KR20060099934A - Method for preventing leakage current in programming non-volatile memory device - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 낸드형 플래시 메모리 소자의 공통 소스 라인에 비선택된 스트링의 메모리 셀들의 부스팅된 채널 전압 만큼의 바이어스 전압을 인가하여 비선택된 스트링의 메모리 셀의 채널전압과 공통 소스 라인의 전압과의 전압차를 줄임으로써, 공통 소스 라인으로 흐르는 누설전류를 억제하는 방법에 관한 것이다.According to the present invention, a bias voltage equal to the boosted channel voltage of memory cells of an unselected string is applied to a common source line of a NAND flash memory device, thereby providing a voltage between the channel voltage of the memory cell of the unselected string and the voltage of the common source line. By reducing the difference, the present invention relates to a method of suppressing leakage current flowing to a common source line.

공통 소스 라인, 채널 부스팅 Common Source Line, Channel Boosting

Description

불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작시 누설 전류 방지 방법{Method for preventing leakage current in programming non-volatile memory device}Method for preventing leakage current in programming non-volatile memory device

도 1은 종래의 낸드형 플래시 메모리 소자를 도시한 회로도이다.1 is a circuit diagram illustrating a conventional NAND flash memory device.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 낸드형 플래시 메모리 소자를 도시한 회로도이다.2 is a circuit diagram illustrating a NAND flash memory device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 낸드형 플래시 메모리 소자의 프로그램 바이어스 조건을 나타낸 도표이다.3 is a diagram illustrating a program bias condition of the NAND flash memory device of FIG. 2.

도 4는 도 2의 낸드형 플래시 메모리 소자의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the NAND flash memory device of FIG. 2.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10, 100 : 메모리 셀 어레이10, 100: memory cell array

10a, 10b, 100a, 100b : 스트링10a, 10b, 100a, 100b: string

본 발명은, 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작시에 누설 전류를 방지하는 방법에 관한 것으로, 특히 낸드형 플래시 메모리 소자의 프로그램 동작 시에 비선택된 스트링의 공통 선택 라인에서 누설전류가 발생하는 것을 방지하는 방법에 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for preventing leakage current during a program operation of a nonvolatile memory device, and more particularly, to prevent leakage current from occurring in a common selection line of an unselected string during a program operation of a NAND flash memory device. Will on the way.

최근, 전기적으로 프로그램과 소거가 가능하며 전원이 공급되지 않는 상태에서도 데이터가 소거되지 않고 저장 가능한 플래시 메모리 소자의 수요가 증가하고 있다.Recently, there is an increasing demand for flash memory devices that can be electrically programmed and erased and that data can be stored without being erased even when power is not supplied.

일반적으로 플래시 메모리 소자는 워드라인과 비트라인 간에 접속된 다수의 메모리 셀로 이루어진 메모리 셀 어레이와, 메모리 셀 어레이의 각 메모리 셀에 데이터를 저장하거나 저장된 데이터를 독출하기 위한 여러개의 주변회로로 이루어진다.In general, a flash memory device includes a memory cell array including a plurality of memory cells connected between a word line and a bit line, and a plurality of peripheral circuits for storing or reading data in each memory cell of the memory cell array.

메모리 셀 어레이는 다수의 블록으로 구분되며 메모리 셀의 접속형태에 따라 노아(NOR)형과 낸드(NAND)형으로 구분된다. 노아형의 메모리 셀 어레이는 워드라인과 비트라인 간의 메모리 셀이 매트릭스 방식으로 접속된다. 낸드형의 메모리 셀 어레이는 도 1에 도시되어 있는데, 다수의 메모리 셀들(MC)이 드레인 선택 트랜지스터(DST)와 소스 선택 트랜지스터(SST) 사이에 직렬로 접속되어 하나의 스트링(10a)을 형성한다. The memory cell array is divided into a plurality of blocks, and is divided into a NOR type and a NAND type according to a memory cell connection type. In the NOR type memory cell array, memory cells between word lines and bit lines are connected in a matrix manner. A NAND type memory cell array is shown in FIG. 1, where a plurality of memory cells MC are connected in series between the drain select transistor DST and the source select transistor SST to form one string 10a. .

도 1에 도시한 비선택된 스트링(10a)의 메모리 셀(MC0-MC31)의 채널은 비선택된 비트라인(BLe)에 인가된 전원전압(VCC)에 의해서 대략 8V 정도로 부스팅된다. 이렇게 되면, 메모리 셀(MC0-MC31)의 채널전압(대략 8V)과 공통 소스 라인(CSL)의 전압(VCC)과의 전압차가 커서, 공통 소스 라인(CSL)으로 누설 전류가 흐른다. 그로 인해, 부스팅된 채널전압이 드롭되는 문제점이 있다. The channel of the memory cells MC0-MC31 of the unselected string 10a shown in FIG. 1 is boosted to about 8V by the power supply voltage VCC applied to the unselected bit line BLe. In this case, the voltage difference between the channel voltage (approximately 8V) of the memory cells MC0-MC31 and the voltage VCC of the common source line CSL is large, and a leakage current flows through the common source line CSL. Therefore, there is a problem that the boosted channel voltage is dropped.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 낸드형 플래시 메모리 소자의 공통 소스 라인에 비선택된 스트링의 메모리 셀들의 부스팅된 채널 전압 만큼의 바이어스 전압을 인가하여 공통 소스 라인으로 흐르는 누설전류를 억제하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problem, and applies a bias voltage equal to the boosted channel voltage of memory cells of an unselected string to a common source line of a NAND flash memory device to prevent leakage current flowing to the common source line. It aims to suppress.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 비트라인들과 워드라인들과의 교차영역에 배치되며, 상기 비트라인들 각각에 접속되는 제1 선택 트랜지스터와 공통 소스라인에 접속되는 제2 선택 트랜지스터들 사이에 직렬로 연결되는 메모리 셀들을 갖는 셀 스트링을 복수개 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작시 누설 전류를 방지하는 방법은 프로그램 동작시 상기 비트라인들 중 비선택된 비트라인에 접속된 제1 그룹의 메모리 셀들의 채널을 제1 전압으로 부스팅시키기 위해서, 상기 워드라인들 중 선택된 워드라인에는 프로그램 전압을 인가하고 비선택된 워드라인에는 프로그램 금지 전압을 인가하는 단계; 및 상기 공통 소스 라인에 상기 부스팅된 제1 전압 만큼의 바이어스 전압을 인가하는 단계를 포함한다.According to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above object, it is disposed in the cross region of the bit lines and word lines, and is connected to a first source transistor and a common source line connected to each of the bit lines. A method of preventing leakage current during a program operation of a nonvolatile memory device including a plurality of cell strings having memory cells connected in series between second selection transistors may be connected to an unselected bit line among the bit lines during a program operation. Applying a program voltage to selected word lines of the word lines and a program inhibit voltage to unselected word lines to boost a channel of the first group of memory cells to a first voltage; And applying a bias voltage equal to the boosted first voltage to the common source line.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 낸드형 플래시 메모리 소자를 나타낸다. 2 illustrates a NAND flash memory device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 메모리 셀 어레이(100)는 드레인 선택 트랜지스터(DST)와 소스 선택 트랜지스터(SST) 사이에 직렬로 접속되는 메모리 셀들(MC0-MC31)로 이루어진 스트링(100a)과, 드레인 선택 트랜지스터(DST')와 소스 선택 트랜지스터(SST') 사이에 직렬로 접속되는 메모리 셀들(MC0'-MC31')로 이루어진 스트링(100b)을 포함한다. 이러한 스트링은 메모리 셀 어레이(100)에 N개가 존재한다. Referring to FIG. 2, the memory cell array 100 includes a string 100a including memory cells MC0-MC31 connected in series between a drain select transistor DST and a source select transistor SST, and a drain select transistor. A string 100b is formed of memory cells MC0'-MC31 'connected in series between the DST' and the source select transistor SST '. N such strings exist in the memory cell array 100.

메모리 셀(MC)의 최상위 메모리 셀(MC31, MC31')은 드레인 선택 트랜지스터(DST, DST')를 통해서 비트라인(BLe, BLo)에 각각 접속되고, 최하위 메모리 셀(MC0, MC0')은 소스 선택 트랜지스터(SST, SST')를 통해서 공통 소스 라인(CSL)에 접속된다. 드레인 선택 트랜지스터(DST, DST')의 게이트는 드레인 선택 라인(DSL)에 연결되고, 소스 선택 트랜지스터(SST, SST')의 게이트는 소스 선택 라인(SSL)에 연결된다.The top memory cells MC31 and MC31 'of the memory cell MC are connected to the bit lines BLe and BLo through the drain select transistors DST and DST', respectively, and the bottommost memory cells MC0 and MC0 'are the source. It is connected to the common source line CSL through the selection transistors SST and SST '. Gates of the drain select transistors DST and DST 'are connected to the drain select line DSL, and gates of the source select transistors SST and SST' are connected to the source select line SSL.

도 3은 도 2의 낸드형 플래시 메모리 소자의 프로그램 바이어스 조건을 나타낸 것으로서, 이하, 도 3을 참조하면서 본 발명에 따른 낸드형 플래시 메모리 소자의 프로그램 바이어스 조건을 설명하기로 한다.3 illustrates a program bias condition of the NAND flash memory device of FIG. 2. Hereinafter, the program bias condition of the NAND flash memory device according to the present invention will be described with reference to FIG. 3.

프로그램 동작 시에는 선택된 비트라인(BLo)에는 0V의 전압이 인가되고, 비 선택된 비트라인(BLe)에는 전원전압(Vcc)이 인가된다. 비선택된 비트라인(BLe)에 전원전압(Vcc)이 인가되는 이유는 메모리 셀(MC)의 채널을 부스팅시켜서 프로그램을 차단하기 위함이다. 선택된 워드라인(WL)에는 15~20V의 프로그램 전압(Vpgm)이 인가되고, 선택되지 않은 워드라인(WL)에는 8~10V의 프로그램 금지 전압(Vpass)이 인가된다. 드레인 선택 트랜지스터(DST)의 게이트에는 드레인 선택 라인(DSL)을 통해서 전원전압(Vcc)이 인가되고, 소스 선택 트랜지스터(SST)의 게이트에는 소스 선택 라인(SSL)을 통해서 OV의 전압이 인가된다. 공통 소스 라인(CSL)에는 종래에는 전원전압(VCC)이 인가되었지만, 본 발명에서는 비선택된 스트링(100a) 내의 메모리 셀(MC0-MC31)의 부스팅된 채널 전압(Vch; 대략 8V)이 인가된다. 메모리 셀(MC0-MC31)의 부스팅된 채널 전압(Vch)은 프로그램 전압(Vpgm)과 프로그램 금지 전압(Vpp)의 전압레벨에 따라 달라질 수 있다.In the program operation, a voltage of 0 V is applied to the selected bit line BLO and a power supply voltage Vcc is applied to the unselected bit line BLe. The reason why the power supply voltage Vcc is applied to the unselected bit line BLe is to block a program by boosting a channel of the memory cell MC. A program voltage Vpgm of 15 to 20 V is applied to the selected word line WL, and a program prohibition voltage Vpass of 8 to 10 V is applied to the unselected word line WL. The power supply voltage Vcc is applied to the gate of the drain select transistor DST through the drain select line DSL, and the voltage of OV is applied to the gate of the source select transistor SST through the source select line SSL. Although the power source voltage VCC is conventionally applied to the common source line CSL, the boosted channel voltage Vch of the memory cells MC0-MC31 in the unselected string 100a is applied to the common source line CSL. The boosted channel voltage Vch of the memory cells MC0-MC31 may vary depending on the voltage levels of the program voltage Vpgm and the program inhibit voltage Vpp.

도 4는 도 2의 낸드형 플래시 메모리 소자의 단면도로서, 이하, 도 4를 참조하면서 비선택된 스트링(100a) 내의 메모리 셀(MC0-MC31)의 부스팅된 채널 전압과 공통 소스 라인(CSL)의 전압차를 줄여서 공통 소스 라인으로 흐르는 누설전류를 줄이는 방법을 보다 자세히 설명하기로 한다.4 is a cross-sectional view of the NAND flash memory device of FIG. 2, hereinafter, with reference to FIG. 4, the boosted channel voltage and the voltage of the common source line CSL of the memory cells MC0-MC31 in the unselected string 100a. The method of reducing the leakage current to the common source line by reducing the difference will be described in more detail.

메모리 셀(MC)은 플로팅 게이트(FG)와 제어 게이트(CG)가 적층되는 스택 게이트 구조의 MOSFET이다. 메모리 셀(MC)의 제어 게이트(CG)는 워드라인(WL)에 접속된다. The memory cell MC is a MOSFET having a stacked gate structure in which the floating gate FG and the control gate CG are stacked. The control gate CG of the memory cell MC is connected to the word line WL.

선택된 비트라인(BLo)에는 프로그램하기 위해 0V가 인가되나, 비선택된 비트라인(BLe)에 프로그램을 방지하기 위해서 전원전압(VCC)이 인가된다. 이때, 드레인 선택 트랜지스터(DST)가 턴-온되면, 메모리 셀들(MC0-MC31)의 채널쪽으로 Vcc-Vt(Vt는 DST의 문턱전압.)만큼 전압이동이 발생하여, 메모리 셀들(MC0-MC31)의 채널전압이 Vcc-Vt가 된다. 그리고, 이때부터 드레인 선택 트랜지스터(DST)는 채널을 형성하지 못하고 턴-오프된다. 0 V is applied to the selected bit line BLO to program, but a power supply voltage VCC is applied to the unselected bit line BLe to prevent programming. At this time, when the drain select transistor DST is turned on, voltage shift occurs by Vcc-Vt (Vt is the threshold voltage of DST.) Toward the channels of the memory cells MC0-MC31, and thus the memory cells MC0-MC31. The channel voltage of becomes Vcc-Vt. At this point, the drain select transistor DST is turned off without forming a channel.

여기서, 메모리 셀들(MC0-MC31)의 채널과 콘트롤 게이트(CG) 사이에는 터널 산화막 커패시턴스(Cox)와 ONO(Oxide Nitride Oxide) 커패시턴스(Cono)가 존재하고 채널과 벌크(기판 Si-Sub) 사이에는 공핍(Depletion) 커패시턴스(Cch)가 존재한다. 따라서,메모리 셀들(MC0-MC31)의 채널전압(Vch0-Vch31)은 세 가지의 커패시턴스(Cono, Cox, Cch)의 커플링에 의해 대략 8V 정도로 부스팅된다. 이때, 채널전압(Vch0-Vch31)을 부스팅시켜주기 위해서 소스 선택 라인(SSL)에는 0V가 인가되어, 소스 선택 트랜지스터(SST)의 채널 전압(Vchs)은 0V가 된다. Here, the tunnel oxide capacitance Cox and the oxide Nitride Oxide (ONO) capacitance Cono exist between the channel of the memory cells MC0-MC31 and the control gate CG, and between the channel and the bulk substrate Si-Sub. There is a depletion capacitance (Cch). Accordingly, the channel voltages Vch0-Vch31 of the memory cells MC0-MC31 are boosted to about 8V by coupling of three capacitances Cono, Cox, and Cch. At this time, in order to boost the channel voltages Vch0-Vch31, 0V is applied to the source select line SSL, and the channel voltage Vchs of the source select transistor SST becomes 0V.

공통 소스 라인(CSL)에는 부스팅된 채널전압(Vch0-Vch31)과 공통 소스라인(CSL)의 전압과의 전압 차를 줄이기 위해서 종래와 달리 부스팅된 채널전압(Vch0~Vch31= 대략 8V) 만큼의 바이어스 전압이 인가된다. In order to reduce the voltage difference between the boosted channel voltage Vch0-Vch31 and the voltage of the common source line CSL, the common source line CSL is biased by the boosted channel voltage Vch0 to Vch31 = approximately 8V. Voltage is applied.

이렇게 되면, 메모리 셀(MC0-MC31)의 채널전압(Vch0-Vch31)과 공통 소스 라인(CSL)의 전압과의 전압 차가 없어져서 공통 소스 라인(CSL)으로 누설전류가 발생되지 않게 된다.In this case, the voltage difference between the channel voltages Vch0-Vch31 of the memory cells MC0-MC31 and the voltage of the common source line CSL is eliminated, so that a leakage current does not occur in the common source line CSL.

상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 기술을 가 진 자라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention described above has been described in detail in a preferred embodiment, it should be noted that the above embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, the present invention will be understood by those of ordinary skill in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 낸드형 플래시 메모리 소자의 프로그램 동작시에 비선택된 스트링의 부스팅된 채널과 공통 소스 라인 사이에서 발생될 수 있는 누설 전류를 제거할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to eliminate leakage current that may be generated between the boosted channel of the unselected string and the common source line during the program operation of the NAND flash memory device.

그로 인해, 부스팅된 채널전압이 드롭되는 것을 방지할 수 있어, 프로그램 동작 시에 발생하는 디스터브로 인한 페일을 줄일 수 있다.As a result, the boosted channel voltage can be prevented from being dropped, thereby reducing the failure due to the disturbance occurring during the program operation.

또한, 프로그램 디스터브를 방지할 수 있어 낸드형 플래시 메모리 소자의 특성을 향상시킬 수 있고, 그로 인해 수율(yield) 향샹을 기대할 수 있다.In addition, since the program disturb can be prevented, the characteristics of the NAND flash memory device can be improved, and thus yield improvement can be expected.

Claims (4)

비트라인들과 워드라인들과의 교차영역에 배치되며, 상기 비트라인들 각각에 접속되는 제1 선택 트랜지스터와 공통 소스라인에 접속되는 제2 선택 트랜지스터들 사이에 직렬로 연결되는 메모리 셀들을 갖는 셀 스트링을 복수개 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 프로그램 동작시 누설 전류를 방지하는 방법에 있어서,A cell having memory cells disposed in a cross region of bit lines and word lines, and connected in series between a first select transistor connected to each of the bit lines and a second select transistor connected to a common source line. A method of preventing leakage current during a program operation of a nonvolatile memory device including a plurality of strings, the method comprising: 프로그램 동작시 상기 비트라인들 중 비선택된 비트라인에 접속된 제1 그룹의 메모리 셀들의 채널을 제1 전압으로 부스팅시키기 위해서, 상기 워드라인들 중 선택된 워드라인에는 프로그램 전압을 인가하고 비선택된 워드라인에는 프로그램 금지 전압을 인가하는 단계; 및In a program operation, in order to boost a channel of a first group of memory cells connected to an unselected bit line among the bit lines with a first voltage, a program voltage is applied to a selected word line among the word lines, and a non-selected word line is selected. Applying a program inhibit voltage to the controller; And 상기 공통 소스 라인에 상기 부스팅된 제1 전압 만큼의 바이어스 전압을 인가하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 누설 전류 방지 방법.And applying a bias voltage equal to the boosted first voltage to the common source line. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 바이어스 전압 인가 단계는, 상기 공통 소스 라인에 상기 바이어스 전압을 인가하여, 상기 제1 그룹의 메모리 셀들의 채널전압과 상기 공통 소스 라인의 바이어스 전압과의 전압 차를 줄이는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 누설 전류 방지 방법.The bias voltage applying step may include applying the bias voltage to the common source line to reduce a voltage difference between channel voltages of the first group of memory cells and a bias voltage of the common source line. How to prevent leakage current of devices. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 선택 트랜지스터의 게이트에는 전원전압이 인가되고, 상기 제2 트랜지스터의 게이트에는 접지전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 누설 전류 방지 방법.A power supply voltage is applied to a gate of the first selection transistor, and a ground voltage is applied to a gate of the second transistor. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 비트라인들 중 선택된 비트라인에는 프로그램을 하기 위해 접지전압이 인가되고, 상기 비트라인들 중 비선택된 비트라인에는 프로그램을 금지하기 위해서 전원전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 누설 전류 방지 방법.A ground voltage is applied to a selected bit line among the bit lines, and a power supply voltage is applied to an unselected bit line among the bit lines to prohibit the program. Prevention method.
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