KR20060109090A - 일축 가속도 측정 소자 및 이를 이용한 가속도 측정 센서 - Google Patents
일축 가속도 측정 소자 및 이를 이용한 가속도 측정 센서 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (4)
- 마름모형의 제 1 질량부;상기 제 1 질량부의 외곽을 따라 구비되며 상기 제 1 질량부의 제 1 꼭지점과 하나의 꼭지점을 공유하는 마름모형의 가동부;상기 가동부의 제 1 꼭지점과 연결되는 제 2 질량부;상기 가동부의 제 1 꼭지점에 대향하는 제 3 꼭지점과 연결되며 반도체 기판에 부착된 고정부; 및상기 가동부의 제 2 및 제 4 꼭지점에 각각 연결되는 라인형 캐패시터 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 구조의 일축 가속도 측정 소자.
- 평판 구조의 제 1 , 제 2 및 제 3 일축 가속도 측정 소자; 및상기 제 2 일축 가속도 측정 소자의 하기 고정부에 일 전극이 접속되며 상기 제 2 일축 가속도 측정 소자 양측의 제 1 및 제 3 일축 가속도 측정 소자의 하기 고정부에 타 전극이 접속되는 기준 캐패시터를 포함하되,상기 제 1, 제 2 및 제 3의 1축 가속도 측정 소자는 각각마름모형의 제 1 질량부;상기 제 1 질량부의 외곽을 따라 구비되며 상기 제 1 질량부의 제 1 꼭지점과 하나의 꼭지점을 공유하는 마름모형의 가동부;상기 가동부의 제 1 꼭지점과 연결되는 제 2 질량부;상기 가동부의 제 1 꼭지점에 대향하는 제 3 꼭지점과 연결되며 반도체 기판에 부착된 고정부; 및상기 가동부의 제 2 및 제 4 꼭지점에 각각 연결되는 라인형 캐패시터 전극을 구비하며,상기 제 1, 제 2 및 제 3 일축 가속도 측정 소자는 라인형 캐패시터 전극이 서로 대향 하도록 동일한 평면상에 배열되는 것을 특징으로 하는 일축 가속도 측정 센서.
- 제 2 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 질량부는 적어도 하나 이상의 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 일축 가속도 측정 센서.
- 제 2 항에 있어서,상기 고정부는 하부의 반도체 기판과 연결되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 일축 가속도 측정 센서.
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