KR20060088901A - 진동 완충 래칭 메카니즘을 가진 웨이퍼 콘테이너 및 도어 - Google Patents

진동 완충 래칭 메카니즘을 가진 웨이퍼 콘테이너 및 도어 Download PDF

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인티그리스, 인코포레이티드
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Abstract

축선 방향으로 정렬된, 일반적으로 평행하게 이격된 배열로 복수의 웨이퍼를 지지하기 위한 콘테이너는 상부, 하부, 한쌍의 마주보는 측면, 후면 및 개방된 전면을 가지는 인클로저부를 포함한다. 적어도 하나의 웨이퍼 지지대가 인클로저의 하부에 역학적 결합을 위해 인클로저에 제공된다. 콘테이너는 섀시 및 섀시에 작동 가능한 래칭 메카니즘을 포함하는 개방된 전면을 밀봉하여 폐쇄하기 위한 도어를 가진다. 래칭 메카니즘은 제 1 원하는 위치 및 제 2 원하는 위치 사이에서 래칭 메카니즘을 이동시키기 위해 선택적으로 회전 가능한 캠 및 래칭 메카니즘이 제 1 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이동될 때 생성된 진동을 완충하기 위한 적어도 하나의 진동 완충기를 포함한다.
웨이퍼, 콘테이너, 도어, 래칭, 진동, 완충, 밀봉, 스프링, 캠, 접지

Description

진동 완충 래칭 메카니즘을 가진 웨이퍼 콘테이너 및 도어{WAFER CONTAINER AND DOOR WITH VIBRATION DAMPENING LATCHING MECHANISM}
본 출원은, 여기에 참조되어 전체적으로 병합된, 2003년 11월 7일에 출원된 미국 특허 임시 출원 제 60/518,442호의 우선권의 이익을 주장한다.
본 출원은 밀봉 가능한 웨이퍼 콘테이너에 관한 것이고, 보다 상세하게는 웨이퍼 콘테이너를 위한 도어 래칭 메카니즘에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼는 크기가 더 커지고 있고, 현재 제조 설비는 집적 회로와 같은 반도체 장치로 제작될 300 mm 웨이퍼를 일반적으로 사용한다. 집적 회로 자체는 회로 집적도의 증가에 따라 크기가 더 커지고 있다. 결과적으로, 회로를 파괴할 수 있는 입자 오염물의 크기는 크게 작아지고, 엄격한 입자 제어가 반도체 웨이퍼의 제작, 처리, 운반, 및 저장의 모든 과정 동안 필요하다.
웨이퍼는 개방된 전면에 래치에 의해 잠기는 도어를 가지는 밀봉된 전면-개방 웨이퍼 콘테이너 내에 일반적으로 저장되고 수송된다. 도어는 일반적으로 수동 또는 자동으로 열릴 수 있다. 이러한 웨이퍼 콘테이너는 산업분야에서 전면-개방 통합 포드의 약자인 FOUP 및 전면-개방 적재 박스의 약자인 FOSB로 주지된다. 이러한 형태의 콘테이너의 도어는 콘테이너부에 대해 도어를 열거나 닫기 위한 래칭 메 카니즘을 작동시키기 위해 도어의 전면으로 삽입하는 정확하게 위치하는 열쇠를 가진 자동 인터페이스로 작동된다.
웨이퍼 콘테이너 래칭 메카니즘은 이론적으로 특정한 특성들을 가진다. 우선, 그것이 도어를 잠그거나 열기 위해 신뢰성 있고 일관되게 작동하는 것이 바람직하다. 또한, 래칭 메카니즘은 작동 동안 일부의 접촉이 미끄러지면서 생성될 수 있는 것과 같은 입자를 최소로 방출하도록 만들어지고 설계되는 것이 바람직하다. 래칭 메카니즘은 제조, 조립, 및 세척하기에 간단한 것이 또한 바람직하다. 또한, 이러한 래칭 메카니즘은 이동 부분의 상대 속도에서 제어되는 변화를 가지고 부드럽게 작동하는 것이 바람직하다. 많은 일반적인 현존하는 콘테이너 래칭 메카니즘은 부품들의 상대적으로 급한 감속을 보인다. 예를 들면, 특정한 이러한 메카니즘에서, 이동 부분은 이동의 경계에서 고정된 스톱과 충돌한다. 이는 콘테이너 표면 상에 얹혀 있을 수 있는 입자를 "날리게" 하여 이러한 입자가 오염 및 손상을 유발하게 웨이퍼 상에 나중에 침전하는 것을 가능하게 하는 것을 유발한다. 산업분야에서 요구되는 것은 향상된 속도 및 진동 제어 특성을 가진 래칭 메카니즘을 가진 웨이퍼 콘테이너이다.
본 발명은 향상된 속도 제어 및 진동 특성을 가진 도어 래칭 메카니즘을 가진 웨이퍼 콘테이너에 대한 산업분야의 요구를 만족한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 복수의 웨이퍼를 축선 방향으로 정렬된, 일반적으로 평행하게 이격된 배열로 지지하기 위한 콘테이너는 상부, 하부, 한쌍의 마주보는 측면, 후면 및 개방된 전면을 가지는 인클로저를 포함한다. 적어도 하나의 웨이퍼 지지대가 인클로저의 하부에 역학적 결합부와 함께 제공된다. 콘테이너는 섀시 및 섀시 상의 작동 가능한 래칭 메카니즘을 포함하는 개방된 전면을 밀봉하여 폐쇄하기 위한 도어를 가진다. 래칭 메카니즘은 제 1 원하는 위치 및 제 2 원하는 위치 사이에서 래칭 메카니즘을 이동시키기 위해 선택적으로 회전 가능한 캠 및 래칭 메카니즘이 제 1 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이동될 때 생성된 진동을 완충하기 위한 적어도 하나의 진동 완충기를 포함한다.
본 발명의 일실시예에서, 래칭 메카니즘은 래칭 메카니즘을 제 1 및 제 2 원하는 위치로 편향하기 위한 편향 스프링을 포함한다. 편향 스프링은 작동 동안 래칭 메카니즘에 의해 생성된 진동을 완충하기 위해 섀시와 작동 가능하게 결합된 종속부를 포함한다. 바람직한 경우, 캠 및 스프링은 전기적으로 전도성인 물질로부터 만들어질 수 있고 스프링의 종속부는 콘테이너 내의 웨이퍼로부터 접지로 전기 경로를 제공하기 위해 도어의 내면 상의 웨이퍼 쿠션과 결합될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서, 래칭 메카니즘은 캠 내에 규정된 슬롯에 결합된 캠 종동부를 가진 적어도 하나의 래칭 아암을 포함한다. 슬롯은 스프링이 위치하는 슬롯의 말단으로의 캠 종동부의 운동에 반대하는 편향력을 제공하고 결합하기 위해 슬롯의 하나 또는 두개의 말단에 인접하여 배치된 스프링을 가진다.
본 발명의 실시예들에서, 복수의 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 콘테이너는 밀봉된 기판 콘테이너를 형성하기 위해 콘테이너부에 밀봉 가능하게 부착하는 도어를 가진다. 도어는 경제적인 제조, 신뢰성 있는 작동, 부드럽고 조용한 작동, 및 도어를 밀봉하기 위한 효과적인 래칭을 촉진하는 완충 및 배치 수단을 가진 래칭 메카니즘을 가진다. 바람직한 실시예에서, 바람직한 회전 가능한 캠이 열가소성 물질로부터 형성되고, 캠 종동부와 결합하기 위한 슬롯 또는 다른 구조를 가진다. 래치 아암의 캠 종동부는 캠 종동부 결합 구조에 결합한다.
본 발명의 일 특징 및 장점은 메카니즘에 속도 제어, 배치, 및 완충 특성을 제공하기 위해 부착된 부품의 일부로서 주조된 일체형 스프링이다.
본 발명의 추가적인 특징 및 장점은 래치 아암이 레버 아암을 억제하기 위해 필요하도록 인클로저에 결합하기 위해 예각으로 래치 아암으로부터 연장된 일체형 핑거 스프링을 가지는 것이다.
본 발명의 다른 특징 및 장점은 일체형으로 되어 주조된 스프링이 어셈블리를 위한 부품의 수를 최소화시키고 그리하여 입자를 축적하고 가둘 수 있는 부품 연결 접점을 최소화시키는 것이다.
본 발명의 일 특징 및 장점은 래칭 메카니즘이 진동 완충 특징에 기인하여 더 적은 입자를 날리게 보다 부드럽고 조용하게 작동하는 것이다.
도 1은 전면-개방 웨이퍼 캐리어의 사시도;
도 1a는 처리 장치의 일부 상에 위치하는 전면-개방 웨이퍼 캐리어의 다른 실시예의 사시도;
도 2는 전면 커버가 제거된 웨이퍼 콘테이너 도어의 사시도;
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 콘테이너 래치 메카니즘의 전면 도;
도 4는 도 3에 도시된 웨이퍼 콘테이너 도어의 모서리의 사시도;
도 5a는 열린 위치에서 래치를 가진 본 발명에 따른 래치 메카니즘의 평면도;
도 5b는 중간 위치에서 도 5a의 래치 메카니즘의 평면도;
도 5c는 완전히 닫힌 위치에서 도 5a의 래치 메카니즘의 평면도;
도 6은 일체형으로 된 스프링 핑거를 예시하는 래치 아암의 일부의 사시도;
도 7은 일체형으로 된 스프링 핑거를 예시하는 래치 아암의 말단의 일부의 측면도; 및
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 편향 스프링의 사시도이다.
도 1은 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 전면 개방 웨이퍼 콘테이너(10)는 일반적으로, 개방된 내부(14)를 둘러싸는, 상부(12a), 하부(12b), 한쌍의 마주보는 측면(12c, 12d), 후면(12e), 및 개방된 전면(13)을 가지는 인클로저부(12)를 포함한다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 웨이퍼 지지대(15)가 복수의 웨이퍼(15a)를 축선 방향으로 정렬된, 일반적으로 평행하게 이격된 배열로 지지하기 위해 인클로저부(12) 내부에 위치할 수 있다. 역학적 결합부(15b)가 기술분야에서 일반적으로 주지된 바와 같이 처리 장치(15c)의 일부와 접하기 위해 하부(12b)에 제공될 수 있다. 여기에서 개시된 도어 래칭 메카니즘을 이용하기에 적당할 수 있는 전면 개방 콘테이너의 다른 구성은 일반적으로 미국 특허 6,644,477호; 6,267,245호; 6,216,874호; 6,206,196호; 6,010,008호; 및 5,944,194호에 개시되고, 이들 모두는 일반적으로 본 발명의 소유자에 의해 소유되며 본건에 참조되어 병합되었다.
다시 도 1 및 1a를 참조하면, 웨이퍼 콘테이너(10)는 개방된 전면(13)을 밀봉하여 폐쇄하기 위한 도어(16)를 더 포함한다. 도어(16)는 일반적으로 전면 또는 외부측(20), 및 후면 또는 내부측(22)을 가지는 섀시(18)를 포함한다. 전면측(20)은 패널(26)에 규정된 열쇠 구멍(30)을 통해 작동되는 래칭 메카니즘(28)을 덮는 패널(26)을 포함한다. 밀봉재(38)는 도어 프레임(40)을 인클로저부(12)에 밀봉되어 결합시키기 위해 도어(16)의 주변부(39) 주위에 장치된다. 웨이퍼(15a)를 결합시키고 구속하기 위한 하나 이상의 웨이퍼 쿠션(미도시)이 도어(16)의 내부측(22)에 장치될 수 있다. 이러한 웨이퍼 쿠션의 다양한 구성은 참조되어 여기에 이전에 병합된 참조문헌에 기술된다.
이제 도 2, 3 및 4를 참조하면, 도어(16)가 래칭 메카니즘(28)을 노출하기 위해 커버(26) 없이 묘사된다. 본 발명의 일실시예의 래칭 메카니즘(28)은 일반적으로 회전 가능한 캠(50), 래칭 아암(52), 래칭 부재(54), 및 편향 스프링(58)을 포함한다. 래칭 메카니즘(28)은 섀시(18)의 표면(64) 및 패널(26)의 내부 표면(65)에 의해 규정되는 도어 인클로저(62)에 일반적으로 위치한다. 포스트(66)는 표면(64) 및 패널(26)의 내부 표면(65) 사이에서 연장된 도어 인클로저(62)에 제공된다. 래치 아암(52)이 X축 방향으로 측방향으로 미끄러질 수 있지만 Y축 방향의 운동은 제한되도록, 래치 아암(52)은 포스트(66)가 미끄러지면서 수용되는 길쭉한 슬 롯(67)을 가진다. 래치 아암(52)은 섀시의 표면(64) 및 패널(26)의 내부 표면(65)에 원칙적으로 Z축 방향에 위치한다.
도 6 및 7에서 묘사된 본 발명의 실시예들에서, 탄성 부재(67)는 섀시(18)의 표면(64)에 결합되기 위해 이로부터 연장된 래치 아암(52)에 제공될 수 있다. 탄성 부재(67)는 래칭 메카니즘(26)의 작동 동안 생성된 진동 완충의 이중 기능에 사용될 수 있고, 또한 래치 아암(52)을 Z축 방향으로 보다 정확하게 위치시키기 위해 사용될 수 있다. 탄성 부재(67)는 래치 아암(52)에 일체로서 집적되어 형성될 수 있거나 래치 아암(52)에 부착된 별개 부품일 수 있다는 것이 인식될 것이다.
캠(50)은 표면(64)으로부터 래치 인클로저(62)로 외부로 연장되는 포스트(68)의 축선(a-a)에 대해 회전 가능하게 탑재된다. 래치 아암(52)은 일반적으로 캠(50)의 길쭉한 슬롯(76)에 미끄러질 수 있게 고정된 가까운 말단(70)에서 캠 종동부(69)를 포함한다. 슬롯(76)은 일반적으로, 캠(50)이 회전되고 캠 종동부(69)가 슬롯(76)에서 미끄러짐에 따라, 래치 아암(52)이 캠(50)의 회전 방향에 의존하여 캠(50)에 대해 상대적으로 측방향으로 측방향으로 내부 또는 외부로 미끄러지도록 구성된다. 다른 실시예에서, 캠(50)을 통해 전체적으로 연장되지 않는 홈 또는 다른 구조가 같거나 유사한 효과를 가지고 슬롯(76)의 위치에 제공될 수 있다는 것이 인식될 것이다. 래칭 부재(54)는 래치 아암(52)의 먼 말단(72)에 제공된다. 작동 중에, 이러한 래칭 부재(54)는 인클로저부(12)의 위치에 도어(16)를 고정하기 위해 도어 프레임(40)의 래치 수용 오목부(42)에 결합하도록 래치 아암(52)에 의해 연장되고 수축된다. 특정 실시예에서, 래칭 부재(54)는 피봇 조립체를 포함할 수 있다. 이러한 피봇 부재를 가진 래치 메카니즘은 미국 특허 5,628,683호 및 6,000,732호에 개시되고, 이들 각각은 본 발명의 소유자에게 양수되고 참조되어 여기에 전체적으로 병합되었다. 이러한 피봇 래치는 래칭 부재(54)가 "Y" 방향으로 도어 인클로저의 외부로 우선 연장되고, 그리고 도어를 도어 프레임 내로 당기고 도어 프레임과 밀봉을 하기 위해 콘테이너부로부터 멀리 "Z" 방향으로 움직이게 한다. 이러한 움직임은 일반적으로 미국 특허 4,995,430호, 향상된 래치 메카니즘을 가지는 밀봉 가능하고 운송 가능한 콘테이너에 개시되고, 이는 본 출원과 동일한 양수인을 가지며, 여기에 참조되어 또한 전체적으로 변합되었다.
이제 도 2 및 8을 참조하면, 편향 스프링(80)의 형태의 스프링(58)이 본 발명의 일실시예에 따라 묘사된다. 편향 스프링(80)은 일반적으로 주요부(81) 및 종속부(90)를 포함한다. 부싱(84, 86)은 주요부(81)의 각 말단에 위치한다. 부싱(84)은 캠(50)으로부터 연장된 포스트(87)에 회전 가능하게 결합되고, 부싱(86)은 섀시(18)의 표면(64)으로부터 연장된 포스트(88)에 회전 가능하게 결합된다. 작동 중에, 주요부(81)는, 본 발명의 소유자에 의해 공통으로 소유되고 여기에 참조되어 전체적으로 병합된 웨이퍼 캐리어 도어 및 편향된 스프링 래칭 메카니즘이란 제목의 계속 중인 미국 특허 출원 10/318,374호에 보다 상세하게 기술된 바와 같이, 캠(50), 그리고 따라서 래칭 메카니즘(28)을 잠기고 열린 상태에 따라 제 1 및 제 2의 원하는 위치로 편향되게 작동한다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 편향 스프링(80)의 종속부(90)는 부싱(86)에서 주요부(81)에 부착되거나 일체로 집적되어 형성된다. 종속부(90)는 탄력적이고, 30% 내지 90% 작은 단면에 기인하여, 주요부(81)에 비해 낮은 스프링 상수를 가질 수 있다. 종속부(90)는 섀시(18)의 표면(64)으로부터 연장된 포스트(98)에 제공된 구경(96)에 수용되는 먼 말단(94)에 포스트(92)를 가진다. 작동 중에, 종속부는 제 1 및 제 2의 원하는 위치 사이에서 래칭 메카니즘(26)을 이동시키는 동안 발생하는 스프링(80)의 주요부(81)의 진동에 대한 완충 효과를 제공한다.
콘테이너 내의 웨이퍼로부터 접지로 전기 경로를 제공하는 것이 바람직한 본 발명의 실시예에서, 캠(50) 및 편향 스프링(80)은 탄소 충전 열가소성 물질과 같이 전기적으로 전도성인 물질로부터 만들어질 수 있다. 종속부(90)는 상술한 바와 같이 도어(16)의 전도성 웨이퍼 쿠션과 전기적으로 전도성으로 연결될 수 있다. 도어(16)가 웨이퍼 지지대(15)에 지지되는 웨이퍼(15a)를 가진 인클로저부(12)와 결합될 때, 전도성 웨이퍼 쿠션은 웨이퍼를 결합하고 전도 경로가 웨이퍼로부터 캠(50)으로 제공된다. 캠(50)은 그리고 자동 조작 장비에 의해 전기적으로 접지된 열쇠와 결합된다.
도 3 및 4의 실시예에서, 슬롯(76)은 인접한 각 말단(102, 104) 내부로 연장된 한쌍의 완충 스프링(100)이 제공된다. 스프링(100)은 바람직하게는 캠(50)과 일체로 집적 주조되지만, 또한 별개 구조일 수 있다. 작동 중에, 캠(50)이 회전하고 캠 종동부(69)가 하나의 말단(102, 104)에 접근함에 따라, 스프링(100)은 우선 결합되고 캠 종동부(69) 상으로 미끄러지기 시작한다. 캠 종동부(69)가 말단(102, 104)에 가깝게 이동함에 따라, 스프링(100)은 외측으로 압축되고, 바이어스의 증가된 양을 캠 종동부(69)에 행사하며, 그리하여 저항을 증가시킨다. 이러한 증가한 저항은 캠 종동부(69)가 말단(102, 104)으로 더 이동함에 따라 제어된 방식으로 캠 종동부(69)를 감소시키는 경향을 가지고, 이동의 마지막에 충격력 및 진동의 전달을 최소화시키게 작동한다. 또한, 휘어진 말단(106)은 각 스프링(100)에 제공될 수 있고, 캠 종동부(69)가 한 말단(102, 104)에 위치할 때 원하는 위치에서 메카니즘을 지지하기 위한 덴트를 제공하기 위해 캠 종동부(69)를 따라서 형태지어진다. 물론, 메카니즘 이동의 단지 하나의 경계에서 감속 및 완충을 제공하는 것이 바람직한 경우, 다른 실시예에서 스프링(100)이 슬롯(76)의 말단(102)에서만 또는 말단(104)에서만 제공될 수 있는 것도 인식될 것이다.
래칭 메카니즘(26)의 전체 작동이 도 5a, 5b 및 5c의 순서로 일반적으로 묘사된다. 도 5c에서 도시되는 닫힌 또는 제 1 원하는 위치에서, 스프링(80)은 중심을 지나고 캠(50)을 시계 방향으로 치우치게 한다. 중간 위치(도 5b)에서, 스프링(80)은 일반적으로 중심을 지나고 캠(50)을 시계 또는 반시계 방향으로 치우치게 하지 않는다. 도 5a에서, 열린 또는 제 2 원하는 위치에 따라, 스프링(80)은 반대 방향으로 중심을 지나고 캠(50)을 반시계 방향으로 치우치게 한다. 캠(50) 및 연장된 래칭 메카니즘(26)이 도 5a 및 5c의 제 1 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이동됨에 따라, 편향 스프링(80)의 주요부(81)는 래치 메카니즘(26)의 이동 부분으로 속도 제어를 제공하고, 편향 스프링(80)의 종속부(90)는 메카니즘의 이동의 마지막에 다다름에 따라 생성되는 진동을 완충한다.
여기에서 식별된 다양한 부품은 웨이퍼 콘테이너에서 사용을 위해 적당한 특성을 가지는 적당한 열가소성 물질 또는 다른 물질로부터 성형될 수 있다. 바람직 한 열가소성 물질은 기술분야에서 주지된 바와 같이 탄소 섬유 충전제 또는 탄소 분말 충전제를 가진 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리에테르이미드(PEI), 폴리카보네이트 또는 다른 적당한 열가소성 물질을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 특징 및 장점은 메카니즘에 속도 제어, 배치, 및 완충 특성을 제공하기 위해 부착된 부품의 일부로서 주조된 일체형 스프링이다.
본 발명의 추가적인 특징 및 장점은 래치 아암이 레버 아암을 억제하기 위해 필요하도록 인클로저에 결합하기 위해 예각으로 래치 아암으로부터 연장된 일체형 핑거 스프링을 가지는 것이다.
본 발명의 다른 특징 및 장점은 일체형으로 되어 주조된 스프링이 어셈블리를 위한 부품의 수를 최소화시키고 그리하여 입자를 축적하고 가둘 수 있는 부품 연결 접점을 최소화시키는 것이다.
본 발명의 일 특징 및 장점은 래칭 메카니즘이 진동 완충 특징에 기인하여 더 적은 입자를 날리도록 보다 부드럽고 조용하게 작동하는 것이다.

Claims (29)

  1. 복수의 웨이퍼를 축선 방향으로 정렬된, 대략 평행하게 이격된 배열로 지지하기 위한 콘테이너로서, 상기 콘테이너는:
    상부, 하부, 한쌍의 마주보는 측면, 후면 및 개방된 전면을 가지는 인클로저부;
    상기 인클로저 내의 적어도 하나의 웨이퍼 지지대;
    상기 인클로저의 상기 하부 상의 역학적 결합부; 및
    섀시와;
    제 1 원하는 위치 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이를 이동시키기 위해 선택적으로 회전 가능한 캠을 포함하는 상기 섀시 상의 작동 가능한 래칭 메카니즘을 포함하고, 상기 래칭 메카니즘은 상기 래칭 메카니즘이 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이동될 때 생성된 진동을 완충하기 위한 적어도 하나의 진동 완충기를 더 포함하는, 상기 개방된 전면을 밀봉되게 닫기 위한 도어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼를 지지하는 콘테이너.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치로 상기 래칭 메카니즘을 이동시키기 위한 편향력을 제공하기 위해 배치된 제 1 탄성부를 가지는 스프링을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 진동 완충기는 상기 섀시에 작동 가능하게 결합된 상기 스프링의 제 2 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 하 는 콘테이너.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 도어는 웨이퍼 쿠션부를 포함하고, 상기 캠 및 상기 스프링은 전기적으로 전도성이며, 상기 스프링의 상기 제 2 탄성부는 상기 웨이퍼 쿠션부에 전기 전도적으로 결합된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 스프링은 열가소성 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 스프링의 상기 제 1 및 제 2 탄성부는 한 부품이 되도록 일체로 함께 형성된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 열가소성 물질은 전도성 충전제를 함유하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 캠은 제 1 및 제 2 마주보는 말단을 가지고 규정된 길쭉한 슬롯을 가지고, 상기 래칭 메카니즘은 상기 슬롯에 미끄러지게 결합된 캠 종동부를 가진 적어도 하나의 측방향으로 미끄러질 수 있는 래칭 아암을 더 포함하며, 상기 적어도 하나의 진동 완충기는 상기 캠 종동부에 결합하고 상기 캠 종동부의 움직임에 저항하는 편향력을 상기 슬롯의 상기 제 1 말단으로 주기 위해 상기 슬롯의 상기 제 1 말단 근처에 배치된 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 진동 완충기는 상기 캠 종동부에 결합하고 상기 캠 종동부의 움직임에 저항하는 편향력을 상기 슬롯의 상기 제 2 말단으로 주기 위해 상기 슬롯의 상기 제 2 말단 근처에 배치된 제 2 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 캠 및 상기 섀시와 작동 가능하게 결합되고 상기 래칭 메카니즘을 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치의 각각으로 이동시키기 위해 편향력을 제공하기 위해 배치된 제 1 탄성부를 가진 편향 스프링을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 진동 완충기는 상기 섀시에 작동 가능하게 결합된 상기 편향 스프링의 제 2 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 도어는 웨이퍼 쿠션부를 포함하고, 상기 캠 및 상기 편향 스프링은 전기적으로 전도성이며, 상기 편향 스프링의 상기 제 2 탄성부는 상기 웨이퍼 쿠션부에 전기적으로 전도성 결합된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 캠에 작동 가능하게 결합된 래칭 아암을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 진동 완충기는 상기 래칭 아암 및 상기 섀시 사이에서 연장된 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  12. 복수의 웨이퍼를 축선 방향으로 정렬된, 대략 평행하게 이격된 배열로 지지하기 위한 콘테이너로서, 상기 콘테이너는:
    상부, 하부, 한쌍의 마주보는 측면, 후면 및 개방된 전면을 가지는 인클로저부;
    상기 인클로저 내의 적어도 하나의 웨이퍼 지지대;
    상기 인클로저의 상기 하부 상의 역학적 결합부; 및
    섀시와;
    제 1 원하는 위치 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이를 이동시키기 위해 선택적으로 회전 가능한 캠을 포함하는 상기 섀시 상의 작동 가능한 래칭 메카니즘을 포함하고, 상기 래칭 메카니즘은 상기 래칭 메카니즘이 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이동될 때 생성된 진동을 완충하기 위한 수단을 더 포함하는, 상기 개방된 전면을 밀봉되게 닫기 위한 도어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복수의 웨이퍼를 지지하는 콘테이너.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치로 상기 래칭 메카니즘을 이동시키기 위한 편향력을 제공하기 위해 배치된 제 1 탄성부를 가지는 스프링을 더 포함하고, 상기 진동을 완충하기 위한 수단은 상기 섀시에 작동 가능하게 결합된 상기 스프링의 제 2 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 하 는 콘테이너.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 도어는 웨이퍼 쿠션부를 포함하고, 상기 캠 및 상기 스프링은 전기적으로 전도성이며, 상기 스프링의 상기 제 2 탄성부는 상기 웨이퍼 쿠션부에 전기적 전도적으로 결합된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 스프링은 열가소성 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 스프링의 상기 제 1 및 제 2 탄성부는 한 부품이 되도록 일체로 함께 형성된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  17. 제 15 항에 있어서, 상기 열가소성 물질은 전도성 충전제를 함유하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  18. 제 12 항에 있어서, 상기 캠은 제 1 및 제 2 마주보는 말단을 가지고 규정된 길쭉한 슬롯을 가지고, 상기 래칭 메카니즘은 상기 슬롯에 미끄러지게 결합된 캠 종동부를 가진 적어도 하나의 측방향으로 미끄러질 수 있는 래칭 아암을 더 포함하며, 상기 진동을 완충하기 위한 수단은 상기 캠 종동부에 결합하고 상기 캠 종동부의 움직임에 저항하는 편향력을 상기 슬롯의 상기 제 1 말단으로 주기 위해 상기 슬롯의 상기 제 1 말단 근처에 배치된 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 진동을 완충하기 위한 수단은 상기 캠 종동부에 결합하고 상기 캠 종동부의 움직임에 저항하는 편향력을 상기 슬롯의 상기 제 2 말단으로 주기 위해 상기 슬롯의 상기 제 2 말단 근처에 배치된 제 2 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  20. 제 19 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 캠 및 상기 섀시와 작동 가능하게 결합되고 상기 래칭 메카니즘을 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치의 각각으로 이동시키기 위해 편향력을 제공하기 위해 배치된 제 1 탄성부를 가진 편향 스프링을 더 포함하고, 상기 진동을 완충하기 위한 수단은 상기 섀시에 작동 가능하게 결합된 상기 편향 스프링의 제 2 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 도어는 웨이퍼 쿠션부를 포함하고, 상기 캠 및 상기 편향 스프링은 전기적으로 전도성이며, 상기 편향 스프링의 상기 제 2 탄성부는 상기 웨이퍼 쿠션부에 전기적으로 전도성 결합된 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  22. 제 12 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 캠에 작동 가능하게 결합된 래칭 아암을 더 포함하고, 상기 진동을 완충하기 위한 수단은 상기 래칭 아암 및 상기 섀시 사이에서 연장된 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 콘테이너.
  23. 섀시; 및
    제 1 원하는 위치 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이를 이동시키기 위해 선택적으로 회전 가능한 캠을 포함하는 상기 섀시 상의 작동 가능한 래칭 메카니즘을 포함하고, 상기 래칭 메카니즘은 상기 래칭 메카니즘이 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치 사이에서 이동될 때 생성된 진동을 완충하기 위한 적어도 하나의 진동 완충기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 콘테이너를 위한 도어.
  24. 제 23 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 제 1 및 제 2 원하는 위치로 상기 래칭 메카니즘을 이동시키기 위한 편향력을 제공하기 위해 배치된 제 1 탄성부를 가지는 스프링을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 진동 완충기는 상기 섀시에 작동 가능하게 결합된 상기 스프링의 제 2 탄성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어.
  25. 제 24 항에 있어서, 웨이퍼 쿠션부를 더 포함하고, 상기 캠 및 상기 스프링은 전기적으로 전도성이며, 상기 스프링의 상기 제 2 탄성부는 상기 웨이퍼 쿠션부에 전기적 전도적으로 결합된 것을 특징으로 하는 도어.
  26. 제 24 항에 있어서, 상기 스프링의 상기 제 1 및 제 2 탄성부는 한 부품이 되도록 일체로 함께 형성된 것을 특징으로 하는 도어.
  27. 제 23 항에 있어서, 상기 캠은 제 1 및 제 2 마주보는 말단을 가지고 규정된 길쭉한 슬롯을 가지고, 상기 래칭 메카니즘은 상기 슬롯에 미끄러지게 결합된 캠 종동부를 가진 적어도 하나의 측방향으로 미끄러질 수 있는 래칭 아암을 더 포함하며, 상기 적어도 하나의 진동 완충기는 상기 캠 종동부에 결합하고 상기 캠 종동부의 움직임에 저항하는 편향력을 상기 슬롯의 상기 제 1 말단으로 주기 위해 상기 슬롯의 상기 제 1 말단 근처에 배치된 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어.
  28. 제 27 항에 있어서, 상기 진동 완충기는 상기 캠 종동부에 결합하고 상기 캠 종동부의 움직임에 저항하는 편향력을 상기 슬롯의 상기 제 2 말단으로 주기 위해 상기 슬롯의 상기 제 2 말단 근처에 배치된 제 2 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어.
  29. 제 23 항에 있어서, 상기 래칭 메카니즘은 상기 캠에 작동 가능하게 결합된 래칭 아암을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 진동 완충기는 상기 래칭 아암 및 상기 섀시 사이에서 연장된 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어.
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Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8083272B1 (en) * 1998-06-29 2011-12-27 Industrial Technology Research Institute Mechanically actuated air tight device for wafer carrier
WO2003010069A1 (fr) * 2001-07-23 2003-02-06 Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. Couvercle pour contenant de feuilles et contenant de feuilles
KR100927923B1 (ko) * 2001-11-27 2009-11-19 엔테그리스, 아이엔씨. 도어에 의해 구현되는 접지 경로를 포함하는 전방 개방웨이퍼 캐리어
TWI317339B (en) * 2006-12-22 2009-11-21 Ind Tech Res Inst A latch mechanism of clean container
WO2009089552A2 (en) * 2008-01-13 2009-07-16 Entegris, Inc. Methods and apparatuses for large diameter wafer handling
US8276758B2 (en) * 2008-08-14 2012-10-02 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd Wafer container with at least one oval latch
TWI341816B (en) * 2008-08-14 2011-05-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container having the latch and inflatable seal element
US7909166B2 (en) * 2008-08-14 2011-03-22 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd Front opening unified pod with latch structure
TWI358379B (en) * 2008-08-14 2012-02-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container with at least one latch
TW201010916A (en) * 2008-09-12 2010-03-16 Gudeng Prec Industral Co Ltd Wafer container with roller
TWI485796B (zh) * 2008-11-21 2015-05-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd 容置薄板之容器
KR101049716B1 (ko) * 2008-12-02 2011-07-19 (주)상아프론테크 덮개를 개폐하는 래치장치
TWI363030B (en) * 2009-07-10 2012-05-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd Wafer container with top flange structure
JP2011100983A (ja) * 2009-10-07 2011-05-19 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
TWI394695B (zh) 2010-04-29 2013-05-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd 一種具有橢圓門閂結構之前開式晶圓盒
TW201138002A (en) * 2010-04-29 2011-11-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container with oval latch
US8602239B2 (en) * 2010-08-16 2013-12-10 Robert L. Thomas, JR. Decorative paper plate storage units
KR20130126620A (ko) * 2010-10-19 2013-11-20 엔테그리스, 아이엔씨. 웨이퍼 쿠션을 구비한 전면 개방형 웨이퍼 컨테이너
WO2012054630A2 (en) * 2010-10-20 2012-04-26 Entegris, Inc. Front opening wafer container with door deflection minimization
KR101899614B1 (ko) 2010-10-20 2018-09-17 엔테그리스, 아이엔씨. 도어 가이드 및 밀봉부를 갖는 웨이퍼 컨테이너
JP5686699B2 (ja) * 2011-08-08 2015-03-18 信越ポリマー株式会社 蓋体及び基板収納容器
TWI473752B (zh) * 2011-12-13 2015-02-21 Gudeng Prec Ind Co Ltd 大型前開式晶圓盒之門閂結構
TWM434763U (en) * 2012-03-22 2012-08-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd Containers for packaging semiconductor components
JP6214630B2 (ja) 2012-05-04 2017-10-18 インテグリス・インコーポレーテッド ウェーハを支える交換可能なバックストップ
SG11201407213TA (en) 2012-05-04 2014-12-30 Entegris Inc Wafer container with door mounted shipping cushions
KR102131473B1 (ko) * 2012-11-28 2020-07-07 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기
EP2989657B1 (en) 2013-04-26 2018-05-23 Entegris, Inc. Wafer container with latching mechanism for large diameter wafers
US10580674B2 (en) * 2013-08-22 2020-03-03 Miraial Co., Ltd. Substrate storing container
FR3026725B1 (fr) * 2014-10-03 2016-10-28 Chanel Parfums Beaute Pot de cosmetique comportant un couvercle a element d'accrochage basculant
US10784135B2 (en) 2015-10-01 2020-09-22 Entegris, Inc. Substrate container with improved substrate retainer and door latch assist mechanism
US10772982B2 (en) * 2016-06-15 2020-09-15 Globus Medical, Inc. Rigid sterilization container with replaceable filter assemblies
TWI822366B (zh) * 2022-09-28 2023-11-11 家登精密工業股份有限公司 鎖附導正結構

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3333878A (en) * 1965-06-09 1967-08-01 Eastern Co Door control mechanism
US3953061A (en) * 1974-09-23 1976-04-27 A. L. Hansen Mfg. Co. Door fastening means
US4836707A (en) * 1987-09-04 1989-06-06 The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration Releasable clamping apparatus
US4995430A (en) 1989-05-19 1991-02-26 Asyst Technologies, Inc. Sealable transportable container having improved latch mechanism
US5096238A (en) * 1990-11-19 1992-03-17 Mintz Shalom A Secondary door locking system
DE4207341C1 (ko) 1992-03-09 1993-07-15 Acr Automation In Cleanroom Gmbh, 7732 Niedereschach, De
DE19535178C2 (de) 1995-09-22 2001-07-19 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zum Ver- und Entriegeln einer Tür eines Behälters
USRE38221E1 (en) 1995-10-13 2003-08-19 Entegris, Inc. 300 mm microenvironment pod with door on side
US5915562A (en) * 1996-07-12 1999-06-29 Fluoroware, Inc. Transport module with latching door
US5711427A (en) * 1996-07-12 1998-01-27 Fluoroware, Inc. Wafer carrier with door
US6010008A (en) 1997-07-11 2000-01-04 Fluoroware, Inc. Transport module
US6216874B1 (en) 1998-07-10 2001-04-17 Fluoroware, Inc. Wafer carrier having a low tolerance build-up
US6267245B1 (en) * 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
JP3556480B2 (ja) * 1998-08-17 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
US6206196B1 (en) 1999-01-06 2001-03-27 Fluoroware, Inc. Door guide for a wafer container
US6464081B2 (en) * 1999-01-06 2002-10-15 Entegris, Inc. Door guide for a wafer container
US6457598B1 (en) * 2001-03-20 2002-10-01 Prosys Technology Integration, Inc. Module cover assembly with door latch transmission mechanism for wafer transport module
KR100927923B1 (ko) * 2001-11-27 2009-11-19 엔테그리스, 아이엔씨. 도어에 의해 구현되는 접지 경로를 포함하는 전방 개방웨이퍼 캐리어
US6880718B2 (en) * 2002-01-15 2005-04-19 Entegris, Inc. Wafer carrier door and spring biased latching mechanism
US6644477B2 (en) 2002-02-26 2003-11-11 Entegris, Inc. Wafer container cushion system
TWI276580B (en) * 2003-12-18 2007-03-21 Miraial Co Ltd Lid unit for thin-plate supporting container

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