KR20070001658A - 컬러필터 어레이 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 컬러필터 어레이 기판에 관한 것으로, 특히 공정을 단순화할 수 있는 컬러필터 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 컬러 필터 어레이 기판에 별도의 백색 수지 및 포토리소그래피 공정이 필요 없으므로 공정이 간단해지고, 백색 컬러필터 재료 비용을 절감할 수 있고, 레이어(layer)가 저감되어 제조 수율이 향상되는 큰 장점이 있다.
컬러 필터, 백색 컬러

Description

컬러필터 어레이 기판 및 그 제조 방법{Colorfilter array substrate and the fabrication method thereof}
도 1은 종래의 액정표시패널을 보여주는 개략적인 도면.
도 2는 종래의 액정표시패널의 컬러필터 어레이 기판을 보여주는 도면.
도 3a 내지 도 3g는 도 2에 도시된 액정표시패널의 컬러필터 어레이 기판의 제조방법을 나타내는 단면도.
도 4a 및 도 4g는 본 발명에 따른 제 1 실시예로서, 컬러필터 어레이 기판의 일부를 단면하여 보여주는 공정 순서도.
도 5a 및 도 5g는 본 발명에 따른 제 2 실시예로서, 컬러 필터 어레이 기판의 제조 공정을 단면하여 보여주는 공정 순서도.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
101, 201 : 기판 102, 202 : 블랙 매트릭스
103, 203 : 불투명물질 104, 204 : 컬러필터
110, 210 : 오버코트층 115, 215 : 스페이서
120, 220 : 포토 레지스트
본 발명은 컬러필터 어레이 기판에 관한 것으로, 특히 공정을 단순화할 수 있는 컬러필터 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
통상, 액정표시소자(Liquid Crystal Display; LCD)는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상이 표시된다. 이를 위하여, 액정표시소자는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정표시패널과, 이 액정표시패널을 구동하기
위한 구동회로를 구비하게 된다. 액정표시패널에는 액정셀들 각각에 전계를 인가하기 위한 화소전극들과 기준전극, 즉 공통전극이 마련되게 된다.
통상, 화소전극은 하부기판 상에 액정셀별로 형성되는 반면 공통전극은 상부기판의 전면에 일체화되어 형성된다.
상기 화소전극들 각각은 스위칭소자로 사용되는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)에 접속된다. 상기 화소전극은 박막트랜지스터를 통해 공급되는 데이터신호에 따라 공통전극과 함께 액정셀이 구동된다.
도 1을 참조하면, 종래의 액정표시패널은 액정(8)을 사이에 두고 합착된 컬러필터 어레이 기판(10)과 박막트랜지스터 어레이 기판(20)을 구비한다.
상기 액정(8)은 자신에게 인가된 전계에 응답하여 회전됨으로써 박막트랜지스터 어레이 기판(20)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절하게 된다.
상기 컬러필터 어레이 기판(10)은 상부기판(1)의 배면 상에 형성되는 컬러필터(4), 블랙매트릭스(2) 및 공통전극(6)을 구비한다.
상기 컬러필터(4)는 적(R), 녹(G) 및 청(B) 색의 컬러필터를 포함하여 특정 파장대역의 빛을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다.
이와 같이, 인접한 색의 컬러필터(4)들 사이에는 블랙 매트릭스(2)가 형성되어 인접한 셀로부터 입사되는 빛을 흡수함으로써 콘트라스트의 저하를 방지하게 된다.
상기 박막트랜지스터 어레이 기판(20)은 하부기판(21)의 전면에 게이트절연막을 사이에 두고 데이터라인(18)과 게이트라인(12)이 상호 교차되도록 형성되며, 그 교차부에 박막트랜지스터(16)가 형성된다.
상기 박막트랜지스터(16)는 게이트라인(12)에 접속된 게이트전극, 상기 데이터라인(18)에 접속된 소스전극, 활성층 및 오믹접촉층을 포함하는 채널부를 사이에 두고 소스전극과 마주보는 드레인 전극으로 이루어진다.
상기 박막트랜지스터(16)는 화소전극(14)과 전기적으로 접속된다.
그리고, 상기 박막트랜지스터(16)는 게이트라인(12)으로부터의 게이트신호에 응답하여 데이터라인(18)으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소전극(14)에 공급한다.
상기 화소전극(14)은 데이터라인(18)과 게이트라인(12)에 의해 분할된 셀 영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명한 전도성 물질로 이루어진다.
상기 화소전극(14)은 드레인전극을 경유하여 공급되는 데이터신호에 의해 공통전극(6)과 전위차를 발생시키게 된다. 이 전위차에 의해 하부기판(21)과 상부기판(1) 사이에 위치하는 액정(8)은 유전율이방성에 의해 회전하게 된다.
이에 따라, 광원으로부터 화소전극(14)을 경유하여 공급되는 광이 상부기판 (1) 쪽으로 투과된다.
도 1에 도시된 액정표시패널의 각 화소는 적색(R)을 구현하는 서브화소, 녹색(G)을 구현하는 서브화소, 청색(B)을 구현하는 서브화소로 이루어진다.
이 경우, R,G,B 서브 화소로 이루어진 화소는 백라이트에서 출사된 광량이 100%일 때 컬라 필터(4)를 통해 상부기판(1)으로 출사되는 광량이 약 27~33%정도 밖에 되지 않아 휘도가 저하된다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 도 2에 도시된 액정표시패널의 컬러필터 어레이 기판이 제안되었다.
도 2에 도시된 액정표시패널의 컬러필터 어레이 기판은 적색(R)을 구현하는 적색서브화소, 녹색(G)을 구현하는 녹색서브화소, 청색(B)을 구현하는 청색서브화소, 백색(W)을 구현하는 백색서브화소를 하나의 화소(pixel)로 구성된다.
여기서, 백색 서브화소는 백라이트 유닛에서 출사되는 광량이 100%일 때 컬러필터(4)를 통해 상부기판(1)으로 출사되는 광량이 85%이상으로 높다.
이에 따라, 적색,녹색,청색,백색 서브화소로 이루어진 각 화소의 광출사량의 평균값이 상대적으로 높아져 휘도가 향상된다.
도 3a 내지 도 3g는 도 2에 도시된 액정표시패널의 컬러필터 어레이 기판의 제조방법을 나타내는 단면도이다.
먼저, 상부기판(1) 상에 불투명물질이 전면 도포된다. 상기 불투명물질은 크롬(Cr)을 포함하는 불투명금속 또는 불투명수지가 이용된다.
이어서, 불투명물질이 제1 마스크를 이용한 포토리소그래피공정과 식각공정 에 의해 패터닝됨으로써 도 3a에 도시된 바와 같이 블랙매트릭스(2)가 형성된다.
상기 블랙매트릭스(2)가 형성된 상부기판(1) 상에 적색 수지가 전면 증착된 후 제2 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 적색 수지가 패터닝됨으로써 도 3b에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(R)가 형성된다.
상기 적색 컬러필터(R)가 형성된 상부기판(1) 상에 녹색 수지가 전면 증착된 후 제3 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 녹색 수지가 패터닝됨으로써 도 3c에 도시된 바와 같이 녹색 컬러필터(G)가 형성된다.
상기 녹색 컬러필터(G)가 형성된 상부기판(1) 상에 청색 수지가 전면 증착된 후 제4 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 청색 수지가 패터닝됨으로써 도 3d에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(B)가 형성된다.
상기 청색 컬러필터(B)가 형성된 상부기판(1) 상에 백색 수지가 전면 증착된 후 제5 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 백색 수지가 패터닝됨으로써 도 3e에 도시된 바와 같이 백색 컬러필터(W)가 형성된다. 백색 수지는 아크릴계열의수지 등으로 형성된다.
상기 백색 컬러필터(4W)가 형성된 상부기판(1) 상에 백색 수지와 동일한 물질 등을 포함하는 유기절연물질이 전면 코팅됨으로써 도 3f에 도시된 바와 같이 오버코트층(22)이 형성된다.
상기 오버코트층(22)은 실재 바깥쪽의 비표시영역을 제외한 실재 안쪽의 화상표시영역의 상부기판(1) 상에 형성된다.
도 3g에 도시된 바와 같이, 상기 오버코트층(22)이 형성된 상부기판(1) 상에 오버코트층(22)과 동일 물질 등을 포함하는 유기절연물질이 전면 코팅된 후 제 6 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 유기절연물질이 패터닝됨으로써 스페이서(24)가 형성된다.
이와 같이, 도 2에 도시된 컬러필터 어레이 기판을 형성하기 위해서는 총 6번의 마스크공정이 필요로 하며, 총 7 층(layer)으로 이루어진다.
이와 같은 경우 제조공정이 복잡하여 원가 절감에 한계가 있으므로 제조 공정을 단순화하여 제조 단가를 줄일 수 있는 방안이 요구된다.
본 발명은 공정을 단순하게 하고 제조 비용을 저감할 수 있는 컬러필터 어레이 기판 및 그 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 컬러필터 어레이 기판은, 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와; 상기 블랙 매트릭스에 의해 적색, 녹색, 청색, 백색 서브화소로 구분된 영역에서 상기 적색, 녹색, 청색 서브 화소 영역에 형성된 기판 식각홈과; 상기 식각홈에 형성되는 적색, 녹색, 청색 컬러필터와; 상기 블랙매트릭스와 중첩되는 영역에 형성된 스페이서;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법은, 기판 상에 적색, 녹색, 청색, 백색 서브화소로 구획하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 블랙 매트릭스 사이에 형성된 적색, 녹색, 청색 서브화소의 기판을 식각하여 식각홈을 형성하는 단계와; 상기 식각홈에 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블랙 매트릭스 사이에 형성된 적색, 녹색, 청색 서브화소의 기판을 식각하여 식각홈을 형성하는 단계 이전에, 상기 기판 상에 불투명물질을 도포하고, 상기 불투명 물질 상에 포토 레지스트를 형성하는 단계와; 상기 포토 레지스트를 패터닝하는 단계와; 상기 패턴된 포토 레지스트를 마스크로 상기 적색, 녹색, 청색 서브화소의 불투명물질을 식각하는 단계와; 상기 포토 레지스트를 스트립하는 단계와; 상기 백색 서브화소의 불투명물질을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블랙 매트릭스 사이에 형성된 적색, 녹색, 청색 서브화소의 기판을 식각하여 식각홈을 형성하는 단계에 있어서, 상기 기판 상에 불투명물질을 도포하고, 상기 불투명 물질 상에 포토 레지스트를 형성하는 단계와; 상기 포토 레지스트를 패터닝하여 단차가 있는 포토 레지스트 패턴을 형성하는 단계와; 상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로 상기 적색, 녹색, 청색 서브화소의 불투명물질을 식각하는 단계와; 상기 포토 레지스트 패턴을 애슁(ashing)하여 백색 서브화소의 불투명물질을 노출시키는 단계와; 상기 백색 서브화소의 불투명물질을 식각하는 단계와; 상기 포토 레지스트 패턴을 스트립하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 컬러필터 어레이 기판 및 그 제조 방법에 대해서 구체적으로 설명한다.
도 4a 및 도 4g는 본 발명에 따른 제 1 실시예로서, 컬러필터 어레이 기판의 일부를 단면하여 보여주는 공정 순서도이다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 투명한 절연 기판(101)을 준비한다.
그리고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 투명한 절연 기판(101) 상에 불투명물질(103)이 전면 도포된다. 상기 불투명물질(103)은 크롬(Cr)을 포함하는 불투명금속 또는 불투명수지가 이용된다.
이어서, 상기 불투명물질(103)은 제1 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 패터닝된다.
구체적으로, 상기 불투명물질(103) 상에 포토 레지스트(120) 물질을 도포하고 베이크(bake)한 후 노광하고 현상하여 포토 레지스트(120) 패턴을 형성한다.
이때, 상기 포토레지스트(120) 패턴은 백색 서브화소 영역(W)에도 형성한다.
그리고, 상기 포토 레지스트(120) 패턴을 마스크로 하여 상기 불투명물질(103)을 식각하여 블랙매트릭스(102)를 얻는다.
또한, 상기 불투명물질(103)은 백색 서브화소 영역(W)에도 형성되어 있다.
이후, 적층되어 있는 상기 포토 레지스트(120) 패턴과 블랙매트릭스(102)를 마스크로 하여 상기 투명한 절연 기판(101)을 건식 식각(dry etching)하면, 도 4c에 도시된 바와 같이, 적색 서브화소(R), 녹색 서브화소(G), 청색 서브화소(B) 영역에 식각홈(108)이 형성된다.
그리고, 상기 포토 레지스트(120) 패턴을 스트립한다.
이어서, 상기 기판(101) 상에 제 2 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 도 4d에 도시된 바와 같이 백색 서브화소 영역(W)의 불투명물질 (103)을 식각한다.
그리고, 상기 포토리소그래피 공정에서 남은 포토 레지스트(120) 패턴을 스트립하면 블랙 매트릭스(102)가 완성된다.
이후, 상기 블랙매트릭스(102)가 형성된 기판(101) 상에 적색 수지가 전면 증착된 후 제3 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 식각홈(108)에 적색 수지가 패터닝됨으로써 적색 컬러필터(104r)가 형성된다.
상기 적색 컬러필터(104r)가 형성된 기판(101) 상에 녹색 수지가 전면 증착된 후 제4 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 식각홈(108)에 녹색 수지가 패터닝됨으로써 녹색 컬러필터(104g)가 형성된다.
상기 녹색 컬러필터(104g)가 형성된 기판(101) 상에 청색 수지가 전면 증착된 후 제5 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 식각홈(108)에 청색 수지가 패터닝됨으로써 청색 컬러필터(104b)가 형성된다.
이와 같이, 제 3~5마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 이용하여 식각홈(108)에 적색, 녹색, 청색 컬러필터(104r,104g,104b)를 형성할 수 있으며 도 4e에 도시된 바와 같다.
여기서, 상기 백색 서브화소 영역(W)에는 식각홈이 형성되어 있지 않으므로, 상기 적색, 청색, 녹색 컬러필터(104r, 104b, 104g)와의 상대적인 단차에 의해 투명한 절연기판 물질에 의해 백색 컬러필터(104w)가 형성된다.
따라서, 별도의 백색 수지 및 포토리소그래피 공정이 필요 없으므로 공정이 간단해지는 효과가 있으며, 재료 비용을 절감할 수 있고, 레이어가 저감되어 제조 수율이 향상되는 효과가 있다.
이후, 상기 컬러필터가 형성된 기판(101) 상에 유기절연물질이 전면 코팅됨으로써 도 4f에 도시된 바와 같이 오버코트층(122)이 형성된다.
상기 오버코트층(122)은 실재 바깥쪽의 비표시영역을 제외한 실재 안쪽의 화상표시영역의 기판(101) 상에 형성된다.
최종적으로, 도 4g에 도시된 바와 같이, 상기 오버코트층(122)이 형성된 기판(101) 상에 오버코트층(122)과 동일 물질 등을 포함하는 유기절연물질이 전면 코팅된 후 제 6 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 유기절연물질이 패터닝됨으로써 스페이서(124)가 형성된다.
상기 오버코트층(122)이 형성된 기판(101) 상에는 공통 전극이 더 형성될 수 있다.
도 5a 및 도 5g는 본 발명에 따른 제 2 실시예로서, 컬러 필터 어레이 기판의 제조 공정을 단면하여 보여주는 공정 순서도이다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 투명한 절연 기판(201)을 준비한다.
그리고, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 투명한 절연 기판(201) 상에 불투명물질(203)이 전면 도포된다. 상기 불투명물질(203)은 크롬(Cr)을 포함하는 불투명금속 또는 불투명수지가 이용된다.
이어서, 상기 불투명물질(203)은 제1 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 패터닝된다.
구체적으로, 상기 불투명물질(203) 상에 포토 레지스트(220) 물질을 도포하 고 베이크(bake)한 후 회절 노광하고 현상하여 단차가 있는 포토 레지스트(220) 패턴을 형성한다.
이때, 상기 포토 레지스트(220) 패턴은 백색 서브화소 영역(W)에도 형성하며, 상기 백색 서브화소 영역(W)에 형성되어 있는 포토레지스트(220) 패턴은 단차가 낮게 형성된다.
그리고, 상기 포토 레지스트(220) 패턴을 마스크로 하여 상기 불투명물질(203)을 식각하여 블랙매트릭스(202)를 얻는다. 또한, 상기 불투명물질(203)은 백색 서브화소 영역(W)에도 형성되어 있다.
이후, 적층되어 있는 상기 포토 레지스트(220) 패턴과 블랙매트릭스(202)를 마스크로 하여 상기 투명한 절연 기판(201)을 건식 식각(dry etching)하면, 도 5c에 도시된 바와 같이, 적색 서브화소(R), 녹색 서브화소(G), 청색 서브화소(B) 영역에 식각홈(208)이 형성된다.
이후, 도 5d에 도시된 바와 같이, 상기 포토 레지스트(220) 패턴을 애슁(ashing)하여 상기 백색 서브화소 영역(W)의 포토 레지스트(220) 패턴을 제거하여 불투명물질(203)을 노출시킨다.
그리고, 상기 불투명물질(203)을 식각하여 투명한 절연 기판(201)을 노출시킴으로써 상기 블랙매트릭스(202)를 완성한다.
그리고, 상기 포토 레지스트(220) 패턴을 스트립한다.
이로써, 상기 기판 상에 블랙 매트릭스(202)를 형성하고, 적색, 녹색, 청색 서브화소 영역(R, G, B)에는 식각홈(208)을 형성한다.
또한, 상기 백색 서브화소 영역(W)에는 식각홈이 형성되지 않으며, 투명한 절연 기판(201) 물질로 이루어져 백색 컬러필터(W)를 형성한다.
이와 같이, 별도의 마스크 공정 없이 상기 백색 컬러필터(204w)를 형성할 수 있으므로 공정이 단순해지는 장점이 있다.
이어서, 상기 블랙매트릭스(202)가 형성된 기판(201) 상에 적색 수지가 전면 증착된 후 제2 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 식각홈에 적색 수지가 패터닝됨으로써 적색 컬러필터(204r)가 형성된다.
상기 적색 컬러필터(204r)가 형성된 기판(201) 상에 녹색 수지가 전면 증착된 후 제3 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 식각홈(208)에 녹색 수지가 패터닝됨으로써 녹색 컬러필터(204g)가 형성된다.
상기 녹색 컬러필터(204g)가 형성된 기판(201) 상에 청색 수지가 전면 증착된 후 제4 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 식각홈(208)에 청색 수지가 패터닝됨으로써 청색 컬러필터(204b)가 형성된다.
이와 같이, 제 2~4마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 이용하여 식각홈(208)에 적색, 녹색, 청색 컬러필터(204r,204g,204b)를 형성할 수 있으며 도 5e에 도시된 바와 같다.
여기서, 상기 백색 서브화소 영역(W)에는 식각홈이 형성되어 있지 않으므로, 상기 적색, 청색, 녹색 컬러필터(204r,204b,204g)와의 상대적인 단차에 의해 투명한 절연기판 물질로 백색 컬러필터(204w)가 형성된다.
따라서, 별도의 백색 수지 및 포토리소그래피 공정이 필요 없으므로 공정이 간단해지는 효과가 있으며, 재료 비용을 절감할 수 있고, 레이어가 저감되어 제조 수율이 향상되는 효과가 있다.
이후, 상기 컬러필터가 형성된 기판(201) 상에 유기절연물질이 전면 코팅됨으로써 도 5f에 도시된 바와 같이 오버코트층(222)이 형성된다.
상기 오버코트층(222)은 실재 바깥쪽의 비표시영역을 제외한 실재 안쪽의 화상표시영역의 기판(201) 상에 형성된다.
최종적으로, 도 5g에 도시된 바와 같이, 상기 오버코트층(222)이 형성된 기판(201) 상에 오버코트층(222)과 동일 물질 등을 포함하는 유기절연물질이 전면 코팅된 후 제 5 마스크를 이용한 포토리소그래피공정에 의해 유기절연물질이 패터닝됨으로써 스페이서(224)가 형성된다.
상기 오버코트층이 형성된 기판 상에는 공통 전극이 더 형성될 수 있다.
이상 전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 컬러 필터 어레이 기판 및 그 제조 방법은 기술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명은 별도의 백색 수지 및 포토리소그래피 공정이 필요 없으므로 공정이 간단해지는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 백색 컬러필터 재료 비용을 절감할 수 있고, 레이어(layer)가 저감되어 제조 수율이 향상되는 효과가 있다.

Claims (13)

  1. 기판 상에 형성된 블랙 매트릭스와;
    상기 블랙 매트릭스에 의해 적색, 녹색, 청색, 백색 서브화소로 구분된 영역에서 상기 적색, 녹색, 청색 서브 화소 영역에 형성된 기판 식각홈과;
    상기 식각홈에 형성되는 적색, 녹색, 청색 컬러필터와;
    상기 블랙매트릭스와 중첩되는 영역에 형성된 스페이서;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 백색 서브화소에는 식각홈이 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 식각홈의 높이는 상기 컬러필터의 높이와 기본적으로 일치되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 백색 서브화소의 컬러필터는 기판 물질과 동일 물질인 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 적색, 녹색, 청색 컬러필터가 형성된 기판 상에는 오버코트층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 오버코트층이 형성된 기판 상에는 공통 전극이 더 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판.
  7. 기판 상에 적색, 녹색, 청색, 백색 서브화소로 구획하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와;
    상기 블랙 매트릭스 사이에 형성된 적색, 녹색, 청색 서브화소의 기판을 식각하여 식각홈을 형성하는 단계와;
    상기 식각홈에 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 형성하는 단계 이후에,
    상기 컬러 필터 상에 오버코트층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 형성하는 단계 이후에,
    상기 컬러 필터 상에 공통 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터를 형성하는 단계 이후에,
    상기 블랙 매트릭스와 중첩되는 영역에 스페이서를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법.
  11. 제 7항에 있어서,
    상기 적색, 녹색 및 청색 컬러필터가 형성된 기판 상에 상기 컬러필터와 높이가 다른 백색 컬러필터를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법.
  12. 제 7항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스 사이에 형성된 적색, 녹색, 청색 서브화소의 기판을 식각하여 식각홈을 형성하는 단계 이전에,
    상기 기판 상에 불투명물질을 도포하고, 상기 불투명 물질 상에 포토 레지스 트를 형성하는 단계와;
    상기 포토 레지스트를 패터닝하는 단계와;
    상기 패턴된 포토 레지스트를 마스크로 상기 적색, 녹색, 청색 서브화소의 불투명물질을 식각하는 단계와;
    상기 포토 레지스트를 스트립하는 단계와;
    상기 백색 서브화소의 불투명물질을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법.
  13. 제 7항에 있어서,
    상기 블랙 매트릭스 사이에 형성된 적색, 녹색, 청색 서브화소의 기판을 식각하여 식각홈을 형성하는 단계에 있어서,
    상기 기판 상에 불투명물질을 도포하고, 상기 불투명 물질 상에 포토 레지스트를 형성하는 단계와;
    상기 포토 레지스트를 패터닝하여 단차가 있는 포토 레지스트 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로 상기 적색, 녹색, 청색 서브화소의 불투명물질을 식각하는 단계와;
    상기 포토 레지스트 패턴을 애슁(ashing)하여 백색 서브화소의 불투명물질을 노출시키는 단계와;
    상기 백색 서브화소의 불투명물질을 식각하는 단계와;
    상기 포토 레지스트 패턴을 스트립하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 어레이 기판의 제조 방법.
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