket on the drive shaft, the drive sprocket and the chain is engaged with the driven sprocket Substrate cassette for loading. 제 1 항에 있어서, 상기 기판 지지바의 일단에는 종동기어가 구비되고, 상기 회전수단은 상기 종동기어에 맞물리도록 구동축에 구동기어가 구비된 구동모터인 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.2. The substrate loading cassette according to claim 1, wherein a driving gear is provided at one end of the substrate support bar, and the rotating means is a driving motor provided with a driving gear on a driving shaft to be engaged with the driven gear. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 지지바는 상기 사이드 프레임에 각각 양단이 연결된 형태인 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.The substrate loading cassette according to any one of claims 1 to 4, wherein the substrate support bar has a form in which both ends are connected to the side frame. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 지지바는 각각의 상기 사이드 프레임에 일단이 연결되고, 타단이 자유단 형태인 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.The substrate loading cassette according to any one of claims 1 to 4, wherein the substrate support bar has one end connected to each of the side frames and the other end having a free end shape.
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