KR20060134577A - 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구 - Google Patents
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Abstract
휠, 그라인더 마운트, 및 스핀들 샤프트를 포함하는 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구는, 다이얼 게이지 및 상기 다이얼 게이지를 상기 그라인더 마운트의 측면에 장착하는 연결부를 포함한다. 바람직한 실시예에서, 상기 연결부는 일단에 상기 다이얼 게이지가 연결되고 눈금자가 표시된 게이지 지지대 봉, 상기 게이지 지지대 봉의 안내 가이드 역할을 하는 게이지 지지대 몸체, 상기 게이지 지지대 봉과 상기 게이지 지지대 몸체를 고정하는 게이지 몸체 고정 나사, 및 상기 게이지 지지대 몸체를 상기 그라인더 마운트의 측면에 장착하는 게이지 지지대 몸체 고정 지그를 포함한다.
Description
도 1은 종래의 그라인더 설비를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 종래 그라인딩 휠의 기울기를 측정하는 방법을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 휠 기울기 측정용 도구를 이용하여 그라인딩 휠의 기울기를 측정하는 방법을 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 A 부분을 확대한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
20...휠 25...그라인더 마운트
28...게이지 몸체 고정 체결 홈 29...볼 스프링
30...스핀들 샤프트 40...그라인딩 휠
100...휠 기울기 측정용 도구 110...다이얼 게이지
120...연결부 130...게이지 지지대 봉
131, 132...연결 나사 140...게이지 지지대 몸체
142...게이지 몸체 고정 나사 150...게이지 몸체 고정 지그
151...볼 체결 홈
본 발명은 웨이퍼 두께 감소를 위한 그라인더 설비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 그라인더 설비의 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구(tool)에 관한 것이다.
반도체 집적회로를 만들기 위해 사용되는 웨이퍼는 확산, 사진, 식각 및 이온 주입 등 여러 단계의 제조 공정을 거치게 된다. 이러한 제조 공정 후에는 웨이퍼에 형성된 소자의 전기적 특성 및 동작 상태를 테스트하여 양품과 불량품을 분류하는 EDS(Electrical Die Sorting) 공정이 있다. EDS 공정에서 양품으로 판정된 소자는 칩 형태로 절단되어 조립(assembly)과 패키지(package)를 통하여 하나의 완성품으로 만들어진다.
제조 및 테스트 공정 중의 핸들링 시에는 웨이퍼의 파손 또는 표면 손상이 발생하지 않도록 웨이퍼가 충분한 두께를 가져야만 한다. 그러나, 칩 부품의 소형화, 고집적화를 위해서는 웨이퍼의 두께가 얇은 것이 유리하다. 따라서, 제조 및 테스트 공정 중에는 웨이퍼의 두께를 통상 750㎛ 정도로 유지하다가, 조립 및 패키지를 위해 웨이퍼를 각 칩별로 절단하기 전에 웨이퍼의 후면(後面, 소자가 형성된 면의 반대면)을 연마하여 웨이퍼의 두께를 280㎛ 정도로까지 감소시키고 있다.
도 1은 웨이퍼 후면을 기계적으로 연마하여 두께를 감소시키는 종래의 그라인더 설비를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 웨이퍼(5)의 전면(前面)에 보호막(7)이 피복된 상태로 그라인더 설비의 인덱스 테이블(10) 상의 척 테이블(12)에 웨이퍼(5)의 후면이 위로 가도록 놓여진다. 위쪽에서부터 적절한 그라인딩 휠(40)이 내려와 웨이퍼(5)의 후면을 가압한다. 그라인딩 휠(40)은 블레이드를 가진 휠(보통 다이아몬드 휠)(20)과 휠(20)을 장착하기 위한 그라인더 마운트(25), 그리고 모터축(미도시)에 연결되어 회전하는 스핀들 샤프트(30)를 포함한다.
스핀들 샤프트(30)의 회전에 따라 휠(20)이 회전하면서 웨이퍼(5)의 중심 이하 하반부를 연마한다. 이 때, 인덱스 테이블(10) 역시 회전하므로 웨이퍼(5)의 전면(全面)이 연마되면서 그 두께가 감소된다.
그라인더 설비에는 하나 이상의 그라인딩 휠을 포함하는 종류도 있는데, 이를테면 거친 표면을 갖는 제1 휠(예를 들어 325 mesh)을 가진 제1 그라인딩 휠과, 상기 제1 휠보다 고운 표면을 갖는 제2 휠(예를 들어 2000 mesh)을 가진 제2 그라인딩 휠을 포함한다. 이러한 그라인더 설비를 이용한 웨이퍼 후면 연마방법에서는, 제1 그라인딩 휠을 이용하여 웨이퍼의 두께를 상당 부분 감소시킨 다음(황삭), 제2 그라인딩 휠을 이용하여 웨이퍼의 후면에 형성되어 있는 미세 크랙 등을 제거하게 된다(연삭).
그라인더 설비의 그라인딩 휠의 기울기는 정기적으로 측정하여 스펙(spec) 조건에 맞도록 조정할 필요가 있다. 기울기 측정을 하는 이유는 다음과 같다.
먼저, 척 테이블에 놓인 웨이퍼를 연마하는 과정에서 휠의 기울기에 따라 블레이드의 마모와 흴 수명이 연관이 있다. 휠 기울기가 틀어질 경우 블레이드의 마모가 빨리 진행되어 휠 수명이 줄어든다. 이 때문에 휠을 교체하는 횟수가 증가할 뿐만 아니라 결과적으로는 MTTP가 증가하는 셈이 된다.
또한, 휠 기울기의 스펙 조건에서 벗어날 경우 품질 분량을 야기한다. 예를 들어 이중 쏘 마크(saw mark), 불량 쏘 마크, 웨이퍼 에지 및 중심부의 전면 두께 변이(Total Thickness Variation : TTV, 두께 최고치와 최소치 사이의 차) 차이 발생으로 인한 품질 불량이 있다.
따라서, 반도체 제조 라인에서는 휠 기울기를 정기적으로 관리하기 위해 그라인더 PM 항목에 휠 기울기를 삽입하여 휠 기울기를 항상 스펙 조건에 맞도록 설비 점검 및 관리를 하고 있다. 이 때 도 2에 도시한 바와 같이 그라인딩 휠의 아랫면에 다이얼 게이지를 장착하여 휠의 기울기를 측정하고 있다.
도 2를 참조하면, 휠(20), 그라인더 마운트(25), 및 스핀들 샤프트(30)를 포함하는 그라인딩 휠(40)에서, 그라인더 마운트(25)의 내부 안쪽면에 다이얼 게이지(50)를 고정하기 위해, 다이얼 게이지(50)를 ㄴ자 연결 몸체(52)의 한쪽 끝에 장착하고, 다른 쪽 끝에는 고정 볼트(54)를 장착한다. 그라인더 마운트(25)의 내부 안쪽면에 너트 홈(27)을 마련하고, 여기에 고정 볼트(54)를 삽입한 후 볼트 체결 방향대로 체결하여 다이얼 게이지(50)를 그라인더 마운트(25)에 장착한다. 이 상태에서 휠 기울기 측정을 한다.
이러한 방법에 의할 경우, 첫째, 체결 방법 및 작업 손실분(loss) 증가로 휠 기울기를 측정하는 시간이 상당히 많이 소요된다. 둘째, 그라인더 마운트(25)와 다이얼 게이지(50) 고정을 위한 고정 볼트(54)의 마모 및 파손이 자주 발생하여 교체 작업 빈도수 증가 및 설비 수리로 인한 설비/생산 손실분이 상당히 많이 발생하고 있다. 셋째, 잘 보이지 않는 그라인더 마운트(25) 내부 안쪽면의 너트 홈(27) 을 찾아 고정 볼트(54)를 체결하기까지 체결 시간 손실분이 증가하며, 안전사고가 발생할 소지가 많다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 그라인더 마운트에의 장착 및 휠 기울기 측정이 용이하고 고정 볼트의 마모 문제가 없는 휠 기울기 측정용 도구를 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 휠 기울기 측정용 도구는 휠, 그라인더 마운트, 및 스핀들 샤프트를 포함하는 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구로서, 다이얼 게이지 및 상기 다이얼 게이지를 상기 그라인더 마운트의 측면에 장착하는 연결부를 포함한다.
바람직한 실시예에서, 상기 연결부는 일단에 상기 다이얼 게이지가 연결되고 눈금자가 표시된 게이지 지지대 봉, 상기 게이지 지지대 봉의 안내 가이드(guide) 역할을 하는 게이지 지지대 몸체(body), 상기 게이지 지지대 봉과 상기 게이지 지지대 몸체를 고정하는 게이지 몸체 고정 나사, 및 상기 게이지 지지대 몸체를 상기 그라인더 마운트의 측면에 장착하는 게이지 지지대 몸체 고정 지그(jig)를 포함한다.
상기 게이지 지지대 봉은 둘 이상의 봉으로 이루어지고, 봉과 봉끼리 연결한 고리 부분에 연결 나사를 포함하여, 상기 연결 나사로써 봉의 연결 각도를 조정할 수 있다. 상기 게이지 지지대 몸체 고정 지그는 상기 그라인더 마운트의 측면에 마련한 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈에 장착되도록 한다. 이 때, 상기 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈 안에 볼 스프링(ball spring)을 장착하고 상기 게이지 지지대 몸체 고정 지그 안에 볼 체결 홈을 마련하여 상기 볼 스프링이 상기 볼 체결 홈에 삽입되도록 하면 더욱 견고하게 다이얼 게이지를 그라인더 마운트에 장착할 수 있다.
본 발명에 따르면, 그라인더 마운트의 측면에 다이얼 게이지를 장착하므로 장착이 용이하다. 눈금자가 표시된 게이지 지지대 봉을 갖도록 구성하면 휠 기울기 측정이 보다 용이해진다. 그라인더 마운트의 측면에 마련한 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈에 장착되도록 게이지 지지대 몸체 고정 지그를 갖도록 구성하면 종래와 같은 고정 나사의 마모 문제도 없다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다. 도면에서의 다양한 요소와 영역은 개략적으로 그려진 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부한 도면에 그려진 상대적인 크기나 간격에 의해 제한되어지지 않는다.
도 3은 본 발명에 따른 휠 기울기 측정용 도구를 이용하여 그라인딩 휠의 기울기를 측정하는 방법을 도시한 도면이다. 도 4는 도 3의 A 부분을 확대한 도면이 다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 휠 기울기 측정용 도구(100)는 휠(20), 그라인더 마운트(25), 및 스핀들 샤프트(30)를 포함하는 그라인딩 휠(40) 기울기 측정용 도구로서, 다이얼 게이지(110) 및 이 다이얼 게이지(110)를 그라인더 마운트(25)의 측면에 장착하는 연결부(120)를 포함한다. 더욱 자세하게는, 다이얼 게이지(110)를 그라인더 마운트(25)의 측면에 손쉽게 장착하기 위하여, 그라인더 마운트(25) 부분에 게이지 몸체 고정 체결 홈(28)을 마련하고 연결부(120)에 게이지 몸체 고정 지그(150)를 구성하여, 게이지 몸체 고정 체결 홈(28)에 게이지 몸체 고정 지그(150)를 끼워 삽입한 후 휠 기울기를 측정하는 구성을 가진다.
연결부(120)는 일단에 다이얼 게이지(110)가 연결되고 도 4에 더 자세히 도시된 바와 같이, 윗면에 눈금자가 표시된 게이지 지지대 봉(130)을 포함한다. 본 실시예에서와 같이, 게이지 지지대 봉(130)은 둘 이상의 봉(130a, 130b)으로 이루어지고, 봉(130a)과 봉(130b)끼리 연결한 고리 부분에 연결 나사(132)를 포함하여, 연결 나사(132)로써 봉(130a, 130b)의 연결 각도를 조정할 수 있다. 또한, 게이지 지지대 봉(130)과 다이얼 게이지(110)를 연결한 고리 부분에도 연결 나사(131)를 포함하여, 연결 나사(131)로써 연결 각도를 조정할 수도 있다.
게이지 지지대 봉(130)의 윗면에 눈금자를 표시하여 측정 및 간격유지에 사용한다. 이렇게 표시함으로써, 측정작업이 편리해지고 정확성이 향상된다.
게이지 지지대 봉(130)은 게이지 지지대 몸체(140) 안에 수납되어 좌우로 이동시키면서 넣었다 뺐다 할 수 있다. 즉, 게이지 지지대 몸체(140)는 게이지 지지 대 봉(130)의 안내 가이드 역할을 하며, 또한 게이지 지지대 봉(130)의 집 역할을 담당한다. 실린더의 몸체 부분과 흡사하다고 볼 수 있다.
게이지 몸체 고정 나사(142)는 게이지 지지대 봉(130)과 게이지 지지대 몸체(140)를 고정하여 게이지 지지대 봉(130)을 잡아 주는 역할을 담당한다.
도 4에 더 자세히 도시된 바와 같이, 게이지 지지대 몸체(140) 한쪽으로는 게이지 지지대 몸체(140)를 그라인더 마운트(25)의 측면에 장착하는 게이지 지지대 몸체 고정 지그(150)가 마련되어 있다. 게이지 지지대 몸체 고정 지그(150)는 그라인더 마운트(25)의 측면에 마련한 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈(28)에 장착되도록 한다. 이 때, 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈(28) 안에 볼 스프링(29)을 장착하고 게이지 지지대 몸체 고정 지그(150) 안에 볼 체결 홈(151)을 마련하여, 볼 스프링(29)이 볼 체결 홈(151)에 삽입되도록 하면 게이지 지지대 몸체 고정 지그(150)가 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈(28)에 고정되어 움직이지 않는다. 따라서, 더욱 견고하게 다이얼 게이지(110)를 그라인더 마운트(25)에 장착할 수 있다.
이와 같이 구성한 휠 기울기 측정용 도구(100)는 그라인더 마운트(25)의 측면에 다이얼 게이지(110)를 장착하게 되므로 장착 및 탈착이 용이하다. 게이지 지지대 봉(130)에 눈금자를 표시함으로써 휠 기울기 측정이 보다 용이해진다. 그라인더 마운트(25)의 측면에 마련한 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈(28)에 게이지 지지대 몸체 고정 지그(150)를 삽입하여 장착하는 구성이므로 종래와 같은 고정 나사의 마모 문제가 없다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다.
상술한 본 발명에 따르면, 그라인더 마운트의 측면에 다이얼 게이지를 장착하게 되므로 장착 및 탈착이 용이하다. 게이지 지지대 봉에 눈금자를 표시함으로써 휠 기울기 측정이 보다 용이해져서 측정 시간 단축 및 작업 손실분을 최소화하는 효과가 있다. 따라서, 설비/생산 손실분을 최소화할 수 있고 PM 작업 손실분을 최소화할 수 있다. 기존의 볼트-너트 체결 구성이 아니라, 그라인더 마운트의 측면에 마련한 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈에 게이지 지지대 몸체 고정 지그를 삽입하여 장착하는 구성이므로 종래와 같은 고정 나사의 마모 및 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Claims (6)
- 휠, 그라인더 마운트, 및 스핀들 샤프트를 포함하는 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구로서,다이얼 게이지; 및상기 다이얼 게이지를 상기 그라인더 마운트의 측면에 장착하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 휠 기울기 측정용 도구.
- 제1항에 있어서, 상기 연결부는,일단에 상기 다이얼 게이지가 연결되고 눈금자가 표시된 게이지 지지대 봉;상기 게이지 지지대 봉의 안내 가이드 역할을 하는 게이지 지지대 몸체;상기 게이지 지지대 봉과 상기 게이지 지지대 몸체를 고정하는 게이지 몸체 고정 나사; 및상기 게이지 지지대 몸체를 상기 그라인더 마운트의 측면에 장착하는 게이지 지지대 몸체 고정 지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 휠 기울기 측정용 도구.
- 제2항에 있어서, 상기 게이지 지지대 봉은 둘 이상의 봉으로 이루어지고, 봉과 봉끼리 연결한 고리 부분에 연결 나사를 포함하여, 상기 연결 나사로써 봉의 연결 각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 휠 기울기 측정용 도구.
- 제3항에 있어서, 상기 게이지 지지대 봉과 상기 다이얼 게이지를 연결한 고리 부분에도 연결 나사를 포함하여, 상기 연결 나사로써 연결 각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 휠 기울기 측정용 도구.
- 제2항에 있어서, 상기 게이지 지지대 몸체 고정 지그는 상기 그라인더 마운트의 측면에 마련한 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈에 장착되는 것을 특징으로 하는 휠 기울기 측정용 도구.
- 제5항에 있어서, 상기 게이지 지지대 몸체 고정 체결 홈 안에 볼 스프링(ball spring)을 장착하고 상기 게이지 지지대 몸체 고정 지그 안에 볼 체결 홈을 마련하여 상기 볼 스프링이 상기 볼 체결 홈에 삽입되도록 하는 것을 특징으로 하는 휠 기울기 측정용 도구.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050054362A KR20060134577A (ko) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050054362A KR20060134577A (ko) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR20060134577A true KR20060134577A (ko) | 2006-12-28 |
Family
ID=37812936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020050054362A KR20060134577A (ko) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | 그라인딩 휠 기울기 측정용 도구 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20060134577A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020124753A (ja) * | 2019-02-01 | 2020-08-20 | 株式会社ディスコ | 測定治具 |
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2005
- 2005-06-23 KR KR1020050054362A patent/KR20060134577A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2020124753A (ja) * | 2019-02-01 | 2020-08-20 | 株式会社ディスコ | 測定治具 |
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