KR20070001470A - Apparatus for connecting gas lines - Google Patents

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Abstract

An apparatus for connecting gas lines is provided to prevent generation of a crack on a connecting part with a groove by a force fixing the connecting part of the gas line by a clamp. In an apparatus for connecting gas lines, a first section connecting part(100) is elongated from one end of a first nonmetal gas line(110). A second section connecting part(200) with a groove is elongated from one end of a second metal gas line(210) in correspondence to the first section connecting part. An O-ring(300) is inserted into the groove of the second section connecting part. A clamp(400) couples the first section connecting part to the second section connecting part by the medium of the o-ring.

Description

배관 연결 장치{Apparatus for connecting gas lines }Apparatus for connecting gas lines}

도1은 반도체 제조 장비에서 사용되는 종래의 배관 연결 장치의 단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional piping connection device used in semiconductor manufacturing equipment.

도2는 본 발명의 실시예에 따른 배관 연결 장치의 단면도.2 is a cross-sectional view of a pipe connecting device according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for main parts of drawings *

10, 100 : 제1 단면 연결부 11, 110 : 제1 가스 라인10, 100: first end face connection portion 11, 110: first gas line

12, 220 : 홈 20, 200 : 제2 단면 연결부12, 220: groove 20, 200: second cross-sectional connection

21, 210 : 제2 가스 라인 30, 300 : 오링21, 210: second gas line 30, 300: O-ring

40, 400 : 클램프40, 400: Clamp

본 발명은 배관 연결 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비금속 재질과 금속 재질의 가스 라인을 연결하는 배관 연결 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pipe connecting device, and more particularly to a pipe connecting device for connecting a gas line of a non-metal material and a metal material.

일반적으로 반도체 소자를 생산하는 공정은 노광, 식각, 확산, 증착 등의 공정을 선택적으로 수행하는 일련의 과정에 의해서 이루어지고, 이를 생산하기 위한 반도체 제조 장비들은 공정의 정밀도와 청정도를 향상시키기 위하여 엄격한 조건하에서 사용되고 있다. 식각, 확산 및 증착에 사용하는 반도체 제조 장비의 공정은 주로 고진공의 공정챔버에서 공정가스를 주입하여 이루어진다. In general, the process of producing a semiconductor device is made by a series of processes that selectively perform the process of exposure, etching, diffusion, deposition, etc., the semiconductor manufacturing equipment for producing this is strict to improve the precision and cleanliness of the process It is used under conditions. The process of semiconductor manufacturing equipment used for etching, diffusion and deposition is mainly performed by injecting process gas into a high vacuum process chamber.

반도체 제조 장비에서 공정을 진행하는데 필요한 가스를 공급하기 위하여 외부의 가스 공급 라인과 반도체 제조 장비의 가스 라인을 연결하는 배관 연결 장치가 사용된다.In order to supply the gas required for the process in the semiconductor manufacturing equipment, a pipe connecting device is used to connect an external gas supply line and a gas line of the semiconductor manufacturing equipment.

도1은 반도체 제조 장비에서 사용되는 종래의 배관 연결 장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional pipe connecting apparatus used in semiconductor manufacturing equipment.

도1에 도시된 바와 같이, 비금속 재질과 금속 재질의 가스 라인을 연결하는 종래의 배관 연결 장치는 제1 단면 연결부(10), 제2 단면 연결부(20), 오링(30) 및 클램프(40)를 포함한다.As shown in FIG. 1, a conventional pipe connecting device for connecting a gas line of a non-metal material and a metal material includes a first cross-sectional connection part 10, a second cross-sectional connection part 20, an O-ring 30, and a clamp 40. It includes.

상기 제1 단면 연결부(10)는 비금속 재질로 만들어진 제1 가스 라인(11)의 일단에서 연장되고, 단면에 오링(30)을 끼우기 위한 홈(12)이 형성되어 있다.The first cross-sectional connection portion 10 extends from one end of the first gas line 11 made of a non-metal material, and has a groove 12 for fitting the O-ring 30 in the cross section.

제2 단면 연결부(20)는 금속 재질로 만들어진 제2 가스 라인(21)의 일단에서 연장되고, 제2 단면 연결부(20)는 제1 단면 연결부(10)에 대응하여 제2 가스 라인(21) 보다 큰 단면적을 가진다. The second end face connecting portion 20 extends from one end of the second gas line 21 made of a metal material, and the second end face connecting portion 20 corresponds to the first end face connecting portion 10. Has a larger cross-sectional area.

오링(30)은 제1 단면 연결부(10)의 단면에 형성된 홈(12)에 끼워지고, 오링(30)을 매개로 서로 마주보며 접촉하는 상기 제1 단면 연결부(10)와 상기 제2 단면 연결부(20)는 클램프(40)에 의해서 감싸여 고정된다.The O-ring 30 is fitted into the groove 12 formed in the cross-section of the first cross-sectional connection portion 10, the first cross-sectional connection portion 10 and the second cross-sectional connection portion facing each other via the O-ring 30 to contact each other. 20 is wrapped and fixed by the clamp 40.

그런데 상기 제1 단면 연결부(10)가 비금속 재질인 테플론이나 석영으로 만들어졌기 때문에 클램프(40)에 의해서 고정되는 경우 단면에 형성된 홈(12)으로 인 하여 강도가 떨어지고, 크랙이 발생할 확률이 높아진다. However, since the first cross-sectional connection portion 10 is made of non-metallic Teflon or quartz, when the clamp is fixed by the clamp 40, the strength decreases due to the groove 12 formed in the cross-section, and the probability of cracking increases.

특히 연결되는 가스 라인 사이를 가스 누설 없이 연결하여야 하기 때문에 종래의 배관 연결 장치에서 클램프(40)에는 과도한 힘이 가해진다. 이론 인하여 제1 단면 연결부(10)에 크랙이 자주 발생하게 된다.In particular, excessive force is applied to the clamp 40 in the conventional pipe connecting device because the gas lines to be connected must be connected without gas leakage. In theory, cracks occur frequently in the first cross-sectional connection 10.

제1 단면 연결부(10)에 크랙이 발생하면 이 크랙을 통하여 가스가 누설되어 반도체 제조 장비에서 공정을 진행할 수 없는 상황이 된다. 이로 인하여 생산성이 저하되고 자주 보수를 하여야하는 문제가 있다.If a crack occurs in the first end surface connection part 10, the gas leaks through the crack, which leads to a situation in which the process cannot be performed in the semiconductor manufacturing equipment. Because of this, there is a problem that the productivity is lowered and frequently repaired.

따라서 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 비금속 재질과 금속 재질의 가스 라인을 연결하는 연결부에서 구조적인 취약점에 의해서 크랙이 발생하는 것을 방지하는 배관 연결 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a pipe connecting device that prevents cracking due to structural weakness in the connection portion connecting the non-metal material and the gas line of the metal material. have.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 배관 연결 장치는 비금속 재질과 금속 재질의 가스 라인을 연결하는 것으로, 비금속 재질의 제1 가스 라인 일단에 연장되어 형성된 제1 단면 연결부; 상기 제1 단면 연결부에 대응하여 금속 재질의 제2 가스 라인 일단에 연장되어 형성되고, 단면에 홈이 형성된 제2 단면 연결부; 상기 제2 단면 연결부의 상기 홈에 끼워진 오링; 및 상기 오링을 매개로 상기 제1 단면 연결부와 상기 제2 단면 연결부를 결합하는 클램프를 포함한다.Pipe connection device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is to connect the non-metal material and the gas line of the metal material, the first cross-sectional connection portion extending to one end of the first gas line of the non-metal material; A second cross-sectional connection portion extending from one end of a second gas line made of a metal corresponding to the first cross-sectional connection portion, and having a groove formed in the cross-section; An o-ring fitted into the groove of the second cross-section connection; And a clamp for coupling the first end face connection part and the second end face connection part through the O-ring.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 제1 가스 라인의 재질은 테플론 또는 석영 인 이고, 상기 제2 가스 라인의 재질은 스테인리스강인 것을 특징으로 한다.In a preferred embodiment, the material of the first gas line is Teflon or quartz, the material of the second gas line is characterized in that the stainless steel.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명의 실시예에 따른 배관 연결 장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a pipe connecting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도2에 도시된 바와 같이, 비금속 재질과 금속 재질의 가스 라인을 연결하는 본 발명의 배관 연결 장치는 제1 단면 연결부(100), 제2 단면 연결부(200), 오링(300) 및 클램프(400)를 포함한다.As shown in FIG. 2, the pipe connecting device of the present invention for connecting a non-metal material and a gas line of a metal material includes a first cross-sectional connection part 100, a second cross-sectional connection part 200, an O-ring 300, and a clamp 400. ).

상기 제1 단면 연결부(100)는 비금속 재질로 만들어진 제1 가스 라인(110)의 일단에서 연장되어, 제1 단면 연결부(100)는 제1 가스 라인(110) 보다 큰 단면적을 가진 제1 가스 라인(110)의 연결부를 형성한다.The first cross-sectional connection portion 100 extends from one end of the first gas line 110 made of a non-metal material, and the first cross-sectional connection portion 100 has a first gas line having a larger cross-sectional area than the first gas line 110. The connection portion 110 is formed.

제2 단면 연결부(200)는 금속 재질로 만들어진 제2 가스 라인(210)의 일단에서 연장되고, 그 단면에 오링(300)을 끼우기 위한 홈(220)이 형성되어 제2 단면 연결부(200)는 제2 가스 라인(210)의 연결부를 형성한다. 이때 제2 단면 연결부(100)는 제1 단면 연결부(100)에 대응하여 제2 가스 라인(210) 보다 큰 단면적을 가진다. The second end face connection part 200 extends from one end of the second gas line 210 made of a metal material, and a groove 220 for fitting the O-ring 300 is formed in the end face of the second end face connection part 200. The connection portion of the second gas line 210 is formed. In this case, the second cross-sectional connection portion 100 has a larger cross-sectional area than the second gas line 210 corresponding to the first cross-sectional connection portion 100.

제1 가스 라인(110)과 제1 단면 연결부(100)의 재질은 테플론 또는 석영이고, 제2 가스 라인(210)과 제2 단면 연결부(200)의 재질은 스테인리스강이다.The material of the first gas line 110 and the first end surface connection part 100 is Teflon or quartz, and the material of the second gas line 210 and the second end surface connection part 200 is stainless steel.

오링(300)은 제2 단면 연결부(200)의 단면에 형성된 홈(220)에 끼워지고, 오링(300)을 매개로 서로 마주보며 접촉하는 상기 제1 단면 연결부(100)와 상기 제2 단면 연결부(200)는 클램프(400)에 의해서 감싸여 고정된다.The O-ring 300 is fitted into the groove 220 formed in the cross-section of the second cross-sectional connection portion 200, the first cross-sectional connection portion 100 and the second cross-sectional connection portion facing each other via the O-ring 300, the contact The 200 is wrapped and fixed by the clamp 400.

상기 홈(220)은 금속으로 만들어진 제2 단면 연결부(200)의 단면에 형성되 어, 상기 홈(220)에 의해서 비금속 재질로 만들어진 제1 단면 연결부(100)의 강도가 취약해지는 것을 방지한다.The groove 220 is formed in the cross section of the second cross-sectional connection portion 200 made of metal, to prevent the strength of the first cross-sectional connection portion 100 made of a non-metal material by the groove 220 is weak.

금속 재질로 만들어진 제2 단면 연결부(200)는 금속 재질의 우수한 연성과 강도로 인하여 그 단면에 홈(220)이 형성되어도, 클램프(400)로 고정시키는 힘에 의해서 파손되거나 크랙이 발생되지 않는다.The second cross-sectional connection portion 200 made of a metal material does not break or crack due to a force fixed by the clamp 400 even when the groove 220 is formed in the cross section due to the excellent ductility and strength of the metal material.

본 발명의 배관 연결 장치는 일예를 들어 플라스마 식각장비의 척을 냉각시키기 위하여 사용되는 헬륨 공급 라인에 적용되는 것이 바람직하다. The piping connection device of the present invention is preferably applied to, for example, a helium supply line used to cool the chuck of the plasma etching equipment.

플라스마 식각장비에서 공정이 진행되는 온도를 일정하게 유지하기 위하여 웨이퍼(도면에 표시하지 않음)가 로딩되는 척(chuck)에 헬륨 가스가 공급되는데, 이때 헬륨이 공급되는 공급라인은 스테인리스강으로 형성된 금속이고, 금속 라인에서 척까지 헬륨 가스를 공급하는 연결 라인은 테플론으로 제작한다.In the plasma etching equipment, helium gas is supplied to a chuck on which a wafer (not shown) is loaded in order to maintain a constant temperature at which the process is performed, wherein the supply line to which helium is supplied is made of stainless steel The connection line for supplying helium gas from the metal line to the chuck is made of Teflon.

따라서 플라스마 식각장비의 척에 헬륨을 공급하기 위한 가스 공급 라인에 본 발명의 배관 연결 장치를 적용하면, 테플론으로 형성된 연결부에 크랙이 발생하여 가스 누설이 발생하는 것을 방지한다.Therefore, if the pipe connection device of the present invention is applied to the gas supply line for supplying helium to the chuck of the plasma etching equipment, cracks are generated in the connection portion formed of Teflon to prevent the gas leakage.

이상에서, 본 발명의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상 및 특허청구 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the present invention have been shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely described, for example, and various changes and modifications are possible without departing from the spirit and scope of the present invention. Of course.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 반도체 제조 장비에서 금속 재질 및 비금속 재질로 만들어진 가스 라인을 연결하는 경우에 금속으로 만들어진 연결부에 오링을 삽입할 수 있는 홈을 형성함으로써, 클램프로 가스 라인의 연결부를 고정시키는 힘에 의해서 홈이 형성된 연결부에 크랙이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, when connecting a gas line made of a metal material and a non-metal material in a semiconductor manufacturing equipment, by forming a groove into which the O-ring can be inserted into a connection part made of metal, the connection part of the gas line is clamped. There is an effect of preventing the occurrence of cracks in the groove formed connection portion by the fixing force.

또한 비금속 재질의 연결부에 크랙이 발생하면 크랙을 통하여 가스가 누설되어 공정이 중단되고 생산성이 저하되는데, 이것을 방지하여 원가를 절감하는 장점이 있다.In addition, if a crack occurs in the connection portion of the non-metal material, the gas is leaked through the crack, so that the process is stopped and productivity is lowered, thereby preventing the cost and reducing the cost.

Claims (3)

비금속 재질과 금속 재질의 가스 라인을 연결하는 배관 연결 장치에서,In a pipe connection device that connects non-metallic and metallic gas lines, 비금속 재질의 제1 가스 라인 일단에 연장되어 형성된 제1 단면 연결부;A first cross-sectional connection portion extending from one end of the first gas line of a non-metal material; 상기 제1 단면 연결부에 대응하여 금속 재질의 제2 가스 라인 일단에 연장되어 형성되고, 단면에 홈이 형성된 제2 단면 연결부;A second cross-sectional connection portion extending from one end of a second gas line made of a metal corresponding to the first cross-sectional connection portion, and having a groove formed in the cross-section; 상기 제2 단면 연결부의 상기 홈에 끼워진 오링; 및An o-ring fitted into the groove of the second cross-section connection; And 상기 오링을 매개로 상기 제1 단면 연결부와 상기 제2 단면 연결부를 결합하는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.And a clamp for coupling the first end surface connection part and the second end surface connection part via the O-ring. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 가스 라인의 재질은 테플론 또는 석영인 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.The material of the first gas line is a pipe connecting device, characterized in that the Teflon or quartz. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제2 가스 라인의 재질은 스테인리스강인 것을 특징으로 하는 배관 연결 장치.Pipeline connecting device, characterized in that the material of the second gas line is stainless steel.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105257930A (en) * 2015-10-15 2016-01-20 武汉武船机电设备有限责任公司 Tongue and groove face flange

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