KR20060126006A - Apparatus for mounting screw - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래의 반도체 설비에서 정전 척이 구비되는 구성을 도시한 요부 단면도, 1 is a sectional view showing the main parts of a structure in which an electrostatic chuck is provided in a conventional semiconductor device;
도 2는 종래의 반도체 설비에서 정전 척의 스크류 체결 구조를 도시한 평면도,2 is a plan view illustrating a screw fastening structure of an electrostatic chuck in a conventional semiconductor device;
도 3은 종래의 반도체 설비에서 정전 척의 스크류를 체결하는 상태를 도시한 예시도,Figure 3 is an exemplary view showing a state of fastening the screw of the electrostatic chuck in a conventional semiconductor equipment,
도 4는 본 발명에 따른 스크류 체결장치의 정면도,4 is a front view of the screw fastener according to the present invention,
도 5는 본 발명의 제1 방향 전환 수단을 구체적으로 예시한 요부 단면도,5 is a cross-sectional view of a main portion specifically illustrating a first direction switching means of the present invention;
도 6은 본 발명의 제2 방향 전환 수단을 구체적으로 예시한 요부 단면도,6 is a sectional view showing the main parts of a second embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 스크류 체결장치를 이용한 스크류 체결 상태를 도시한 예시도.7 is an exemplary view showing a screw fastening state using a screw fastening device according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 핸들 수단10 handle means
11 : 회전축11: axis of rotation
12 : 손잡이12: handle
20 : 제1 방향 전환 수단20: first turning means
30 : 제2 방향 전환 수단30: second turning means
21, 31 : 기어 박스21, 31: gearbox
22 : 연결관22: connector
23, 33 : 베벨 기어23, 33: Bevel Gear
24, 34 : 축지지부재24, 34: shaft support member
25 : 연동축25: linkage shaft
32 : 종동축32: driven shaft
40 : 렌치 수단40: wrench means
본 발명은 스크류 체결장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외주연부를 따라서 다수의 스크류를 균형있게 체결해야 하는 체결 구조에서 서로 대응되는 방향 즉 대각선 방향의 스크류를 동시에 체결할 수 있도록 함으로써 체결 부재를 보다 균일하게 체결할 수 있도록 하는 스크류 체결장치에 관한 것이다.The present invention relates to a screw fastening device, and more particularly, in a fastening structure in which a plurality of screws are to be fastened along the outer circumference in a balanced manner, the fastening member can be fastened by allowing screws to be simultaneously screwed in a direction corresponding to each other. The present invention relates to a screw fastening device capable of fastening uniformly.
일반적으로 스크류는 토크 렌치나 드라이버와 같은 공구를 사용하여 체해결시키게 된다.Generally, screws are replaced by tools such as torque wrenches or drivers.
하지만 일정한 체결력을 요구하는 부위에서는 보다 정교한 체해결이 가능한 토크 렌치를 이용하며, 특히 스크류가 복수개로 체결되면서 각 스크류의 체결력이 균일해야 하는 부위에서는 더욱 정밀한 방법에 의해서 스크류를 체결하도록 하고 있다.However, a torque wrench capable of more precise body resolution is used in a part requiring a constant tightening force, and in particular, a screw is fastened by a more precise method in a part where a fastening force of each screw is uniform as a plurality of screws are fastened.
스크류를 체결하는 분야는 대단히 많으나 보다 정밀한 체결이 필요로 되는 분야에서의 스크류 체결은 그 중요성이 더욱 요구된다.Although there are many fields for screw fastening, screw fastening is more important in a field requiring more precise fastening.
일례로 반도체 제조 장치 중에서 에칭 설비의 챔버에는 웨이퍼를 정전기력에 의해 안착되게 하는 정전 척이 구비된다.For example, in a semiconductor manufacturing apparatus, a chamber of an etching facility is provided with an electrostatic chuck for mounting a wafer by electrostatic force.
정전 척은 평판의 형상으로 이루어지며, 통상 도 1에서와 같이 캐소드(1)의 상부면에 다수의 스크류 체결에 의해서 견고하게 결합되도록 한다.The electrostatic chuck is made in the shape of a flat plate, and as shown in FIG. 1, is firmly coupled to the upper surface of the
이러한 정전 척(2)의 체결은 공정에서 CD(Critical Dimension)와 thinning과 헬륨(He) 리크에 직접적인 영향을 주는 원인이 되고 있으므로 정전 척(2)은 더욱 정밀성이 요구된다.Since the fastening of the
정전 척(2)의 체결은 통상 도 2에서와 같이 정전 척(2)의 원주연을 따라 서로 대응되는 방향 즉 대각선 방향으로 스크류(3)가 체결되게 함으로써 균일한 체결력을 유지하도록 하며, 이때의 체결 수단으로는 토크 렌치를 주로 사용하도록 하고 있다.Fastening of the electrostatic chuck (2) is to maintain a uniform fastening force by allowing the screw (3) is fastened in a direction corresponding to each other, ie diagonal direction, along the circumferential edge of the electrostatic chuck (2), as shown in FIG. A torque wrench is mainly used as a fastening means.
하지만 종전의 토크 렌치를 이용하여 스크류(3)를 하나씩 체결하다 보면 도 3에서와 같이 최초로 토크 렌치(4)에 의해 조여지는 스크류(3) 체결 부위에 대해 그와 대각선 위치의 체결 부위가 들뜨는 현상이 발생되면서 이 들뜬 부위의 스크류(3)를 토크 렌치(4)를 이용하여 체결하게 될 때에 스크류 마모가 초래되고, 이로 인해 체결력 저하와 공정 수행 중 공정 불량을 발생시키는 대단히 심각한 문제가 있다.However, when the
따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 주된 목적은 균일한 체결력으로 체결될 수 있도록 하는 스크류 체결장치를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been invented to solve the above-described problems of the prior art, the main object of the present invention is to provide a screw fastening device to be fastened with a uniform fastening force.
또한 본 발명은 정전 척에서의 안정된 체결력 유지로 공정 수행 효율이 향상되도록 하는 스크류 체결장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a screw fastening device for improving the process performance efficiency by maintaining a stable fastening force in the electrostatic chuck.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상부에서 수동으로 회전 조작이 가능하게 구비되는 핸들 수단과; 상기 핸들 수단의 하단부에서 서로 반대방향의 양측으로 회전력을 전달하는 제1 방향 전환 수단과; 상기 제1 방향 전환 수단으로부터 양측으로 소정의 길이를 연결관에 의해서 연결되도록 하고, 상기 연결관의 단부에서 서로 직각으로 만나는 두 축간 회전 방향을 전환시키면서 회전력이 전달되게 하는 제2 방향 전환 수단; 및 상기 제2 방향 전환 수단으로부터 수직으로 하향 구비되어 스크류의 헤드부에 하단부가 맞춤 끼워지도록 하는 렌치 수단으로 이루어지는 구성이다.In order to achieve the above object, the present invention includes a handle means which is provided to enable a manual rotation operation from the top; First direction switching means for transmitting rotational forces from both lower ends of said handle means to opposite sides of each other; Second direction switching means for connecting a predetermined length from the first direction switching means to both sides by a connecting pipe, and transmitting rotational force while switching a rotational direction between two axes which meet at right angles to each other at an end of the connecting pipe; And a wrench means provided vertically downward from the second direction switching means so that the lower end portion is fitted to the head portion of the screw.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명 하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명에 따른 스크류 체결장치를 개략적으로 도시한 것으로서, 본 발명은 크게 핸들 수단(10)과 제1 방향 전환 수단(20)가 제2 방향 전환 수단(30)과 렌치 수단(40)으로서 이루어진다.Figure 4 schematically shows a screw fastening device according to the present invention, the present invention is largely the handle means 10 and the first direction switching means 20 is the second direction switching means 30 and the wrench means 40 As is done.
상기의 구성에서 핸들 수단(10)은 수동으로 회전 조작이 가능하게 구비되는 구성이며, 회전축(11)과 손잡이(12)는 편심되게 위치되도록 하는 것이 보다 바람직하며, 이를 위해서 도시한 바와 같이 수직의 상단부가 일측으로 수평 절곡되게 하여 크랭크 타입으로 회전축(11)이 구비되도록 하고, 회전축(11)의 일측으로 절곡된 단부에는 상부로 손잡이(12)가 축고정되도록 한다.In the above configuration, the handle means 10 is configured to be manually rotated, the
제1 방향 전환 수단(20)은 핸들 수단(10)의 하단에서 핸들 수단(10)의 회전축(11)을 통해 전달되는 회전력을 서로 반대되는 양측으로 전달될 수 있도록 회전력을 전달 및 방향 전환하도록 하는 구성이다.The
제1 방향 전환 수단(20)은 도 5에서 예시한 바와 같이 크게 기어 박스(21)와 양측에서 일정 길이로 구비되는 연결관(22)과 기어 박스(21)의 내부에 구비되는 다수의 베벨 기어(23)와 축지지부재(24)로서 이루어지는 구성이다.As shown in FIG. 5, the first direction switching means 20 includes a
즉 기어 박스(21)에는 양측으로 연결관(22)의 일단이 각각 결합되고, 기어 박스(21)와 상부로부터는 핸들 수단(10)의 회전축(11) 하단부가 삽입되며, 각 연결관(22)에는 연동축(25)이 회전 가능하게 삽입되도록 한다.That is, one end of the connecting
이때 기어 박스(21)의 내부에서 회전축(11)과 양측으로 구비되는 연동축(25)의 삽입 단부에는 각각 베벨 기어(23)가 축결합되면서 특히 회전축(11)에 축결합한 베벨 기어(23)에 양측 연동축(25)에 축결합된 베벨 기어(23)들이 양측에서 기어간 맞물리도록 연결한다.At this time, the
또한 회전축(11)과 양측의 연동축(25)은 기어 박스(21)의 내부에서 각각 축지지부재(24)에 의해 회전 가능하게 축지지되도록 한다. 이러한 축지지부재(24)로는 통상 베어링을 적용한다.In addition, the
한편 기어 박스(21)의 상부는 내부로 베벨 기어(23)와 축지지부재(24)들의 조립 및 분해가 용이하도록 캡(26)에 의해서 커버되도록 하는 것이 보다 바람직하다.On the other hand, the upper portion of the
제2 방향 전환 수단(30)은 제1 방향 전환 수단(20)을 통해 전달되는 회전력을 다시 수평 회전 방향으로 전환되도록 제1 방향 전환 수단(20)측 양측의 연결관(22) 단부에 결합되는 구성이다.The second direction switching means 30 is coupled to the ends of the connecting
즉 연결관(22)의 단부에서 두 개의 축이 서로 회전 방향을 전환하면서 회전력이 전달될 수 있도록 하는 것이다.In other words, the two axes at the end of the connecting
제2 방향 전환 수단(30) 또한 제1 방향 전환 수단(20)과 마찬가지로 도 6에서와 같이 기어 박스(31)와 종동축(32)과 베벨 기어(33) 및 축지지부재(34)의 결합에 의해 이루어지는 구성이다.As in the first direction switching means 20, the second direction switching means 30 is also coupled to the
제2 방향 전환 수단(30)에서 기어 박스(31)는 내부가 비고, 연결관(22)의 단부가 결합되면서 이 연결관(22)을 통해 연동축(25)이 삽입되는 구성이다.In the second direction switching means 30, the
이 연동축(25)과 수직의 방향인 기어 박스(31)의 하부로부터는 종동축(32)의 상단부가 삽입된다.An upper end of the driven
기어 박스(31)에 삽입된 연동축(25)과 종동축(32)에는 각각 베벨 기어(33)가 축고정되며, 연동축(25)측의 베벨 기어(33)와 종동축(32)측의 베벨 기어(33)는 각각 상호 기어 맞물림에 의해 연결되도록 한다.
서로 기어결합된 연동축(25)과 종동축(32)은 기어 박스(31)의 내부에서 축지지부재(34)에 의해 견고하게 지지되면서 회전이 가능하도록 한다.The interlocking
따라서 직각으로 배치되는 연동축(25)과 종동축(32)은 베벨 기어(33)간 기어 결합에 의해서 회전 방향이 전환되도록 하는 것이다.Therefore, the interlocking
렌치 수단(40)은 제2 방향 전환 수단(30)으로부터 수직으로 하향 구비되어 스크류의 헤드부에 하단부가 맞춤 끼워지도록 하는 구성이다.The wrench means 40 is configured to be provided vertically downward from the second direction switching means 30 so that the lower end portion is fitted to the head portion of the screw.
즉 제2 방향 전환 수단(30)으로부터는 기어 박스(31)로부터 종동축(32)이 하향 인출되는 형상으로 구비되므로 도 5에서와 같이 종동축(32)의 하단부로 어뎁터(41)를 결합시켜 체결하고자 하는 스크류에 적절한 체결 구조를 갖는 렌치(42)를 맞춤결합하는 구성이다.That is, since the driven
한편 본 발명에서 양측의 제2 방향 전환 수단(30)간 거리는 조정이 가능하게 구비되게 할 수도 있으나, 일정한 거리로서 규격화하여 다양한 거리를 갖는 구성으로 다양하게 구비하는 것이 가장 바람직하다.Meanwhile, in the present invention, the distance between the second direction switching means 30 on both sides may be provided to be adjustable, but it is most preferable to provide a variety of configurations having various distances by standardizing as a constant distance.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 작용에 대해서 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.When described in more detail with respect to the action according to the invention configured as described above are as follows.
본 발명은 일정한 거리를 이격한 체결 부위에 스크류를 체결하고자 하는 경우 스크류를 동시에 체결할 수 있도록 하는 것이다.The present invention is to be able to fasten the screw at the same time if you want to fasten the screw to a fastening spaced apart a certain distance.
즉 반도체 설비의 정전 척과 같이 원주연부를 따라서 다수의 스크류를 체결하여 장착하게 되는 구성에서 통상 서로 대각선 방향에 위치한 스크류를 체결시키도록 한다.That is, in a configuration in which a plurality of screws are fastened along a circumferential edge such as an electrostatic chuck of a semiconductor facility, the screws are usually fastened to be disposed in diagonal directions.
따라서 도 7에서와 같이 본 발명의 스크류 체결장치를 체결하고자 하는 정전 척과 같은 체결 구성의 서로 대각선 방향에 위치하는 스크류 체결 위치에 각각 스크류(50)가 끼워지게 한 상태에서 본 발명에 따른 렌치 수단(40)에 각각 구비되는 렌치(42)의 하단부가 스크류(50)의 머리에 정확히 맞춤결합되도록 한 다음 핸들 수단(10)의 손잡이(12)를 잡고 체결 방향으로 회전시키게 되면 회전축(11)이 도 5의 방향으로 회전한다.Therefore, as shown in FIG. 7, the wrench means according to the present invention in a state in which the
회전축(11)이 회전하면 이 회전축(11)에 축고정된 베벨 기어(23)와 기어결합된 양측의 베벨 기어(23)가 서로 반대 방향으로 회전하게 되고, 따라서 양측의 베벨 기어(23)에 축고정된 각 연동축(25)이 반대 방향으로 회전한다.When the
연동축(25)이 서로 반대로 회전하게 되면 이들 연동축(25)의 타단에서 각각 베벨 기어(33)간 기어결합되면서 이들 베벨 기어(33)에 축결합되는 각 종동축(32)들은 도 6에서와 같이 다시 동일한 회전 방향으로 회전하게 된다.When the interlocking
이러한 종동축(32)들의 회전 방향은 최초 회전축(11)의 회전 방향과 동일하므로 이들 종동축(32)에 어뎁터(41)를 이용하여 결합한 렌치(42)에 의해 서로 대각선 방향의 스크류(50)를 동시에 균일하게 체결시킬 수가 있게 된다.Since the rotational direction of the driven
이와 같이 동시에 대각선 방향의 스크류(50)를 체결시키게 되면 종전과 같이 일측의 스크류를 체결하면서 타측의 스크류 체결 부위가 들뜨게 되는 사례를 미연 에 방지할 수가 있다.As such, when the
따라서 스크류(50)의 체결에 있어 항상 안정적이면서 균일하게 수행되도록 함으로써 특히 정전 척에서의 체결력 불량으로 인한 CD 불량 및 헬륨 리크 등의 공정 오류 발생을 방지하여 보다 공정 신뢰성이 향상될 수 있도록 한다.Therefore, the
특히 다수의 스크류(50)를 동시에 보다 손쉽고 빠르게 체결 또는 해결할 수가 있으므로 설비의 조립 및 분해와 같은 작업 시간을 대폭적으로 단축시킬 수도 있게 된다.In particular, since a plurality of
한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 이들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. On the other hand, while many matters have been described in detail in the above description, these should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention.
따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be defined by the described embodiments, but should be determined by the technical spirit described in the claims.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 정전 척과 같이 외주연을 따라 다수의 스크류 체결에 의해 체결하게 되는 구성에서 서로 대각선 방향에 위치하는 스크류(50)를 동시에 체결할 수 있도록 함으로써 보다 균일한 체결력을 제공하면서 체결 불량을 방지시키게 된다.As described above, according to the present invention, in the configuration of fastening by a plurality of screw fastening along the outer circumference, such as an electrostatic chuck, it is possible to simultaneously fasten the
또한 본 발명은 두 개의 스크류(50)를 한번에 체결할 수가 있으므로 스크류 체결 시간을 대폭적으로 단축시키면서 조립 및 분해 작업 시간을 줄일 수가 있고, 또한 그만큼 빠른 작업이 되도록 함으로써 작업 효율성과 작업자의 편의를 대폭적으로 개선시키게 되는 매우 유용한 효과를 제공한다.In addition, the present invention can fasten the two
Claims (5)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103206949A (en) * | 2013-04-11 | 2013-07-17 | 野象自动化机械(上海)有限公司 | Self-detecting self-positioning universal screw machine and positioning method thereof |
CN110497358A (en) * | 2019-09-23 | 2019-11-26 | 长沙航空职业技术学院 | The extracting tool and application method of a kind of screw on curved surface, nut |
CN110732994A (en) * | 2019-10-31 | 2020-01-31 | 西安图唯谷创新科技有限公司 | multi-head cooperating wrench |
CN111168364A (en) * | 2019-12-31 | 2020-05-19 | 天长市天利达电子厂 | Television remote controller assembling equipment |
-
2005
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103206949A (en) * | 2013-04-11 | 2013-07-17 | 野象自动化机械(上海)有限公司 | Self-detecting self-positioning universal screw machine and positioning method thereof |
CN110497358A (en) * | 2019-09-23 | 2019-11-26 | 长沙航空职业技术学院 | The extracting tool and application method of a kind of screw on curved surface, nut |
CN110732994A (en) * | 2019-10-31 | 2020-01-31 | 西安图唯谷创新科技有限公司 | multi-head cooperating wrench |
CN111168364A (en) * | 2019-12-31 | 2020-05-19 | 天长市天利达电子厂 | Television remote controller assembling equipment |
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