KR20060113237A

KR20060113237A - 보호막 도포 장치

Info

Publication number: KR20060113237A
Application number: KR1020050036511A
Authority: KR
Inventors: 함민수; 금재열; 김동욱
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2005-04-30
Filing date: 2005-04-30
Publication date: 2006-11-02
Also published as: KR100709504B1

Abstract

본 발명은 보호막 도포 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 셀에 본딩액으로 보호막을 도포하는 보호막 도포 장치에 관한 것이다.

즉, 본 발명은 평판표시소자 셀의 본딩부에 보호막을 도포하는 장치에 있어서, 복수개의 셀을 각각 서로 다른 궤적을 따라 이동시키면서 이 셀에 보호막을 도포할 수 있도록 순차적으로 반입 또는 반출시키는 셀 로딩/언로딩부; 상기 셀 로딩/언로딩부에 의해 로딩된 셀에 보호막을 도포할 수 있도록 도포액을 공급하는 도포액 공급부; 상기 도포액 공급부와 연결되어 이 도포액 공급부에서 공급받은 도포액을 셀에 도포시키는 도포부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치에 관한 것이다.

보호막 도포 장치, 셀(Cell), 도포, 셀 로딩/언로딩부, 제1, 2 로딩 트랜스퍼, 제1, 2 언로딩 트랜스퍼, 제1, 2 이동 스테이지

Description

보호막 도포 장치{passivation spread apparatus}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호막 도포 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.

도 2는 상기 보호막 도포 장치의 셀 로딩/언로딩부를 도시한 측면도이다.

도 3은 상기 보호막 도포 장치에 구비되는 도포부 선단을 도시한 측면도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 본체 110 : 비젼 카메라(vision camera)

200 : 셀 로딩/언로딩부 202, 204 : 제1, 2 가이드부

206 : 이송장치 210, 220 : 제1, 2 로딩 트랜스퍼

230, 240 : 제1, 2 언로딩 트랜스퍼

250, 270 : 제1, 2 이동 스테이지

252, 272 : X축 이송부 254, 274 : Y축 이송부

256, 276 : θ축 이송부 258, 278 : 적재대

300 : 도포부 302 : 니들(needle)

304 : 레이저 센서(Laser sensor)

306 : 경화부 400 : 도포액 공급부

C : 셀(Cell)

평판표시소자 셀은 각 구성회로들을 전기적으로 접속시키기 위하여 많은 본딩부를 형성하고 있다. 특히, 많은 소자들의 집합으로 표시회로를 구성하는 엘시디 등의 기판과 상기 엘시디 등의 기판을 구동하기 위한 구동회로 기판은 본딩 등에 의하여 전기적으로 접속되어 있다.

상기 본딩되는 부분(이하, "본딩부"라 함)은 전기적인 접속 유지를 위하여 안전하게 보호될 필요가 있다. 따라서, 실리콘 등의 보호막을 상기 본딩부에 도포하여 상기 본딩부를 보호하고 강화해야 한다.

종래에는 상기 평판표시소자 셀의 본딩부를 보호막인 실리콘으로 도포하기 위하여 도포장치가 고정된 상태에서 셀을 이동시켜 해당 셀의 본딩부에 보호막을 도포하였다.

상기와 같이 셀이 이동하면서 셀의 본딩부에 도포액을 도포하게 되면, 대형화되는 셀의 고도 차이에 따라 정확한 제어가 힘들어 셀의 본딩부에 정확한 도포가 어렵다.

그리고 하나의 평판표시소자 셀에 도포액을 도포하는데 걸리는 시간이 길어 생산 수율이 낮아지고, 작업 효율이 떨어지는 문제점이 발생하며, 셀의 크기가 커지면 작업 시간 또한 증가하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 복수개의 셀을 순차적으로 반입하여 보호막을 형성한 후 반출함으로써 생산 수율이 증대되고 작업 효율을 향상할 수 있게 한 보호막 도포 장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 셀의 본딩부에 보호막을 도포하는 장치에 있어서, 복수개의 셀을 각각 서로 다른 궤적을 따라 이동시키면서 이 셀에 보호막을 도포할 수 있도록 순차적으로 반입 또는 반출시키는 셀 로딩/언로딩부; 상기 셀 로딩/언로딩부에 의해 로딩된 셀에 보호막을 도포할 수 있도록 도포액을 공급하는 도포액 공급부; 상기 도포액 공급부와 연결되어 이 도포액 공급부에서 공급받은 도포액을 셀에 도포시키는 도포부;를 포함하여 이루어짐으로써, 복수개의 셀을 셀 로딩/언로딩부에 의해 순차적으로 반입시킨 후 도포액을 셀에 도포하여 보호막을 형성시키며, 순차적으로 반출하여 한 번에 복수개의 셀에 도포액을 도포함에 따라 공정 수율이 증대되므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 셀 로딩/언로딩부는, 하측에 구비되는 전후 버퍼마다 적재된 셀을 각각 집은 후 수평 방향을 갖으면서 본체 내부로 왕복 이송시키는 제1, 2 로딩 트랜스퍼; 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼에 의하여 이송된 셀을 각각 전달 받아 본체내 바닥 일측에 길게 설치된 이송장치를 따라 왕복 이동하여 상기 셀을 이동시키는 제1, 2 이동 스테이지; 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼와 대향된 상태로 각각 구비되며, 하측에 구비되는 제1, 2 이동 스테이지마다 안착된 셀을 각각 집은 후 수평 방향을 갖으면서 본체 외부로 왕복 이송시키는 제1, 2 언로딩 트랜스퍼;를 포함하여 이루어짐으로써, 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼에 의해 본체 내부로 반입된 전, 후방 셀이 각각 제1, 2 이동 스테이지에 안착된 후 순차적으로 반입된 셀에 도포액을 도포하고 제1, 2 언로딩 트랜스퍼에 의해 반출되므로 바람직하다.

이하, 본 발명의 보호막 도포 장치를 첨부도면을 참조하여 일실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 보호막 도포 장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본체(100)와, 셀 로딩/언로딩부(200)와, 도포부(300)와, 도포액 공급부(400)로 구성된다.

상기 본체(100)는 외부에 적재된 상태로 구비되는 다수 셀(C)을 반입하여 그 셀(S)에 도포액을 도포한 후 외부로 반출하는 공간이 형성되며, 바닥면에 이송장치(206)가 구비된다.

상기 셀 로딩/언로딩부(200)는 제1, 2 가이드부(202, 204)와, 제1, 2 로딩 트랜스퍼(210, 220)와, 제1, 2 언로딩 트랜스퍼(230, 240)와, 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)와, 이송장치(206)와 비젼 카메라(110)로 이루어진다.

상기 제1, 2 가이드부(202, 204)는 본체(100)내 천장에 수평 방향으로 이격된 한 쌍으로 구비되며, 길이 방향으로 연장되는 형상을 갖는다.

상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼(210, 220)는 서로 동일한 기능을 하며, 최초에 위치되는 그 제1, 2 가이드부(202, 204)의 하측에 각각 구비되는 전후 버퍼(도면에 미도시)마다 적재된 셀(C)을 각각 진공흡착에 의해 집은 후 수평 방향을 갖으면서 본체(100) 내부로 왕복 이송시킨다.

상기 제1, 2 언로딩 트랜스퍼(230, 240)는 서로 동일한 기능을 하며, 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼(210, 220)와 소정 간격 이격된 상태로 각각 구비되며, 하측에 구비되는 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)마다 안착된 셀(C)을 각각 진공흡착에 의해 집은 후 수평 방향을 갖으면서 본체(100) 외부에 이동하되 최초의 위치 하측에 각각 구비되는 전후 버퍼에 도포액이 도포된 셀(C)을 적재시킨다.

여기서, 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼(210, 220)와 상기 제1, 2 언로딩 트랜스퍼(230, 240)는 제1, 2 가이드부(202, 204)의 하부 양단에 각각 마련되며, 제1 가이드부(202)에는 제1 로딩 트랜스퍼(210)가 일단에 마련되고 제2 언로딩 트랜스퍼(240)가 타단에 마련되며, 제2 가이드부(204)에는 제2 로딩 트랜스퍼(220)가 일단에 마련되고 제1 언로딩 트랜스퍼(230)가 타단에 마련된다.

또한, 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼(210, 220)와 상기 제1, 2 언로딩 트랜스퍼(230, 240)에는 그 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼(210, 220)와 상기 제1, 2 언로딩 트랜스퍼(230, 240)를 개별적인 구동에 의해 Z축 방향으로 승강시키는 구동수단(도면에 미도시)이 마련된다.

그리고 상기 제1 로딩 트랜스퍼(210)에 로딩된 셀(C)은 보호막 도포 후 제1 언로딩 트랜스퍼(230)에 의해 언로딩되며, 상기 제2 로딩 트랜스퍼(220)에 로딩된 셀(C)은 보호막 도포 후 제2 언로딩 트랜스퍼(240)에 의해 언로딩된다.

상기 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)는 서로 동일한 기능을 하며, 상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼(210, 220)에 의하여 이송된 셀(C)을 각각 전달받아 본체(100)내의 이송장치(206)에 의하여 왕복 이동하여 상기 셀(C)을 이동시킨다.

여기서, 상기 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)는 X축 이송부(252, 272)와, Y축 이송부(254, 274)와, θ축 이송부(256, 276)와, 적재대(258, 278)로 이루어진다.

상기 X축 이송부(252, 272)는 본체(100)의 바닥면에 구비되는 이송장치(206)의 상면에 접한 상태에서 적재대(258, 278)를 X축 방향으로 왕복 이동하게 하고, 상기 Y축 이송부(254, 274)는 상기 X축 이송부(252, 272)의 상면에 접한 상태에서 적재대(258, 278)를 Y축 방향으로 왕복 이동하게 하고, 상기 θ축 이송부(256, 276)는 상기 Y축 이송부(254, 274)의 상면에 접한 상태에서 상기 적재대(258, 278)를 θ축 방향으로 회전시키고, 상기 적재대(258, 278)는 상기 θ축 이송부(256, 276)의 상면에 접한 상태에서 그 상면에 셀(C)이 안착된다.

그리고 상기 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)에는 이 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)를 Z축 방향으로 승강시키는 구동수단(도면에 미도시)이 마련된다.

즉, 상기 적재대(258, 278)는 이 적재대(258, 278)에 적재되는 셀(C)을 X, Y축 및 θ축으로 이동하여 미세 정렬하게 하며, 상기 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)에 안착된 각각의 셀(C)에 보호막을 도포하기 전인 전, 후방 셀(C) 대기 위치에 도달하는 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)의 상측에 마련되어 셀(C) 정렬시 적재대(258, 278)의 정렬량을 감지하는 비젼 카메라(110 : vision camera)가 마련된다.

여기서, 상기 비젼 카메라(110)는 상기 제1, 2 이동 스테이지(250, 270) 상에 놓여있는 전, 후방 셀(C)의 정렬마크를 촬영하여 정보를 전달할 수 있도록 제어부(도면에 미도시)가 마련되고 상기 제어부는 상기 제1, 2 이동 스테이지(250, 270)의 적재대(258, 278) 각각을 X, Y축 및 θ축으로 이동을 제어한다.

그리고 상기 제1 이동 스테이지(250)는 이 제1 이동 스테이지(250)와 직교되게 위치될 수 있도록 최초에 제1 로딩 트랜스퍼(210)와 제2 언로딩 트랜스퍼(240)와의 수평된 본체(100)의 좌측 위치로 이는 후방의 셀(C) 반입 위치(A)이고, 이 제1 이동 스테이지(250)가 전진하여 제2 로딩 트랜스퍼(220)와 제1 언로딩 트랜스퍼(230)와의 수평된 위치로 이는 후방 셀(C) 반출 위치(B)이고, 상기 제1 이동 스테이지(250)가 더 전진하여 종방향의 이송장치(206) 끝단에 도달하면 이는 후방 셀(C)의 도포액 도포 대기 위치(C)이며, 이 제1 이동 스테이지(250)가 횡방향의 이송장치(206)로 이동하여 도포부(300)의 전방에 위치되면 그 위치는 도포 위치(D)로 후방의 셀(C) 반입 위치(A)에서 전진하여 후방 셀(C) 반출 위치(B)로 이동하고 후방 셀(C)의 도포액 도포 대기 위치(C)를 거쳐 우측으로 이동한 후 도포 위치(D)에서 후방 셀(C)을 도포액으로 도포한 다음 상기 이송장치(206)를 따라 좌측으로 이동하고 후방 셀(C)의 도포액 도포 대기 위치(C)를 거쳐 후방 셀(C) 반출 위치(B)로 후진한 다음 제1 언로딩 트랜스퍼(230)가 이 제1 이동 스테이지(250) 상측으로 이동하고 이 제1 언로딩 트랜스퍼(230)가 하강하여 후방 셀(C)을 진공 흡착하고 본체(100) 외부로 이동하고 버퍼에 안착시킨다.

이와 마찬가지로 상기 제2 이동 스테이지(270)는 이 제2 이동 스테이지(270)와 직교되게 위치될 수 있도록 최초에 제2 로딩 트랜스퍼(220)와 제1 언로딩 트랜스퍼(230)와의 수평된 본체(100)의 우측 위치로 이는 전방의 셀(C) 반입 위치(F)이고, 이 제2 이동 스테이지(270)가 이송장치(206)를 따라 전진하여 상기 제2 이동 스테이지(270)가 종방향의 이송장치(206) 끝단에 도달하면 이는 전방 셀(C)의 도포액 도포 대기 위치(E)이며, 이 제2 이동 스테이지(270)가 횡방향의 이송장치(206)로 이동하여 도포부(300)의 전방에 위치되면 그 위치는 도포 위치(D)로 전방의 셀(C) 반입 위치(F)에서 좌측으로 이동하여 전방 셀(C)의 도포액 도포 대기 위치(E)를 거쳐 좌측으로 이동한 후 도포 위치(D)에서 전방 셀(C)을 도포액으로 도포한 다음 상기 이송장치(206)를 따라 우측으로 이동하고 전방 셀(C)의 도포액 도포 대기 위치(E)를 거쳐 전방의 셀(C) 반입 위치(F)로 후진하고 전방 셀(C) 반출 위치(G)로 후진한 다음 제2 언로딩 트랜스퍼(240)가 이 제2 이동 스테이지(270) 상측으로 이동하고 이 제1 언로딩 트랜스퍼(240)가 하강하여 전방 셀(C)을 진공 흡착하고 본체(100) 외부로 이동하고 버퍼에 안착시킨다.

여기서, 상기 제1 이동 스테이지(250)와 제2 이동 스테이지(270)의 이동은 서로 겹치면 충돌하므로 이 제1 이동 스테이지(250)와 제2 이동 스테이지(270)의 이동은 적정 시간 간격을 갖도록 순차적으로 도포 위치(D)에 도달하게 한다.

즉, 상기 제1 이동 스테이지(250)가 도포 위치(D)에 오면 제2 이동 스테이지(270)는 최대 도포액 도포 대기 위치(E)에 도달하여야 하며, 상기 제1 로딩 트랜스퍼(210)가 셀(C)을 제1 이동 스테이지(250)에 안착시킨 다음 소정 시간 경과 후 제2 로딩 트랜스퍼(220)가 제2 이동 스테이지(270)에 안착시킨다.

상기 도포부(300)는 도 3에 도시된 바와 같이 수평방향으로 왕복 이동하는 과정에서 도포액 공급부(400)에 의하여 도포액을 전달받아 상기 셀(C)의 본딩부에 도포액을 주사하되 상기 셀(C)의 본딩부에 도포액을 균일하고 적정량을 도포하기 위하여 니들(needle) 타입으로 구성하는 것이 바람직하며, 상기 니들(302 : needle) 전단에 레이저(leser) 센서(304)를 더 구비하고 후단에는 경화부(306)를 더 마련한다.

상기 레이저 센서(304)는 상기 셀(C)에 레이저 빔을 발신한 후 수신되는 레이저 빔의 양으로 상기 셀(C)의 고도를 제어부에 의해 감지할 수 있으며, 그 고도 변화에 따라 그 도포부(300)를 상하 이동될 수 있도록 별도의 구동수단이 마련된다.

상기 경화부(306)는 자외선 경화부로 상기 셀(C)에 도포액이 도포되면 자외선을 조사하여 그 도포액이 경화될 수 있도록 한다.

이와 같은 본 발명의 보호막 도포 장치는 복수개의 셀 각각을 적정의 시간 간격을 갖도록 셀 로딩/언로딩부에 의해 본체 내부로 반입하여 도포부로 셀 본딩부에 보호막인 실리콘을 도포하기 때문에 소정의 시간에 다수개의 셀에 도포액을 도 포할 수 있으므로 평판표시소자 셀의 수가 증가하여 생산효율을 증대시키는 장점이 있다.

또한, 이송되는 셀을 도포하기 전에 비젼 카메라를 이용하여 어라인(Align)을 수행하기 때문에 셀의 본딩부에 보호막인 실리콘을 정확하게 도포할 수 있는 장점이 있다.

또한, 도포부에 레이저 센서를 구비시키고 상기 도포부를 상하 이동가능하게 구성함으로써, 셀의 미세한 고도차를 실시간으로 분석하여 상기 셀의 본딩부에 도포된 보호막의 두께를 균일하게 형성할 수 있는 장점이 있다.

Claims

평판표시소자 셀의 본딩부에 보호막을 도포하는 장치에 있어서,

복수개의 셀을 각각 서로 다른 궤적을 따라 이동시키면서 이 셀에 보호막을 도포할 수 있도록 순차적으로 반입 또는 반출시키는 셀 로딩/언로딩부;

상기 셀 로딩/언로딩부에 의해 로딩된 셀에 보호막을 도포할 수 있도록 도포액을 공급하는 도포액 공급부;

상기 도포액 공급부와 연결되어 이 도포액 공급부에서 공급받은 도포액을 셀에 도포시키는 도포부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 1항에 있어서, 상기 셀 로딩/언로딩부는,

하측에 구비되는 전후 버퍼마다 적재된 셀을 각각 집은 후 수평 방향을 갖으면서 본체 내부로 왕복 이송시키는 제1, 2 로딩 트랜스퍼;

상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼에 의하여 이송된 셀을 각각 전달받아 본체내 바닥 일측에 길게 설치된 이송장치를 따라 왕복 이동하여 상기 셀을 이동시키는 제1, 2 이동 스테이지;

상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼와 대향된 상태로 각각 구비되며, 하측에 구비되는 제1, 2 이동 스테이지마다 안착된 셀을 각각 집은 후 수평 방향을 갖으면서 본체 외부로 왕복 이송시키는 제1, 2 언로딩 트랜스퍼;를 포함하여 이루어진 것을 특 징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 2항에 있어서,

상기 제1, 2 로딩 트랜스퍼와 제1, 2 언로딩 트랜스퍼는 복수개의 제1, 2 가이드부의 하부 양단에 마련되며, 제1 가이드부에는 제1 로딩 트랜스퍼가 일단에 마련되고 제2 언로딩 트랜스퍼가 타단에 마련되며, 제2 가이드부에는 제2 로딩 트랜스퍼가 일단에 마련되고 제1 언로딩 트랜스퍼가 타단에 마련되는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 3항에 있어서,

제1, 2 로딩 트랜스퍼와 제1, 2 언로딩 트랜스퍼는 진공흡착에 의하여 상기 셀을 이송시키는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 4항에 있어서,

제1, 2 로딩 트랜스퍼와 제1, 2 언로딩 트랜스퍼에는 그 제1, 2 로딩 트랜스퍼와 제1, 2 언로딩 트랜스퍼를 독립적으로 Z축 방향으로 승강시키는 구동수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 5항에 있어서,

상기 제1 로딩 트랜스퍼에 로딩된 셀은 보호막 도포 후 제1 언로딩 트랜스퍼 에 의해 언로딩되며, 상기 제2 로딩 트랜스퍼에 로딩된 셀은 보호막 도포 후 제2 언로딩 트랜스퍼에 의해 언로딩되는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 6항에 있어서, 상기 제1, 2 이동 스테이지는,

상기 본체 바닥에 구비되는 이송장치의 상부 영역에 구비되되 X, Y축 및 θ축으로 이동하여 셀을 미세 정렬하는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 7항에 있어서, 상기 제1, 2 이동 스테이지는,

최하부에 구비되는 X축 이송부;

상기 X 축 이송부의 상부에 구비되는 Y축 이송부;

상기 Y 축 이송부의 상부에 구비되는 θ축 이송부;

상기 θ축 이송부의 상부에 구비되며, 상면에 셀이 안착되는 적재대;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 8항에 있어서,

상기 제1, 2 이동 스테이지는 진공흡착에 의하여 상기 셀을 이송시키는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 9항에 있어서,

상기 제1, 2 이동 스테이지에 안착된 각각의 셀에 보호막을 도포하기 전인 전, 후방 셀 대기 위치에 도달하는 제1, 2 이동 스테이지의 상측에 마련되어 셀 정렬시 적재대의 정렬량을 감지하는 비젼 카메라(vision camera)가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 10항에 있어서, 상기 비젼 카메라에는,

상기 제1, 2 이동 스테이지 상에 놓여있는 셀의 정렬마크를 촬영하여 정보를 전달할 수 있도록 제어부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 11항에 있어서, 상기 제어부는,

상기 제1, 2 이동 스테이지의 적재대 각각을 X, Y축 및 θ축으로 이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 12항에 있어서, 상기 도포부는,

그 선단이 니들(needle) 타입인 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 13항에 있어서,

상기 도포부가 복수개로 마련되며, 상기 도포부는 상기 니들(needle) 전단에 레이저(laser) 센서를 더 마련하고, 상기 셀의 고도의 변화에 따라 상하 이동되며, 상기 니들의 후단에 빛을 조사하여 셀의 본딩부의 보호막을 경화시키는 경화부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.
제 14항에 있어서, 상기 도포부는,

상기 셀 각각에 대해 수평 방향으로 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는 보호막 도포 장치.