KR20060126447A - 반도체 시험 장치 - Google Patents

반도체 시험 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20060126447A
KR20060126447A KR1020067004937A KR20067004937A KR20060126447A KR 20060126447 A KR20060126447 A KR 20060126447A KR 1020067004937 A KR1020067004937 A KR 1020067004937A KR 20067004937 A KR20067004937 A KR 20067004937A KR 20060126447 A KR20060126447 A KR 20060126447A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test
cable
semiconductor
test apparatus
cylindrical member
Prior art date
Application number
KR1020067004937A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101188585B1 (ko
Inventor
타카시 나이토
Original Assignee
주식회사 아도반테스토
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아도반테스토 filed Critical 주식회사 아도반테스토
Publication of KR20060126447A publication Critical patent/KR20060126447A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101188585B1 publication Critical patent/KR101188585B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317—Testing of digital circuits
    • G01R31/3181—Functional testing
    • G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
    • G01R31/31905—Interface with the device under test [DUT], e.g. arrangements between the test head and the DUT, mechanical aspects, fixture
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

반도체 시험 장치는, 반도체 디바이스에 공급하는 테스트 패턴을 생성하는 시험 장치 본체와, 반도체 디바이스에 접촉하여, 시험 장치 본체가 생성한 테스트 패턴을 반도체 디바이스에 공급하는 테스트 헤드와, 시험 장치 본체로부터 테스트 헤드에 테스트 패턴을 받아 넘겨주는 케이블과, 케이블을 보유하여 지지함과 함께, 케이블에 장력이 생긴 경우에 해당 장력을 완화시키는 방향으로 이동하는 가동 지지부를 포함한다.
테스트 패턴, 변위, 가동 지지부, 편평

Description

반도체 시험 장치{SEMICONDUCTOR TEST DEVICE}
본 발명은, 반도체 시험 장치에 관한 것이다. 본 출원은, 다음의 일본출원에 관해 연속되는 것이다. 문헌의 참조에 의한 편입이 인정되는 지정국에 있어서는, 다음의 출원에 기재된 내용을 참조에 의하여 본 출원에 편입시키며, 본 출원의 일부로 한다.
1. 일본특허출원 2003-322095 출원일 2003년 09월 12일
반도체 시험 장치는, 시험되는 반도체 디바이스에 테스트 패턴을 공급하여, 당해 테스트 패턴에 기초하여 반도체 디바이스가 출력한 출력 신호를 수취하며, 수취한 출력 신호와 기대값을 비교함으로써, 반도체 디바이스의 양부를 판정한다. 테스트 패턴 및 기대값을 생성하는 반도체 시험 장치의 시험 장치 본체는, 시험되는 반도체 디바이스의 출력 신호를 수취하며, 기대값과 비교한다. 시험되는 반도체 디바이스는, 테스트 헤드 위에 놓여 지고, 시험 장치 본체와 테스트 헤드는, 접속 케이블을 거쳐 접속된다.
테스트 헤드 내부에는, 시험되는 반도체 디바이스의 단자 배치에 대응한 퍼 포먼스 보드, 및 퍼포먼스 보드와 접속 케이블을 접속한 핀 일렉트로닉스 기판을 가진다. 시험하는 반도체 디바이스의 종류를 변경하는 경우, 테스트 헤드 내부의 퍼포먼스 보드 및 핀 일렉트로닉스 기판을 교환하기 위해서, 테스트 헤드의 방향이 변할 수 있다. 그리고, 퍼포먼스 보드 및 핀 일렉트로닉스 기판이 교환된 후, 테스트 헤드의 방향이 원래의 방향으로 되돌아가, 새롭게 시험되는 반도체 디바이스가 테스트 헤드 위에 놓이게 된다.
현 시점에서 선행기술 문헌의 존재를 인식하고 있지 않기 때문에, 선행기술 문헌에 관한 기재를 생략한다.
[발명이 해결하고자 하는 과제]
테스트 헤드의 방향을 바꾼 경우, 시험 장치 본체에 대해 테스트 헤드의 방향이 변화하는 것으로써, 테스트 헤드와 시험장치 본체를 접속하는 접속 케이블에, 느슨함이 생기는 경우가 있다. 이러한 경우, 느슨해진 케이블이 겹쳐져, 구부러짐으로써, 케이블이 단선하는 경우가 있었다.
여기서 본 발명은, 상기의 과제를 해결할 수 있는 반도체 시험 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적은 청구의 범위에 있어서의 독립항에 기재된 특징의 조합에 의하여 달성된다. 또 종속항은 본 발명의 한층 더 유리한 구체적인 예를 규정한다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
본 발명의 제1 형태에 의하면, 반도체 시험 장치는, 반도체 디바이스에 공급하는 테스트 패턴을 생성하는 시험 장치 본체와, 반도체 디바이스에 접촉하여, 시험 장치 본체가 생성한 테스트 패턴을 반도체 디바이스에 공급하는 테스트 헤드와, 시험 장치 본체로부터 테스트 헤드에 테스트 패턴을 받아 넘겨주는 케이블과, 케이블을 보유하여 지지함과 함께, 케이블에 장력이 생겼을 경우에 당해 장력을 완화시키는 방향으로 이동하는 가동 지지부를 포함한다.
가동 지지부는 하부로부터 케이블을 지지하며, 케이블에 장력이 생겼을 경우에 아래쪽으로 이동함으로써 당해 장력을 완화해도 좋다.
가동 지지부는, 케이블을 걸어 넘기는 원통형 부재와, 이러한 원통형 부재를 회전 가능하게 보유하여 지지함과 동시에 원통형 부재를 위쪽으로 떠받치는 떠받침부를 포함하는 것이 바람직하다.
케이블은, 복수의 전송선이 편평하게 나열된 편평 케이블인 것이 더욱 바람직하다.
전송선이 광섬유인 경우, 본 발명의 시험 장치는 특히, 광섬유의 절단을 막을 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 상기 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징의 전체를 열거한 것은 아니며, 이들의 특징군의 서브콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.
[발명의 효과]
본 발명에 의하면, 반도체 시험 장치는, 시험 장치 본체와 테스트 헤드를 접속한 접속 케이블에 느슨함이 생겼을 경우, 접속 케이블을 단선시키는 일 없이, 적절히 배치할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 반도체 시험 장치 10의 구성을 도시하는 도면이다.
도 2는 핀 일렉트로닉스 기판을 교환하기 위해, 테스트 헤드 100이 회전하는 도중의 상태를 도시하는 도면이다.
도 3은 가동 지지부 200의 상세한 구성의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 4는 가동 지지부 200의 구성의 다른 예를 도시하는 도면이다.
이하, 발명의 실시 형태를 통하여 본 발명을 설명하지만, 이하의 실시 형태는 특허 청구 범위에 의한 발명을 한정하는 것은 아니며, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합의 전부가 발명의 해결 수단으로 필수적인 것으로 한정되지 않는다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 반도체 시험 장치 10의 구성을 도시한다. 반도체 시험 장치 10은, 시험 장치 본체 300, 테스트 헤드 100, 가동 지지부 200, 및 접속 케이블 400을 포함한다. 본 발명의 반도체 시험 장치 10은, 광섬 유 등의 접속 케이블 400의 단선을 막을 수 있다. 시험 장치 본체 300은, 시험되는 반도체 디바이스 106에 공급되는 테스트 패턴을 생성한다. 또한, 시험 장치 본체 300은, 테스트 패턴에 따라 반도체 디바이스 106이 출력한 출력 신호를 수취하며, 기대값과 비교함으로써, 반도체 디바이스 106의 양부를 판정한다. 접속 케이블 400은, 테스트 헤드 100 및 시험 장치 본체 300에 접속되어, 시험 장치 본체 300으로부터 테스트 헤드 100으로 테스트 패턴을 받아 넘겨준다. 또한, 접속 케이블 400은, 테스트 패턴에 따라 반도체 디바이스 106이 출력한 출력 신호를, 테스트 헤드 100으로부터 시험 장치 본체 300으로 받아 넘겨준다.
테스트 헤드 100은, 고정대 102에 의해서 회전 가능하게 보유되어 지지된다. 반도체 디바이스 106이 시험되는 경우, 반도체 디바이스 106은, 테스트 헤드 100 위에 놓인다. 그리고, 테스트 헤드 100은, 반도체 디바이스 106에 접촉되어, 시험 장치 본체 300이 생성한 테스트 패턴을 반도체 디바이스 106에 공급한다. 테스트 헤드 100의 내부에는, 반도체 디바이스 106의 단자 배치에 대응하는 핀 일렉트로닉스 기판이 장착된다. 핀 일렉트로닉스 기판은, 반도체 디바이스 106의 단자 구성에 대응하는 패턴 배선, 드라이버, 및 비교기 등을 포함한다. 테스트 헤드 100은, 반도체 디바이스 106이 놓이는 측과 마주 보는 측에 개구부 104를 포함한다. 핀 일렉트로닉스 기판은, 개구부 104로부터 테스트 헤드 100의 내부에 장착된다.
가동 지지부 200은, 접속 케이블 400을 보유하여 지지함과 동시에, 접속 케이블 400에 장력이 생긴 경우에 장력을 완화시키는 방향으로 이동한다. 바람직하게는, 가동 지지부 200은, 하부로부터 접속 케이블 400을 지지하고, 접속 케이블 400에 장력이 생긴 경우에 아래쪽으로 이동함으로써 장력을 완화한다. 접속 케이블 400에 있어서, 테스트 헤드 100 및 시험 장치 본체 300에 접속되어 있는 부분에는, 접속 케이블 400의 중량에 의한 장력이 더해지고 있다. 또한, 접속 케이블 400이 테스트 헤드 100 및 시험 장치 본체 300에 고정되어 있으므로, 접속 케이블 400의 고정되어 있는 부분에는 응력이 집중된다. 그 때문에, 접속 케이블 400은, 테스트 헤드 100 및 시험 장치 본체 300에 접속되어 있는 부분에 있어서, 단선되기 쉽다. 그러나, 가동 지지부 200이 하부로부터 접속 케이블 400을 지지하고 있으므로, 테스트 헤드 100 및 시험 장치 본체 300에 접속되어 있는 부분의 접속 케이블 400에 더해지는 응력은 작아진다. 따라서, 접속 케이블 400의 단선을 방지할 수 있다.
가동 지지부 200은, 접속 케이블 400을 걸어 넘기는 원통 형상의 부재인 원통형 부재 210과, 원통형 부재 210을 회전 가능하게 보유하여 지지함과 함께 원통형 부재 210을 위쪽으로 떠받치는 공기압 구동 장치 220을 갖는다. 원통형 부재 210이 원통 형상이어서, 접속 케이블 400의 휨 반경이 원통형 부재 210의 원통 단면의 반경보다 커진다. 그 때문에, 접속 케이블 400의 단선을 방지할 수 있다. 또한, 원통형 부재 210이 회전 가능하게 보유되어 지지되고 있으므로, 접속 케이블 400은, 원통형 부재 210의 회전에 따라 매끄럽게 이동할 수 있다. 그 때문에, 접속 케이블 400의 열화를 방지할 수 있다.
접속 케이블 400은, 예를 들면 광섬유 등의 복수의 전송선이 편평하게 나열된 편평 케이블인 것이 더욱 바람직하다. 편평 케이블은, 두께가 얇기 때문에, 만 곡되었을 경우에 있어서도, 만곡 부분의 반경 방향으로의 두께가, 단심(單心)의 여러 개의 케이블을 묶었을 경우에 비해 얇다. 그 때문에, 편평 케이블은, 단심의 케이블을 묶었을 경우에 비해, 만곡 부분의 외측에 있어 원주 방향으로 잡아당기는 힘이 작다. 따라서, 편평 케이블은, 만곡했을 경우에, 묶을 수 있는 단심의 케이블보다 단선되기 곤란하다.
여기서, 시험하는 반도체 디바이스 106의 종류가 변경되는 경우, 테스트 헤드 100의 내부에 장착된 핀 일렉트로닉스 기판이 교환된다. 이 경우, 테스트 헤드 100이, 고정대 102에 대해 약 180도 회전함으로써, 개구부 104가 위쪽으로 향할 수 있다. 그리고, 핀 일렉트로닉스 기판이 교환된 후, 테스트 헤드 100이 반대 방향으로 약 180도 회전하여, 개구부 104가 다시 아래쪽으로 향할 수 있다. 그리고, 테스트 헤드 100 위에 반도체 디바이스 106이 놓이게 되어, 시험이 수행된다.
도 2는, 핀 일렉트로닉스 기판을 교환하기 위해 테스트 헤드 100이 회전하는 도중의 상태를 도시한다. 테스트 헤드 100이 회전하면, 접속 케이블 400에 느슨함이 생긴다. 접속 케이블 400에 느슨함이 생기면, 접속 케이블 400의 일부가 겹쳐지고, 구부러짐으로써, 단선되는 경우가 있다. 그러나, 본 예에 있어서는, 원통형 부재 210이 접속 케이블 400을 위쪽으로 떠받치고 있으므로, 접속 케이블 400에 느슨함이 생겼을 경우, 원통형 부재 210이 위쪽으로 변위됨으로써, 접속 케이블 400의 느슨함을 없앨 수 있다. 이것에 의해, 접속 케이블 400의 구부러짐을 방지할 수 있다. 따라서, 접속 케이블 400의 단선을 방지할 수 있다.
핀 일렉트로닉스 기판을 교환한 후, 테스트 헤드 100은, 반대 방향으로 회전 함으로써, 개구부 104를 아래쪽으로 향한 원래의 방향으로 되돌아간다. 이 경우, 접속 케이블 400은, 테스트 헤드 100의 회전에 따라, 테스트 헤드 100에 의해 잡아 당겨진다. 이것에 의해, 접속 케이블 400에 장력이 생긴다. 가동 지지부 200의 원통형 부재 210은, 접속 케이블 400에 생긴 장력을 완화하는 방향, 즉 아래쪽으로 변위함으로써, 접속 케이블 400에 생긴 장력을 완화한다. 따라서, 과대한 장력이 가해짐으로써, 접속 케이블 400이, 특히 테스트 헤드 100 및 시험 장치 본체 300과의 접속 부분에 있어서, 단선되는 것을 막을 수 있다.
또한, 본 실시례에서는, 테스트 헤드 100이 회전하는 경우에 대해 기술했지만, 테스트 헤드 100이 시험 장치 본체 300으로부터 멀어지도록 이동하는 경우에는, 원통형 부재 210이 하강함으로써, 접속 케이블 400에 발생한 장력을 완화할 수 있다. 또한, 테스트 헤드 100이 시험 장치 본체 300에 가까워지도록 이동하는 경우에는, 원통형 부재 210이 상승함으로써, 접속 케이블 400에 생긴 느슨함을 방지할 수 있다. 더욱이, 테스트 헤드 100이 시험 장치 본체 300에 대해 상승하는 경우에는, 원통형 부재 210이 상승함으로써, 접속 케이블 400에 생긴 느슨함을 방지할 수 있고, 테스트 헤드 100이 시험 장치 본체 300에 대해 하강하는 경우에는, 원통형 부재 210이 하강함으로써, 접속 케이블 400에 발생하는 장력을 완화할 수 있다.
도 3은, 가동 지지부 200의 상세한 구성의 일 예를 도시하는 도면이다. 공기압 구동 장치 220은, 저마찰 에어 실린더 222 및 정밀 레귤레이터 224를 갖는다. 저마찰 에어 실린더 222는, 주입된 가스의 압력에 의해서 피스톤을 구동한다. 본 예에 있어서, 저마찰 에어 실린더 222 내에 주입되는 가스는, 예를 들어 드라이 에어이다.
정밀 레귤레이터 224는, 저마찰 에어 실린더 222 내에 가스를 주입해, 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스의 압력을 일정하게 유지한다. 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스의 압력은, 예를 들면, 접속 케이블 400이 가장 느슨하고 저마찰 에어 실린더 222의 피스톤의 가동 범위 내에서 피스톤이 가장 높이 상승하는 경우에, 원통형 부재 210에 걸리는 하중에 의해서 피스톤이 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스에 주는 압력보다 작고, 접속 케이블 400의 느슨함이 가장 적고 저마찰 에어 실린더 222의 피스톤이 가동 범위 내에서 가장 낮게 하강하는 경우에, 원통형 부재 210에 걸리는 하중에 의해서 피스톤이 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스에 주는 압력보다 커지도록 설정된다. 바람직하게는, 피스톤이 가장 높이 상승하는 경우에 피스톤이 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스에 주는 압력과, 피스톤이 가장 낮게 하강하는 경우에 피스톤이 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스에 주는 압력과의 평균치와 대략 같아지도록, 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스의 압력이 설정된다.
정밀 레귤레이터 224가 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스의 압력을 일정하게 유지하므로, 공기압 구동 장치 220은, 원통형 부재 210의 변위에 무관하게 일정한 떠받치는 힘을 접속 케이블 400에 제공할 수 있다. 또한, 저마찰 에어 실린더 222 내의 가스의 압력을 조절함으로써, 다양한 무게의 접속 케이블 400에 대응할 수 있다.
또한, 다른 예로서, 공기압 구동 장치 220은, 주입된 기름의 압력에 의해서 피스톤을 구동하는 유압 구동 장치여도 좋다. 더욱이 다른 예로서, 공기압 구동 장치 220은, 스프링, 또는 실린더 내에 봉입된 가스의 반발력을 이용해 스프링 효과를 얻는 가스 스프링이어도 좋다.
도 4는, 가동 지지부 200의 구성의 다른 예를 도시한 도면이다. 가동 지지부 200은, 원통형 부재 210, 활차 230, 와이어 240, 및 추 250을 가진다. 와이어 240은, 활차 230에 걸쳐 넘겨지고, 한 끝에 원통형 부재 210을 회전 가능하게 보유하여 지지한다. 와이어 240의 다른 끝에는, 추 250이 장착된다. 원통형 부재 210은, 접속 케이블 400을 하부로부터 지지해, 추 250의 중량에 의해서, 접속 케이블 400을 위쪽으로 떠받친다.
본 예에 있어서도, 접속 케이블 400에 느슨함이 생긴 경우, 추 250의 중량에 의해서 원통형 부재 210이 변위함으로써, 접속 케이블 400의 느슨함을 없앨 수 있다. 이것에 의해, 접속 케이블 400의 구부러짐을 방지할 수 있어, 접속 케이블 400의 단선을 방지할 수 있다. 또한, 가동 지지부 200은 추 250에 대신하여, 원통형 부재 210에 걸린 접속 케이블 400의 중량을, 스프링의 힘에 의해서 경감하는 스프링 밸런서를 이용함으로 접속 케이블 400을 위쪽으로 떠받쳐도 좋다.
상기 설명으로부터 명확한 바와 같이, 본 실시 형태의 반도체 시험 장치 10에 의하면, 접속 케이블 400에 느슨함이 생긴 경우, 접속 케이블 400을 단선시키는 일 없이, 적절히 배치할 수 있다.
이상, 실시 형태를 이용하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시 형태에 기재된 범위로 한정되지는 않는다. 상기 실시 형태에, 다 양한 변경 또는 개량을 가할 수 있다는 것이 당업자에 명백하다. 그 같은 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있다는 것이, 특허청구범위의 기재로부터 명백하다.
이상에 나타낸 것처럼, 본 발명에 의하면, 시험 장치 본체와 테스트 헤드를 접속하는 접속 케이블에 느슨함이 생긴 경우에, 접속 케이블을 단선시키는 일 없이, 적절히 배치할 수 있는 반도체 시험 장치를 실현할 수 있다.

Claims (6)

  1. 반도체 디바이스에 공급되는 테스트 패턴을 생성하는 시험 장치 본체와,
    상기 반도체 디바이스에 접촉하여, 상기 시험 장치 본체가 생성한 상기 테스트 패턴을 상기 반도체 디바이스에 공급하는 테스트 헤드와,
    상기 시험 장치 본체로부터 상기 테스트 헤드에 상기 테스트 패턴을 받아 넘겨주는 케이블과,
    상기 케이블을 보유하여 지지함과 함께, 상기 케이블에 장력이 생긴 경우에 해당 장력을 완화시키는 방향으로 이동하는 가동 지지부
    를 포함하는 반도체 시험 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가동 지지부는 하부로부터 상기 케이블을 지지하며, 상기 케이블에 장력이 생긴 경우에 아래쪽으로 이동함으로써 해당 장력을 완화하는 반도체 시험 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가동 지지부는,
    상기 케이블을 걸어 넘기는 원통형 부재와,
    상기 원통형 부재를 위쪽으로 떠받치는 떠받침부
    를 포함하는 반도체 시험 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 떠받침부는, 상기 원통형 부재를 회전 가능하게 보유하여 지지하는 반도체 시험장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 케이블은, 복수의 전송선이 편평하게 나열된 편평 케이블인 반도체 시험 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 전송선은 광섬유인 반도체 시험 장치.
KR1020067004937A 2003-09-12 2004-09-08 반도체 시험 장치 KR101188585B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2003-00322095 2003-09-12
JP2003322095A JP2005091041A (ja) 2003-09-12 2003-09-12 半導体試験装置
PCT/JP2004/013048 WO2005026753A1 (ja) 2003-09-12 2004-09-08 半導体試験装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060126447A true KR20060126447A (ko) 2006-12-07
KR101188585B1 KR101188585B1 (ko) 2012-10-05

Family

ID=34308663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020067004937A KR101188585B1 (ko) 2003-09-12 2004-09-08 반도체 시험 장치

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7199574B2 (ko)
EP (1) EP1666899A4 (ko)
JP (1) JP2005091041A (ko)
KR (1) KR101188585B1 (ko)
CN (1) CN100514080C (ko)
MY (1) MY139240A (ko)
TW (1) TWI321201B (ko)
WO (1) WO2005026753A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2006129372A1 (ja) * 2005-06-03 2008-12-25 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置
JP2007322372A (ja) * 2006-06-05 2007-12-13 Yokogawa Electric Corp Ｉｃテスタ
JP4665871B2 (ja) * 2006-08-28 2011-04-06 横河電機株式会社 半導体テスタ装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5241870A (en) * 1991-07-22 1993-09-07 Intest Corporation Test head manipulator
JP2597779B2 (ja) 1991-12-02 1997-04-09 文弥 大田 インダクタ及びその製造方法
JPH0669296A (ja) * 1992-08-19 1994-03-11 Tokyo Electron Ltd 試験装置
JPH06300819A (ja) * 1993-04-16 1994-10-28 Advantest Corp Ｉｃ試験装置
JP2597779Y2 (ja) 1993-09-30 1999-07-12 株式会社アドバンテスト テストヘッド・スライド機構
US5670034A (en) * 1995-07-11 1997-09-23 American Plating Systems Reciprocating anode electrolytic plating apparatus and method
KR100187727B1 (ko) * 1996-02-29 1999-06-01 윤종용 처리기 접촉 불량을 확인할 수 있는 접촉 점검 장치 및 이를 내장한 집적회로 소자 검사 시스템
JPH10142298A (ja) * 1996-11-15 1998-05-29 Advantest Corp 集積回路デバイス試験装置
US6023173A (en) * 1997-04-30 2000-02-08 Credence Systems Corporation Manipulator with expanded range of motion
US5821440A (en) * 1997-04-30 1998-10-13 Credence Systems Corporation Cable tray assembly for testing device
US6040699A (en) * 1997-06-16 2000-03-21 Semco Machine Corporation Mounting apparatus for vectorless testing
JP2002189037A (ja) 2000-12-21 2002-07-05 Advantest Corp サンプリングデジタイザ及びこのサンプリングデジタイザを備えた半導体集積回路試験装置
US6734694B2 (en) * 2001-03-19 2004-05-11 Juki Corporation Method and apparatus for automatically testing semiconductor device
DE20119289U1 (de) * 2001-11-27 2002-02-14 Heigl Helmuth Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung
US6646431B1 (en) * 2002-01-22 2003-11-11 Elite E/M, Inc. Test head manipulator

Also Published As

Publication number Publication date
EP1666899A1 (en) 2006-06-07
JP2005091041A (ja) 2005-04-07
US20050077891A1 (en) 2005-04-14
EP1666899A4 (en) 2006-10-11
KR101188585B1 (ko) 2012-10-05
CN1833173A (zh) 2006-09-13
WO2005026753A1 (ja) 2005-03-24
TW200517616A (en) 2005-06-01
MY139240A (en) 2009-09-30
CN100514080C (zh) 2009-07-15
TWI321201B (en) 2010-03-01
US7199574B2 (en) 2007-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1291183C (zh) 牵拉缆绳导向及保持夹具
EP1736787A1 (en) Probe device capable of being used for plural kinds of testers
KR101188585B1 (ko) 반도체 시험 장치
KR20050118714A (ko) 접속 유닛, 시험 헤드, 및 시험 장치
KR20050029215A (ko) 시험 장치를 피시험체에 연결하기 위한 조립체
KR20050046538A (ko) 수평설치형 케이블보호안내장치
KR100927679B1 (ko) 반도체 시험장치
JP2574107Y2 (ja) 多心ケーブルの心線挟持装置
ATE265100T1 (de) Aufziehvorrichtung für elektrische kabel
US6804124B2 (en) Insertion/removal jig for printed circuit board
CN1481597A (zh) 恒定作用力的设备和方法
CN218158212U (zh) 用于光通信芯片的性能测试装置
CN216692040U (zh) 用于主动轮与从动轮之间的环形件的张紧装置及旋切机
CN1646929A (zh) 具有可控适应性的单轴线操纵器
CN215890196U (zh) 支架
KR100418638B1 (ko) 산업기기용 제어기의 모듈확장을 위한 단자
CN216121070U (zh) 一种双向拉伸的排插线
CN215364267U (zh) 一种线材放线装置
CN220996179U (zh) 斜腕臂与平腕臂上构件连接结构
KR100987349B1 (ko) 케이블 거치대
CN212727592U (zh) 一种打线夹具
JP3149622U (ja) 電気的接続機構
KR20200134475A (ko) 케이블 가이드 체인용 링크
KR20240066000A (ko) 3 코어 해저 케이블용 인장시험 지그
KR20230106933A (ko) 반도체 시험 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150827

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee