KR20060127753A - Print-soldering inspection apparatus - Google Patents

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KR20060127753A
KR20060127753A KR1020060049338A KR20060049338A KR20060127753A KR 20060127753 A KR20060127753 A KR 20060127753A KR 1020060049338 A KR1020060049338 A KR 1020060049338A KR 20060049338 A KR20060049338 A KR 20060049338A KR 20060127753 A KR20060127753 A KR 20060127753A
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쓰요시 기무라
에이지 쓰지무라
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안리츠 코포레이션
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/0002Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004Industrial image inspection
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108Industrial image inspection
    • G06T2207/30152Solder

Abstract

A print-soldering inspection apparatus is provided to set a judgment reference value for an operator to judge quantitatively, by recognizing the distribution of shape values indicating the shape of a measured solder. In a print-soldering inspection apparatus, a measurement unit(2) measures displacement of a plurality of solders printed on a print board. A histogram calculation unit(5a) calculates frequency distribution of a shape value for judgment on the basis of the measured value of the measurement unit. A ratio calculation unit(5b) calculates at least one of error rate or non-error rate of shapes of the printed solder. A display control unit(6) displays the calculated error rate or non-error. An operation unit(9) indicates the distribution range. The display control unit changes the position of an upper limit value and a lower limit value displayed on the frequency distribution before the latest indication, to the position corresponding to the upper limit value and the lower limit value by the latest indication.

Description

인쇄땜납 검사장치{PRINT-SOLDERING INSPECTION APPARATUS} Print Solder Inspection Equipment {PRINT-SOLDERING INSPECTION APPARATUS}

도 1은 본 발명과 관한 실시형태의 기능 블록을 설명하기 위한 도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure for demonstrating the functional block of embodiment which concerns on this invention.

도 2는 도 1의 본 실시형태의 표시예로서, 측정범위 및 형상을 지정한 때의 NG율, 도수분포의 표시예이다.FIG. 2 is a display example of the present embodiment of FIG. 1, which is a display example of the NG rate and frequency distribution when a measurement range and shape are designated.

도 3은 도 1의 본 실시형태의 동작 플로우를 도시한 도이다.3 is a diagram illustrating an operation flow of the present embodiment of FIG. 1.

도 4는 도 3과 다른 사용에 의한 동작 플로우를 도시한 도이다.4 is a diagram illustrating an operation flow by use different from that of FIG. 3.

도 5는 도 1의 실시형태에 대한 다른 실시형태의 구성을 도시한 기능 블록도이다.FIG. 5 is a functional block diagram showing a configuration of another embodiment of the embodiment of FIG. 1.

도 6은 도 5의 다른 실시형태의 동작 플로우를 도시한 도이다.6 is a diagram illustrating an operation flow of another embodiment of FIG. 5.

도 7은 도 5의 다른 실시형태에 있어서의 표시예를 나타내는 도이다.7 is a diagram illustrating a display example in another embodiment of FIG. 5.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 기판(프린트판) 2 : 측정수단1 substrate (printed plate) 2 measuring means

3 : 판정용 데이터 생성수단 4 : 판정수단3: determination means for generating data 4: determination means

5 : 연산수단 5a : 히스토그램 산출수단5: calculation means 5a: histogram calculation means

5b : NG율 산출수단 6 : 표시제어수단5b: NG rate calculating means 6: Display control means

7 : 표시수단 8 : 제어수단7: display means 8: control means

9 : 조작수단9: operation means

본 발명은, 전자부품 등을 표면에 탑재하기 위한 프린트판(Print Circuit Board) 상에 크림(Cream)형상 땜납이 인쇄된 때의 땜납의 형성상태를 측정하여 검사하는 인쇄땜납 검사장치에 관한 것이다. 특히, 양부(良否)판정의 기준을 설정하기 쉽게 한 기술과 관련된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a printed solder inspection apparatus for measuring and inspecting a state of formation of solder when a cream-shaped solder is printed on a printed circuit board for mounting electronic components or the like on the surface. In particular, it relates to techniques that make it easy to set criteria for good health judgment.

종래, 인쇄땜납 검사장치로서는, 기판(이하, 프린트판을 단순히 '기판'이라고 한다.)의 표면을 레이저광 등으로 조사하고, 기판의 표면으로부터의 반사광을 수광하는 센서를 갖고, 그 센서에 의해 측정(삼각측량)한 결과적으로 얻어진 측정값, 예를 들면, 기판상의 인쇄 땜납개소의 변위(높이를 포함한다) 혹은 휘도(기판으로부터 반사한 빛의 양, 수광량(빛의 세기)을 포함한다.)의 측정값을 기초로, 판정의 기준이 되는 기준데이터와 비교하여 판정하고 있다(일본특허공보 제3537382호, 종래기술).Conventionally, as a printed solder inspection apparatus, there is a sensor that irradiates a surface of a substrate (hereinafter, referred to simply as a substrate) with a laser beam or the like and receives the reflected light from the surface of the substrate. The measured value obtained as a result of the measurement (triangulation) includes, for example, the displacement (including height) of the printing solder point on the substrate or the luminance (the amount of light reflected from the substrate and the amount of received light (light intensity)). Is judged by comparison with reference data serving as a reference for determination (Japanese Patent Publication No. 3537382, prior art).

이러한 검사장치(방법)에 있어서는, 일반적으로, 판정이 되는 기준을 최초에 초기값(디폴트값)으로서 기억해 두고, 실제로 복수의 기판의 측정값와 그 디폴트값으로 판정해 보고, 조작자가 불량률(이하, NG율이라고 한다.) 혹은 양률(이하, OK율이라고 한다.)을 구하고, 필요하면, 디폴트값을 적절한 기준값으로 변경하고 설정하여 검사하고 있다.In such an inspection apparatus (method), generally, the criterion to be judged is initially stored as an initial value (default value), and is actually judged by the measured values of the plurality of substrates and their default values, and the operator determines the defective rate (hereinafter, NG rate) or yield rate (hereinafter referred to as OK rate) is obtained, and if necessary, the default value is changed to an appropriate reference value and tested.

예를 들면, 여러 장의 기판의 같은 인쇄된 땜납의 형상을 측정해 보고, 그 땜납의 형상을 나타내는 부피의 계산을 구하여, 그 분포의 평균값의 ±3σ를 OK의 범위, 그 이외를 NG의 범위로 하고 있다. 그 값 ±3σ, 혹은 다른 수치는, 임의로 설정할 수 있는 구성이었다.For example, by measuring the shape of the same printed solder of several substrates, calculating the volume representing the shape of the solder, ± 3σ of the average value of the distribution is in the range of OK, and other in the range of NG. Doing. The value ± 3σ, or another numerical value, was a configuration that can be arbitrarily set.

상기와 같이, 종래는, 인쇄땜납 검사장치로 실제로 검사하여 판정된 데이터로부터, 조작자가 판정의 기준값(허용값)을 검토하여 설정하도록 하고 있었다. 실제로는, 기판의 종류, 땜납의 형상, 설계값 등으로부터, 각각에 있어서 경향이 다르다. 따라서, 판정대상으로 하는 기판, 땜납형상의 종류가 많은 경우, 또한 판정대상으로 하는 항목이 많은 경우에는, 기준값(허용값)을 검토하는데, 상당한 시간 및 경험이 필요하였다. 판정대상으로 하는 항목에는, 예를 들면, 땜납의 형상을 나타내는 데이터(이하, 형상값이라고 한다.)에는, 상기와 같은 땜납의 부피 이외에 땜납의 면적, 땜납높이, 땜납의 본래의 위치에 대한 어긋남, 땜납의 폭 및 땜납의 높이 얼룩짐(불규칙한 높이(irregular height), 편차(variation)) 등이 있다.As mentioned above, conventionally, the operator has made the examination and setting the reference value (permissible value) of the determination from the data which was actually examined and determined by the printing solder inspection apparatus. In reality, the tendency differs from each other from the type of substrate, the shape of the solder, the design value, and the like. Therefore, when there are many kinds of substrates and solder shapes to be judged, and when there are many items to be judged, considerable time and experience were required to examine the reference values (allowed values). In the item to be judged, for example, data indicating the shape of the solder (hereinafter referred to as a shape value) includes a deviation of the solder area, the solder height, and the original position of the solder in addition to the volume of the solder as described above. , The width of the solder and the height unevenness of the solder (irregular height, variation) and the like.

본 발명의 목적은, 측정된 땜납의 형상을 나타내는 형상값의 분포를 인식하면서, 조작자가 정량적으로 판단하면서 용이하게 판정의 기준값(허용값) 등을 설정할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a technique that allows an operator to easily set a reference value (allowed value) or the like while determining quantitatively while recognizing a distribution of shape values representing the shape of the measured solder.

상기 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1에 기재된 발명은, In order to achieve the above object, the invention described in claim 1,

프린트판에 인쇄된 복수의 땜납의 변위를 측정하기 위한 측정수단(2)과, 상기 측정수단이 출력하는 측정값에 기초하여 상기 땜납 상태를 형상으로서 구해진 1 개 혹은 복수의 종류의 판정용 형상마다 그 판정용 형상값의 도수분포를 구하는 히스토그램 산출수단(5a)과, 구해진 상기 도수분포와 상기 인쇄된 땜납의 형상의 양의 범위를 나타내는 분포범위에 의해서, 상기 인쇄된 땜납의 형상의 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하는 NG율 산출수단(5b)과, 조작수단(9)과, 표시수단(7)과, 상기 산출된 불량률 또는 양률을 상기 표시수단에 표시시키는 표시제어수단(6)을 구비한 인쇄땜납 검사장치에 있어서,Measuring means (2) for measuring the displacement of a plurality of solders printed on a printed plate, and for each of one or a plurality of types of determination shapes obtained by determining the solder state as a shape based on the measured value output by the measuring means The defective rate and yield rate of the shape of the printed solder are determined by the histogram calculating means 5a for obtaining the frequency distribution of the shape value for determination, and the distribution range representing the range of the quantity of the obtained frequency distribution and the shape of the printed solder. NG rate calculating means 5b for calculating at least one of the following, operating means 9, display means 7, and display control means 6 for displaying the calculated defective rate or yield rate on the display means. In the printed solder inspection apparatus provided,

상기 조작수단은, 상한값과 하한값으로 나타나는 상기 분포범위의 지시를 가능하게 되고,The operation means is capable of indicating the distribution range represented by the upper limit value and the lower limit value,

상기 표시제어수단은, 상기 도수분포를 표시하는 것과 함께, 상기 조작수단으로부터 상기 분포범위의 최신의 지시를 받았을 때, 상기 최신의 지시 전에 상기 도수분포상에 표시하고 있던 상기 상한값 및 하한값에 대응하는 위치를, 상기 최신의 지시에 의한 상기 상한값 및 하한값에 대응하는 위치로 변경하여 표시하는 것을 특징으로 하는 인쇄땜납 검사장치.The display control means displays the frequency distribution, and when the latest means of the distribution range is received from the operation means, a position corresponding to the upper limit value and the lower limit value displayed on the frequency distribution before the latest instruction. The printing solder inspection apparatus characterized by changing the display to a position corresponding to the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 NG율 산출수단은, 상기 분포범위의 최신의 지시가 있을 때는, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값과 상기 도수분포를 기초로, 새롭게 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하고,In the invention according to claim 2, in the invention according to claim 1, the NG rate calculating means is based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest indication and the frequency distribution when the latest indication of the distribution range is given. At least one of the defective rate and the yield rate is newly calculated,

상기 표시제어수단은, 상기 최신의 지시 이전에 상기 표시수단에 표시하고 있던 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하고, 상기 새롭게 산출한 불량률 또는 양률을 표시시키는 구성으로 하였다.The display control means is configured to change at least one of the defective rate and yield rate displayed on the display means before the latest instruction, and display the newly calculated defective rate or yield rate.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 조작수단은, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시 가능하게 되고,In the invention according to claim 3, in the invention according to claim 1 or 2, the operation means can be instructed by changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means.

상기 NG율 산출수단은, 상기 조작수단으로부터 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하는 지시가 있을 때는, 상기 도수분포를 기초로 상기 지시된 불량률 및 양률의 적어도 1개에 기초하는 상한값 및 하한값을 산출하고,The NG rate calculating means calculates an upper limit value and a lower limit value based on at least one of the instructed defective rate and yield rate based on the frequency distribution when instructed to change at least one of the defective rate and yield rate from the operation means. and,

상기 표시제어수단은, 상기 변경하는 지시 이전에 상기 표시수단에 표시되고 있는 상한값 및 하한값을 변경하고, 상기 새롭게 산출된 상한값 및 하한값을 도수분포상에 표시시키는 구성으로 하였다.The display control means is configured to change the upper limit value and the lower limit value displayed on the display means before the change instruction, and to display the newly calculated upper limit value and the lower limit value on the frequency distribution.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 측정수단의 측정값을 받고, 상기 인쇄 땜납개소마다의 판정용 형상값을 구하는 판정용 데이터 생성수단(3)과,The invention according to claim 4 is, in the invention according to claim 1, the determination data generating means 3 which receives the measurement value of the measuring means and obtains the determination shape value for each printing solder point;

상기 판정용 데이터 생성수단이 출력하는 판정용 형상값을 허용값에 기초하여, 상기 인쇄 땜납개소마다 불량 혹은 양으로 판정하는 판정수단(4)을 구비하였다.The determination means 4 which determines the shape value for determination output by the said determination data generation means on the basis of a permissible value as the defect or quantity for every said printing solder point was provided.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 발명에 있어서, 상기 조작수단으로부터 상기 분포범위의 상기 최신의 지시가 있을 때는,In the invention according to claim 5, in the invention according to claim 4, when there is the latest indication of the distribution range from the operation means,

상기 NG율 산출수단이, 상기 최신의 지시에 의한 상한값, 하한값 및 상기 도수분포를 기초로, 새롭게 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하고,The NG rate calculating means newly calculates at least one of the defective rate and the yield rate based on the upper limit value, the lower limit value, and the frequency distribution according to the latest instruction;

상기 판정수단은, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값에 기초하는 새 로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 및 양의 적어도 1개를 판정하고,The judging means judges at least one of the defect and the quantity of the shape value for determination for each of the soldering points, based on the new allowable value based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction,

상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서 상기 새롭게 산출한 불량률 또는 양률을 표시시키는 구성이다.The display control means is configured to display the newly calculated defective rate or yield rate with respect to the display means.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 4 또는 5에 기재된 발명에 있어서, 상기 조작수단은, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시 가능하게 되고,In the invention according to claim 6, in the invention according to claim 4 or 5, the operation means can be instructed by changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means.

상기 NG율 산출수단은, 상기 변경하여 지시된 불량률 또는 양률과 상기 도수분포에 기초하여, 새로운 상한값 및 하한값을 산출하고,The NG rate calculating means calculates a new upper limit value and a lower limit value on the basis of the defective rate or yield rate and the frequency distribution indicated by the change,

상기 판정수단은, 상기 산출된 상한값 및 하한값에 기초하는 새로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 또는 양을 판정하고,The judging means judges the defect or the quantity of the shape value for determination for each of the solder points by the new allowable value based on the calculated upper limit value and lower limit value,

상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 새롭게 산출한 상한값 및 하한값을 표시시키는 구성이다.The display control means is configured to display the newly calculated upper limit value and lower limit value with respect to the display means.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 발명에 있어서, 상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 프린트 기판의 땜납개소를 나타내는 레이아웃을 표시시키는 것과 함께, 그 표시된 레이아웃 위에 상기 판정수단이 불량으로 판정한 개소를 식별 가능하게 하여 표시시키는 구성이다.In the invention according to claim 7, in the invention according to claim 4, the display control means displays a layout indicating solder points of the printed board with respect to the display means, and the determination means is provided on the displayed layout. It is the structure which makes it possible to distinguish and display the location judged as defective.

청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 발명에 있어서, 상기 조작수단으로부터 상기 분포범위의 상기 최신의 지시가 있을 때는,In the invention according to claim 8, in the invention according to claim 7, when there is the latest indication of the distribution range from the operation means,

상기 NG율 산출수단이, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값 및 상기 도수분포를 기초로, 새롭게 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하고,The NG rate calculating means newly calculates at least one of the defective rate and the yield rate based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction and the frequency distribution;

상기 판정수단은, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값에 기초하는 새로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 및 양의 적어도 1개를 판정하고,The judging means judges at least one of the defect and the quantity of the shape value for determination for each of the solder points by the new allowable value based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction,

상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 최신의 지시 전에 표시하고 있던 상기 불량률 또는 상기 양률을 변경하고, 상기 새롭게 산출된 불량률 또는 양률을 표시시키는 것과 함께, 상기 판정수단이 상기 새로운 허용값에 기초하여 불량으로 판정한 땜납개소를 상기 레이아웃 위에 식별 가능하게 표시시키는 구성이다.The display control means changes the defective rate or yield rate displayed before the latest instruction to the display means and displays the newly calculated defective rate or yield rate, and the determination means causes the new allowable value. Based on this configuration, the solder points determined to be defective are distinguishablely displayed on the layout.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 7 또는 8에 기재된 발명에 있어서, 상기 조작수단은, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시 가능하게 되고,In the invention according to claim 9, in the invention according to claim 7 or 8, the operation means can be instructed by changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means.

상기 NG율 산출수단은, 상기 변경하여 지시된 불량률 또는 양률 및 상기 도수분포에 기초하여, 새로운 상한값 및 하한값을 산출하고,The NG rate calculating means calculates a new upper limit value and a lower limit value on the basis of the defective rate or quantity rate and the frequency distribution instructed by the change,

상기 판정수단은, 상기 산출된 상한값 및 하한값에 기초하는 새로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 또는 양을 판정하고,The judging means judges the defect or the quantity of the shape value for determination for each of the solder points by the new allowable value based on the calculated upper limit value and lower limit value,

상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 변경하는 지시 전에 표시하고 있던 상기 상한값 및 상기 하한값을 변경하고, 상기 새롭게 산출한 상한값 및 하한값을 표시시키는 것과 함께, 상기 판정수단이 상기 새로운 허용값에 기초하여 불량으로 판정한 땜납개소를 상기 레이아웃 위에 식별 가능하게 표시시키는 구 성이다.The display control means changes the upper limit value and the lower limit value displayed before the instruction to change to the display means, and displays the newly calculated upper limit value and the lower limit value. On the layout described above.

청구항 10에 기재된 발명은, 미리, 프린트판에 인쇄된 복수의 땜납의 변위를 측정하여, 측정한 측정값에 기초하여 상기 땜납 상태를 나타내는 형상값을 구하는 측정단계와, 상기 측정단계에서 구해진 1개 혹은 복수의 종류의 판정용 형상마다 그 판정용 형상값의 도수분포를 구하는 히스토그램 산출단계와, 구해진 상기 도수분포와 상기 인쇄된 땜납의 형상의 양의 범위를 나타내는 분포범위에 의해서, 상기 인쇄된 땜납의 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하는 NG율 산출단계와, 상기 산출된 불량률 또는 양률을 상기 표시수단에 표시시키는 양부 표시단계를 구비한 인쇄땜납 검사방법에 있어서, Invention of Claim 10 measures the displacement of the some solder printed on the printed board beforehand, The measuring step which calculates the shape value which shows the said solder state based on the measured value, and the one calculated by the said measuring step Or the printed solder according to a histogram calculating step of obtaining a frequency distribution of the determination shape value for each of a plurality of types of determination shapes, and a distribution range indicating a range of the obtained power distribution and the shape of the printed solder. A printing solder inspection method comprising: an NG rate calculating step of calculating at least one of a defective rate and a yield rate of a; and a positive part displaying step of displaying the calculated defective rate or yield rate on the display means,

조작수단에 의해서, 상한값 및 하한값으로 표시되는 상기 분포범위를 변경하여 지시되는 단계와,Instructing, by the operating means, changing the distribution range indicated by the upper limit value and the lower limit value;

표시제어수단에 의해서, 상기 조작수단으로부터 하한값 및 상한값으로 표시되는 상기 분포범위의 최신의 지시를 받았을 때, 상기 최신의 지시 전에 표시되고 있는 상기 상한값 및 하한값에 대응하는 상기 도수분포상의 위치를, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값에 대응하는 상기 도수분포상의 위치로 변경하여 표시하는 범위 표시단계를 포함한다.When the display control means receives the latest instruction of the distribution range indicated by the lower limit value and the upper limit value from the operation means, the position on the frequency distribution corresponding to the upper limit value and the lower limit value displayed before the latest instruction is set to the position. And a range display step of changing and displaying the position on the frequency distribution corresponding to the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction.

청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 10에 기재된 발명에 있어서, 상기 최신의 지시를 받을 때마다, 그 최신의 지시에 의한 상기 상한값 및 하한값과 상기 도수분포를 기초로, 상기 NG율 산출단계, 상기 양부 표시단계 및 범위 표시단계를, 반복하는 단계와,In the invention according to claim 11, in the invention according to claim 10, each time the latest instruction is received, the NG rate calculation step is performed based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction and the frequency distribution. Repeating the displaying and displaying the range,

상기 반복하는 단계에 있어서, 원하는 상한값 및 하한값이 확정되는 확정 단계와,In the repeating step, a determination step of determining the desired upper limit value and the lower limit value,

상기 확정단계 후에, 상기 측정단계에서 취득되어 상기 형상값을 상기 확정한 원하는 상한값 및 하한값에 기초하여, 양부 판정하는 판정단계를 구비하였다.After the determination step, a determination step of determining whether the shape value was acquired in the measurement step based on the desired upper limit value and the lower limit value determined above was provided.

청구항 12에 기재된 발명은, 청구항 10에 기재된 발명에 있어서, 상기 조작수단에 의해서, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시되는 단계와,The invention as set forth in claim 12 is the invention as set forth in claim 10, further comprising the steps of: instructing, by the operating means, changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means;

상기 NG율 산출단계는, 상기 조작수단으로부터 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하는 지시를 받을 때마다, 상기 도수분포를 기초로 상기 지시된 불량률 또는 양률에 기초하는 상한값 및 하한값을 산출하고, 상기 산출된 상한값 및 하한값과 상기 도수분포를 기초로, 상기 NG율 산출단계, 상기 양부 표시단계 및 범위 표시단계를 반복하는 단계와,The NG rate calculating step calculates an upper limit value and a lower limit value based on the indicated defective rate or yield rate on the basis of the frequency distribution, whenever an instruction to change at least one of the defective rate and yield rate is received from the operation means. Repeating the step of calculating the NG rate, the display of the positive part and the display of the range, based on the calculated upper and lower limits and the frequency distribution;

상기 반복하는 단계에 있어서, 원하는 상한값 및 하한값이 확정되는 확정 단계와,In the repeating step, a determination step of determining the desired upper limit value and the lower limit value,

상기 확정단계 후에, 상기 측정단계에서 취득된 상기 형상값을 상기 확정한 원하는 상한값 및 하한값에 기초하여, 양부 판정하는 판정단계를 구비하였다.After the determination step, a determination step of determining whether or not the shape value acquired in the measurement step was judged on the basis of the determined desired upper limit value and lower limit value was provided.

청구항 13에 기재된 발명은, 청구항 11 또는 12에 기재된 발명에 있어서, 상기 측정단계는, 예비적인 테스트 측정단계로서, 상기 확정단계와 상기 판정단계 사이에, 상기 프린트판에 인쇄된 땜납의 변위를 측정하여, 측정한 측정값에 기초하여 상기 땜납 상태를 나타내는 형상값을 구하는 검사 측정단계를 구비하고,In the invention according to claim 13, in the invention according to claim 11 or 12, the measuring step is a preliminary test measurement step, which measures the displacement of the solder printed on the printed plate between the determination step and the determination step. And an inspection measurement step of obtaining a shape value representing the solder state based on the measured measurement value.

상기 판정단계는, 상기 테스트 측정단계에서 취득된 형상값에 대신하여 상기 검사 측정단계의 형상값을, 상기 확정한 원하는 상한값 및 하한값에 기초하여 양부 판정하는 구성으로 하였다.In the determination step, the shape value of the inspection measurement step is determined based on the determined desired upper limit value and lower limit value instead of the shape value obtained in the test measurement step.

[발명의 실시형태] Embodiment of the Invention

본 발명의 실시형태를 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은, 본 발명에 관한 실시형태의 구성을 도시한 기능 블록도이다. 도 2는, 도 1의 본 실시형태의 표시예로서, 측정범위 및 형상을 지정한 때의 NG율, 도수분포의 표시예이다. 도 3은, 도 1의 본 실시형태의 동작 플로우를 도시한 도면이다. 도 4는, 도 3과 다른 사용에 의한 동작 플로우를 도시한 도면이다. 도 5는, 도 1의 실시형태에 대한 다른 실시형태의 구성을 도시한 기능 블록도이다. 도 6은, 도 5의 다른 실시형태의 동작 플로우를 도시한 도면이다. 도 7은, 도 5의 다른 실시형태에 있어서의 표시예를 도시한 도면이다.Embodiment of this invention is described using drawing. 1 is a functional block diagram showing a configuration of an embodiment according to the present invention. FIG. 2 is a display example of the NG rate and frequency distribution at the time of designating a measurement range and a shape as a display example of this embodiment of FIG. 1. FIG. 3 is a diagram illustrating an operation flow of the present embodiment of FIG. 1. 4 is a diagram illustrating an operation flow by use different from that of FIG. 3. FIG. 5 is a functional block diagram illustrating a configuration of another embodiment of the embodiment of FIG. 1. FIG. 6 is a diagram illustrating an operation flow of another embodiment of FIG. 5. FIG. 7 is a diagram illustrating a display example in another embodiment of FIG. 5.

도 1에 있어서, 측정수단(2)은, 제어수단(8)으로부터의, 측정대상으로 하는 프린트판(1)(이하, 기판(1)이라고 한다.)의 레이아웃 정보(외형치수, 땜납위치) 등의 정보를 받고, 센서를 기판(1)에 대해서 상대적으로 이동 주사(走査)시키는 이동기구부(미도시)를 갖고, 레이아웃에 따라서 땜납위치에 있어서의 높이방향의 변위를 측정한다. 아울러 땜납 위치에 대한 휘도를 측정하기도 한다.In FIG. 1, the measuring means 2 is the layout information (outer dimension, solder position) of the printed board 1 (henceforth a board | substrate 1) from the control means 8 as a measurement object. It receives the information, etc., and has the moving mechanism part (not shown) which makes the sensor move and scan relatively with respect to the board | substrate 1, and measures the displacement of the height direction in a solder position according to a layout. It also measures the luminance over the solder position.

도 1에 있어서의 측정수단(2)은, 말하자면, 삼각측량에 의한 레이저 변위계의 예로서, 센서는, 기판(1)에 대해서 이동 기구부에 의해서 주사되면서 X축 또는 Y축의 방향으로 레이저를 조사 가능한 레이저 광원과, 기판(1)으로부터의 반사광을 수광하는 수광수단으로 이루어지고, 특히 땜납이 인쇄된 땜납개소의 변위, 즉 땜납개소의 높이(Z축 방향)를 그 인쇄 땜납개소의 위치와 대응지어 측정한다. 그 때 땜납면으로부터는, 위치에 대응한 수광량(휘도)도 얻을 수 있다. 레이저 변위계로서의 상세한 동작설명은 생략하지만, 원리로서는, 동일 출원인이 출원하고 있는 일본 특허공개공보 평성 3-291512호의 것이 있다.The measuring means 2 in FIG. 1 is, as an example, a laser displacement meter by triangulation. The sensor is capable of irradiating a laser in the direction of the X-axis or the Y-axis while being scanned by the moving mechanism unit with respect to the substrate 1. A laser light source and light-receiving means for receiving the reflected light from the substrate 1, and in particular, the displacement of the solder point where the solder is printed, that is, the height (Z-axis direction) of the solder point corresponds to the position of the printing solder point. Measure In that case, the light reception amount (luminance) corresponding to a position can also be obtained from a solder surface. Although the detailed description of operation as a laser displacement meter is omitted, as a principle, there exists a thing of Unexamined-Japanese-Patent No. 3-291512 filed by the same applicant.

판정용 데이터(data) 생성수단(3)은, 측정수단(2)에서 측정된 측정값(일단, 도시하지 않는 기억수단에 기억해 둔다.)를 받고, 필터(filter), 땜납(solder) 브릿지(bridge)나 땜납 패턴 에지(pattern edge) 등의 섬세 패턴을 식별하는 감도를 나타내는 수많은 소정의 화상 파라미터(parameter)값을 기초로, 측정값을 각 인쇄된 땜납개소의 땜납량을 나타내는 판정용의 데이터, 즉 형상값으로 가공 처리한다. 또한, 판정용 데이터 생성수단(3)은, 땜납개소에 있어서의 땜납의 형상값을 나타내는 판정용의 데이터(형상값)로서 부피, 면적, 높이, 폭, 어긋남, 높이 얼룩짐 및/또는 결손(레이아웃 중에서 땜납개소가 있어야 할 개소에 땜납량이 없는 상태의 검출) 등을 연산에 의해 구하는 수단 등을 가지고 있다. 한편, 기판(1)의 양부를 판정하기 위해서는 상기 화상의 전부를 필요로 한다고는 할 수 없다. 단, 부피, 면적, 높이, 폭, 어긋남, 높이 얼룩짐 및/또는 결손 중, 적어도 어느 하나는 불가결하다. 또한, 판정용 데이터 생성수단(3)에 있어서의 메모리는, 연산에 의해 구한 각 형상값을 기억하기 위한 것이다.The determination data generating means 3 receives the measured value measured by the measuring means 2 (it is stored in a storage means not shown in the drawing), and a filter and a solder bridge ( Determination data representing the amount of solder at each printed solder point based on a number of predetermined image parameter values indicating sensitivity for identifying delicate patterns such as bridges and solder pattern edges. That is, it processes into a shape value. In addition, the determination data generating means 3 is data for determination (shape value) indicating the shape value of the solder in the soldering area. The volume, the area, the height, the width, the deviation, the height unevenness and / or the defect (layout) Means for determining, by calculation, a state in which the amount of solder is not present in a place where a solder point should be present. On the other hand, it cannot be said that all of the above images are required to determine the quality of the substrate 1. However, at least any one of the volume, the area, the height, the width, the deviation, the height unevenness and / or the defect is indispensable. Moreover, the memory in the determination data generation means 3 is for storing each shape value calculated | required by calculation.

이 판정용 데이터 생성수단(3)이 출력하는 판정용 형상값으로서는, ① 산출한 부피, 면적, 높이, 폭, 어긋남, 높이 얼룩짐 및/또는 결손을 절대값으로 나타낸 값을 출력한다. 또는/ 및 ② 상기 ①의, 특히 부피, 면적, 높이, 폭에 대해서, 미리 인쇄 땜납개소마다 설계된 부피, 면적, 높이, 폭의 설계값에 대한 비(예 : 어느 땜납개소에 있어서의 실측으로부터 산출한 부피값/해당 땜납개소에 있어서의 설계 가격인상의 부피값)로서, 설계값으로 기준화한 형상값으로 출력해도 좋다. 설계상의 값(이하, 설계값이라고 하는 경우가 있다)은, 도 1의 제어수단(8) 내의 설계정보기억수단(8a)에 기준 데이터(설계값 그 자체로서도 좋고, 설계한 것을 경험적 데이터로 보정한 것이라도 좋기 때문에, 기준 데이터로 하였다. 즉, 기준화하는 것은, 설계값으로 한정하는 것은 아니다.)로서 기억되고 있으므로, 그것을 받아 산출한다.As the determination shape value output by this determination data generating means 3, a value indicating the calculated volume, area, height, width, deviation, height unevenness and / or missing in absolute values is output. Or / and (2) the ratio of the design value of the volume, area, height, and width designed for each printing solder point in advance to the volume, area, height, and width of (1) above (e.g., calculated from actual measurement at any solder point). The volume value / volume value of the design price increase in the corresponding soldering point) may be output as the shape value standardized by the design value. The design value (hereinafter may be referred to as design value) is the reference data (which may be a design value itself, and is corrected by empirical data) in the design information storage means 8a in the control means 8 of FIG. 1. Since one may be used as reference data, that is, the reference is not limited to the design value.

한편, 후술하는 도수분포를 절대값의 도수(度數)분포로 구하는 경우는, 비교의 관점으로부터, 설계상 동일한 땜납형상의 개소를 선택하여 도수분포를 구할 필요가 있다(예를 들면, 복수의 기판(1) 사이에서 도수분포를 구하는 경우는, 동일 땜납개소의 도수분포). 도수분포를 기준화된 형상값으로 구하는 경우는, 동일형상으로 한정될 필요는 없다. 다만, 도수분포의 경향이 형상에 의해서 영향을 받기 쉬운 경우에는, 역시 동일한 형상을 갖는 땜납개소끼리에서의 도수분포를 구하는 것이 바람직하다. 여기에서는, 판정용 데이터 생성수단(3)이 출력하는 값은, 형상값의 속성으로부터, 부피, 면적, 높이, 폭에 관해서는 기준화된 값을 출력하여, 어긋남, 높이 얼룩짐(= 높이의 평균값/최대 높이)에 대해서는 절대값을 출력하는 것으로서 설명한다.On the other hand, when the frequency distribution mentioned later is calculated | required by the absolute frequency distribution, it is necessary from a viewpoint of a comparison to obtain the frequency distribution by selecting the same solder-shaped point by design (for example, several board | substrates). In the case of obtaining the frequency distribution between (1), the frequency distribution of the same soldering point). When the frequency distribution is obtained by the standardized shape value, it is not necessary to be limited to the same shape. However, when the tendency of frequency distribution is easy to be influenced by a shape, it is preferable to calculate the frequency distribution in the solder parts which also have the same shape. Here, the value output by the determination data generating means 3 outputs a standardized value with respect to volume, area, height, and width, from the attribute of the shape value, and shifts and unevenness (= average value of height). / Maximum height) is described as outputting an absolute value.

한편, 판정용 데이터 생성수단(3)은, 땜납 상태를 양(量)으로 나타내는 면적 이나 부피로 환산하여 평가하기 위한 것으로서, 예를 들면, 단순하게 높이만으로 평가하는 경우는 없어도 좋다. 다만, 이 경우, 후기(後記)하는 기준 데이터는, 높이에 대한 설계값(기준 데이터)이고, 판정수단(4)은 땜납 상태의 높이에 대해서 양부 판정을 실시하고, 연산수단(5)은, 높이에 대해서만 도수분포를 구하게 된다.On the other hand, the determination data generating means 3 is for evaluating the solder state in terms of the area or volume, which is represented by a positive amount, and may not be evaluated only by the height, for example. In this case, however, the reference data to be described later is a design value (reference data) with respect to the height, and the determination means 4 makes a determination on the height of the solder state, and the calculation means 5 The frequency distribution is obtained only for the height.

연산수단(5)은, 히스토그램 산출수단(5a)과 NG율 산출수단(5b)을 구비하고 있다. 히스토그램 산출수단(5a)은, 판정용 데이터 생성수단(3)으로부터 판정용의 형상값을 받고, 또한 제어수단(8)으로부터 그 형상값의 측정회수를 받아, 동일 형상값의 도수(빈도)의 분포를 산출한다. 그 때, 예를 들면, 대상으로 하는 형상값이 기준화한 형상값으로 부피비이면, 0.6(60%)으로부터 1.4(140%)까지 0.05(5%) 간격(16등분)의 형상값 범위의 도수를 구하여 분포로 한다(형상값이 절대값의 경우도 같다). 이 형상값 범위는 미리 설정되어 있는 것으로 한다(가변으로 해도 좋다.). 또한, 대상으로 하는 땜납형상에 대해서는, 다음의 (a)로부터 (d), (c) 중의 어느 하나의 분포를 생성한다. (a)로부터 (c)는, 땜납개소가 동일형상의 경우에 대한 분포를 구하는 경우이고, (d)는 동일기판(1) 내의 다른 형상을 포함하여 분포를 구하는 경우이다(상기한 바와 같이 형상값을 기준화하면, 구할 수 있다.). (a) 하나의 기판(1)으로부터 동일 형상의 형상값을 받아, 그 수 N이 N1회수의 분포를 생성한다. (b) 어느 하나의 땜납개소의 형상값을 동일 종류의 N매의 기판(1)에 걸쳐서 측정하여, 그 분포를 생성한다. (c) 하나의 기판(1)에서 동일한 형상값의 수가 N1로서, 또한 그것을 동일 종류의 N2매의 기판(1)을 측정하여, 그 N = N1×N2의 분포를 생성한다. 그리고 부피, 면적, 높이, 폭에 관해서는 기준화된 형상값의 분포를 어긋남, 높이 얼룩짐값 등에 대해서는 절대값의 분포를 선택적으로 생성한다(N1, N2 개별의 분포도 생성할 수 있다.) (d) 하나의 기판(1)의 모든 형상값의 수가 N3으로서, 또한 그것을 동일 종류의 N4매의 기판(1)을 측정하고, 그 N = N3×N4의 분포를 생성한다. 그리고 부피, 면적, 높이, 폭에 관해서는 기준화된 형상값의 분포를 어긋남, 높이 얼룩짐값 등에 대해서는 절대값의 분포를 선택적으로 생성한다(N3, N4 개별의 분포도 생성할 수 있다.). 연산수단(5)은 이러한 분포를 구할 때의 형상의 종류, 땜납개소의 위치, 땜납개소의 범위(상기 수 N1에 상당), 대상이 되는 기판(1)의 매수(상기 수 N2에 상당) 등의 지시는, 조작수단(9)으로부터 제어수단(8)을 경유하여 받아, 처리한다.The calculation means 5 is equipped with the histogram calculation means 5a and the NG rate calculation means 5b. The histogram calculating means 5a receives the shape value for determination from the determination data generation means 3 and receives the measurement frequency of the shape value from the control means 8, thereby determining the frequency of the same shape value. Calculate the distribution. In that case, for example, if the shape value to be used is the volume value at the shape value standardized, the frequency of the shape value range of 0.05 (5%) interval (16 equal parts) from 0.6 (60%) to 1.4 (140%) To obtain the distribution (even if the shape is an absolute value). This shape value range is set in advance (it may be variable). In addition, about the solder shape made into the object, distribution of any one of following (a) to (d) and (c) is produced | generated. (a) to (c) are the cases where the distribution for the case where the solder points are the same shape is obtained, and (d) is the case for obtaining the distribution including other shapes in the same substrate 1 (shape as described above). By standardizing the value, it can be obtained). (a) A shape value of the same shape is received from one substrate 1, and the number N produces a distribution of N1 times. (b) The shape value of any solder point is measured across the board | substrate 1 of N sheets of the same kind, and the distribution is produced | generated. (c) The same number of shape values in one substrate 1 is measured as N1, and the substrate 1 of the same kind of N2 sheets is measured to generate a distribution of N = N1 × N2. Then, the distribution of the standardized shape values in terms of volume, area, height, and width are shifted, and the distribution of absolute values is selectively generated in terms of the height unevenness value (individual distributions of N1 and N2 can also be generated.) (D ) The number of all the shape values of one substrate 1 is N3, and the substrate 1 of the same kind of N4 sheets is measured, and the distribution of N = N3 × N4 is generated. Then, the distribution of the standardized shape values for the volume, the area, the height, and the width are shifted, and the distribution of the absolute values is generated selectively for the height unevenness value (the individual distribution of N3 and N4 can also be generated). The calculation means 5 determines the kind of shape at the time of obtaining such a distribution, the position of the soldering point, the range of the soldering point (corresponding to the number N1), the number of sheets of the substrate 1 as the target (corresponding to the number N2), and the like. Is received from the operation means 9 via the control means 8 and processed.

도 2는, 실제로 부피의 도수분포의 표시예를 도시한 것이다. 도 2를 향해 좌측의 「측정범위」의 「범위지정」을 조작수단(9)로 선택하고, 또한 도 2를 향해 우측의 레이아웃 표시영역에 있어서, 조작수단(9)에 의해 범위지정 마커로 지정된 범위의 땜납개소 범위(도 2 중의 점선 내)에 대해서, 기판(1)의 측정매수 N에 대한 분포가 히스토그램 표시영역의 막대그래프로 나타나 있다. 도 2에서, 횡축이 기준화된 형상값으로서의 부피비(= 실측의 부피/설계값의 부피)로 16등분하여 표시하고, 세로축이 그 도수를 나타낸다. 도 2의 하단에 도시한 형상값을 선택하기 위한 선택키(조작수단(9)의 일부)를, 조작수단(9)에서 「부피」를 클릭하여 선택한 것이 도 2의 예이다. 다른 면적, 어긋남, 폭, 높이 얼룩짐을 클릭하면, 히스토그램 산출수단(5a)은, 해당하는 형상값의 도수분포를 산출하고, 표시제어수단(6)이 표시수단(7)에 표시시킨다. 도 2에서는, 또한 히스토그램 산출수단(5a)이 산출한 ±3σ (σ : 표준 편차값)에 대응하는 횡축의 위치에 표시제어수단(6)이 점선마커를 표시시키도록 제어하고 있다. 이것은 분포의 경향을 보는 기준이 되는 것이다.2 shows a display example of the frequency distribution of the volume. 2, the "range designation" of the "measurement range" on the left side is selected by the operating means 9, and further specified by the manipulation means 9 in the layout display area on the right side as the range designation marker. For the soldering range of the range (in the dotted line in FIG. 2), the distribution of the number of sheets N of the substrate 1 is shown by a bar graph in the histogram display area. In Fig. 2, the abscissa axis is divided into 16 equal parts by the volume ratio (= volume of actual measurement / design value) as a reference value, and the vertical axis represents the frequency. In the example of FIG. 2, a selection key (part of the operating means 9) for selecting the shape value shown in the lower part of FIG. 2 is selected by clicking &quot; volume &quot; When different areas, shifts, widths, and height unevenness are clicked, the histogram calculating means 5a calculates the frequency distribution of the corresponding shape values, and the display control means 6 causes the display means 7 to display them. In FIG. 2, the display control means 6 also controls the dotted line marker to be displayed at the position of the horizontal axis corresponding to ± 3σ (σ: standard deviation value) calculated by the histogram calculating means 5a. This is the basis for viewing the trend of the distribution.

한편, 히스토그램 표시영역의 「하한」 및 「상한」의 실선(막대) 마커는, 하한과 상한의 사이가 양부 판정으로 양(양호)이 되는 분포범위에서 하한과 상한을 넘은 범위가 양부판정에서 부(불량)가 되는 분포범위를 나타내는 표적이 되는 것이다. 도 2에서는, 「하한」 및 「상한」의 마커는, 화면 중앙의 하한값 80% 및 상한값 110%의 수치에 대응하는 위치를 나타낸다(수치를 조작수단(9)에 의해서 가변하면, 막대마커의 위치도 연동하여 가변한다.). 이번 수의 분포범위를 나타내는 상한값, 하한값은, 기준 데이터(설계값)로 기준화된 형상값 또는 기준 데이터(설계값)에 대한 비율(퍼센티지(percentage))로 나타난다(단위로서는, 상기의 형상값 범위와 같다.).On the other hand, in the "lower limit" and "upper limit" solid line markers in the histogram display area, a range exceeding the lower limit and the upper limit in the distribution range where the lower limit and the upper limit becomes positive (positive) by a positive judgment is negative. It becomes the target which shows the distribution range to become (bad). In FIG. 2, the markers of "lower limit" and "upper limit" indicate positions corresponding to the numerical values of the lower limit 80% and the upper limit 110% of the screen center (when the value is changed by the operation means 9, the position of the bar markers). It also works in conjunction with it.). The upper limit value and the lower limit value representing the distribution range of this number are represented by the shape value standardized by the reference data (design value) or the ratio (percentage) to the reference data (design value). Same as the range).

NG산출수단(5b)은, 히스토그램 산출수단(5a)의 산출분포와 조작수단(9)(예를 들면, 수치 키, 혹은 인코더(encoder)의 출력)으로부터, 원하는 도수의 분포범위를 상한값, 하한값(각각에 독립하여 설정된다. 후기와 같이 확정한 때에 허용값이 되는 값.)으로 나타나는 NG 데이터로서 받아, 그들 쌍방을 비교하여, 히스토그램 산출수단(5a)의 산출분포 중, 하한값과 상한값과의 사이에 들어가지 않는 범위에 대해서는, NG율(불량률)을 계산한다(히스토그램 산출수단(5a)의 산출분포 중, 하한값과 상한값과의 사이에 들어가는 범위에 대해서는, OK율을 산출해도 좋다.). 도 2를 향해 우측 란의 하단에, 조작수단(9)으로부터 입력된 상한값, 하한값을 나타내고, 상단에, NG율 산출수단(5b)이 산출한, 상한값을 넘은 +NG율과, 하한값을 밑도 는 -NG율을 표시하고 있다. 그리고, 도 2의 도수분포에는, 표시제어수단(6)이, 조작수단(9)으로부터 입력된 상한값, 하한값에 해당하는 횡축의 위치에 시인하기 위한 실선마커를 표시시키고 있다.The NG calculating means 5b sets an upper limit value and a lower limit value for the distribution range of the desired frequency from the calculation distribution of the histogram calculation means 5a and the operation means 9 (for example, the numeric keys or the output of an encoder). (It is set independently of each other. The value which becomes an allowable value at the time of confirmation as mentioned later.) It receives as NG data shown, compares both, and compares with a lower limit and an upper limit in the calculation distribution of the histogram calculation means 5a. NG rate (defective rate) is calculated about the range which does not fall in between (OK rate may be calculated about the range which falls between a lower limit and an upper limit in the calculation distribution of the histogram calculation means 5a). The upper limit value and the lower limit value input from the operation means 9 are shown at the lower end of the right column toward FIG. 2, and the + NG rate exceeding the upper limit and the lower limit value calculated by the NG rate calculation means 5b are shown below. Indicates the -NG rate. In the frequency distribution of FIG. 2, the display control means 6 displays a solid line marker for visual recognition at the position of the horizontal axis corresponding to the upper limit value and the lower limit value input from the operation means 9.

조작자가, 여러 가지 상한값, 하한값을 가변하여 시험해 보고, 최종적으로 적절하다고 인정되는 상한값, 하한값을 확정했을 경우(도 2의 확정 키를 조작수단(9)으로 클릭한 경우)는, 그 때의 하한값으로부터 상한값까지가, 그 형상값에 대한, 그 땜납형상이 있는 위치에 있어서의 땜납형상의 양부판정의 새로운 허용값(허용분포범위)가 된다. 즉, 도수분포는 설계값에 대한 실측값의 분포를 나타내는 것이기 때문에, 그 상한값, 하한값을 판정의 기준으로 하면, 그대로 허용값이 된다.When the operator experiments with various upper limit values and lower limit values, and finally determines the upper limit value and the lower limit value deemed appropriate (when the confirmation key in FIG. 2 is clicked on the operation means 9), the lower limit value at that time From the upper limit to the upper limit, a new allowable value (permissible distribution range) of the determination of the solder shape at the position where the solder shape is present with respect to the shape value. That is, since the frequency distribution shows the distribution of the measured value with respect to a design value, when the upper limit value and the lower limit value are used as a criterion of determination, it becomes an allowable value as it is.

또한, NG산출수단(5b)은, 히스토그램 산출수단(5a)의 도수분포를 산출한 후라면, 산출분포와 조작수단(9)으로부터 원하는 NG율이 입력되었을 때, 그 원하는 NG율과 도수분포를 기초로, 원하는 NG율에 대한 분포범위(상한값, 하한값)를 역산하여 그 결과 및 실선(막대)마커를 표시제어수단(6)에 보내서 표시시킬 수 있는 구성으로 해도 좋다. 그렇게 하면, 조작자는 하한값과 상한값(분포범위)을 가변하여 NG율을 알 수 있고, NG율을 가변하여 하한값과 상한값을 알 수도 있다(다만, 외관상은, 반드시 상기 역산을 하지 않아도 좋다. 즉, 하한값과 상한값을 주시하면서 하한값과 상한값을 가변하여 그 후에 NG율을 읽어내거나, NG율에 주시하면서 하한값과 상한값을 가변하여 그 후에 하한값과 상한값을 읽어내는 것에 의해서 달성할 수 있다.). 따라서, 본 발명에 의하면, 조작자가 허용값 분포범위(하한값, 상한값)를 설정하는 사고착오의 과정을 지원할 수 있다.If the NG calculation means 5b calculates the frequency distribution of the histogram calculation means 5a, the desired NG rate and the frequency distribution are calculated when the desired NG rate is input from the calculation distribution and the operation means 9. On the basis of this, it is possible to obtain a configuration in which the distribution range (upper limit value, lower limit value) for the desired NG rate is inverted, and the result and the solid line (bar) marker are sent to the display control means 6 for display. In doing so, the operator may know the NG rate by varying the lower limit and the upper limit (distribution range), and may know the lower limit and the upper limit by varying the NG rate (however, the inverse may not necessarily be performed. This can be achieved by varying the lower limit and the upper limit while watching the lower limit and the upper limit, and then reading the NG rate, or by varying the lower limit and the upper limit while keeping an eye on the NG rate. Therefore, according to the present invention, it is possible for the operator to support the process of accident and error setting the allowable value distribution range (lower limit value, upper limit value).

판정수단(4)은, 판정용 데이터 생성수단(3)으로부터의 실측의 땜납개소에 대한 땜납의 형상값과 그에 대한 허용값의 디폴트값을 제어수단(8)으로부터 받고, 또는 조작수단(9)에 의해 확정한 허용값을 받아, 그 중 어느 하나를 비교하여, 허용값 내(內)이면, 그 땜납개소의 형상값에 관해서 '양'이라고 판정하고, 허용값 외(外)이면 불량으로 판정하여, 그것을 기판(1) 전체의 땜납개소에 대해서 판정하는 것에 의해 최종적인 양부판정을 행하는 것이다. 허용값 변경수단(10)은 허용값의 디폴트값이나, 확정한 허용값의 어느 한쪽을 선택하기 위한 것으로, 당초는 디폴트값으로 하여 확정이 있은 경우는, 그 확정한 허용값을 우선적으로 판정수단(4)에 보내도록 해도 좋다. 한편, 판정수단(4)과 연산수단(5)은 함께 구성해도 좋다. 연산수단(5)에 있어서도 상한값과 하한값으로 나타나는 분포범위 내에 있는지의 판정을 하고 있는 것은 같고, 차이는 연산수단(5)이 또한 도수분포를 구하기 위한 통계처리를 실시하고 있는 것이다.The judging means 4 receives from the control means 8 the default value of the shape value of the solder with respect to the actual solder position from the judging data generating means 3 and the allowable value thereof, or the operation means 9 Receives the allowable value determined by, and compares any of them, and if it is within the allowable value, determines that the shape value of the soldering point is 'amount', and if it is outside the allowable value, it is determined to be defective. Then, the final quality determination is performed by determining the solder location of the entire substrate 1. The allowable value changing means 10 is for selecting either the default value of the allowable value or the determined allowable value, and in the case where there is a determination as the default value initially, the determined allowable value is preferentially determined. You may send to (4). In addition, you may comprise the determination means 4 and the calculation means 5 together. The calculation means 5 also determines whether it is within the distribution range represented by the upper limit value and the lower limit value. The difference is that the calculation means 5 performs statistical processing for obtaining the frequency distribution.

또한, 판정수단(4)은, 판정용 데이터 생성수단(3)으로부터의 실측 땜납개소(땜납위치)에 대한 땜납의 형상값에 대한 양부판정을 실시하는 것으로부터, 반대 즉, 불량으로 판정된 땜납개소를 특정할 수 있다. 따라서, 표시제어수단(6)은, 제어수단(8)으로부터 땜납개소를 나타내는 레이아웃을 받아, 그 레이아웃을 표시시키는 것과 함께, 그 레이아웃 상에 불량으로 판정된 땜납개소를 가리킬 수 있다. 또한, 하한값, 상한값의 허용범위가 바뀌면 판정수단(4)의 판정결과도 바뀌고, 그 불량으로 판정된 땜납개소도 바뀌므로, 조작자는 하한값, 상한값과 땜납 불량개소를 링크(link)하여 인식할 수 있다.In addition, the determination means 4 performs the determination of the quality of the solder with respect to the actual solder position (solder position) from the determination data generation means 3, and determines the opposite, that is, the solder determined as defective. The point can be specified. Therefore, the display control means 6 receives the layout which shows a solder point from the control means 8, displays the layout, and can point out the solder point judged as defective on the layout. In addition, when the allowable range of the lower limit value and the upper limit value is changed, the determination result of the determination means 4 is also changed, and the solder points determined as the defects are also changed. have.

표시제어수단(6)은 상기한 바와 같이, 도 2와 같은 표시용의 포맷(format)을 구비하고 있는 것과 함께 조작수단(9)으로부터의 상한값, 하한값의 NG데이터를 도수분포의 횡축 좌표에 할당하여 마커로서 표시하고 있다. 마찬가지로 조작수단(9)으로부터의 지시에 의해서, 측정하고자 하는 기판(1)의 레이아웃을 제어수단(8)으로부터 받아 표시시키는 것과 함께, 조작수단(9)으로부터의 측정범위를 나타내는 범위지정 마커의 크기, 위치를 영역(area)(도 2의 점선)으로 표시한다. 그 외, 조작수단(9)과 제어수단(8)간의 정보전달을 실시한다. 또한, 도 7과 같이(상세한 것에 대하여는 후기한다.) 판정수단(4)에 의한 땜납위치마다의 NG의 판정 결과를 설계정보기억수단(8a)에 기억되고 있는 레이아웃(기판(1)의 배치, 치수, 땜납위치)에 대응지어 표시수단(7)에 표시시켜도 좋다. 도 7의 레이아웃의 검은색이 칠해져 메워진 부분이, NG인 것을 나타낸다.As described above, the display control means 6 has a display format as shown in FIG. 2 and assigns NG data of the upper limit value and the lower limit value from the operation means 9 to the horizontal axis coordinates of the frequency distribution. To display as a marker. Similarly, by the instruction from the operating means 9, the layout of the substrate 1 to be measured is received from the control means 8 and displayed, and the size of the range designation marker indicating the measurement range from the operating means 9 is displayed. , The position is indicated by an area (dashed line in FIG. 2). In addition, information transfer is performed between the operation means 9 and the control means 8. In addition, as shown in FIG. 7 (the details will be described later), the layout (the arrangement of the substrates 1, which stores the determination result of NG for each solder position by the determination means 4 in the design information storage means 8a). The display means 7 may be displayed in correspondence with the dimensions and solder positions. The black part of the layout of FIG. 7 is filled and filled with NG.

또한, 표시제어수단(6)은 조작수단(9)과 표시수단(7)으로 이루어지는 유저 인터페이스와 연산수단(5) 및 판정수단(4) 등을 묶어 링크시키고 있다. 즉, 상기한 조작수단(9)으로부터 입력(변경)된 NG율 또는 허용값 분포범위(상한값, 하한값)를 받아, 연산수단(5)에 보내 그 결과적으로 산출된 허용값 또는 NG율을 표시수단(7)에 표시시키는 링크 역(役)을 담당하고 있다. 마찬가지로, NG율을 조작수단(9)으로 가변 입력한 때의 판정수단(4)의 판정결과에 기초하는 불량 개소의 레이아웃 표시에 있어서도 링크 역을 담당하고 있다.In addition, the display control means 6 bundles and links the user interface which consists of the operation means 9 and the display means 7, the calculation means 5, the determination means 4, etc. That is, the NG rate or the allowable value distribution range (upper limit, lower limit value) input (modified) from the operation means 9 is received and sent to the calculation means 5 to display the resultant allowable value or NG rate as a result. We are in charge of link station to display in (7). Similarly, it is in charge of the link station also in the layout display of the defective part based on the determination result of the determination means 4 at the time of variablely inputting the NG rate into the operation means 9.

설계정보기억수단(8a)이 기억하고 있는 내용의 개요의 일부는, 상기에 설명이 끝난 상태이므로, 설명하고 있지 않는 부분에 대해 설명한다. 설계정보기억수 단(8a)은, 상기 판정용 형상값과 같은 종류의 설계값, 즉, 땜납개소의 부피, 면적, 높이, 폭, 어긋남에 대한 땜납위치 등에 대한 설계값을 기준 데이터로서 땜납개소(위치)에 대응하여 기억되어 있다. 실용상은, 설계정보기억수단(8a)은 검사 대상으로 하는 기판(1)의 종류마다 레이아웃(기판(1)의 배치도, 치수, 땜납위치 등)을 기억하고, 검사 개시시는 기판(1)의 종류 리스트를 표시수단(7)에 표시하며, 조작수단(9)에서 선택 가능하게 되고 있다.A part of the outline of the contents stored in the design information storage means 8a has been described above, and therefore, the parts not described will be described. The design information storage stage 8a uses a design value of the same kind as the determination shape value, that is, a design value for a solder position, such as a volume, an area, a height, a width, and a solder position for misalignment, as reference data. It is stored corresponding to (position). In practical use, the design information storage means 8a stores a layout (arrangement, dimensions, solder positions, etc. of the substrate 1) for each type of substrate 1 to be inspected, and at the start of inspection, The list of kinds is displayed on the display means 7, and the operation means 9 can select the type list.

제어수단(8)은, 표시제어수단(6)을 경유하여 조작수단(9)으로부터의 정보를 받아 각 부(部)가 처리하는데 필요한 정보를 보내는 것과 함께, 각 부의 상기 동작을 통괄 제어하고 있다. 예를 들면, 측정 개시전은 조작수단(9)에서 지정된 기판(1)의 레이아웃 정보를 설계정보기억수단(8a)으로부터 읽어내어, 표시제어수단(6)에 보내 표시시킨다. 또한, 조작수단(9)에서 지정된 땜납범위(땜납개소), 형상값, NG데이터 등을 각 부에 보낸다. 지정된 기판(1)의, 또한 지정된 범위에 있어서의 땜납개소의 레이아웃에 따라서 측정부(2)에 조작 측정시키는 것과 함께, 그 범위에 있어서의 땜납개소의 기준 데이터를 판정용 데이터 생성수단(3)에 보내 판정용의 데이터(형상값)를 생성시킨다.The control means 8 receives the information from the operation means 9 via the display control means 6, sends the information necessary for each part to process, and controls the operation of each part collectively. . For example, before measurement start, the layout information of the substrate 1 designated by the operation means 9 is read out from the design information storage means 8a, and sent to the display control means 6 for display. Moreover, the solder range (solder point), shape value, NG data, etc. which were designated by the operation means 9 are sent to each part. In addition, the measurement unit 2 is operated to measure the measurement unit 2 according to the layout of the solder locations in the designated range and the reference data of the solder locations in the range is determined. Is sent to generate data (shape value) for judgment.

조작수단(9)에 대해서는, 상기 각 부의 설명에서 일부 설명하고 있지만, 정리하면, 다음의 ①부터 ④에서 나타나는 조작을 한다. ① 도 2에도 나타나 있지만, 측정대상으로 하는 기판(1)의 특정, 측정범위가 부분범위 지정인지 전면인지 중의 어느 하나의 선택, 측정범위가 부분범위 지정의 경우는 범위지정 마커(16)를 이동설정(즉, 도 2의 땜납개소(14)의 위치, 땜납개소의 범위를 지정), 기판(1)의 매수의 입력, ② 분포를 구하는 형상값의 선택(도 2 의 하단참조), ③ 분포의 하한값, 상한값을 가리키는 마커의 설정(즉, NG데이터의 설정), 또한 ④ NG율의 변경입력.The operation means 9 is described in part in the description of the above sections, but in summary, the operations shown in the following ① to ④ are performed. 1, although the selection of any one of the specification of the substrate 1 to be measured, whether the measurement range is partial range designation or the entire surface, and the measurement range designation of the partial range move the range designation marker 16. Setting (i.e., designating the position of the soldering point 14 in FIG. 2, specifying the range of the soldering point), inputting the number of sheets of the substrate 1, selecting the shape value for obtaining the distribution (see the lower part of FIG. 2), and the distribution. Setting of markers indicating the lower limit and the upper limit of the (i.e. setting of NG data), and ④ change input of NG rate.

상기 구성에 있어서의, 측정수단(2)의 일부, 판정용 데이터 생성수단(3), 연산수단(5), 판정수단(4), 제어수단(8) 및 표시제어수단(6)은, CPU 및 그 CPU에 상기 설명의 기능을 동작시키기 위한 프로그램을 기억한 메모리(ROM), 및 상기 기능동작 과정에서 데이터를 저축하는 메모리(RAM) 등으로 구성된다.In the above configuration, part of the measuring means 2, the determination data generating means 3, the calculating means 5, the determining means 4, the control means 8 and the display control means 6 are CPUs. And a memory (ROM) storing a program for operating the functions described above in the CPU, a memory (RAM) storing data in the process of operating the function, and the like.

다음에, 도 3을 기초로 도 1의 실시형태의 주된 동작의 일련의 흐름을 설명한다. 도 3의 S번호는, 하기의 스텝 S번호와 같다.Next, a series of flows of the main operations of the embodiment of FIG. 1 will be described based on FIG. 3. S number of FIG. 3 is the same as the following step S number.

스텝 S1(준비단계) : 미리 설계정보기억수단(13)에, 검사위치에 배치된 상태에 있어서의 기판(1)의 명칭(식별부호), 그 레이아웃으로서 치수를 포함하는 외형정보, 기판(1) 상의 땜납개소의 위치정보를 기억해 둔다(복수의 땜납개소를 갖는 한 장의 기판(1), 혹은 동일 종류로 복수매의 기판(1)을 대상으로 한다.). 또한 기판(1)의 각 땜납개소에 있어서의 땜납의 형상값에 대한 기준 데이터(땜납의 높이, 면적, 부피, 어긋남, 높이 얼룩짐, 결손 등의 설계값)를 기억해 둔다. 또한, 기판(1)의 각 땜납개소에 있어서의 땜납의 형상값에 대한 허용값(상한값, 하한값)의 디폴트값을 기억해 두어도 좋다.Step S1 (preparation step): name (identification code) of the board | substrate 1 in the state arrange | positioned at the test | inspection position in the design information storage means 13 beforehand, external information including dimensions as a layout, and the board | substrate 1 The positional information of the solder points on the () is stored (a single board 1 having a plurality of solder points or a plurality of boards 1 of the same type). In addition, reference data (design values such as height, area, volume, misalignment, height unevenness, and defect of the solder) of the shape values of the solder at the solder points of the substrate 1 are stored. In addition, you may store the default value of the permissible value (upper limit, lower limit) with respect to the shape value of the solder in each soldering part of the board | substrate 1. As shown in FIG.

스텝 S2(입력조작단계) : 전원 온 후, 표시제어수단(6)은, 예를 들면, 도 2의 히스토그램 분포가 나타나지 않고, 또한, 레이아웃이 표시되어 있지 않은 상태의 설정화면을 표시한다. 조작자는, 조작수단(9)에 의해, 검사위치에 둔 기판(1) 의 명칭, 측정범위, 매수를 지정한다. 도 2의 「측정범위」로서 「범위지정」을 선택하면, 그 기판(1)의 레이아웃이 표시되므로, 그 표시된 레이아웃상에 범위지정 마커(16)(도 2의 점선)로, 분포를 측정하고자 하는 땜납개소의 범위, 위치를 지정하고, 형상 선택키(12)(도 2의 하단을 참조)로 형상(예를 들면 「부피」)을 클릭하여 지정한다.Step S2 (input operation step): After the power is turned on, the display control means 6 displays a setting screen in a state where, for example, the histogram distribution of FIG. 2 does not appear and the layout is not displayed. The operator specifies, by the operating means 9, the name, measurement range, and number of sheets 1 placed at the inspection position. When "Range designation" is selected as the "measurement range" in Fig. 2, the layout of the substrate 1 is displayed, so that the distribution marker 16 (dotted line in Fig. 2) is to measure the distribution on the displayed layout. The range and position of the soldering point to specify are specified, and the shape (for example, "volume") is clicked and specified with the shape selection key 12 (refer to the lower part of FIG. 2).

스텝 S3(테스트 측정단계) : 제어수단(8)은, 조작수단(9)으로부터, 예를 들면, 「NG설정」이라고 하는 명령을 받았을 때, 측정수단(2)에, 측정을 지정된 땜납개소의 범위(위치의 범위 : 이하, 측정범위라고 하는 경우가 있다.)에 대해서 측정을 개시시키고, 또한 판정용 데이터 생성수단(3)에 기준 데이터를 보내고, 또한 연산수단(5)에 형상값, 지정된 범위와 측정 매수(측정회수), 및 NG데이터 등을 보내어 기판(1)에 대해 도수분포의 형성에 필요한 데이터를 수집한다. 여기에서는, 측정수단(2)은, 제어수단(8)의 지시에 의해, 예를 들면, 상기 (c)의 하나의 기판(1)과 동일한 형상값의 수가 N1이고, 또한 그것을 동일 종류의 N2매의 기판(1)을 측정하여, 그 N=N1×N2의 데이터를 측정하는 것으로 한다.Step S3 (test measurement step): When the control means 8 receives a command of, for example, "NG setting" from the operation means 9, the measurement means 2 measures the measurement of the solder point. The measurement is started for the range (range of position: sometimes referred to as measurement range), and the reference data is sent to the determination data generating means 3, and the shape value and the designated value are given to the calculation means 5. The range, the number of measurements (number of measurements), NG data, and the like are sent to collect data necessary for forming the frequency distribution on the substrate 1. Here, the measuring means 2 is, by the instruction of the control means 8, for example, the number of the same shape values as the one substrate 1 of the above (c) is N1, and the same kind of N2. It is assumed that the substrate 1 of each sheet is measured, and the data of N = N1 × N2 is measured.

측정용 데이터 생성수단(3)은, 측정수단(2)으로부터의 측정 데이터와, 지정된 측정 범위 내의 땜납개소의 기준 데이터를 받아, 지정된 형상에 대한 형상값을 출력한다. 예를 들면, 지정된 형상이 부피, 면적, 높이, 폭 중의 어느 하나이면 측정값로부터 산출한 절대값으로서의 형상값과 설계값과의 비를 산출하고, 그것을 기준화된 형상값으로서 출력하여, 어긋남, 높이 얼룩짐의 어느 하나이면 그 절대값으로 나타나는 형상값을 출력한다.The measurement data generation means 3 receives the measurement data from the measurement means 2 and the reference data of the solder point within the specified measurement range, and outputs the shape value for the specified shape. For example, if the specified shape is any one of volume, area, height, and width, the ratio between the shape value as the absolute value calculated from the measured value and the design value is calculated, and it is output as the standardized shape value, and the deviation, If any of the height spots is present, the shape value represented by the absolute value is output.

스텝 S4(히스토그램 산출단계) : 히스토그램 산출수단(5a)은, 판정용 데이터 생성수단(3)으로부터의 형상값을 받고, 또한 제어수단(8)으로부터 그 형상값의 측정회수를 받아, 동일형상값의 도수분포를 산출한다. 그 때, 측정회수 N=N1×N2의 전부에 대한 도수분포, 또는 어느 하나의 기판(1)에 있어서의 측정회수 N1에 대한 도수분포, 또는 하나의 땜납개소의 측정회수 N2에 대한 도수분포 중 어느 하나, 또는 전부를 구할 수도 있다. 또한, 도수분포를 구하는 형상값에 대해서도, 부피, 면적, 높이, 폭(이상은, 기준화된 형상값), 어긋남, 높이 얼룩짐(이상은, 절대값으로서의 형상값)의 어느 하나, 또는 전부에 대해 구할 수 있다.Step S4 (Histogram Calculation Step): The histogram calculation means 5a receives the shape value from the determination data generation means 3 and receives the measurement number of the shape value from the control means 8, and the same shape value. Calculate the frequency distribution of. At that time, the frequency distribution for all the measurement times N = N1 × N2, the frequency distribution for the measurement frequency N1 on any one substrate 1, or the frequency distribution for the measurement frequency N2 for one soldering point, Either or all may be obtained. In addition, also about the shape value which calculates the frequency distribution, in any one or all of volume, area, height, width (above, the standardized shape value), a shift | offset | difference, and height unevenness (above, shape value as an absolute value) Can be obtained.

스텝 S5 (분포표시단계) : 상한값, 하한값의 NG데이터가 입력되고, 표시제어수단(6)이 선택된 형상값의 소정의 형상값 범위에 걸쳐서 측정회수(실측의 형상값의 표본수)에 대해(예 : 형상값 범위가 60%∼140%, 측정회수가 N회)의 도수분포를, 도 2에 도시한 바와 같이 미리 준비된 포맷으로 표시수단(7)의 히스토그램 표시영역(10)에 표시시킨다(분포표시단계).Step S5 (distribution display step): NG data of the upper limit value and the lower limit value is input, and the display control means 6 measures the number of times of measurement (the number of samples of the measured shape value) over the predetermined shape value range of the selected shape value (Example : A frequency distribution having a shape value range of 60% to 140% and N measurement counts is displayed on the histogram display area 10 of the display means 7 in a format prepared in advance as shown in FIG. 2 (distribution). Display step).

스텝 S6(상, 하한값 변경(입력)단계) : 조작자는, 도 2와 같이 표시된 부피의 도수분포, 마커 및 수치의 상한값, 하한값을 시인하면서, 조작수단(9)으로부터 그 상한값, 하한값을 입력한다. 다른 형상값에 있어서도 같다.Step S6 (upper and lower limit value change (input) step): The operator inputs the upper limit value and the lower limit value from the operating means 9 while visually recognizing the frequency distribution, the marker and the upper limit value and the lower limit value of the volume as shown in FIG. 2. . The same applies to other shape values.

스텝 S7(NG율 산출단계) : NG산출수단(5b)은, 히스토그램 산출수단(5a)이 산출한 도수분포와 조작수단(9)으로부터 입력된 상한값 또는 하한값과 비교하고, 하한값과 상한값을 넘은 영역에 분포하는 도수분포에 대해서는, NG율(불량률)을 계산하여, 표시제어수단(6)을 통해 도 2에 도시한 바와 같이 표시수단(7)에 수치표시시 킨다(NG율 산출단계).Step S7 (NG rate calculating step): The NG calculating means 5b compares the frequency distribution calculated by the histogram calculating means 5a with the upper limit value or the lower limit value input from the operating means 9, and the area exceeding the lower limit value and the upper limit value. For the frequency distribution distributed at, the NG rate (defective rate) is calculated and numerically displayed on the display means 7 as shown in FIG. 2 via the display control means 6 (NG rate calculating step).

스텝 S8, S6, S7, S9 (확정단계) : 조작자는, 표시된 NG율, 상한값, 하한값 및 도수분포를 시인하면서, 조작수단(9)에 의해 상한값, 하한값을 변경하여 상기 스텝 S6, S7을 반복하여, 적절한 상한값, 하한값이 되면 확정키를 클릭(도 2 참조) 확정한다. 그 때, 상기 스텝 S6, S7은, 거의 구체적으로, 리얼타임으로 실시되므로, 조작자는 상한값, 하한값을 주시하고 그것을 가변하여, NG율의 변화를 알 수도 있고, NG율에 직접 주시해서 상한값, 하한값을 가변하여(언뜻 보아 NG율을 가변하고 있는 것 같이 보인다.), 적절한 NG율일 때에 상한값, 하한값(허용값 분포범위)를 읽어내는 것에 의해, NG율로부터 상, 하한값을 구할 수도 있다.Steps S8, S6, S7, S9 (Confirmation Step): The operator changes the upper limit value and the lower limit value by the operating means 9 and repeats the steps S6, S7 while viewing the displayed NG rate, upper limit value, lower limit value, and frequency distribution. When the upper limit value and the lower limit value are appropriate, the determination key is clicked (see Fig. 2). At this time, since the steps S6 and S7 are performed in almost real time, the operator observes the upper limit value and the lower limit value and varies it, so that the operator may know the change in the NG rate. The upper and lower limit values can also be obtained from the NG rate by varying the value of (which at first glance seems to be varying the NG rate) and by reading the upper limit value and the lower limit value (allowable distribution range) at the appropriate NG rate.

스텝 S10(검사 측정단계) : 확정한 허용값 분포범위의 상한값, 하한값을 기초로, 확정시의 도수분포의 대상이 된, 기판의 종류, 땜납개소, 형상값에 대한 새로운 허용값, 허용값 변경수단(10)에 의해서, 판정수단(4)에 설정된다. 따라서, 판정수단(4)은, 그 후, 새롭게 측정이 이루어졌을 때, 해당 대상 종류인 기판(1)에서, 해당 대상의 땜납개소의 해당 대상의 형상값을 측정했을 때는, 그 확정한 새로운 허용값을 기초로 양부판정한다.Step S10 (Inspection Measurement Step): Based on the upper limit value and the lower limit value of the determined allowable value distribution range, the new allowable value and allowable value change for the substrate type, solder point, and shape value subjected to the frequency distribution during the determination. By the means 10, it is set to the determination means 4. Therefore, when the measurement means 4 measures a new shape after that, when the shape value of the said target object of the soldering point of the said target object was measured on the board | substrate 1 which is the said target kind, the determined new tolerance was determined. It is judged based on the value.

상기 설명에서는, 테스트 측정하여 그 형상값의 도수분포를 기초로 새로운 허용값을 확정하고, 그 허용값에 기초하여 새로운 측정(예를 들면, 본 시험을 위한 측정)에 대해 판정하는 것을 서술했지만, 예를 들면, 이미 디폴트값으로 검사대상으로서 측정(본 시험의 측정) 판정을 실시한다. 그리고, 판정된 기판(1)군(群)에 대해 조사하면 어느 형상값에 대해 특정의 NG율(판정수단(4)에서 NG가 된 비율)에 대해서 보다 구체적으로 조사해보고 싶은 경우에, 그 도수분포를 산출표시시켜 그 경향을 보고, 품질에 이상이 없는 범위에서 상한값, 하한값을 가변해 보고 NG율을 검토하는 것에 의해, 적절한 허용값(상한값, 하한값)를 재설정하여, 이미 측정, 판정한 기판(1)군의 판정결과를 재검토하기 위해서, 본 실시형태를 이용할 수도 있다.In the above description, it has been described that the test measurement is performed to determine a new allowable value based on the frequency distribution of the shape value, and to determine a new measurement (for example, a measurement for the present test) based on the allowable value. For example, measurement (measurement of this test) is already performed as a test object with a default value. Then, when the determined group of substrates 1 is irradiated, the frequency is determined when the specific NG ratio (ratio of becoming NG in the determination means 4) is investigated in detail with respect to a certain shape value. By calculating and displaying the distribution, viewing the trend, changing the upper and lower limits in a range where there is no abnormality in quality, and examining the NG rate, the appropriate allowable values (upper and lower limits) are reset, and the substrates that have already been measured and determined In order to review the determination result of group (1), this embodiment can also be used.

그 예를 도 4를 이용하여 설명한다. 도 4에 있어서의 스텝 S24∼S30은, 도 3에 있어서의 스텝 S3∼S9와 같은 기능으로 설명을 생략한다. 이하, 도 4를 기초로 도 3과 다른 부분을 중심으로 설명한다.An example thereof will be described with reference to FIG. 4. Steps S24-S30 in FIG. 4 abbreviate | omit description by the same function as step S3-S9 in FIG. Hereinafter, with reference to FIG. 4, it demonstrates centering on a different part from FIG.

스텝 S21 : 예를 들면, 시험하고자 하는 기판에 대해서, 최초부터 본래의 검사목적의 측정을 실시한다. 그리고 측정하고 연산하여 구한 판정용의 데이터인 각 형상값을 메모리에 기억하는 것과 함께, 판정수단(4)에서 판정하여 결과를 표시한다.Step S21: For example, the original inspection object is measured from the beginning on the substrate to be tested. And each shape value which is the data for determination which measured and calculated | required and calculated | required is memorize | stored in memory, and it judges by the determination means 4, and displays a result.

스텝 S22 : 조작자가 판정결과에 의문점이 있는지 없는지 고찰하여, 세부를 조사, 검토할 필요가 없다고 하면 그 시점에서 검사를 종료하고, 조사를 필요로 하면 스텝 S24로 진행된다.Step S22: If the operator considers whether there is a question in the determination result, and if there is no need to examine and examine the details, the inspection is terminated at that point.

스텝 S24∼S30 : 조작자는 조사해 보고 싶은 땜납개소범위(측정범위)와 형상값을 지정하여 메모리로부터 읽어내게 하고, 그 히스토그램을 표시시키며, 또한, NG율을 변경해 보고 적절한 상한값, 하한값을 조사한다.Steps S24 to S30: The operator designates the solder point range (measurement range) and shape value to be examined and reads it from the memory, displays the histogram, changes the NG rate, and examines the appropriate upper and lower limits.

스텝 S31 : 조사한 후에 새로운 상한값, 하한값을 확정했을 때, 조작에 의해 재판정을 지시하는 것에 의해 허용값 변경수단(10)이 판정수단(4)에 스텝 S24에서 지정된 범위의 땜납개소의 지정된 형상값의 상한값, 하한값을 확정한 허용값 분포범위의 상한값, 하한값으로 변경 설정한다. 그리고, 판정수단(4)이 재판정 지시를 받은 메모리로부터 그 지정된 범위의 땜납개소의 지정된 형상값을 받아, 변경 설정된 새로운 상한값, 하한값과 비교하여 양부 판정하여 출력, 표시시킨다.Step S31: When the new upper limit value and the lower limit value are determined after the irradiation, the allowable value changing means 10 instructs the judging by the operation to determine the determined shape value of the solder point in the range specified in the step S24 in the determination means 4. Change the upper and lower limit values to the upper and lower limits of the allowable distribution range. Then, the judging means 4 receives the specified shape value of the soldering point in the designated range from the memory which has received the judging instruction, compares it with the new set upper limit value and the lower limit value, and outputs and displays it.

다음에, 도 5 및 도 6을 기초로, 다른 실시형태(다른 사용예를 포함한다)를 설명한다. NG율과 허용값이 연동하는 구성에 더하여, 이 외의 실시형태는, 또한 NG개소도 연동하여 알 수 있도록 한 구성이다. 도 5는 다른 실시형태를 설명하는데 있어서 도 1의 구성의 일부를 보다 강조한 기능블록이다. 그 강조한 점은, 판정수단(4)에 NG개소 특정수단을 설치한 것, 판정용 데이터의 메모리에 조작수단(9)으로부터의 땜납개소 범위의 지시가 있는 것이다. 도 6은, 그 동작 플로우를 도시한다. 도 6 중에서 도 3과 동일번호의 스텝은 동일한 동작을 한다. 도 7은, 도 5의 구성에 있어서의 다른 실시형태의 표시예이다. 도 6을 중심으로, 또한 도 3 과 다른 부분을 주로 해서 이하에 동작을 설명한다.Next, another embodiment (including other usage examples) will be described based on FIGS. 5 and 6. In addition to the configuration in which the NG rate and the allowable value work together, the other embodiments are configured so that the NG location can also be known in conjunction. FIG. 5 is a functional block emphasizing a part of the configuration of FIG. 1 in describing another embodiment. It is emphasized that the NG point specifying means is provided in the determination means 4, and the solder point range from the operation means 9 is instructed in the memory of the determination data. 6 shows its operation flow. Steps of the same reference numerals as those in Fig. 6 perform the same operation. FIG. 7 is a display example of another embodiment in the configuration of FIG. 5. FIG. With reference to FIG. 6 mainly and a part different from FIG. 3, operation | movement is demonstrated below.

스텝 S2a(입력 조작단계) : 예를 들면, 기판(1)의 전면(일부의 범위라도 좋다)의 땜납개소, 매수를 지정하고, 또한 복수 형상값을 지정한다.Step S2a (input operation step): For example, the soldering point and the number of sheets of the entire surface of the substrate 1 may be specified, and a plurality of shape values are specified.

스텝 S3a (측정단계) : 측정하여, 판정용 데이터 생성수단(3)은, 지정된 땜납개소의 지정된 형상값을 연산하여 구하고, 메모리에 기억한다. 판정수단(4)은, 각 땜납개소마다, 각 형상값마다에 디폴트의 상한값, 하한값을 허용값으로서 판정하고, 출력하며, 판정결과를 표시제어수단(6)에 표시시킨다.Step S3a (measurement step): By measuring, the determination data generating means 3 calculates and calculates the specified shape value of the designated soldering point and stores it in the memory. The determination means 4 determines the default upper limit value and the lower limit value as the allowable value for each of the soldering points, and for each shape value, and outputs the determination result to the display control means 6.

스텝 S3b : 분포를 조사하고 싶은 땜납개소(범위) 및 형상을 지정한다.Step S3b: Specify the solder point (range) and shape for which the distribution is to be examined.

스텝 S4∼S7 : 지정된 측정범위 및 형상값에 대해서 히스토그램을 산출하여 분포를 표시하는 것과 함께, 디폴트의 상한값, 하한값 또는 변경 입력된 상한값, 하한값에 대해서 NG율을 산출하여 표시시킨다.Steps S4 to S7: The histogram is calculated and displayed for the specified measurement range and shape value, and the NG rate is calculated and displayed for the default upper limit value, lower limit value, or changed input upper limit value and lower limit value.

스텝 S8a : NG율을 바꾸어 보고 싶은 경우는 스텝 S6으로 되돌아와, 조작자가 표시화면의 분포를 보면서 상한값, 하한값을 나타내는 각 마커를 변경하여 설정한다. 그리고 변경한 상한값, 하한값에 대한 NG율을 구하여 표시시킨다.Step S8a: When it is desired to change the NG rate, the process returns to step S6, where the operator changes and sets each marker indicating the upper limit value and the lower limit value while viewing the distribution of the display screen. The NG rate for the changed upper limit value and lower limit value is obtained and displayed.

스텝 S11 : 지정된 범위의 지정된 형상값을 메모리로부터 읽어내고, 판정수단(4)이 다시 스텝 S8a에서 확정한 상한값, 하한값을 새로운 허용값으로서 판정한다. Step S11: The designated shape value of the specified range is read from the memory, and the determination means 4 again determines the upper limit value and the lower limit value determined in step S8a as new allowable values.

스텝 12 : 판정수단(4)은, NG개소 특정수단에 의해 제어수단(8)으로부터 받은 레이아웃상의 NG개소의 땜납위치를 특정한다. 그러한 특정한 정보를 표시제어수단(6)을 통하여 표시수단(9)에 표시시킨다. 그때, 표시제어수단(6)은, 도 7의 레이아웃 표시영역(11)의 레이아웃란에 나타내는 바와 같이 NG개소(15)와 NG가 아닌 개소(합격한 땜납개소)를 식별 가능하게, 예를 들면, NG개소를 흑색으로, 그렇지 않은 부분을 백색으로 표시한다. NG개소(15)를 -NG개소와 +NG개소를 식별할 수 있도록, 각각 적색과 황색으로 나누어 표시해도 좋다.Step 12: The determination means 4 specifies the solder position of the NG locations on the layout received from the control means 8 by the NG location specifying means. Such specific information is displayed on the display means 9 via the display control means 6. In that case, as shown in the layout column of the layout display area 11 of FIG. 7, the display control means 6 can distinguish NG location 15 and the non-NG location (passed solder location), for example, NG points are displayed in black, and other portions are marked in white. The NG points 15 may be displayed in red and yellow, respectively, so that the -NG and + NG points can be identified.

스텝 S13 : 조작자는, 표시된 NG율, 레이아웃의 NG개소(15)를 참조하여 NG율을 바꾸고 싶은 경우(YES)는, 스텝 S6으로 되돌아와 재변경하면, 스텝 S6∼S12의 동작이 반복되어 재변경한 상한값, 하한값에 대한 NG율 및 레이아웃 상의 NG개소를 알 수 있다.Step S13: When the operator wants to change the NG rate with reference to the displayed NG rate and the NG point 15 of the layout (YES), the operation of steps S6 to S12 is repeated when the process returns to step S6 and changes again. The changed upper limit value, the NG rate for the lower limit value, and the NG location on the layout can be known.

스텝 S14 : 다음에, 다른 측정범위 또는 다른 형상값에 대해서 NG율을 조사해 보고 싶은 경우는, 스텝 S3a로 되돌아와 재설정하고, 스텝 S3a∼S13을 반복하여 실시하게 하는 것에 의해, 재설정된 측정범위 또는 형상값 등의 조건에서의 NG율, 레이아웃상의 NG개소를 알 수 있다.Step S14: Next, when it is desired to check the NG rate for another measurement range or other shape value, the process returns to step S3a and resets, and the steps S3a to S13 are repeated to perform the reset measurement range or The NG rate on conditions, such as a shape value, and NG location on a layout can be known.

도 7에 그 표시예를 나타낸다. 도 7은 측정범위가 전범위에서 형상이 부피에 대한 도수분포, 상한값 분(分) 및 하한값, 그 상한값 및 하한값에 대한 NG율, 및 레이아웃상의 NG개소를 표시하고 있다. 도 2와 같이 측정범위를 「범위지정」이라고 한 경우는, 그 지정한 범위(도 2의 점선 내)에서의 NG개소를 표시할 수 있다.The display example is shown in FIG. Fig. 7 shows the frequency distribution with respect to the volume, the upper limit, the lower limit, the NG rate with respect to the upper limit and the lower limit, and the NG points on the layout. In the case where the measurement range is &quot; range designation &quot; as shown in Fig. 2, the NG location in the designated range (in the dotted line in Fig. 2) can be displayed.

본 발명의 구성에 의하면, 측정된 땜납 상태를 나타내는 형상값(예를 들면, 땜납의 부피, 면적, 높이, 어긋남, 폭, 높이 얼룩짐 등)에 대한 분포상태를 인식하면서 허용할 수 있는 분포범위를 가변 설정하면, 그에 대한 NG율을 정량적으로 알 수 있다. 반대로, NG율에 주목하여 가변 설정하면, 그 NG율에 대한 허용할 수 있는 분포범위도 알 수 있다. 따라서, 분포상태를 정량적으로 인식하면서 용이하게 허용할 수 있는 분포범위를 설정할 수 있다. 또한, 기판마다, 판정항목의 종류(땜납의 형상값의 종류)에도 대응하여, 분포, NG율을 구할 수 있으므로, 전체로 보아 시간을 단축할 수 있다.According to the configuration of the present invention, an acceptable distribution range is recognized while recognizing a distribution state for a shape value (e.g., volume, area, height, misalignment, width, height unevenness, etc.) of the measured solder state. If the variable setting, the NG rate for it can be known quantitatively. On the contrary, if the variable setting is paying attention to the NG rate, the allowable distribution range for the NG rate can also be known. Therefore, it is possible to set a distribution range that can be easily accepted while quantitatively recognizing the distribution state. Moreover, since distribution and NG rate can be calculated | required corresponding to the kind of determination item (type of shape value of solder) for every board | substrate, time can be shortened as a whole.

Claims (13)

프린트판에 인쇄된 복수의 땜납의 변위를 측정하기 위한 측정수단(2)과, 상기 측정수단이 출력하는 측정값에 기초하여 상기 땜납 상태를 형상으로서 구해진 1개 혹은 복수의 종류의 판정용 형상마다 그 판정용 형상값의 도수분포를 구하는 히스토그램 산출수단(5a)과, 구해진 상기 도수분포와 상기 인쇄된 땜납의 형상의 양의 범위를 나타내는 분포범위에 의해서, 상기 인쇄된 땜납의 형상의 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하는 NG율 산출수단(5b)과, 조작수단(9)과 표시수단(7)과, 상기 산출된 불량률 또는 양률을 상기 표시수단에 표시시키는 표시제어수단(6)을 구비한 인쇄땜납 검사장치에 있어서, Measuring means (2) for measuring displacement of a plurality of solders printed on a printed plate, and for each of one or a plurality of types of determination shapes obtained by determining the solder state as a shape based on the measured value output by the measuring means The defective rate and yield rate of the shape of the printed solder are determined by the histogram calculating means 5a for obtaining the frequency distribution of the shape value for determination, and the distribution range representing the range of the quantity of the obtained frequency distribution and the shape of the printed solder. An NG rate calculating means 5b for calculating at least one of; an operating means 9 and a display means 7; and display control means 6 for displaying the calculated defective rate or yield rate on the display means. In one printing solder inspection apparatus, 상기 조작수단은, 상한값과 하한값으로 나타나는 상기 분포범위의 지시를 가능하게 되고,The operation means is capable of indicating the distribution range represented by the upper limit value and the lower limit value, 상기 표시제어수단은, 상기 도수분포를 표시하는 것과 함께, 상기 조작수단으로부터 상기 분포범위의 최신의 지시를 받았을 때, 상기 최신의 지시 전에 상기 도수분포상에 표시하고 있던 상기 상한값 및 하한값에 대응하는 위치를, 상기 최신의 지시에 의한 상기 상한값 및 하한값에 대응하는 위치로 변경하여 표시하는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.The display control means displays the frequency distribution, and when the latest means of the distribution range is received from the operation means, a position corresponding to the upper limit value and the lower limit value displayed on the frequency distribution before the latest instruction. The printing solder inspection apparatus, characterized in that the display is changed to a position corresponding to the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 NG율 산출수단은, 상기 분포범위의 최신의 지시가 있을 때는, 상기 최 신의 지시에 의한 상한값 및 하한값과 상기 도수분포를 기초로, 새롭게 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하고,The NG rate calculating means calculates at least one of the defective rate and the yield rate on the basis of the upper limit value and the lower limit value according to the latest indication and the frequency distribution when there is an latest indication of the distribution range. 상기 표시제어수단은, 상기 최신의 지시 이전에 상기 표시수단에 표시하고 있던 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여, 상기 새롭게 산출한 불량률 또는 양률을 표시시키는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.And the display control means changes at least one of the defective rate and yield rate displayed on the display means before the latest instruction to display the newly calculated defective rate or yield rate. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 조작수단은, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시 가능하게 되고,The operation means is further capable of instructing by changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means, 상기 NG율 산출수단은, 상기 조작수단으로부터 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하는 지시가 있을 때는, 상기 도수분포를 기초로 상기 지시된 불량률 및 양률의 적어도 1개에 기초하는 상한값 및 하한값을 산출하고,The NG rate calculating means calculates an upper limit value and a lower limit value based on at least one of the instructed defective rate and yield rate based on the frequency distribution when instructed to change at least one of the defective rate and yield rate from the operation means. and, 상기 표시제어수단은, 상기 변경하는 지시 이전에 상기 표시수단에 표시되고 있는 상한값 및 하한값을 변경하고, 상기 새롭게 산출된 상한값 및 하한값을 도수분포상에 표시시키는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.And the display control means changes the upper limit value and the lower limit value displayed on the display means before the instruction to change, and displays the newly calculated upper limit value and the lower limit value on the frequency distribution. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 측정수단의 측정값을 받고, 상기 인쇄 땜납개소 마다의 판정용 형상값을 구하는 판정용 데이터 생성수단(3)과,Determination data generating means (3) for receiving a measurement value of the measurement means and obtaining a determination shape value for each of the printing solder points; 상기 판정용 데이터 생성수단이 출력하는 판정용 형상값을 허용값에 기초하 여, 상기 인쇄 땜납개소마다 불량 혹은 양으로 판정하는 판정수단(4)을 구비한 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.And a judging means (4) for judging the judging shape value outputted from the judging data generating means based on an allowable value for each of the printing solder points as defective or positive. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 조작수단으로부터 상기 분포범위의 최신의 지시가 있을 때는,When there is an up-to-date instruction of the distribution range from the operation means, 상기 NG율 산출수단이, 상기 최신의 지시에 의한 상한값, 하한값 및 상기 도수분포를 기초로, 새롭게 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하고,The NG rate calculating means newly calculates at least one of the defective rate and the yield rate based on the upper limit value, the lower limit value, and the frequency distribution according to the latest instruction; 상기 판정수단은, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값에 기초하는 새로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 및 양의 적어도 1개를 판정하고,The judging means judges at least one of the defect and the quantity of the shape value for determination for each of the solder points by the new allowable value based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction, 상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 새롭게 산출한 불량률 또는 양률을 표시시키는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.And the display control means displays the newly calculated defective rate or yield rate with respect to the display means. 제 4 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 4 to 5, 상기 조작수단은, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시 가능하게 되고,The operation means is further capable of instructing by changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means, 상기 NG율 산출수단은, 상기 변경하여 지시된 불량률 또는 양률과 상기 도수분포에 기초하여, 새로운 상한값 및 하한값을 산출하고,The NG rate calculating means calculates a new upper limit value and a lower limit value on the basis of the defective rate or yield rate and the frequency distribution indicated by the change, 상기 판정수단은, 상기 산출된 상한값 및 하한값에 기초하는 새로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 또는 양을 판정하고,The judging means judges the defect or the quantity of the shape value for determination for each of the solder points by the new allowable value based on the calculated upper limit value and lower limit value, 상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 새롭게 산출한 상한값 및 하한값을 표시시키는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.And the display control means displays the newly calculated upper and lower limit values for the display means. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 프린트 기판의 땜납개소를 나타내는 레이아웃을 표시시키는 것과 함께, 그 표시된 레이아웃 위에 상기 판정수단이 불량으로 판정한 개소를 식별 가능하게 하여 표시시키는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.The display control means displays a layout indicating solder points of the printed board with respect to the display means, and makes it possible to identify and display the points determined by the determination means on the displayed layout. Printed solder inspection device. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 조작수단으로부터 상기 분포범위의 상기 최신의 지시가 있을 때는,When there is the latest indication of the distribution range from the operating means, 상기 NG율 산출수단이, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값 및 상기 도수분포를 기초로, 새롭게 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하고,The NG rate calculating means newly calculates at least one of the defective rate and the yield rate based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction and the frequency distribution; 상기 판정수단은, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값에 기초하는 새로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 및 양의 적어도 1개를 판정하고,The judging means judges at least one of the defect and the quantity of the shape value for determination for each of the solder points by the new allowable value based on the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction, 상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 최신의 지시 전에 표시하고 있던 상기 불량률 또는 상기 양률을 변경하고, 상기 새롭게 산출된 불량률 또는 양률을 표시시키는 것과 함께, 상기 판정수단이 상기 새로운 허용값에 기초하여 불량으로 판정한 땜납개소를 상기 레이아웃 위에 식별 가능하게 표시시키는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.The display control means changes the defective rate or yield rate displayed before the latest instruction to the display means and displays the newly calculated defective rate or yield rate, and the determination means causes the new allowable value. And a solder point determined as defective on the basis of the display is distinguishably displayed on the layout. 제 7 항 또는 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 7 to 8, 상기 조작수단은, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시 가능하게 되고,The operation means is further capable of instructing by changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means, 상기 NG율 산출수단은, 상기 변경하여 지시된 불량률 또는 양률 및 상기 도수분포에 기초하여, 새로운 상한값 및 하한값을 산출하고,The NG rate calculating means calculates a new upper limit value and a lower limit value on the basis of the defective rate or quantity rate and the frequency distribution instructed by the change, 상기 판정수단은, 상기 산출된 상한값 및 하한값에 기초하는 새로운 허용값에 의해, 상기 땜납개소마다 판정용 형상값의 불량 또는 양을 판정하고,The judging means judges the defect or the quantity of the shape value for determination for each of the solder points by the new allowable value based on the calculated upper limit value and lower limit value, 상기 표시제어수단은, 상기 표시수단에 대해서, 상기 변경하는 지시 전에 표시하고 있던 상기 상한값 및 상기 하한값을 변경하고, 상기 새롭게 산출한 상한값 및 하한값을 표시시키는 것과 함께, 상기 판정수단이 상기 새로운 허용값에 기초하여 불량으로 판정한 땜납개소를 상기 레이아웃 위에 식별 가능하게 표시시키는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사장치.The display control means changes the upper limit value and the lower limit value displayed before the instruction to change to the display means, and displays the newly calculated upper limit value and the lower limit value. And a solder point determined as defective on the basis of the display is distinguishably displayed on the layout. 미리 프린트판에 인쇄된 복수의 땜납의 변위를 측정하여, 측정한 측정값에 기초하여 상기 땜납 상태를 나타내는 형상값을 구하는 측정단계와, 상기 측정 단계에서 구해진 1개 혹은 복수의 종류의 판정용 형상마다 그 판정용 형상값의 도수분포를 구하는 히스토그램 산출단계와, 구해진 상기 도수분포와 상기 인쇄된 땜납의 형상의 양의 범위를 나타내는 분포범위에 의해서, 상기 인쇄된 땜납의 불량률 및 양률의 적어도 1개를 산출하는 NG율 산출단계와, 상기 산출된 불량률 또는 양률을 상기 표시수단에 표시시키는 양부 표시단계를 구비한 인쇄땜납 검사방법에 있어서,A measurement step of measuring a displacement of a plurality of solders printed on a printed plate in advance, and obtaining a shape value representing the solder state based on the measured value; and one or more types of determination shapes determined in the measurement step At least one of the defective rate and yield rate of the printed solder according to a histogram calculation step of obtaining a frequency distribution of the shape value for determination each time, and a distribution range indicating a range of the obtained quantity of the frequency distribution and the shape of the printed solder. In the printing solder inspection method comprising a NG rate calculating step of calculating a and a positive part display step of displaying the calculated defective rate or yield rate on the display means, 조작수단에 의해서, 상한값 및 하한값으로 나타나는 상기 분포범위를 변경하여 지시되는 단계와,Instructing, by the operating means, changing the distribution range represented by the upper limit value and the lower limit value; 상기 조작수단으로부터 하한값 및 상한값으로 나타나는 상기 분포범위의 최신의 지시를 받았을 때, 상기 최신의 지시 전에 표시되고 있는 상한값 및 하한값에 대응하는 상기 도수분포상의 위치를, 상기 최신의 지시에 의한 상한값 및 하한값에 대응하는 상기 도수분포상의 위치로 변경하여 표시하는 범위 표시단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사방법.When receiving the latest instruction of the distribution range represented by the lower limit value and the upper limit value from the operation means, the position on the frequency distribution corresponding to the upper limit value and the lower limit value displayed before the latest instruction is determined by the upper limit value and the lower limit value according to the latest instruction. And a range display step of changing and displaying the position on the frequency distribution corresponding to the printing solder. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 최신의 지시를 받을 때마다, 그 최신의 지시에 의한 상기 상한값 및 하한값과 상기 도수분포를 기초로, 상기 NG율 산출단계, 상기 양부 표시단계 및 범위 표시단계를 반복하는 단계와,Each time the latest instruction is received, repeating the NG rate calculation step, the display of the positive part and the range display step, based on the upper limit value and the lower limit value and the frequency distribution according to the latest instruction; 상기 반복하는 단계에 있어서, 원하는 상한값 및 하한값이 확정되는 확정 단계와, 상기 확정 단계 후에, 상기 측정단계에서 취득된 상기 형상값을 상기 확정한 소망한 상한값 및 하한값에 기초하여, 양인지 불량인지 판정하는 판정단계를 구비한 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사방법.In the repeating step, it is determined whether the desired upper limit value and the lower limit value are determined, and after the determination step, whether the shape value acquired in the measurement step is positive or bad based on the determined desired upper limit value and the lower limit value. And a judging step. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 조작수단에 의해서, 또한 상기 표시수단에 표시되고 있는 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하여 지시되는 단계와,Instructing, by the operating means, changing at least one of the defective rate and the yield rate displayed on the display means; 상기 NG율 산출단계는, 상기 조작수단으로부터 불량률 및 양률의 적어도 1개를 변경하는 지시를 받을 때마다, 상기 도수분포를 기초로 상기 지시된 불량률 또는 양률에 기초하는 상한값 및 하한값을 산출하고, 산출된 상한값 및 하한값과 상기 도수분포를 기초로, 상기 NG율 산출단계, 상기 양부 표시단계 및 범위 표시단계를 반복하는 단계와,The NG rate calculating step calculates and calculates an upper limit value and a lower limit value based on the instructed defective rate or yield rate on the basis of the frequency distribution, whenever an instruction to change at least one of the defective rate and yield rate is received from the operation means. Repeating the step of calculating the NG rate, the display of the positive part and the display of the range, based on the upper and lower limit values and the frequency distribution; 상기 반복하는 단계에 있어서, 원하는 상한값 및 하한값이 확정되는 확정 단계와,In the repeating step, a determination step of determining the desired upper limit value and the lower limit value, 상기 확정단계 후에, 상기 측정단계에서 취득된 상기 형상값을 상기 확정한 원하는 상한값 및 하한값에 기초하여, 양부를 판정하는 판정단계를 구비한 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사방법.And a determination step of determining whether the shape value obtained in the measurement step is determined based on the desired upper limit value and the lower limit value after the determination step. 제 11 항 또는 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 11 or 12, 상기 측정단계는, 예비적인 테스트 측정단계로서,The measuring step is a preliminary test measuring step, 상기 확정단계와 상기 판정단계의 사이에, 상기 프린트판에 인쇄된 땜납의 변위를 측정하여, 측정한 측정값에 기초하여 상기 땜납 상태를 나타내는 형상값을 구하는 검사 측정단계를 구비하고,Between the determination step and the determination step, an inspection measurement step of measuring a displacement of the solder printed on the printed plate and obtaining a shape value representing the solder state based on the measured measurement value, 상기 판정단계는, 상기 테스트 측정단계에서 취득된 형상값에 대신하여 상기 검사 측정단계의 형상값을, 상기 확정한 원하는 상한값 및 하한값에 기초하여 양부 를 판정하는 것을 특징으로 하는, 인쇄땜납 검사방법.And said determining step determines whether or not the shape value of said inspection measurement step is based on said determined desired upper limit value and lower limit value in place of the shape value obtained in said test measurement step.
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