KR20060094356A - Apparatus for testing lcd panel - Google Patents

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KR20060094356A
KR20060094356A KR1020050015464A KR20050015464A KR20060094356A KR 20060094356 A KR20060094356 A KR 20060094356A KR 1020050015464 A KR1020050015464 A KR 1020050015464A KR 20050015464 A KR20050015464 A KR 20050015464A KR 20060094356 A KR20060094356 A KR 20060094356A
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 엘시디 검사장치에 관한 것으로, 본 발명의 엘시디 검사장치는, LCD 패널을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부로부터 공급된 LCD 패널의 양면을 촬영하는 촬상유닛을 구비하여, 상기 촬상유닛으로 LCD 패널에 뭍은 이물의 영상을 촬영하여 이물의 좌표를 획득하는 제 1검사부와; 상기 제 1검사부로부터 공급된 LCD 패널의 패드와 전기적으로 접속되는 프로브유닛과, 상기 LCD 패널의 후면에서 LCD 패널에 광원을 제공하는 백라이트를 구비한 제 2검사부와; 상기 로딩/언로딩부와 제 1검사부와 제 2검사부로 LCD 패널을 반송하는 캐리어를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. The present invention relates to an LCD inspection apparatus, the LCD inspection apparatus of the present invention, the loading / unloading unit for supplying and recovering the LCD panel; A first inspection unit having an imaging unit for photographing both sides of the LCD panel supplied from the loading / unloading unit, and capturing an image of a foreign object held on the LCD panel with the imaging unit to obtain coordinates of the foreign object; A second inspection unit having a probe unit electrically connected to a pad of the LCD panel supplied from the first inspection unit, and a backlight for providing a light source to the LCD panel at the rear of the LCD panel; And a carrier for conveying the LCD panel to the loading / unloading unit, the first inspection unit, and the second inspection unit.

이와 같은 본 발명에 따르면, 테스트하는 LCD 패널의 외부 이물과, 실제 액정 불량을 분리하여 검출할 수 있으므로 매우 정확하게 액정 불량을 검출할 수 있게 되고, 이에 따라 검사 시간을 단축시킬 수 있고 수율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, since the external foreign matter of the LCD panel under test and the actual liquid crystal defect can be detected separately, the liquid crystal defect can be detected very accurately, thereby reducing the inspection time and improving the yield. Can be.

엘시디, LCD, 검사장치, Auto Probe LCD, LCD, Inspection Device, Auto Probe

Description

엘시디 검사장치{Apparatus for Testing LCD Panel}LCD Inspection Device {Apparatus for Testing LCD Panel}

도 1은 종래의 엘시디 검사장치(Auto Probe)의 구성의 일례를 개략적으로 나타낸 정면도1 is a front view schematically showing an example of the configuration of a conventional LCD inspection device (Auto Probe)

도 2는 도 1의 엘시디 검사장치의 측면도Figure 2 is a side view of the LCD inspection device of FIG.

도 3은 LCD 패널에 나타나는 외관 불량 유형을 나타낸 LCD 패널의 단면도3 is a cross-sectional view of the LCD panel showing the type of appearance defects appearing on the LCD panel;

도 4는 본 발명에 따른 엘시디 검사장치의 일 실시예의 구성을 개략적으로 나타낸 정면도Figure 4 is a front view schematically showing the configuration of an embodiment of an LCD inspection apparatus according to the present invention

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 로딩/언로딩부 11 : 서브테이블10: loading / unloading unit 11: subtable

20 : 제 1검사부 22a, 22b : 상,하부 CCD카메라20: first inspection unit 22a, 22b: upper and lower CCD camera

25a, 25b : 상,하부 조명유닛 30 : 제 2검사부25a, 25b: upper and lower lighting unit 30: the second inspection unit

32 : 프로브유닛 34 : 워크스테이지32: probe unit 34: work stage

34b : 백라이트 36 : XYZθ스테이지34b: backlight 36: XYZθ stage

40 : 상부 캐리어 50 : 하부 캐리어40: upper carrier 50: lower carrier

100 : LCD 패널100: LCD panel

본 발명은 액정표시장치(LCD)를 검사하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치의 패널의 표면 이물과 액정 불량을 분리하여 정확한 검사를 수행할 수 있는 엘시디 패널 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for inspecting a liquid crystal display (LCD), and more particularly, to an LCD panel inspection apparatus capable of performing an accurate inspection by separating foreign matter and liquid crystal defects of the panel of the liquid crystal display.

일반적으로, 엘씨디(LCD) 검사장치는 LCD 패널이 불량품인지 양품인지를 육안상으로 용이하게 검사할 수 있도록 작업자가 위치한 지점까지 LCD 패널을 자동으로 이송시켜주고, 검사가 완료되면 검사결과에 따라 LCD 패널을 양품(good), 수리대상(repair), 폐기(reject)로 분류하여 카세트(cassette)에 구분 적치하여 주는 장치를 일컫는다.In general, the LCD inspection device automatically transfers the LCD panel to the point where the operator is located so that the LCD panel can be easily visually inspected whether the LCD panel is defective or good. It refers to a device that classifies panels into good, repair, and reject and places them in a cassette.

도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 종래의 LCD 검사장치는 본체(1)의 일측에 LCD 패널(100)의 검사를 수행하는 검사부(2)가 배치되고, 이 검사부(2)의 일측에 LCD 패널(100)을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부(7)가 배치된 구성으로 이루어진다.As shown in FIGS. 1 and 2, in the conventional LCD inspection apparatus, an inspection unit 2 for inspecting the LCD panel 100 is disposed at one side of the main body 1, and at one side of the inspection unit 2. The loading / unloading unit 7 for supplying and recovering the LCD panel 100 is disposed.

또한, LCD 검사장치에는 LCD 패널(100)을 상기 로딩/언로딩부(7)에서 검사부(2)로, 검사부(2)에서 로딩/언로딩부(7)로 반송하여 주는 캐리어(9)가 좌/우로 이동이 가능하게 설치되어 있다.  In addition, the LCD inspection apparatus includes a carrier 9 which conveys the LCD panel 100 from the loading / unloading portion 7 to the inspection portion 2 and the inspection portion 2 from the loading / unloading portion 7. It is installed to move left / right.

상기 검사부(2)는 프로브유닛(11) 및, LCD 패널(100)을 상기 프로브유닛(3)에 콘택트시킴과 더불어 광원을 제공하는 워크스테이지(4)(work stage)로 구성된다. 상기 워크스테이지(4)는 편광판(4a) 및 백라이트(4b)로 이루어지고, 이 워크스테이지(4)의 후방에는 워크스테이지(4)를 프로브유닛(3)에 대해 정렬함과 더불어 프로브유닛(3)에 접속시키는 XYZθ스테이지(5)가 설치된다. The inspection unit 2 includes a probe unit 11 and a work stage 4 which contacts the LCD panel 100 to the probe unit 3 and provides a light source. The work stage 4 is composed of a polarizing plate 4a and a backlight 4b, and at the rear of the work stage 4, the work stage 4 is aligned with the probe unit 3, and the probe unit 3 ) Is provided with an XYZθ stage (5).

상기 로딩/언로딩부(7)에는 로더(미도시)로부터 반송된 LCD 패널을 소정 각도(예컨대 60도)로 기울여주는 서브테이블(8)이 설치된다. The loading / unloading unit 7 is provided with a subtable 8 for tilting the LCD panel conveyed from the loader (not shown) at a predetermined angle (for example, 60 degrees).

또한, 상기 검사부(2)의 전방에는 LCD 패널(100)의 육안 검사시 이상이 발견되었을 때 작업자가 이를 더욱 정밀히 확인하기 위한 현미경(6)이 상하 및 좌우로 이동이 가능하게 설치되어 있다. In addition, in the front of the inspection unit 2, when an abnormality is found during visual inspection of the LCD panel 100, the microscope 6 for allowing the operator to check this more precisely is installed to be able to move vertically and horizontally.

상기와 같은 종래의 LCD 검사장치에서 이루어지는 검사 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.Referring to the inspection process made in the conventional LCD inspection apparatus as described above is as follows.

로딩/언로딩부(7)의 로더(미도시)로부터 서브테이블(8)에 LCD 패널(100)이 전달되고, 서브테이블(8)은 소정 각도로 기울어지면서 캐리어(9)에 LCD 패널(100)을 전달한다. 이어서, 캐리어(9)는 LCD 패널(100)을 검사부(2)로 반송한다. 검사부(2)에 테스트할 LCD 패널(100)이 위치되면, 후방에서 XYZθ스테이지(5)가 전진하여 캐리어(9)의 LCD 패널(100)을 진공 흡착하여 고정하고, 고정된 LCD 패널(100)의 패드(미도시)를 프로브유닛(3)의 리드핀(미도시)에 접속시킨다. The LCD panel 100 is transferred from the loader (not shown) of the loading / unloading unit 7 to the subtable 8, and the subtable 8 is inclined at a predetermined angle to the carrier 9 with the LCD panel 100. ). Subsequently, the carrier 9 conveys the LCD panel 100 to the inspection unit 2. When the LCD panel 100 to be tested is positioned in the inspection unit 2, the XYZθ stage 5 is advanced from the rear to vacuum suction the LCD panel 100 of the carrier 9, and the fixed LCD panel 100 is fixed. Pads (not shown) are connected to lead pins (not shown) of the probe unit 3.

이와 같이 LCD 패널(100)과 프로브유닛(3) 간의 전기적 접속이 이루어지면, 프로브유닛(3)을 통해 소정의 영상 신호가 인가됨과 동시에, 백라이트(4b)의 조명이 외부의 영상신호 입력 장치인 패턴제너레이터(pattern generator)에 의해 다양한 패턴으로 바뀌게 되고, 작업자는 이 때 구현되는 패턴으로 패널의 불량을 판별하게 된다. When the electrical connection is made between the LCD panel 100 and the probe unit 3 as described above, a predetermined image signal is applied through the probe unit 3 and the illumination of the backlight 4b is an external image signal input device. The pattern generator is changed into various patterns by the pattern generator, and the operator determines the defect of the panel by the pattern implemented at this time.

그러나, 상기와 같은 종래의 LCD 검사장치는 다음과 같은 문제가 있다.However, the conventional LCD inspection apparatus as described above has the following problems.

종래의 LCD 검사장치를 이용하여 LCD 패널(100)의 검사를 수행할 때, 작업자는 육안으로 목시 검사를 수행하여 불량을 검출하게 되는데, 도 3에 도시된 것과 같이, LCD 패널(100)의 상,하부 기판(101)의 외면에 미세한 먼지(w) 등이 뭍을 경우 작업자는 실질적으로 미세 먼지(w)와 액정 불량(rd)을 구분하기가 매우 어렵고, 따라서 실제 불량이 아닌 경우도 불량으로 처리하여 수율이 저하되고 제작 비용의 손실이 야기되는 문제가 있다. When performing the inspection of the LCD panel 100 using a conventional LCD inspection apparatus, the operator performs visual inspection to visually detect a defect, as shown in Figure 3, the image of the LCD panel 100 In the case where fine dust (w) is blown out on the outer surface of the lower substrate 101, it is very difficult for a worker to distinguish the fine dust (w) and the liquid crystal defect (rd) substantially. There is a problem in that the yield is reduced by treatment to cause a loss of production costs.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 LCD 패널의 불량을 정확히 검출해낼 수 있는 엘시디 검사장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide an LCD inspection apparatus that can accurately detect the failure of the LCD panel.

본 발명의 다른 목적은 LCD 패널의 검사를 자동으로 수행할 수 있는 엘시디 검사장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an LCD inspection apparatus capable of automatically inspecting an LCD panel.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, LCD 패널을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부와; 상기 로딩/언로딩부로부터 공급된 LCD 패널의 양면을 촬영하는 촬상유닛을 구비하여, 상기 촬상유닛으로 LCD 패널에 뭍은 이물의 영상을 촬영하여 이물의 좌표를 획득하는 제 1검사부와; 상기 제 1검사부로부터 공급된 LCD 패널의 패드와 전기적으로 접속되는 프로브유닛과, 상기 LCD 패널의 후면에서 LCD 패널에 광원을 제공하는 백라이트를 구비한 제 2검사부와; 상기 로딩/언로딩부와 제 1검사부와 제 2검사부로 LCD 패널을 반송하는 캐리어를 포함하여 구성된 엘시디 검사장치를 제공한다.The present invention for achieving the above object, the loading / unloading unit for supplying and recovering the LCD panel; A first inspection unit having an imaging unit for photographing both sides of the LCD panel supplied from the loading / unloading unit, and capturing an image of a foreign object held on the LCD panel with the imaging unit to obtain coordinates of the foreign object; A second inspection unit having a probe unit electrically connected to a pad of the LCD panel supplied from the first inspection unit, and a backlight for providing a light source to the LCD panel at the rear of the LCD panel; It provides an LCD inspection device comprising a carrier for conveying the LCD panel to the loading / unloading unit, the first inspection unit and the second inspection unit.

본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 캐리어는 상기 LCD 패널을 수평하게 반송하며 상기 제 1검사부와 제 2검사부에서 수평한 상태로 검사를 수행하는 것을 특징으로 한다. According to one aspect of the present invention, the carrier carries the LCD panel horizontally, and the inspection is performed in a horizontal state in the first and second inspection units.

본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 본 발명의 엘시디 검사장치의 제 1검사부는 상기 촬상유닛으로 LCD 패널의 양면을 촬영할 때 LCD 패널의 양면에 조명을 조사하는 조명유닛을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.  According to another aspect of the invention, the first inspection unit of the LCD inspection apparatus of the present invention is characterized in that it further comprises a lighting unit for irradiating the illumination on both sides of the LCD panel when photographing both sides of the LCD panel with the imaging unit. do.

본 발명의 또 다른 한 형태에 따르면, 본 발명의 엘시디 검사장치는 상기 제 2검사부의 프로브유닛의 전방에 설치되어, LCD 패널의 불량을 비전 검사하여 검출하는 비전카메라를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. According to another aspect of the present invention, the LCD inspection apparatus of the present invention is installed in front of the probe unit of the second inspection unit, characterized in that it further comprises a vision camera for detecting and detecting the defect of the LCD panel do.

이러한 본 발명에 따르면, 비전카메라가 LCD 패널의 불량을 자동으로 검출하게 되므로 작업자의 육안 검사시보다 더욱 정확하게 신속한 불량 검출이 가능하게 된다. According to the present invention, since the vision camera automatically detects the defect of the LCD panel, it is possible to detect the defect more quickly and more accurately than when the operator visually inspects it.

이하, 본 발명에 따른 엘시디 검사장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment of an LCD inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 엘시디 검사장치의 구성을 개략적으로 나타낸 정면도로, 본 발명의 엘시디 검사장치는 크게 LCD 패널(100)을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부(10)와, 상기 로딩/언로딩부(10)로부터 공급된 LCD 패널(100)의 양면에 뭍은 이물의 영상을 촬영하여 이물의 좌표를 획득하는 제 1검사부(20)와, 상기 제 1검사부(20)로부터 공급된 LCD 패널(100)에 영상 신호를 송신하여 LCD 패널의 실제 화소 불량을 검출하는 제 2검사부(30)와, 상기 로딩/언로딩부(10)와 제 1검사부(20) 및 제 2검사부(30)로 수평하게 왕복 이동하면서 LCD 패널(100)을 반송하는 상부 캐리어(40)와 하부 캐리어(50)로 구성된다. Figure 4 is a front view schematically showing the configuration of the LCD inspection apparatus according to the present invention, the LCD inspection apparatus of the present invention is a loading / unloading unit 10 for supplying and withdrawing the LCD panel 100 largely, and the loading / The first inspection unit 20 and the LCD provided from the first inspection unit 20 to capture the image of the foreign material on both sides of the LCD panel 100 supplied from the unloading unit 10 to obtain the coordinates of the foreign matter A second inspection unit 30 for transmitting an image signal to the panel 100 to detect actual pixel defects of the LCD panel, the loading / unloading unit 10, the first inspection unit 20, and the second inspection unit 30. It consists of an upper carrier 40 and a lower carrier 50 for conveying the LCD panel 100 while reciprocating horizontally.

상기 로딩/언로딩부(10)는 외부로부터 로더(미도시)에 의해 공급되는 LCD 패널(100)을 받아서 상기 상,하부 캐리어(40, 50)로 전달하는 서브테이블(11)을 구비한다. The loading / unloading unit 10 includes a subtable 11 which receives the LCD panel 100 supplied by a loader (not shown) from the outside and transfers the LCD panel 100 to the upper and lower carriers 40 and 50.

상기 상,하부 캐리어(40, 50)는 소정의 간격(d)을 가지고, 상호 평행하게 독립적으로 이동이 가능하도록 구성되어 있다. 상기 상,하부 캐리어(40, 50)를 이동시키기 위한 구동수단으로는 예를 들어 볼스크류와 서보모터를 이용한 선형 운동 시스템이나, 리니어모터, 또는 풀리와 벨트 및 모터를 이용한 선형 운동 시스템 등 공지의 선형 운동 시스템을 적용할 수 있을 것이다. The upper and lower carriers 40 and 50 have a predetermined interval d, and are configured to be movable independently of each other in parallel. As a driving means for moving the upper and lower carriers 40 and 50, for example, a linear motion system using a ball screw and a servo motor, a linear motor or a linear motion system using a pulley, a belt and a motor, and the like. Linear motion systems could be applied.

상기 제 1검사부(20)는 LCD 패널(100)의 양면을 촬영하여 이물의 위치를 검출하는 상부 CCD카메라(22a)와 하부 CCD카메라(22b)와, 상기 LCD 패널(100)의 양면에 촬영을 위한 조명을 조사하는 상부 조명유닛(25a)과 하부 조명유닛(25b)으로 구성된다. The first inspection unit 20 photographs both sides of the LCD panel 100 to detect the position of the foreign matter, the upper CCD camera 22a and the lower CCD camera 22b, and photographing both sides of the LCD panel 100. It consists of an upper lighting unit (25a) and a lower lighting unit (25b) for irradiating the lighting.

상기 상,하부 CCD카메라(22a, 22b)는 LCD 패널(100)과 이루는 각도에 따라 이물의 검출이 달라질 수 있기 때문에 LCD 패널(100) 면에 대해 다양한 각도를 이룰 수 있도록 회동가능하게 구성됨이 바람직하다. The upper and lower CCD cameras 22a and 22b may be rotatably configured to achieve various angles with respect to the surface of the LCD panel 100 because foreign matter detection may vary according to the angle formed with the LCD panel 100. Do.

또한, 상기 상,하부 CCD카메라(22a, 22b)는 상부 캐리어(40)와 하부 캐리어(50)의 LCD 패널(100)의 면에 정확한 초점이 맞춰지도록 상기 상,하부 캐리어(40, 50) 간의 간격(d)과 동일한 거리로 승강 가능하게 구성됨이 바람직하다. In addition, the upper and lower CCD cameras 22a and 22b are disposed between the upper and lower carriers 40 and 50 so that the upper and lower carriers 40 and 50 can be accurately focused on the surface of the LCD panel 100 of the lower carrier 50. It is preferable to be comprised so that lifting / lowering is equal to the distance d.

한편, 상기 제 2검사부(30)는 LCD 패널(100)의 패드(미도시)와 전기적으로 접속되는 프로브유닛(32)과, 상기 LCD 패널(100)의 후면에서 LCD 패널(100)에 광원을 제공하는 백라이트(34b)를 구비한 워크스테이지(34)와, 상기 워크스테이지(34)를 프로브유닛(32)과 정렬하고 접속시키는 XYZθ스테이지(36)로 이루어진다. 여기서, 상기 워크스테이지(34)의 백라이트(34b)의 전면에는 편광판(34a)이 장착된다. On the other hand, the second inspection unit 30 and the probe unit 32 is electrically connected to the pad (not shown) of the LCD panel 100 and the light source to the LCD panel 100 from the back of the LCD panel 100 And a work stage 34 having a backlight 34b provided, and an XYZθ stage 36 for aligning and connecting the work stage 34 with the probe unit 32. Here, a polarizing plate 34a is mounted on the front surface of the backlight 34b of the work stage 34.

또한, 상기 프로브유닛(32)의 상측에는 LCD 패널(100)의 불량 검출을 수행하는 비전카메라(38)가 임의의 방향으로 이동가능하게 설치됨이 바람직하다. 상기 비전카메라(38)는 제 1검사부(20)의 CCD카메라(22a, 22b)와 마찬가지로 CCD카메라를 이용하여 구성할 수 있다. In addition, it is preferable that the vision camera 38 for performing defect detection of the LCD panel 100 is installed to be movable in an arbitrary direction on the upper side of the probe unit 32. The vision camera 38 may be configured using a CCD camera similarly to the CCD cameras 22a and 22b of the first inspection unit 20.

상기와 같이 구성된 본 발명의 엘시디 검사장치는 다음과 같이 작동한다.The LCD inspection apparatus of the present invention configured as described above operates as follows.

외부로부터 로딩/언로딩부(10)의 서브테이블(11)에 테스트할 LCD 패널(100)이 전달되면, 서브테이블(11)은 상부 캐리어(40)에 LCD 패널(100)을 전달한다. 이어서, 상부 캐리어(40)는 LCD 패널(100)을 제 1검사부(20)로 반송한다. 제 1검사부(20)에 테스트할 LCD 패널(100)이 위치되면, 상부 조명유닛(25a)과 하부 조명유닛(25b)이 켜져 LCD 패널(100)의 상,하부면에 조명광을 조사하고, 상부 CCD카메라(22a) 및 하부 CCD카메라(22b)가 LCD 패널(100)의 외면에 뭍은 미세 먼지(w)(도 3참조) 등 이물을 촬영하여 그 위치 좌표를 검출하고, 엘시디 검사장치의 제어부(미도시)가 이 이물의 위치 좌표를 기억한다. 이 때, 로딩/언로딩부(10)에서는 새로운 LCD 패널(100)이 공급되어 하부 캐리어(50)에 장착되어 대기한다. When the LCD panel 100 to be tested is transferred to the subtable 11 of the loading / unloading unit 10 from the outside, the subtable 11 delivers the LCD panel 100 to the upper carrier 40. Next, the upper carrier 40 conveys the LCD panel 100 to the first inspection unit 20. When the LCD panel 100 to be tested is positioned in the first inspection unit 20, the upper lighting unit 25a and the lower lighting unit 25b are turned on to irradiate the illumination light to the upper and lower surfaces of the LCD panel 100, and The CCD camera 22a and the lower CCD camera 22b photograph foreign matters such as fine dust w (see FIG. 3) that has accumulated on the outer surface of the LCD panel 100, detect the position coordinates, and control the LCD inspection apparatus. (Not shown) stores the position coordinates of the foreign material. At this time, the loading / unloading unit 10 is supplied with a new LCD panel 100 is mounted on the lower carrier 50 to stand by.

이어서, 상부 캐리어(40)는 제 2검사부(30)로 이동하고, LCD 패널(100)은 프 로브유닛(32)의 하측에 정렬된다. 그리고, XYZθ스테이지(36)가 상승하여 상부 캐리어(40)의 LCD 패널(100)을 진공 흡착하여 고정하고, LCD 패널(100)의 패드(미도시)를 프로브유닛(32)의 리드핀(미도시)에 정확히 정렬하여 접속시킨다. Subsequently, the upper carrier 40 moves to the second inspection unit 30, and the LCD panel 100 is aligned under the probe unit 32. Then, the XYZθ stage 36 is raised to vacuum-fix the LCD panel 100 of the upper carrier 40 to fix the pad (not shown) of the LCD panel 100 to lead pins (not shown) of the probe unit 32. Connect correctly in order).

이와 같이 LCD 패널(100)과 프로브유닛(32) 간의 전기적 접속이 이루어지면, 프로브유닛(32)을 통해 소정의 영상 신호가 인가됨과 동시에, 백라이트(34b)의 조명이 외부의 영상신호 입력 장치인 패턴제너레이터(pattern generator)에 의해 다양한 패턴으로 바뀌게 되고, 비전카메라(38)는 LCD 패널(100)에 나타나는 불량을 모두 검출하여 엘시디 검사장치의 제어부(미도시)로 전달한다. As such, when the electrical connection is made between the LCD panel 100 and the probe unit 32, a predetermined image signal is applied through the probe unit 32, and the illumination of the backlight 34b is an external image signal input device. The pattern generator is changed into various patterns by the pattern generator, and the vision camera 38 detects all defects appearing on the LCD panel 100 and transmits the defects to the controller (not shown) of the LCD inspection apparatus.

이 때, 상기 제어부는 제 1검사부(20)에서 촬영된 이물(w)의 위치 좌표를 기억하고 있으므로, 상기 제 2검사부(30)에서 촬영된 모든 불량의 위치 좌표에서 상기 이물(w)의 위치 좌표를 제거하면 실제 액정 불량(rd)(도 3참조)을 정확히 검출해 낼 수 있게 된다. At this time, since the control unit stores the position coordinates of the foreign material w photographed by the first inspection unit 20, the position of the foreign material w in the position coordinates of all defects photographed by the second inspection unit 30. By removing the coordinates, it is possible to accurately detect the actual liquid crystal defect rd (see FIG. 3).

제 2검사부(30)에서 검사가 진행될 때, 하부 캐리어(50)는 LCD 패널(100)을 제 1검사부(20)로 이동시키게 된다. 이 때, 상기 상부 CCD카메라(22a) 및 하부 CCD카메라(22b)는 각각 하측으로 일정 거리(d)만큼 이동하여 LCD 패널(100)에 대한 각 CCD카메라(22a 22b)의 촛점을 정확히 맞춘 후, 전술한 것처럼 LCD 패널(100)의 양면을 촬영하여 이물의 위치를 검출한다. When the inspection is performed in the second inspection unit 30, the lower carrier 50 moves the LCD panel 100 to the first inspection unit 20. At this time, the upper CCD camera 22a and the lower CCD camera 22b respectively move downward by a predetermined distance d to precisely focus the focus of each CCD camera 22a 22b on the LCD panel 100, As described above, the both sides of the LCD panel 100 are photographed to detect the position of the foreign material.

한편, 상기 제 2검사부(30)에서 상부 캐리어(40)에 의해 반송된 LCD 패널(100)의 검사가 완료되면, 상부 캐리어(40)는 LCD 패널(100)을 로딩/언로딩부(10)로 반송하여 테스트 완료된 LCD 패널(100)을 외부로 언로딩한 후 새로운 LCD 패널 (100)을 로딩시키고, 다시 제 1검사부(20)로 이동하여 LCD 패널(100)의 이물 검사를 수행한다. 그리고, 하부 캐리어(50)는 새로운 LCD 패널(100)을 제 1검사부(20)에서 제 2검사부(30)로 이동하여 실제 액정 불량을 검사한다. Meanwhile, when the inspection of the LCD panel 100 carried by the upper carrier 40 is completed in the second inspection unit 30, the upper carrier 40 loads / unloads the LCD panel 100. After unloading the tested LCD panel 100 to the outside to load the new LCD panel 100, and then moved to the first inspection unit 20 to perform a foreign material inspection of the LCD panel 100. In addition, the lower carrier 50 moves the new LCD panel 100 from the first inspection unit 20 to the second inspection unit 30 to inspect the actual liquid crystal failure.

상기 엘시디 검사장치는 전술한 과정을 연속적으로 반복적으로 수행하며 LCD 패널의 실제 불량을 정확하게 검출한다. The LCD inspection apparatus continuously and repeatedly performs the above-described process and accurately detects the actual defect of the LCD panel.

한편, 전술한 실시예는 제 2검사부(30)에서 LCD 패널(100)을 검사할 때 비전카메라(38)로 불량을 자동 검출하도록 되어 있으나, 이와 다르게 비전카메라(38)를 설치하지 않고 작업자가 육안으로 검사할 수도 있을 것이다. On the other hand, the above-described embodiment is to detect the defect automatically with the vision camera 38 when the second inspection unit 30 checks the LCD panel 100, otherwise the operator without installing the vision camera 38 Visual inspection may be possible.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 테스트하는 LCD 패널의 외부 이물과, 실제 액정 불량을 분리하여 검출할 수 있으므로 매우 정확하게 액정 불량을 검출할 수 있게 되고, 이에 따라 검사 시간을 단축시킬 수 있고 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the present invention, since the external foreign matter of the LCD panel to be tested and the actual liquid crystal defects can be detected separately, the liquid crystal defects can be detected very accurately, thereby reducing the inspection time and improving the yield. There is an advantage that can be improved.

또한, 본 발명에 따르면, 불량을 검출하는 작업이 CCD카메라 및 비전카메라에 의해 자동으로 이루어지므로, 불량 검출이 더욱 신속하고 정확하게 이루어질 수있고, 작업자의 수를 줄여 생산 원가를 줄일 수 있는 이점도 있다. In addition, according to the present invention, since the operation of detecting the defect is automatically performed by the CCD camera and the vision camera, the defect detection can be made more quickly and accurately, there is an advantage that the production cost can be reduced by reducing the number of workers.

Claims (7)

LCD 패널을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부와;A loading / unloading unit for supplying and recovering the LCD panel; 상기 로딩/언로딩부로부터 공급된 LCD 패널의 양면을 촬영하는 촬상유닛을 구비하여, 상기 촬상유닛으로 LCD 패널에 뭍은 이물의 영상을 촬영하여 이물의 좌표를 획득하는 제 1검사부와;A first inspection unit having an imaging unit for photographing both sides of the LCD panel supplied from the loading / unloading unit, and capturing an image of a foreign object held on the LCD panel with the imaging unit to obtain coordinates of the foreign object; 상기 제 1검사부로부터 공급된 LCD 패널의 패드와 전기적으로 접속되는 프로브유닛과, 상기 LCD 패널의 후면에서 LCD 패널에 광원을 제공하는 백라이트를 구비한 제 2검사부와;A second inspection unit having a probe unit electrically connected to a pad of the LCD panel supplied from the first inspection unit, and a backlight for providing a light source to the LCD panel at the rear of the LCD panel; 상기 로딩/언로딩부와 제 1검사부와 제 2검사부로 LCD 패널을 반송하는 캐리어를 포함하여 구성된 엘시디 검사장치.And a carrier for conveying the LCD panel to the loading / unloading unit, the first inspection unit, and the second inspection unit. 제 1항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 LCD 패널을 수평하게 반송하며 상기 제 1검사부와 제 2검사부에서 수평한 상태로 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 엘시디 검사장치.The LCD inspection apparatus according to claim 1, wherein the carrier carries the LCD panel horizontally and performs inspection in a horizontal state in the first inspection unit and the second inspection unit. 제 1항에 있어서, 상기 제 1검사부는 촬상유닛으로 LCD 패널의 양면을 촬영할 때 LCD 패널의 양면에 조명을 조사하는 조명유닛을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 엘시디 검사장치.The LCD inspection apparatus according to claim 1, wherein the first inspection unit further comprises an illumination unit for illuminating both sides of the LCD panel when photographing both sides of the LCD panel with the imaging unit. 제 1항에 있어서, 상기 제 2검사부의 프로브유닛의 일측에 설치되어, LCD 패널의 불량을 비전 검사하여 검출하는 비전카메라를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 엘시디 검사장치. The apparatus of claim 1, further comprising a vision camera installed at one side of the probe unit of the second inspection unit to vision inspect and detect a defect of the LCD panel. 제 1항에 있어서, 상기 촬상유닛은 LCD 패널의 면과의 각도 조정이 가능하도록 소정 각도로 회동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 엘시디 검사장치. The LCD inspection apparatus according to claim 1, wherein the image pickup unit is rotatably installed at a predetermined angle to enable angle adjustment with the surface of the LCD panel. 제 1항에 있어서, 상기 캐리어는 서로 일정 거리 이격되어 나란하게 이동하도록 설치되며, 상호 독립적으로 이동하면서 LCD 패널을 반송하는 제 1캐리어와 제 2캐리어로 이루어진 것을 특징으로 하는 엘시디 검사장치. The apparatus of claim 1, wherein the carriers are installed to move side by side at a predetermined distance apart from each other, and each carrier is formed of a first carrier and a second carrier to convey the LCD panel while moving independently of each other. 제 6항에 있어서, 촬상유닛은 상기 제 1캐리어와 제 2캐리어 간의 수직 거리차이와 동일한 거리만큼 수직 이동 가능한 것을 특징으로 하는 엘시디 검사장치. 7. The LCD inspection apparatus according to claim 6, wherein the imaging unit is vertically movable by a distance equal to a vertical distance difference between the first carrier and the second carrier.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100939541B1 (en) * 2008-02-18 2010-02-03 주식회사 앤비젼 System and method for automatic visual inspection
KR101296644B1 (en) * 2006-12-28 2013-08-14 엘지디스플레이 주식회사 Auto Probe Device For Inspecting Liquid Crystal Display Panel
KR20150111434A (en) * 2014-03-24 2015-10-06 세광테크 주식회사 Liquid Dipping Type ITO Pattern Inspection Apparatus
KR20150111435A (en) * 2014-03-24 2015-10-06 세광테크 주식회사 Liquid Jet Type ITO Pattern Inspection Apparatus
KR20170122649A (en) * 2016-04-27 2017-11-06 이. 솔루션스 게엠베하 Technique for testing a display unit
CN108614370A (en) * 2018-07-26 2018-10-02 宁波舜宇仪器有限公司 Liquid crystal panel detection device
CN108663836A (en) * 2018-07-26 2018-10-16 宁波舜宇仪器有限公司 Liquid crystal display panel detects and positioning device
CN109084709A (en) * 2018-10-15 2018-12-25 苏州精濑光电有限公司 A kind of automatic detection device
CN109270714A (en) * 2018-10-15 2019-01-25 苏州精濑光电有限公司 A kind of detection method of display panel
KR102068664B1 (en) * 2018-12-07 2020-01-21 (주)현세엔티아이 LCD glass shape monitoring system
KR20210076599A (en) * 2019-12-16 2021-06-24 (주)미래컴퍼니 Inspection system using terahertz wave

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101999111B1 (en) 2017-10-24 2019-07-11 금오공과대학교 산학협력단 Reference panel mounting jig and color over pixel check method for display panel vision inspection

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11183861A (en) 1997-12-22 1999-07-09 Sharp Corp Device for inspecting liquid crystal panel
JP2002024407A (en) 2000-07-06 2002-01-25 Misawa Van Corp Medical diagnosis information providing system

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101296644B1 (en) * 2006-12-28 2013-08-14 엘지디스플레이 주식회사 Auto Probe Device For Inspecting Liquid Crystal Display Panel
KR100939541B1 (en) * 2008-02-18 2010-02-03 주식회사 앤비젼 System and method for automatic visual inspection
KR20150111434A (en) * 2014-03-24 2015-10-06 세광테크 주식회사 Liquid Dipping Type ITO Pattern Inspection Apparatus
KR20150111435A (en) * 2014-03-24 2015-10-06 세광테크 주식회사 Liquid Jet Type ITO Pattern Inspection Apparatus
KR20170122649A (en) * 2016-04-27 2017-11-06 이. 솔루션스 게엠베하 Technique for testing a display unit
CN108663836A (en) * 2018-07-26 2018-10-16 宁波舜宇仪器有限公司 Liquid crystal display panel detects and positioning device
CN108614370A (en) * 2018-07-26 2018-10-02 宁波舜宇仪器有限公司 Liquid crystal panel detection device
CN108663836B (en) * 2018-07-26 2024-01-12 宁波舜宇仪器有限公司 Liquid crystal display panel detection and positioning device
CN108614370B (en) * 2018-07-26 2024-01-12 宁波舜宇仪器有限公司 Liquid crystal panel detection equipment
CN109084709A (en) * 2018-10-15 2018-12-25 苏州精濑光电有限公司 A kind of automatic detection device
CN109270714A (en) * 2018-10-15 2019-01-25 苏州精濑光电有限公司 A kind of detection method of display panel
KR102068664B1 (en) * 2018-12-07 2020-01-21 (주)현세엔티아이 LCD glass shape monitoring system
KR20210076599A (en) * 2019-12-16 2021-06-24 (주)미래컴퍼니 Inspection system using terahertz wave

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