KR20070005442A - Positioning device for railless transfer device - Google Patents

Positioning device for railless transfer device Download PDF

Info

Publication number
KR20070005442A
KR20070005442A KR1020050084023A KR20050084023A KR20070005442A KR 20070005442 A KR20070005442 A KR 20070005442A KR 1020050084023 A KR1020050084023 A KR 1020050084023A KR 20050084023 A KR20050084023 A KR 20050084023A KR 20070005442 A KR20070005442 A KR 20070005442A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
arm
trolley
railless
transfer apparatus
positioning device
Prior art date
Application number
KR1020050084023A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
아키라 코이와이
Original Assignee
유겐가이샤 에이, 케이. 시스템즈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 유겐가이샤 에이, 케이. 시스템즈 filed Critical 유겐가이샤 에이, 케이. 시스템즈
Publication of KR20070005442A publication Critical patent/KR20070005442A/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H01L21/67781—Batch transfer of wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
  • Chain Conveyers (AREA)

Abstract

A positioning device of a railless transfer apparatus is provided to cut down cost, and to gain access to a side of a semiconductor manufacturing system by simplifying structure and removing a hook for deciding the position and a release unit. A positioning device includes a manufacturing system mounting portion(18) attached to a side of a semiconductor manufacturing system(1) and composed of a plate(20), blocks(21,22) arranged at both sides of the plate and arc recesses(23,24) formed in opposite surfaces of the blocks, and a transfer apparatus mounting portion side(19) attached to a side of a railless transfer apparatus(7) and composed of rollers(25,26) fitted to the arc recesses, arms rotating and supporting the rollers, a displacement unit(29) mounting the arm to the side of the railless transfer apparatus and a bolt(30) fixing the other arm to the side of the railless transfer apparatus. The displacement has a guide rail(32) fixed to the railless transfer apparatus to slide and support a base(31) of the arm, a rod(33) formed in the arm and extended to the other arm, a reaction force receiving plate(34) moving and supporting the rod and a compression spring(36) mounted between the reaction force receiving plate and the arm to move the arm far from the other arm. The semiconductor manufacturing system and the railless transfer apparatus are fastened by inserting the rollers to the recesses of the blocks with restoring force of the compression spring.

Description

무궤도 이동장치의 위치 결정 장치{Positioning device for railless transfer device}Positioning device for railless transfer device

도 1은 본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 비작동 상태의 평면도.1 is a plan view of a non-operational state of the positioning device of the trolley-free traveling device of the present invention.

도 2는 무궤도 이동장치를 반도체 제조장치의 측면에 사이드 엑세스시킨 상태의 평면도.Fig. 2 is a plan view of a state where the trolley-free transfer apparatus is side-accessed to the side surface of the semiconductor manufacturing apparatus.

도 3은 본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 동작 상태를 나타내는 평면도.3 is a plan view showing an operating state of the positioning device of the trolleybus moving apparatus of the present invention.

도 4는 종래의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 비작동 상태의 평면도.4 is a plan view of a non-operational state of a positioning device of a conventional trolleybus moving apparatus.

도 5는 종래의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 작동 상태를 나타내는 평면도.Fig. 5 is a plan view showing an operating state of a positioning device of a conventional trolley travel device.

도 6은 종래의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 조작 설명용 평면도.Fig. 6 is a plan view for explaining the operation of the positioning device of the conventional trolley travel device.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

1 : 반도체 제조장치 등의 제조장치 7 : 무궤도 이동장치1: Manufacturing apparatus such as semiconductor manufacturing apparatus 7: Orbital moving apparatus

18 : 한쪽 부분 19 : 다른 쪽 부분18: one side 19: the other side

20 : 플레이트 21, 22 : 블록 20: plate 21, 22: block

23, 24 : 호(弧) 형상 홈 25, 26 : 롤러23, 24: arc-shaped groove 25, 26: roller

27, 28 : 암 29 : 변위 가능 수단27, 28: arm 29: displaceable means

30 : 볼트 31 : 기부(基部)30: bolt 31: base

32 : 가이드 레일 33 : 로드(rod)32: guide rail 33: rod

34 : 반력(反力) 받이판 35 : 압축 스프링34: reaction force receiving plate 35: compression spring

본 발명은 유리 기판, 반도체 웨이퍼 등을 반송하기 위해 사용하는 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the positioning apparatus of the trolley | bogie | movement apparatus used for conveying a glass substrate, a semiconductor wafer, etc.

스위칭 소자로서 TFT(박막 트랜지스터)를 가지는 액정 표시장치, 반도체 장치 등의 제조에 있어서는, 유리 기판, 반도체 웨이퍼 등을 어느 제조장치로부터 다른 제조장치로 반송할 필요가 있다. 이 경우, 제조장치가 다수 늘어서 있고, 제조장치 사이의 통로의 폭이 좁을 때에는 무인 유도 차량(AGV)을 대신하여 무궤도 이동장치가 사용되고 있다. 그리고, 무궤도 이동장치와 제조장치와의 사이에서 유리 기판, 반도체 웨이퍼 등을 확실하게 수수(授受)하기 위하여, 그리고 인적 손상에 의한 고가의 웨이퍼의 파손을 가능한 한 적게 하기 위해, 무궤도 이동장치를 제조장치에 대하여 정확하게 위치 결정하여 고정할 필요가 있다. In manufacture of a liquid crystal display device, a semiconductor device, etc. which have TFT (thin film transistor) as a switching element, it is necessary to convey a glass substrate, a semiconductor wafer, etc. from one manufacturing apparatus to another manufacturing apparatus. In this case, when many manufacturing apparatuses are lined up and the width | variety of the passage | path between manufacturing apparatuses is narrow, the trolley | bogieless moving apparatus is used instead of the unmanned guidance vehicle AGV. In addition, a trolley transport device is manufactured between the trolley travel device and the manufacturing device to reliably receive glass substrates, semiconductor wafers, and the like, and to minimize the damage of expensive wafers due to human damage as much as possible. It is necessary to accurately position and fix the device.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치로서는 일본국 공개특허공고 2000-72226호 공보에 개시된 것이 알려져 있다. As a positioning device of a trolley | bogie trolley | bogie for achieving such an objective, what was disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-72226 is known.

도 4 및 도 5는 이와 같은 종래의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치를 나타 내고, 부호 1은 반도체 제조장치 등의 제조장치, 부호 2는 그 측면에 부착한 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 한쪽 부분을 나타내고, 이 한쪽 부분(2)은 플레이트(3)와, 각각 상기 플레이트(3)의 측면에 서로 이간(離間)하여 배치한 V형 홈(4)을 가지는 블록(5) 및 봉 형상 걸이 핀(6)에 의해 이루어진다. 4 and 5 show a positioning device of such a conventional trolley-less mobile device, wherein 1 is a manufacturing device such as a semiconductor manufacturing device, and 2 is a part of the positioning device of the trolley-free mobile device attached to the side thereof. The one part 2 is a block 5 and rod-shaped hook pin which have the plate 3 and the V-shaped groove 4 arrange | positioned at the side of the said plate 3, respectively, mutually spaced apart from each other. Made by (6).

부호 7은 무궤도 이동장치, 부호 8은 이 무궤도 이동장치(7)의 측면에 부착된 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 다른 쪽 부분을 나타내고, 이 다른 쪽 부분(8)은 상기 한쪽 부분(2)의 블록(5)의 V형 홈(4)에 끼워지는 롤러(9)와, 이 롤러(9)를 회전할 수 있도록 지지하는 지지 암(10)과, 이 지지 암(10)을 상기 무궤도 이동장치(7)의 측면을 따라 이동할 수 있게 가이드 하는 가이드 로드(guide rod)(11)와, 상기 지지 암(10)을 그 이동 방향의 반대 방향으로 억제하기 위한 스프링(12)과, 상기 플레이트(3)에 접하는 다른 쪽 롤러(13)와, 상기 무궤도 이동장치(7)에 연결된 상기 걸이 핀(6)에 걸리는 후크(14)와, 이 후크(14)를 상기 걸이 핀(6)으로부터 멀어지는 방향으로 이동시키기 위한 와이어(15)와, 이 와이어(15)를 조작하기 위해 상기 무궤도 이동장치(7)에 마련된 페달(16)과, 상기 후크(14)를 복원시키는 복원 스프링(17)에 의해 이루어진다. Reference numeral 7 denotes a non-tracking device, and reference numeral 8 denotes the other part of the positioning device of the trolley-free device, which is attached to the side of the non-tracking device 7, and the other part 8 is the one part 2. The roller (9) fitted into the V-shaped groove (4) of the block (5), the support arm (10) for supporting the roller (9) so that the roller (9) can be rotated, and the support arm (10) for the non-orbital movement A guide rod 11 for guiding along the side of the device 7, a spring 12 for restraining the support arm 10 in a direction opposite to the direction of movement thereof, and the plate ( 3) the other roller 13 in contact with the hook, the hook 14 caught by the hook pin 6 connected to the trolley-shaped moving device 7, and the hook 14 in a direction away from the hook pin 6 A wire 15 for moving to the side, a pedal 16 provided in the trolley-shaped moving device 7 for manipulating the wire 15, It made by the restoring spring 17 to recover the group hook (14).

그러나, 상기 종래의 위치 결정 장치에서는 위치 결정하기 위한 후크(14)와, 그 해제 수단을 필요로 하기 때문에 구성이 복잡하고 비용을 낮출 수가 없었다. However, in the conventional positioning device, since the hook 14 for positioning and the release means are required, the configuration is complicated and the cost cannot be lowered.

또한, 상기 후크(14)를 걸이 핀(6)에 걸기 위해서는, 도 6에 도시한 바와 같이 반도체 제조장치(1)에 대하여 무궤도 이동장치(7)를 크게 경사시키지 않으면 안 되고, 측면쪽으로 직진시켜 결합할 수는 없었다. In addition, in order to hook the hook 14 to the hook pin 6, as shown in FIG. 6, the trolley | bogie movement apparatus 7 must be inclined greatly with respect to the semiconductor manufacturing apparatus 1, and it will go straight to a side surface. Could not combine.

본 발명은 이와 같은 결점을 없애기 위한 것이다. The present invention is intended to eliminate such drawbacks.

본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치는 반도체 제조장치 등의 제조장치의 측면에 부착하는 한쪽 부분과, 무궤도 이동장치의 측면에 부착하는 다른 쪽 부분에 의해 구성되고, 상기 한쪽 부분은 상기 제조장치의 측면에 서로 이간하여 배치한 한쪽 및 다른 쪽 블록, 그리고 상기 한쪽 및 다른 쪽 블록의 서로 대향하는 면에 각각 형성한 홈에 의해 구성되고, 상기 다른 쪽 부분은 각각의 상기 블록의 홈에 각각 끼워지는 한쪽 및 다른 쪽의 회전 롤러와, 이들 회전 롤러를 각각 지지하는 한쪽 및 다른 쪽 암과, 상기 한쪽 암을 상기 무궤도 이동장치의 측면에 부착하기 위한 변위 가능 수단과, 상기 다른 쪽 암을 상기 무궤도 이동장치의 측면에 고정하는 고정 수단에 의해 구성되고, 상기 변위 가능 수단은 상기 한쪽의 암을 슬라이드할 수 있게 지지하도록 상기 무궤도 이동장치의 측면을 따라 고정한 가이드 레일과, 상기 한쪽 암을 상기 다른 쪽의 고정 암으로부터 항상 멀어지는 방향으로 억제하는 스프링에 의해 구성된 것을 특징으로 한다. The positioning device of the trolley transport device of the present invention is constituted by one portion attached to the side surface of a manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus, and the other portion attached to the side surface of the non-rolling movement apparatus, wherein the one portion is the manufacturing apparatus. One side and the other side of the block and spaced apart from each other, and grooves formed on opposite sides of the one side and the other side, respectively, the other side being fitted into the grooves of the respective blocks, respectively. One and the other rotating rollers to lose, one and the other arm supporting these rotary rollers respectively, displaceable means for attaching the one arm to the side of the trolley-less moving device, and the other arm to the trolley It is constituted by fixing means fixed to the side of the moving device, the displaceable means supporting the one arm so as to be slidable. The lock with the guide rails fixed along the side of the trolley moving system, characterized in that configured by a spring for suppressing the one arm is always direction away from the fixed arm of the other.

종래의 장치에서는 제조장치에 대하여 무궤도 이동장치가 후크로 고정되지만, 횡 방향으로 작용하는 스프링의 힘으로 위치 결정을 행하고 있기 때문에, 무궤도 이동장치의 중량 등에 의해 스프링의 장력이 일정하지 않게 되고, 위치 결정이 불완전하고, 또한 양자를 이간시키는 경우에는 해제 수단이 필요하였다. 본 발명은 이와 같은 결점을 해결한 것이다. In the conventional apparatus, the non-orbital moving device is fixed to the manufacturing apparatus by a hook, but since the positioning is performed by the force of the spring acting in the lateral direction, the tension of the spring is not constant due to the weight of the non-orbiting moving device and the position. When the crystal was incomplete and the two were separated, a release means was required. The present invention solves this drawback.

이하 , 도면에 의해 본 발명의 실시예를 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of this invention is described by drawing.

[실시예 1]Example 1

본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치는 도 1에 도시하는 바와 같이 반도체 제조장치 등의 제조장치(1)의 측면에 부착하는 한쪽 부분(18)과, 무궤도 이동장치(7)의 측면에 부착되는 다른 쪽 부분(19)에 의해 이루어진다. As shown in FIG. 1, the positioning apparatus of the trolley | bogie | movement of the present invention is attached to the one side 18 which attaches to the side surface of the manufacturing apparatus 1, such as a semiconductor manufacturing apparatus, and the side surface of the trolley-free movement apparatus 7. By means of the other part 19.

상기 한쪽 부분(18)은 상기 제조장치(1)의 측면에 부착한 플레이트(20)와, 각각 상기 플레이트(20)의 측면에 서로 이간하여 배치한 한쪽 및 다른 쪽의 블록(21, 22)과, 상기 한쪽 및 다른 쪽 블록(21, 22)의 서로 대향하는 면에 형성한 호(弧) 형상 홈(23, 24)에 의해 구성한다. The one portion 18 is a plate 20 attached to the side of the manufacturing apparatus 1, and one and the other block (21, 22) and spaced apart from each other on the side of the plate 20, respectively; And arc-shaped grooves 23 and 24 formed on the surfaces of the one and the other blocks 21 and 22 facing each other.

본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치의 상기 다른 쪽 부분(19)은 상기 블록(21, 22)의 호 형상 홈(23, 24)에 각각 끼워 넣어지는 한쪽 및 다른 쪽의 롤러(25, 26)와, 이들 롤러(25, 26)를 각각 회전할 수 있도록 지지하는 한쪽 및 다른 쪽의 암(27, 28)과, 상기 한쪽 암(27)을 상기 무궤도 이동장치(7)의 측면에 부착하기 위한 변위 가능 수단(29)과, 상기 다른 쪽 암(28)을 상기 무궤도 이동장치(7)의 측면에 고정하는 볼트(30)에 의해 구성한다. The said other part 19 of the positioning device of the trolley | bogie-free movement apparatus of this invention is equipped with the rollers 25 and 26 of one side and the other which fit in the arc-shaped grooves 23 and 24 of the said blocks 21 and 22, respectively. ), One arm and the other arm 27 and 28 supporting the rollers 25 and 26 so as to rotate respectively, and the one arm 27 to the side of the trolley-shaped moving device 7. And a bolt 30 for fixing the displaceable means 29 and the other arm 28 to the side surface of the trolley-shaped moving device 7.

상기 변위 가능 수단(29)은 상기 한쪽의 암(27)의 기부(31)를 슬라이드할 수 있게 지지하도록 상기 무궤도 이동장치(7)의 측면을 따라 고정한 가이드 레일(32)과, 상기 한쪽 암(27)에 마련되고 이 암(27)으로부터 상기 다른 쪽 암(28)의 방향으로 연장하는 로드(rod)(33)와, 이 로드(33)를 이동할 수 있도록 지지하는 반력(反力) 받이판(34)과, 상기 한쪽의 암(27)을 상기 다른 쪽의 암(28)으로부터 멀어지 는 방향으로 이동 가능하게 하기 위해 상기 반력 받이판(34)과 상기 한쪽 암(27) 사이에 끼워넣은 압축 스프링(36)에 의해 구성한다. The displaceable means 29 includes a guide rail 32 fixed along the side surface of the trolley-moving device 7 so as to slidably support the base 31 of the one arm 27, and the one arm ( A rod 33 provided on the 27 and extending from the arm 27 in the direction of the other arm 28, and a reaction force receiving plate supporting the rod 33 so as to be movable. (34) sandwiched between the reaction force receiving plate (34) and the one arm (27) to move the one arm (27) in a direction away from the other arm (28). It consists of the compression spring 36.

본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치는 상기와 같은 구성이므로 평상시에는 도 1에 도시하는 바와 같이 상기 한쪽의 암(27)은 압축 스프링(36)의 작용에 의해 다른 쪽의 암(28)으로부터 멀어지는 방향으로 슬라이드하여 있고, 따라서 상기 한쪽과 다른 쪽의 롤러(25, 26) 사이의 간격은 상기 한쪽과 다른 쪽 블록(21, 22) 사이의 간격보다 충분히 크게 되어 있다. 따라서, 무궤도 이동장치(7)의 롤러(25)를 제조장치(1)의 블록(21)의 홈(23)에 넣고, 상기 압축 스프링(36)을 압축하는 방향으로 무궤도 이동장치(7)를 전진시키면서 무궤도 이동장치(7)를 움직이면, 도 2에 도시하는 바와 같이 다른 쪽의 암(28)의 롤러(26)를 제조장치(1)의 홈(24)에 직접 삽입할 수 있게 된다. Since the positioning device of the trolley | bogieless moving apparatus of this invention is the same as the above structure, as shown in FIG. 1, the one arm 27 is normally removed from the other arm 28 by the action of the compression spring 36, as shown in FIG. It slides in the direction away, Therefore, the space | interval between the said one and the other rollers 25 and 26 is made larger enough than the space | interval between the said one and the other block 21,22. Therefore, the roller 25 of the trolley | bogieless moving apparatus 7 is put in the groove | channel 23 of the block 21 of the manufacturing apparatus 1, and the trolley-shaped movable apparatus 7 is moved in the direction which compresses the said compression spring 36. FIG. By moving the trolley-shaped moving apparatus 7 while advancing, the roller 26 of the other arm 28 can be directly inserted in the groove | channel 24 of the manufacturing apparatus 1, as shown in FIG.

따라서, 도 3에 도시하는 바와 같이 제조장치(1)에 마련된 블록(21)과 다른 쪽의 블록(22)의 홈(23, 24)에 무궤도 이동장치(7)의 롤러(25, 26)가 압축 스프링(36)의 복원력에 의해 삽입되면, 제조장치(1)와 무궤도 이동장치(7)가 고정됨과 동시에 양쪽의 위치 관계도 고정되게 된다. Therefore, as shown in FIG. 3, the rollers 25 and 26 of the trolley-shaped moving apparatus 7 are formed in the grooves 23 and 24 of the block 21 provided in the manufacturing apparatus 1 and the other block 22. When inserted by the restoring force of the compression spring 36, both the manufacturing apparatus 1 and the trolley | bogie 7 are fixed and the positional relationship of both is also fixed.

양자를 이간시키기 위해서는 무궤도 이동장치(7)를 밀면, 상기 압축 스프링(36)이 압축되는 방향으로 압축 스프링(36)이 압축되어 제조장치(1)의 블록(22)의 홈(24)으로부터 무궤도 이동장치(7)의 롤러(26)가 떨어진다. 이 상태에서 무궤도 이동장치(7)를 움직이면 도 2에 도시하는 바와 같이, 블록(22)과 롤러(26)는 떨어지기 때문에, 무궤도 이동장치(7)를 제조장치(1)로부터 간단하게 이간할 수 있다. In order to separate the two, pushing the non-orbiting moving device 7 compresses the compression spring 36 in the direction in which the compression spring 36 is compressed, thereby moving the trolley from the groove 24 of the block 22 of the manufacturing apparatus 1. The roller 26 of the moving device 7 falls off. In this state, if the trolley | bogie movement apparatus 7 is moved, as shown in FIG. 2, since the block 22 and the roller 26 will fall, it will be easy to separate the trolley-movement apparatus 7 from the manufacturing apparatus 1. As shown in FIG. Can be.

상기와 같이 본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치에 의하면, 극히 간단한 구성에 의해, 무궤도 이동장치(7)를 반도체 제조장치에 사이드 엑세스하여 접속할 수 있고, 또한, 이탈할 수 있게 되어, 그 비용도 저감할 수 있는 큰 이득이 있다. As described above, according to the positioning device of the trolley travel device of the present invention, the trolley travel device 7 can be connected to the semiconductor manufacturing device by side access and detached by an extremely simple configuration. There is also a large gain that can be reduced.

본 발명의 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치에 의하면, 위치 결정을 위한 후크와 그 해제 수단을 필요로 하지 않기 때문에, 구성이 간단하게 되고, 비용을 저감할 수 있음과 동시에, 사이드 엑세스를 가능하게 할 수 있다. According to the positioning device of the trolley travel device of the present invention, since the hook for positioning and its releasing means are not required, the configuration can be simplified, the cost can be reduced, and the side access can be made. Can be.

Claims (1)

반도체 제조장치 등의 제조장치의 측면에 부착하는 한쪽 부분과, 무궤도 이동장치의 측면에 부착되는 다른 쪽 부분으로 이루어진 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치로서, A positioning device for a trolley moving device comprising one part attached to a side surface of a manufacturing device such as a semiconductor manufacturing device and the other part attached to a side surface of the trolley moving device, 상기 한쪽 부분은 상기 제조장치의 측면에 서로 이간(離間)하여 배치한 한쪽 및 다른 쪽의 블록과, 상기 한쪽 및 다른 쪽 블록에 서로 대향하는 면에 각각 형성한 홈에 의해 구성되고, 상기 다른 쪽의 부분은 각각의 상기 블록의 홈에 각각 끼워지는 한쪽 및 다른 쪽의 회전 롤러와, 이들 회전 롤러를 각각 지지하는 한쪽 및 다른 쪽의 암과, 상기 한쪽의 암을 상기 무궤도 이동장치의 측면에 부착하기 위한 변위 가능 수단과, 상기 다른 쪽의 암을 상기 무궤도 이동장치의 측면에 고정하는 고정 수단에 의해 구성되고, 상기 변위 가능 수단은 상기 한쪽의 암을 슬라이드할 수 있게 지지하도록 상기 무궤도 이동장치의 측면을 따라 고정한 가이드 레일과, 상기 한쪽 암을 상기 다른 쪽의 고정 암으로부터 항상 멀어지는 방향으로 억제하는 스프링에 의해 구성된 것을 특징으로 하는 무궤도 이동장치의 위치 결정 장치. The said one part is comprised by the one and the other block arrange | positioned mutually at the side of the said manufacturing apparatus, and the groove formed in the surface which opposes each other to the said one and the other block, respectively, The parts of are attached to one side and the other rotating rollers respectively fitted in the grooves of the respective blocks, the one and the other arms supporting these rotating rollers, respectively, and the one arm is attached to the side of the trolley mover. And displacing means for fastening and fixing means for fixing the other arm to the side of the trolley crawler, wherein the displaceable means supports the one arm so as to be slidable. A guide rail fixed along the side, and a spring that restrains the one arm in a direction that is always away from the other fixing arm. Positioning device of the trolleybus, characterized in that.
KR1020050084023A 2005-07-06 2005-09-09 Positioning device for railless transfer device KR20070005442A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00197371 2005-07-06
JP2005197371A JP4092345B2 (en) 2005-07-06 2005-07-06 Positioning device for trackless moving device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070005442A true KR20070005442A (en) 2007-01-10

Family

ID=37756069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050084023A KR20070005442A (en) 2005-07-06 2005-09-09 Positioning device for railless transfer device

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP4092345B2 (en)
KR (1) KR20070005442A (en)
TW (1) TWI333477B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114772247A (en) * 2021-06-11 2022-07-22 浙江衣拿智能科技股份有限公司 Mechanism for preventing push pin from being stuck

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107934579B (en) * 2017-12-01 2019-08-13 江苏易飞迅物流科技有限公司 A kind of robot Palletizer with positioning function

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114772247A (en) * 2021-06-11 2022-07-22 浙江衣拿智能科技股份有限公司 Mechanism for preventing push pin from being stuck
CN114772247B (en) * 2021-06-11 2023-06-27 浙江衣拿智能科技股份有限公司 Mechanism for preventing push pin from being blocked

Also Published As

Publication number Publication date
TWI333477B (en) 2010-11-21
JP4092345B2 (en) 2008-05-28
JP2007019148A (en) 2007-01-25
TW200702261A (en) 2007-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103959454B (en) Base plate keeping device
JP4849227B2 (en) Automatic load position correction device
KR101068704B1 (en) Substrate clamp apparatus and substrate transfer robot having the same, semiconductor fabrication apparatus
KR20140051044A (en) Clamping apparatus and work transfer robot
ATE395668T1 (en) CARD TRANSPORT MECHANISM AND OPERATIONAL METHOD
CN102629566A (en) Processing device
CN111591695B (en) Suspended ceiling conveying vehicle
KR20070005442A (en) Positioning device for railless transfer device
US20170084472A1 (en) Manipulator
JP2014530481A5 (en)
JP3025282B2 (en) Work holding device
KR20190038416A (en) Substrate machining apparatus
JP2009038268A (en) Substrate carrier
JP4276810B2 (en) Automated guided vehicle
CN100413048C (en) Case base and wafer detection device
JP2833388B2 (en) Overhead hanger and automatic switching device thereof
KR20100086429A (en) Die ejector
KR101784773B1 (en) Transporter
JP4220505B2 (en) Stage equipment (STAGEEAPPARATUS)
KR20130009549A (en) Substrate clamping apparatus and substrate processing apparatus comprising the same
JP2687306B2 (en) Substrate transfer device in vacuum system
CN115632023B (en) Double-arm wafer transmission device
CN216707220U (en) Quick accurate positioning mechanism
CN214226895U (en) Arranging device
CN108314309B (en) Scribing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E601 Decision to refuse application