KR20060118966A - Substrate cassette - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 일반적인 카세트에 대한 사시도.1 is a perspective view of a typical cassette.
도 2는 일반적인 카세트 검사 및 세정 시스템에 대한 블록도.2 is a block diagram of a typical cassette inspection and cleaning system.
도 3은 일반적인 카세트 검사장치에 대한 사시도.Figure 3 is a perspective view of a typical cassette inspection device.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 검사장치의 개요를 카세트와 함께 나타낸 모식도.Figure 4 is a schematic diagram showing the outline of the cassette inspection apparatus according to the present invention with a cassette.
도 5는 본 발명에 따른 카세트 검사장치에 대한 사시도.5 is a perspective view of a cassette inspection apparatus according to the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
110 : 카세트 112 : 입구면110: cassette 112: entrance surface
114,116 : 양측면 118 : 뒷면114,116 Both sides 118: Back side
120,122 : 상하플레이트 124,126,128 : 제 1 내지 제 3 프레임바120,122: upper and lower plates 124,126,128: first to third frame bar
132 : 슬럿핀 134 : 서포트바132: slot pin 134: support bar
142,144,146 : 제 1 내지 제 3 센서142,144,146: first to third sensors
본 발명은 카세트 검사장치 및 이를 이용한 카세트 검사방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판을 대상으로 진행되는 평판표시장치의 제조공정 중 다수의 기판을 보관 및 수납하기 위한 카세트의 검사단계에 있어서, 외부충격에 의한 진동 발생여부를 감지하여 검사신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 카세트 검사장치 및 이를 이용한 카세트 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette inspection apparatus and a cassette inspection method using the same, more specifically, in the inspection step of the cassette for storing and storing a plurality of substrates during the manufacturing process of the flat panel display apparatus for the substrate, the external The present invention relates to a cassette inspection apparatus and a cassette inspection method using the same, which can greatly improve inspection reliability by detecting whether vibration is generated by an impact.
최근 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 각종 전기적 신호정보를 시각적으로 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화의 우수한 특성을 지닌 여러 가지 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)가 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.Recently, as the society has entered the full-scale information age, the display field for visually displaying various electrical signal information has developed rapidly, and in response to this, various flat displays with excellent characteristics such as light weight, thinness, and low power consumption have been developed. Flat Panel Display device (FPD) is introduced to quickly replace the existing cathode ray tube (CRT).
이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들은 공통적으로 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한 쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있다.Specific examples of such a flat panel display device include a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel device (PDP), a field emission display device (FED), and an electroluminescent display device. (Electro luminescence Display device: ELD), etc., which are commonly equipped with a flat display panel, in which a pair of transparent substrates are bonded to each other with a unique fluorescent or polarizing layer interposed therebetween as an essential component. have.
최근에는 특히 이들 평판표시패널에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬로 배열하고 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭 소자로 각 화소를 개별 제어하는 능동행렬방식(active matrix type)이 동영상 구현능력 과 색 재현성에서 뛰어나 널리 이용되고 있으며, 이 경우 평판표시장치의 제조에는 기판을 대상으로 그 표면에 소정물질의 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 포토레지스트(photo resist)를 도포하고 소정의 마스크(mask)로 노광 및 현상하여 상기 박막의 선택된 일부만을 노출시키는 포토리소그라피(photo lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거함으로써 목적하는 형태의 박막패턴을 얻는 식각공정(etching)이 수 차례 반복 포함되고, 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.Recently, an active matrix type in which pixels, which are basic units of image expression, are arranged in a matrix on these flat panel display panels, and each pixel is individually controlled by a switching element such as a thin film transistor (TFT). ) Is widely used because of its excellent video reproducibility and color reproducibility.In this case, a thin film deposition process and a photoresist for forming a thin film of a predetermined material on the surface of a substrate for manufacturing a flat panel display device A photolithography process for exposing and developing only a selected portion of the thin film by applying and exposing and developing with a predetermined mask, and an etching process for obtaining a thin film pattern having a desired shape by removing the exposed portion of the thin film ( etching) is repeated several times, and in addition, various different processes such as cleaning, bonding, and cutting are involved.
한편, 이 같은 평판표시장치의 제조공정 중에 처리대상물인 기판은 복수 개로 단위지어져 운반 및 저장됨으로써 시간과 노력의 절감을 꾀하는 바, 이를 위한 수납케이스로서 카세트(cassette)가 사용되며, 이는 현재 평판표시장치의 전(全) 제조공정에서 기판보관과 운반에 대한 최소단위를 이루고 있다.On the other hand, during the manufacturing process of such a flat panel display device, a plurality of substrates to be processed are united and transported and stored to reduce time and effort, and a cassette is used as a storage case for this. It is the smallest unit for substrate storage and transport in the entire manufacturing process of the device.
이에 첨부된 도 1은 일반적인 카세트(10)에 대한 사시도로서, 외관상 전방의 입구면(12)이 개방된 대략 육면체 박스형상을 나타낸다.1 is a perspective view of a
보다 구체적으로, 일반적인 카세트(10)는 상하로 대면되어 천정과 바닥역할을 담당하는 사각의 상하플레이트(20,22)와, 이들 상하플레이트(20,22)의 서로 대응된 가장자리를 수직하게 연결하여 개방된 입구면(12)을 비롯한 세 개의 측면과 내부 기판 수납공간을 구현하는 복수개의 프레임바(24,26,28)를 포함한다.More specifically, the
이때 입구면(12)이 전방을 향한다는 가정 하에 세 개의 측면은 각각 서로 마주보는 양 측면(14,16) 그리고 입구면(12)을 바라보는 뒷면(18)으로 구분될 수 있고, 이중 양 측면(14,16)을 이루는 적어도 하나씩의 제 1 및 제 2 프레임바(24,26) 내면으로부터는 상하 일정피치 간격의 슬럿핀(32)이 서로 마주보는 방향으로 수평하게 돌출되며, 뒷면(18)을 이루는 적어도 하나의 제 3 프레임바(28) 내면으로부터는 상기 슬럿핀(32)과 동일피치 간격을 갖는 서포트바(34)가 입구면(12)을 향해 수평하게 돌출되어 있다.In this case, the three sides may be divided into two
따라서 기판은 서로 대응되는 슬럿핀(32)에 의해 양 가장자리가 지지됨과 동시에 해당 기판을 가로질러 떠받치는 서포트바(34)에 의해 층별로 수납된다.Accordingly, the substrates are received layer by layer by the
한편, 상술한 카세트(10)에 있어 외형변화가 나타난 경우 기판 파손과 직결되고, 따라서 평판표시장치의 제조공정 중에 일정주기 별로 카세트(10)에 대한 검사를 진행하여 기판보관과 운반에 대한 안전을 도모하는 바, 이를 위해 카세트 검사장치가 사용되며, 특히 최근의 추세인 평판표시장치의 대면적화에 따라 기판 사이즈(size)를 비롯한 카세트(10)의 적재하중 커짐에 따라 이 같은 카세트(10)의 검사는 그 중요성이 갈수록 높아지고 있다.On the other hand, when the appearance of the
이때 통상의 카세트 검사장치는 카세트(10)의 적재 및 보관을 위한 스토커(stocker) 그리고 카세트(10)의 세정을 위한 카세트 세정장치와 연동되는 이른바 인라인(in line) 시스템으로 구축되며, 첨부된 도 2는 이 같은 일반적인 카세트 검사 및 세정 시스템에 대한 블록도이다.In this case, the conventional cassette inspection apparatus is constructed of a so-called in-line system which is interlocked with a stocker for loading and storing the
이를 도 1과 함께 참조하면, 먼저 스토커(42)는 카세트(10)를 목적에 따라 분류 적재하는 부분으로서 상하좌우로 구획된 복수의 쉘프(shelf)를 제공하여 각각에 카세트(10)가 구분 적재되도록 하고, 카세트 운반로봇인 락마스터(rock master)가 구비되어 내 외부간을 비롯한 각 쉘프 사이에서 카세트의 운반을 담당한다. 다음으로 카세트 세정장치(46)는 스토커(42)와의 연결 매개인 세정기로더(44)를 통해서 카세트(10)를 전달받아 이에 대한 세정과 건조를 진행하며, 세정이 완료된 카세트(10)는 세정기언로더 기능을 겸비한 카세트 검사장치(48)로 인계되어 검사를 마친 후 다시 스토커(42)로 전달 및 적재된다.Referring to FIG. 1, first, the
이 과정 중에 카세트 검사장치(48)는 카세트(10)에 대한 외형적인 이상유무로써 기울어짐을 비롯한 서포트바(34)의 피치간격에 대한 변동여부를 검사하며, 이를 위해 카세트(10)가 안착되는 지지단 그리고 복수개의 이동식 및 고정식 센서를 구비하고 있다.During this process, the
즉, 첨부된 도 3은 일반적인 카세트 검사장치를 나타낸 개략적인 사시도로서, 도면이 복잡해지는 것을 방지하기 위하여 편의상 카세트는 생략하였는바, 앞서의 도 1을 함께 참조하여 설명하면, 보이는 바와 같이 일반적인 카세트 검사장치는 카세트(10)가 안착되는 지지단(52) 그리고 여기에 카세트(10)가 안착될 경우에 이의 외곽을 두르도록 상기 지지단(52)에 대해 수직하게 카세트(10) 이상의 높이로 직립된 복수개의 포스트(54) 그리고 이들 포스트(54) 상단을 연결하는 복수의 크로스빔(55)을 구비하고 있다. 그 결과 복수개의 포스트(54)와 크로스빔(55)이 각각 기둥과 보의 역할을 하여 지지단(52)에 놓여진 카세트를 둘러싸는 육면체의 철골구조물 형태를 이룬다.That is, the accompanying Figure 3 is a schematic perspective view showing a typical cassette inspection apparatus, the cassette is omitted for convenience in order to avoid the complexity of the drawing, when described with reference to Figure 1 above, a general cassette inspection as shown The device is erected at a height above the
그리고 이 같은 포스트(54) 중 적어도 하나의 내면에는 제 1 센서(56)가 상하단으로 쌍을 이루도록 고정되어 카세트(10) 임의의 일 측면 상하단에 각각 측방으로 대면되는데, 도 1에 나타낸 바와 같이 통상의 카세트(10)의 양 측면(14,16)을 구성하는 제 1 및 제 2 프레임바(24,26)는 최소한 상하플레이트(20,22)의 네 꼭지점 부분을 각각 연결하는 적어도 4 개로 구비되는 바, 카세트 검사장치의 포스트(54) 역시 각각에 일대일 대응되는 4개 이상이 될 수 있고, 이 경우 제 1 센서(56)는 이들 4 개의 포스트(54) 내면 상하단에 각각 쌍을 이루도록 고정됨으로써 상기 적어도 4개의 제 1 및 제 2 프레임바(24,26) 상하단과 각각 측방으로 대면되는 총 4쌍 이상이 사용될 수 있다.In addition, the
이때 비록 도 3은 사시도인 관계로 각각의 포스트(54) 내면에 장착되어지는 제 1 센서(56) 중 일부는 보이지 않겠지만, 설명의 편의를 위해서 점선으로 나타내었다.At this time, although FIG. 3 is a perspective view, some of the
또한 이들 포스트(54)와는 별도로 카세트(10)의 양 측면(14,16) 중 적어도 하나와 대면되도록 지지단(52)에 대해서 수직하게 직립된 승강포스트(58)가 마련되고, 여기에는 카세트(10) 내부의 서포트바(34)를 향해 소정길이 수평하게 연장된 상태로 승강포스트(58)를 따라 상하로 이동되는 로봇아암(60)이 장치되며, 상기 로봇아암(60)의 말단에는 제 2 센서(62)가 고정된다. 이때 승강포스트(58)를 비롯한 로봇아암(60)과 제 2 센서(62)는 각각 도면에서 나타낸 바와 같이 카세트(10)의 서포트바(34)를 사이에 두고 서로 마주보는 한 쌍으로 구비될 수 있다.Apart from these
따라서 지지단(52) 상에 검사대상물인 카세트(10)가 안착되면 4 쌍의 제 1 센서(56)가 각각 카세트(10)의 양 측면(14,16)을 이루는 제 1 및 제 2 프레임바(24.26) 중에서 특히 상하플레이트(20,22)의 서로 대응된 꼭지점 부분을 연결하는 4개의 상하단과 자신 사이의 간격을 측정하여 이를 토대로 카세트(10)의 기울어짐 여부를 검사할 수 있고, 이 과정 중에 서포트바(34)에 근접하여 상하로 승강되는 제 2 센서(62)를 이용하여 상기 서포트바(34) 피치간격의 변동여부를 검사할 수 있다.Therefore, when the
하지만, 상술한 일반적인 카세트 검사장치는 진동 등에 매우 취약한 단점을 나타내는데, 통상의 카세트 검사장치가 스토커 및 카세트 세정장치와 연동되는 인라인 시스템을 구축하고 있음을 감안하면 대형로봇인 락마스터 내지는 카세트 세정장치에 의한 진동이나 충격은 지지단을 통해서 카세트(10)로 전달될 가능성이 크고, 이로 인해 제 1 및 제 2 센서(56,62)의 측정결과가 달라져 검사신뢰성이 크게 저하되는 현상이 나타난다.However, the above-described general cassette inspection apparatus exhibits a disadvantage that is very vulnerable to vibration, etc., considering that a conventional cassette inspection apparatus establishes an inline system interoperating with a stocker and a cassette cleaning apparatus, a large robot rockmaster or a cassette cleaning apparatus may be used. Vibration or impact caused by the vibration is likely to be transmitted to the
특히 카세트(10)의 서포트바(34)는 그 말단이 카세트(10) 뒷면(18)을 이루는 제 3 프레임바(28)에 고정된 상태로 수평하게 연장된 외팔보 형상을 나타내므로 외부의 진동에 의해 상하로 요동치는 현상이 나타나며, 제 2 센서(62)의 피치간격 검사 중에 이 같은 상하요동 현상이 나타나면 정확한 검사가 불가능하여 정상 카세트가 불량으로 판정되는 경우가 빈번하게 나타나고 있다.In particular, the
이에 간단하게는 지지단(52)에 진동을 억제하는 제진기능을 추가하는 것을 생각할 수 있지만, 이는 비용적 부담을 수반함과 동시에 제진기능을 겸비한 지지단(52)에 카세트(10)를 안정적으로 승하역 시키기 위한 추가적인 방안이 고민되어야 하므로 용이하게 적용되기 어렵고, 따라서 보다 간단하고 편리한 방법으로 카세트 검사장치의 검사신뢰성을 향상시킬 수 있는 구체적인 방도가 요구되고 있는 실정이다.In this regard, it is possible to simply add a vibration damping function to suppress the vibration to the
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 외부충격에 의한 진동 등에도 불구하고 카세트 검사장치의 검사신뢰성을 향상시키는데 그 목적을 두며, 이를 위하여 구체적으로는 보다 간단하고 편리한 방법으로 검사 진행 중에 진동이 발생하였는지 여부를 감지할 수 있는 카세트 검사장치를 제공하고, 이를 이용해서 검사신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 카세트 검사방법을 제공하고자 한다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to improve the inspection reliability of the cassette inspection device despite the vibration due to external shock, etc. The present invention provides a cassette inspection apparatus capable of detecting whether vibrations are generated during an inspection, and provides a cassette inspection method that can greatly improve inspection reliability by using the same.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상하플레이트 및 이들을 연결하는 세 개의 수직면과 개방된 입구면을 갖는 카세트를 검사하기 위한 카세트 검사장치로서, 상기 카세트가 안착되는 바닥면을 제공하는 지지단과; 상기 카세트의 상기 상플레이트와 상하 대면되도록 상기 카세트 보다 높은 위치에서 상기 바닥면에 대해 수평을 유지하는 수평면에 고정 설치되어, 자신과 상기 상플레이트 사이의 상하간격 변동여부를 감지하는 제 1 센서를 포함하는 카세트 검사장치를 제공한다. 이때 상기 상하플레이트는 각각 서로 대응되는 사각의 판 형상이고, 상기 제 1 센서는 상기 상플레이트의 네 꼭지점 부분에 각각 대면되는 적어도 4개인 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a cassette inspection apparatus for inspecting a cassette having an upper and lower plates and three vertical surfaces and an open entrance surface connecting them, a support end providing a bottom surface on which the cassette is seated; And a first sensor fixedly installed on a horizontal plane that is horizontal to the bottom surface at a position higher than the cassette so as to face the top plate of the cassette up and down, and detects whether there is a fluctuation of vertical gap between itself and the top plate. A cassette inspection apparatus is provided. In this case, the upper and lower plates each have a rectangular plate shape corresponding to each other, and the first sensor is characterized in that at least four facing each of the four vertices of the upper plate.
또한 상기 카세트의 상기 세 개의 수직면은 서로 마주보는 양 측면 그리고 상기 입구면과 마주보는 뒷면으로 구분되며, 상하 일정간격의 제 1 피치를 유지하 면서 상기 뒷면으로부터 상기 입구면을 향해 수평하게 돌출된 복수개의 서포트바를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 이 경우 상기 카세트의 상기 양 측면 중 적어도 하나의 상 하단과 각각 측방 대면되도록 상기 바닥면에 대해 수직한 제 1 수직선상에 쌍으로 고정되어, 자신과 상기 양 측면 중 적어도 하나 사이의 측방거리를 각각 측정하는 제 2 센서와; 상기 바닥면에 대해 수직하고 상기 서포트바와 근접한 제 2 수직선상을 따라 상하로 이동 되면서 상기 제 1 피치의 변동여부를 감지하는 제 3 센서를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the three vertical surfaces of the cassette are divided into two sides facing each other and the rear surface facing the inlet surface, a plurality of protruding horizontally toward the inlet surface from the rear surface while maintaining the first pitch of the upper and lower predetermined intervals And a support bar, which is fixed in pairs on a first vertical line perpendicular to the bottom surface so as to face each of the upper and lower ends of at least one of the two sides of the cassette. A second sensor each measuring a lateral distance between at least one of the sides; And a third sensor vertically moving with respect to the bottom surface and detecting a change in the first pitch while moving up and down along a second vertical line adjacent to the support bar.
또한 상기 카세트의 상기 양 측면은 각각 상기 상하플레이트의 서로 대응된 꼭지점 부분을 연결하는 적어도 2개씩의 제 1 및 제 2 프레임바로 구성되고, 상기 카세트의 상기 뒷면은 상기 상하플레이트의 서로 대응된 가장자리를 연결하는 적어도 하나의 제 3 프레임바로 구성되어, 상기 복수개의 서포트바는 상기 제 3 프레임바 내면으로부터 돌출된 것을 특징으로 하며, 이 경우 상기 제 1 수직선은 상기 적어도 2개씩의 제 1 및 제 2 프레임바와 각각 대응되는 적어도 4개이고, 상기 제 2 수직선은 상기 서포트바를 사이에 두고 이의 양편이 위치하는 2개인 것을 특징으로 한다.In addition, the both sides of the cassette is composed of at least two first and second frame bars connecting the corresponding vertex portions of the upper and lower plates, respectively, and the rear surface of the cassette is formed by the corresponding edges of the upper and lower plates. And a plurality of support bars protruding from an inner surface of the third frame bar, wherein the plurality of support bars protrude from the inner surface of the third frame bar. In this case, the first vertical line is the at least two first and second frames. Bars are at least four corresponding to each other, and the second vertical line is characterized in that the two sides thereof are located between the support bar.
아울러 상기 바닥면에 대해 수직한 적어도 하나의 포스트와; 상기 바닥면에 대해 수평하고 상기 포스트 상 끝단에 결합된 적어도 하나의 크로스빔과; 상기 바닥면에 대해 수직한 적어도 하나의 승강포스트와; 상기 승강포스트를 따라 상하로 이동 가능하게 부설되고 말단이 상기 서포트바에 근접한 로봇아암을 포함하여, 상기 제 1 센서는 상기 크로스빔에 고정되고, 상기 제 2 센서는 상기 포스트에 고정 되며, 상기 제 3 센서는 상기 로봇아암 말단에 고정되는 것을 특징으로 한다.And at least one post perpendicular to the bottom surface; At least one crossbeam horizontal to the bottom surface and coupled to the top end of the post; At least one lifting post perpendicular to the bottom surface; And a robot arm disposed to be movable up and down along the lifting post and having a distal end proximate to the support bar, wherein the first sensor is fixed to the crossbeam, the second sensor is fixed to the post, and the third The sensor is fixed to the end of the robot arm.
또한 본 발명은 상기한 카세트 검사장치를 이용한 카세트 검사방법으로서, a)상기 지지단의 바닥면 상에 상기 카세트가 안착되는 단계와; b)상기 제 1 센서가 자신과 상기 카세트 상플레이트 사이의 상하간격 변동여부를 감지하는 동안, 상기 제 2 센서가 자신과 상기 카세트의 적어도 일 측면 상하단 사이의 측방거리를 감지하여 상기 카세트의 기울어짐 여부를 판단하고, 상기 제 3 센서가 상기 서포트바의 상기 제 1 피치의 변동여부를 감지하는 단계를 포함하는 카세트 검사방법을 제공하며, 상기 b)단계 진행 후 상기 제 1 센서의 감지결과가 기준치 이상일 경우, 상기 b)단계를 반복하는 것을 특징으로 하고, 상기 기준치는 ±0.1 내지 0.5mm 인 것을 특징으로 한다.In another aspect, the present invention provides a cassette inspection method using the cassette inspection apparatus, comprising: a) mounting the cassette on the bottom surface of the support end; b) while the first sensor detects a vertical gap between the cassette and the cassette upper plate, the second sensor detects a lateral distance between itself and at least one side of the cassette and tilts the cassette. And determining whether the third sensor has changed the first pitch of the support bar. After the step b), the detection result of the first sensor is a reference value. If more than, characterized in that the step b) is repeated, the reference value is characterized in that ± 0.1 to 0.5mm.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
첨부된 도 4는 본 발명에 따른 카세트 검사장치의 개요를 카세트와 함께 나타낸 모식도로서, 특히 복수개의 센서를 위주로 나타낸 도면이다.4 is a schematic view showing the outline of the cassette inspection apparatus according to the present invention together with the cassette, and in particular, a plurality of sensors.
먼저, 본 발명에 따른 카세트 검사장치의 검사대상물인 카세트(110)는 위 아래로 대면된 상하면 그리고 이들의 서로 대응되는 가장자리를 연결하는 세 개의 수직면을 포함하며, 그 결과 내부의 기판수납공간을 정의하면서 일측의 입구면(112)이 개방된 대략 육면체의 박스형상을 나타내고 있다.First, the
보다 구체적으로, 먼저 본 발명에 따른 카세트(110)의 상하면은 각각 기판과 유사하지만 이보다 큰 사이즈를 갖는 사각의 상하플레이트(120,122)로 이루어지고, 이들은 각각 천정과 바닥 역할을 담당한다.More specifically, first, the upper and lower surfaces of the
다음으로 이들 상하플레이트(120,122)의 서로 대응되는 세 가장자리를 연결하는 세 개의 수직면은 각각, 입구면(112)이 전방이라는 가정 하에, 서로 마주보는 양 측면(114,116) 그리고 입구면(112)과 마주보는 뒷면(118)으로 구분될 수 있고, 이중 양 측면(114,116)은 소정간격을 유지하면서 상하플레이트(120,122)의 서로 대응된 가장자리를 연결하는 복수개의 제 1 및 2 프레임바(124,126)로 이루어지며, 뒷면(118) 역시 상하플레이트(120,122)의 서로 대응된 가장자리를 연결하는 적어도 하나의 제 3 프레임바(128)로 이루어진다. 따라서 제 1 내지 제 3 프레임바(124,126,128) 사이공간을 통해서 어느 방향에서든 기판 수납여부를 용이하게 확인할 수 있으며, 이 경우 특히 제 1 및 제 2 프레임바(124,126)는 각각 상하플레이트(120,122)의 서로 대응된 네 꼭지점을 각각 연결하는 적어도 2개 이상씩이 될 수 있다.Next, the three vertical planes connecting the three corresponding edges of the upper and
그리고 이중 제 1 및 제 2 프레임바(124,126) 내면으로부터는 서로 마주보는 방향으로 수평하게 돌출된 슬럿핀(132)이 상하 일정피치로 늘어서 각 층을 구분하고 있고, 제 3 프레임바(128) 내면으로부터는 입구면(112)을 향해 수평하게 돌출된 다수의 서포트바(134)가 슬럿핀(132)과 동일피치를 이루며 상하로 늘어서 있다. 따라서 각 층별로 슬럿핀(132)이 기판의 양 가장자리를 지지하고 서포트바(134)가 해당 기판 배면을 가로지르듯 떠받친다.In addition, the slot pins 132 protruding horizontally from the inner surfaces of the first and second frame bars 124 and 126 facing each other are lined up and down at a predetermined pitch to separate the layers, and the inner surface of the
다음으로 이 같은 카세트를 검사하기 위한 본 발명에 따른 카세트 검사장치는 카세트(110)가 안착되는 소정 높이의 지지단(도 5의 152 참조)을 통해 바닥면을 제공하고, 카세트(110) 보다 높은 위치에서 바닥면에 대해 수평한 가상의 수평면에 고정되어 카세트(110)의 상플레이트(120)와 상하로 대면되는 제 1 센서(142)와, 바닥면에 대해 수직한 가상의 제 1 수직선상에 쌍을 이루도록 고정되어 카세트(110)의 양 측면(114,116) 중 적어도 하나의 상하단에 각각 측방 대면되는 제 2 센서(144)와, 카세트(110)의 서포트바(134)와 근접해서 바닥면에 대해 수직한 가상의 제 2 수직선상을 따라 상하로 이동 가능하게 설치된 제 3 센서(146)를 포함한다.Next, the cassette inspection apparatus according to the present invention for inspecting such a cassette provides a bottom surface through a support end (see 152 in FIG. 5) of a predetermined height on which the
이때 각각의 센서(142,144,146)는 그 기능이 상이한데, 먼저 제 1 센서(142)는 진동 발생유무를 감지하기 위한 것으로, 구체적으로는 외부의 충격에 의해 카세트(110)가 진동할 경우 자신과 카세트(110) 상플레이트(120) 사이의 상하간격에 대한 변동여부를 토대로 진동 발생유무를 감지한다. 이를 위해 제 1 센서(142)는 카세트(110) 상플레이트(120)의 네 꼭지점 부분과 각각 상하 대면되는 적어도 4개인 것이 바람직하며, 일례로 거리측정 센서가 사용될 수 있다.In this case, each of the
다음으로 제 2 센서(144)는 카세트의 기울어짐 여부를 검사하기 위한 것으로, 카세트(110) 양 측면(114,116) 중 적어도 하나의 상하단과 각각 측방으로 대면되게 쌍을 이루고 있어 각각에서부터 카세트(110)의 양 측면(114,116) 중 적어도 하나의 상하단에 이르는 좌우거리가 다를 경우 카세트가 기울어졌음을 의미한다.Next, the
이때 본 발명에 따른 카세트 검사장치의 검사대상물인 카세트(110)는 일반적인 그것이 사용될 수 있는 바, 통상적으로 카세트(110)의 양 측면(114,116)을 구성하는 제 1 및 제 2 프레임바(124,126)는 최소한 상하플레이트(120,122)의 네 꼭지점 부분을 각각 연결하는 적어도 4 개로 구비될 수 있다. 따라서 이 경우 모든 방향에 대한 카세트의 기울어짐을 감지할 수 있도록 제 1 수직선 역시 상기 적어도 4 개의 제 1 및 제 2 프레임바(124,126)와 각각 일대일 대응되는 4 개 이상이 될 수 있고, 제 2 센서(144)는 이들 4 개의 제 1 수직선 상하단에 각각 쌍을 이루도록 고정되어 상기 적어도 4개의 제 1 및 제 2 프레임바(124,126) 상 하단과 측방으로 대면되는 총 4쌍 이상이 사용될 수 있다.At this time, the
마지막으로 제 3 센서(146)는 서포트바(134)의 피치 변동여부를 검사하기 위한 것으로, 서포트바(134)에 근접하며 바닥면에 대해 수직한 가상의 제 2 수직선상을 따라 상하로 승강하면서 서포트바(134) 각각의 사이 간격이 일정한지를 감지한다. 이때 제 2 수직선 및 제 3 센서(146)는 서포트바를 사이에 두고 서로 마주보는 한 쌍으로 구비될 수 있다.Finally, the
한편, 이상의 본 발명에 따른 카세트 검사장치의 제 1 내지 제 3 센서(142,144,146)는 일반적인 카세트 검사장치에 커다란 변형없이 적절하게 장착될 수 있는데, 그 구체적인 일례를 도 5에 나타내었다. 이때 도면이 지나치게 복잡해지는 것을 방지하기 위하여 카세트는 생략하였는바, 앞서의 도 4를 함께 참조하면 쉽게 이해될 수 있을 것이다.On the other hand, the first to third sensors (142, 144, 146) of the cassette inspection apparatus according to the present invention can be appropriately mounted to the general cassette inspection apparatus without significant deformation, a specific example thereof is shown in FIG. In this case, in order to prevent the drawing from becoming too complicated, the cassette is omitted. Referring to FIG. 4, it will be easily understood.
보이는 바와 같이 본 발명에 따른 카세트 검사장치는 일반적인 경우와 유사하게 카세트(110)가 안착되는 바닥면을 제공하는 지지단(152)을 포함하고, 이와 수직하게 카세트(110) 이상의 높이로 직립된 복수개의 포스트(154) 및 카세보다 높은 위치에서 바닥면에 대해 수평한 복수개의 크로스빔(156)을 포함하는 바, 복수개의 포스트(154)가 동일한 높이라는 전제 하에 크로스빔(156)은 이들 상끝단을 연결할 수 있고, 결과적으로 이들 복수개의 포스트(154) 및 크로스빔(156)은 지지단(152)에 카세트(110)가 안착될 경우 이를 둘러싸는 육면체의 철골구조물을 이루고 있다.As can be seen, the cassette inspection apparatus according to the present invention includes a
이때 특히 복수개의 포스트(154)는 카세트(110)의 양 측면(114,116)을 구현하도록 상하플레이트(120,122)의 서로 대응되는 꼭지점 부분을 연결하는 적어도 2 개씩의 제 1 및 제 2 프레임바(124,126)와 일대일 대응되는 적어도 4개로 마련되는 것이 바람직하다.In particular, the plurality of
따라서 크로스빔(156)에 제 1 센서(142)를 장착하여 카세트(110)의 상플레이트(120)와 상하로 대면시킬 수 있고, 상기 4개의 포스트(154)의 내면 상하단으로 각각 쌍을 이루는 제 2 센서(144)를 장착하여 카세트(110) 상하플레이트(120,122)의 서로 대응되는 꼭지점을 연결하는 적어도 2 개씩의 제 1 및 제 2 프레임바(124,126) 상 하단과 각각 측방 대면되도록 할 수 있다. 이때 도 5가 사시도임을 감안하면 포스트(154) 내면으로 부착되는 제 2 센서(144)의 일부는 외부로 표시되지 않는 것이 정확하겠지만, 이해를 돕기위해 점선으로 나타내었다.Accordingly, the
아울러 이들과는 별도로 지지단(152)에 대해 수직하게 직립된 승강포스트(158) 그리고 이를 따라 승강 가능하게 부설된 상태로 카세트(110) 내로 인입되어 서포트바(134)에 근접되는 로봇아암(160)이 구비되는 바, 상기 로봇아암(160) 말단은 결국 서포트바(134)에 근접해서 지지단(152)에 수직한 가상의 제 2 수직선을 따라 승강되는 이동경로를 갖는다. 따라서 이 같은 로봇아암(160)의 말단에 제 3 센서(146)를 고정시키게 된다.In addition, apart from these, the lifting
이때 승강포스트(158)를 비롯한 로봇아암(160)과 제 2 센서(146)는 각각 도면에서 나타낸 바와 같이 서포트바(134)를 사이에 두고 서로 대응되는 한 쌍으로 구비될 수 있다.In this case, the
이상의 설명을 앞서 도 4 만에 대한 설명 부분과 대응시키면, 카세트(110)의 상플레이트(120)와 상하로 대면되는 수평면은 복수개의 크로스빔(156)에 의해 제공되고, 제 1 수직선은 각각 포스트(154) 그리고 제 2 수직선은 로봇아암(160) 말단의 승강경로에 해당된다.Corresponding to the above description with reference to FIG. 4 only, the horizontal plane facing up and down with the
한편, 상술한 본 발명에 따른 카세트 검사장치를 이용한 카세트 검사방법을 설명하면, 최초 지지단(152) 상에 카세트(110)가 안착된다.On the other hand, when the cassette inspection method using the cassette inspection apparatus according to the present invention described above, the
이어서 제 2 센서(144)가 각각 자신과 대응되는 카세트(110)의 제 1 및 제 2 프레임바(124,126) 상하단 사이의 측방거리를 감지하여 카세트(110)의 기울어짐 여부를 판단하고, 승강포스트(158)를 따라 승강되는 로봇아암(160) 말단의 제 3 센서(146)를 통해 서포트바(134) 사이의 피치가 일정한지를 검사한다.Subsequently, the
이 과정 중에 제 1 센서(142)는 자신과 카세트(110) 상플레이트(120) 사이의 상하간격에 대한 변동여부를 감지하며, 이를 토대로 기준치를 초과하는 간격변동이 감지된 경우에는 재검사를 실시하도록 한다. 상기 기준치는 통상 카세트(110)의 서포트바(134)에 대한 상하 진동허용치인 ±0.2mm 정도가 될 수 있다.During this process, the
이때 비록 도면에 별도로 나타내지는 않았지만 상기한 순서에 따른 카세트 검사과정을 비롯해서 제 1 내지 제 3 센서(142,144,146)의 측정결과를 수집 및 분석하고 재검사 여부를 결정하며 이에 따른 재검사를 실시하고, 최종적으로 각 카세 트(110)에 대한 불량 또는 양품 결정을 하는 등의 모든 동작은 소정의 알고리즘이 내장된 PC 등의 제어부를 통해 총괄될 수 있으며, 따라서 상술한 검사과정은 자동으로 진행될 수 있다.At this time, although not separately shown in the drawings, including the cassette inspection process according to the above-described procedures, the measurement results of the first to third sensors (142, 144, 146) are collected and analyzed, and whether or not re-inspection is determined and re-inspection is performed accordingly. All operations such as making a defective or defective product for the
이상의 설명과 같은 본 발명에 따른 카세트 검사장치는 카세트 검사 과정 중에 진동의 발생여부를 감지할 수 있는 기능을 갖추고 있고, 기준치 이상의 진동이 감지된 경우 재검사를 실시하여 검사 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 또한 이 같은 본 발명에 따른 카세트 검사장치는 일반적인 그것에 별다른 변형없이 적용 가능한 바, 보다 간단하고 편리하게 검사신뢰성을 향상시키는 장점이 있다.Cassette inspection apparatus according to the present invention as described above has a function to detect the occurrence of vibration during the cassette inspection process, and if the vibration is detected above the reference value can be re-inspected to greatly improve the inspection reliability There is this. In addition, the cassette inspection apparatus according to the present invention can be applied without any modification to the general bar, there is an advantage to improve the inspection reliability more simply and conveniently.
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050041432A KR20060118966A (en) | 2005-05-18 | 2005-05-18 | Substrate cassette |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020050041432A KR20060118966A (en) | 2005-05-18 | 2005-05-18 | Substrate cassette |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR20060118966A true KR20060118966A (en) | 2006-11-24 |
Family
ID=37705894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050041432A KR20060118966A (en) | 2005-05-18 | 2005-05-18 | Substrate cassette |
Country Status (1)
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KR (1) | KR20060118966A (en) |
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---|---|---|---|---|
CN110906980A (en) * | 2019-11-14 | 2020-03-24 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Detection system and detection method |
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- 2005-05-18 KR KR1020050041432A patent/KR20060118966A/en not_active Application Discontinuation
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