KR20060078934A - Device of separating isolation valve - Google Patents

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KR20060078934A
KR20060078934A KR1020040118187A KR20040118187A KR20060078934A KR 20060078934 A KR20060078934 A KR 20060078934A KR 1020040118187 A KR1020040118187 A KR 1020040118187A KR 20040118187 A KR20040118187 A KR 20040118187A KR 20060078934 A KR20060078934 A KR 20060078934A
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KR1020040118187A
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박상혁
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동부일렉트로닉스 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 공정챔버와 진공압을 발생시키는 진공펌프 사이에 설치되어 필요에 따라 진공펌프와 공정챔버를 연결시키는 아이솔레이션밸브에 관한 것으로, 아이솔레이션밸브의 상부몸체 측면을 가압하기 위해 다수개 형성된 상부몸체가압부, 상기 상부몸체가압부가 고정되며 직립되어 있는 수직가이드, 상기 수직가이드의 하부에 고정되며 아이솔레이션밸브의 밸브바디 측면을 가압하기 위한 밸브바디가압부, 상기 수직가이드의 상단부와 연결되며 리드스크류로 이루어져 아이솔레이션밸브의 상부몸체 상단면을 가압하면서 회전시켜 상부몸체를 밸브바디로부터 분리시키는 분해핸들, 상기 수직가이드의 상단부에 설치되고 분해핸들이 결합되는 상부가이드로 이루어진 것을 특징으로 함으로써, 장비를 정비하는데 소요되는 시간이 감소되고 작업의 편의성을 제공할 수 있는 아이솔레이션밸브 분해장치에 관한 것이다.The present invention relates to an isolation valve installed between a semiconductor process chamber and a vacuum pump for generating a vacuum pressure and connecting the vacuum pump and the process chamber as necessary. The upper body has a plurality of upper bodies formed to press the upper body side of the isolation valve. The pressurizing part, the upper body pressurizing part is fixed and upright vertical guide, a valve body pressurizing part for pressing the valve body side of the isolation valve is fixed to the lower portion of the vertical guide, connected to the upper end of the vertical guide and lead screw It consists of a disassembly handle for separating the upper body from the valve body by rotating while pressing the upper surface of the upper body of the isolation valve, the upper guide is installed on the upper end of the vertical guide and coupled to the disassembly handle, to maintain the equipment Less time spent It relates to an isolation valve separation device that can provide convenience in industry.

아이솔레이션밸브, 분해장치Isolation Valve, Decomposition

Description

아이솔레이션밸브 분해장치{Device of separating isolation valve} Isolation Valve Separator             

도 1은 종래의 아이솔레이션밸브 분해방법을 보여주는 사시도,1 is a perspective view showing a conventional isolation valve disassembly method;

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 아이솔레이션밸브 분해장치를 보여주는 측면개략도.Figure 2 is a side schematic view showing an isolation valve disassembly apparatus according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 아이솔레이션밸브 10 : 상부몸체1: Isolation Valve 10: Upper Body

20 : 밸브바디 30 : 제1개구부20: valve body 30: first opening

40 : 제2개구부 110 : 상부가이드40: second opening 110: upper guide

111 : 상부회전축 120 : 수직가이드111: upper rotating shaft 120: vertical guide

121 : 수직이송가이드 122 : 수직회전축121: vertical transfer guide 122: vertical axis of rotation

130 : 가압부 131 : 가압판130: pressure unit 131: pressure plate

132 : 패드 133 : 스크류132: pad 133: screw

140 : 밸브바디가압부 150 : 분해핸들140: valve body pressure unit 150: disassemble handle

160 : 고정받침대 161 : 스크류홀
160: fixing base 161: screw hole

본 발명은 아이솔레이션밸브 분해장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 공정챔버와 진공압을 발생시키는 진공펌프 사이에 설치되어 필요에 따라 진공펌프와 공정챔버를 연결시키는 아이솔레이션밸브의 분해를 용이하게 할 수 있는 아이솔레이션밸브 분해장치에 관한 것이다.The present invention relates to an isolation valve disassembly apparatus, and more particularly, is provided between a semiconductor process chamber and a vacuum pump for generating a vacuum pressure to facilitate disassembly of an isolation valve for connecting a vacuum pump and a process chamber as necessary. To an isolation valve disassembly device.

아이솔레이션밸브는 고진공이 요구되는 공정챔버를 대기압 상태에서 진공상태로 만들기 위해 드라이 펌프(Dry Pump)나 터보 펌프(Turbo Pump)의 모터를 이용하여 고진공을 만든 상태에서 포어라인(Fore Line)을 이용하여 공정챔버로 전달하기 위한 것이다.The isolation valve uses a fore line in a state where high vacuum is made by using a motor of a dry pump or turbo pump to make a process chamber requiring high vacuum from atmospheric pressure to a vacuum state. It is for transfer to the process chamber.

도 1은 종래의 아이솔레이션밸브 분해방법을 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional isolation valve disassembly method.

상기 아이솔레이션밸브는 장비 정비나 유지보수(PM; Preventive Maintenance)시에 장치에서 제거하여 검사(Overhaul)를 실시하는데, 이를 손쉽게 분해할 수 있는 도구가 없어 밸브를 분해하여 검사하는데 많은 시간이 소요된다.The isolation valve is removed from the device at the time of equipment maintenance or preventive maintenance (Overhaul), and there is no tool that can be easily disassembled, so it takes a long time to disassemble and inspect the valve.

특히 아이솔레이션밸브는 내부의 밸브축이 직선 이동함에 따라 신축동작을 행하는 벨로우즈와 밸브의 상부덮개 내측에 삽입된 스프링이 강하게 흡착되어 있는 상태에서 분해를 하기 때문에 상부몸체(10)를 분해하기 위해서는 작업자의 큰 힘을 필요로 한다.In particular, the isolation valve is disassembled in a state in which the bellows that expand and contract as the valve shaft moves linearly and the spring inserted inside the upper cover of the valve are strongly adsorbed. It requires great power.

또한 아이솔레이션밸브를 지탱해 줄 수 있는 장치가 없기 때문에 만약 분해를 한다고 하더라도 완충 스프링(Spring)이 밖으로 돌출이 되어 작업자의 얼굴이나 손의 부상 염려가 있어 안전하지 못한 문제점이 있다.
In addition, since there is no device that can support the isolation valve, even if disassembled, the shock absorbing spring (Spring) is protruded out there is a risk of injury to the operator's face or hand there is an unsafe problem.

따라서 본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명의 아이솔레이션밸브 분해장치는 아이솔레이션밸브의 상부몸체와 밸브바디를 고정한 상태에서 상부몸체상단면을 가압회전시켜 상부몸체를 분해할 수 있는 장치를 제공함으로써 밸브분해시 발생할 수 있는 작업자의 부상을 방지하면서 손쉽게 분해할 수 있어 장비 정비 시간을 최소화할 수 있는 아이솔레이션밸브 분해장치를 제공함에 그 목적이 있다.
Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, the isolation valve disassembly device of the present invention can decompose the upper body by pressing and rotating the upper body upper end surface in a state in which the upper body and the valve body of the isolation valve fixed It is an object of the present invention to provide an isolation valve disassembly apparatus that can be easily disassembled while minimizing equipment maintenance time by preventing a worker injury that may occur when disassembling the valve.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 아이솔레이션밸브 분해장치는, 아이솔레이션밸브의 상부몸체 측면을 가압하기 위해 다수개 형성된 상부몸체가압부, 상기 상부몸체가압부가 고정되며 직립되어 있는 수직가이드, 상기 수직가이드의 하부에 고정되며 아이솔레이션밸브의 밸브바디 측면을 가압하기 위한 밸브바디가압부, 상기 수직가이드의 상단부와 연결되며 리드스크류로 이루어져 아이솔레이션밸브의 상부몸체 상단면을 가압하면서 회전시켜 상부몸체를 밸브바디로부터 분리시키는 분해핸들, 상기 수직가이드의 상단부에 설치되고 분해핸들이 결합되는 상부가이드로 이루어진 것을 특징으로 한다.The isolation valve disassembling device of the present invention for realizing the object as described above, the upper body pressing portion formed in plural to press the upper body side of the isolation valve, the vertical guide is fixed and upright the upper body pressing portion, the It is fixed to the lower part of the vertical guide and is connected to the valve body pressing portion for pressing the valve body side of the isolation valve, the upper portion of the vertical guide and consists of a lead screw to rotate the upper body by pressing the upper body upper surface of the isolation valve Disassembly handle to separate from the body, characterized in that consisting of the upper guide is installed on the upper end of the vertical guide coupled to the disassembly handle.

또한, 상기 상부몸체가압부는 상부몸체를 가압하는 가압판, 상기 가압판과 상부몸체 사이에 개재된 패드, 상기 가압판을 가압하기 위한 가압수단로 이루어지고; 상기 밸브바디가압부는 밸브바디 측면에 돌출된 제1개구부를 가압하는 가압판, 상기 가압판과 제1개구부 사이에 개재된 패드, 상기 가압판을 가압하기 위한 가압수단로 이루어진 것; 을 특징으로 한다.In addition, the upper body pressing portion is made of a pressing plate for pressing the upper body, a pad interposed between the pressing plate and the upper body, pressing means for pressing the pressing plate; The valve body pressurizing portion comprises a pressing plate for pressing the first opening protruding from the valve body side, a pad interposed between the pressing plate and the first opening portion, the pressing means for pressing the pressing plate; It is characterized by.

또한, 상기 밸브바디가압부는 수직이송가이드에 고정되어 있고, 상기 수직이송가이드는 수직회전축의 회전에 의해 상하이동되는 것을 특징으로 한다.In addition, the valve body pressing portion is fixed to the vertical transfer guide, characterized in that the vertical transfer guide is moved by the rotation of the vertical axis of rotation.

또한, 상기 밸브바디 하단부에 형성된 제2개구부를 수용하며 측면 둘레에 스크류홀이 다수개 형성된 고정받침대를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, it is characterized in that it comprises a second fixing portion formed in the lower end of the valve body and a fixed support base formed with a plurality of screw holes around the side.

또한, 상기 상부가이드의 양단에는 상부회전축이 내삽되어 상기 상부회전축의 회전에 의해 분해핸들이 좌우로 이동되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the upper rotation shaft is interpolated at both ends of the upper guide is characterized in that the disassembly handle is moved left and right by the rotation of the upper rotary shaft.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 아이솔레이션밸브 분해장치를 보여주는 측면개략도이다.Figure 2 is a side schematic view showing an isolation valve disassembly apparatus according to an embodiment of the present invention.

아이솔레이션밸브는 스프링이 내삽된 상부몸체(10)와 벨로우즈가 내삽된 밸브바디(20)부분으로 나뉘어져 있는데, 상기 상부몸체(10)를 회전시킴으로써 밸브바디(20)로부터 분리시키게 된다.The isolation valve is divided into a spring-inserted upper body 10 and a bellows-inserted valve body 20, which are separated from the valve body 20 by rotating the upper body 10.

상기 상부몸체(10)를 회전시키기 위해 아이솔레이션밸브의 상부몸체(10) 측 면을 가압하기 위해 상부몸체(10) 둘레를 따라 다수개의 상부몸체가압부(130)가 직립되어 있는 수직가이드(120)에 고정되어 형성된다.Vertical guide 120 in which a plurality of upper body pressing portion 130 is erected along the upper body 10 in order to press the upper body 10 side of the isolation valve to rotate the upper body 10 It is fixed to the formed.

상기 상부몸체가압부(130)는 상부몸체(10)를 측면에서 가압하기 위해 서스(SUS)재질로 이루어진 가압판(131)이 설치되고, 상기 가압판(131)과 상부몸체(10) 사이에는 아이솔레이션밸브에 흠이 생기지 않도록 고무재질로 이루어진 패드(132)가 개재되고, 상기 가압판(131)을 가압하기 위한 스크류 등의 가압수단(133)으로 이루어져 있어, 상기 스크류를 회전시키면 가압판(131)과 패드(132)를 통해 상부몸체(10)의 측면을 가압하게 된다.The upper body pressing unit 130 is provided with a pressure plate 131 made of sus material to press the upper body 10 from the side, an isolation valve between the pressure plate 131 and the upper body 10. A pad 132 made of a rubber material is interposed so as to prevent scratches. The pad 132 is formed of pressure means 133 such as a screw for pressurizing the pressure plate 131. When the screw is rotated, the pressure plate 131 and the pad ( The side of the upper body 10 is pressed through the 132.

상기 수직가이드(120)는 본 발명에 따른 아이솔레이션밸브 분해장치의 기둥역할을 하도록 2개 내지 4개가 설치되는 것이 바람직하고, 상기 상부몸체가압부(130)는 수직가이드(120) 마다 형성되는 것이 바람직하다.The vertical guide 120 is preferably provided with two to four to act as a pillar of the isolation valve decomposition apparatus according to the present invention, the upper body pressing portion 130 is preferably formed for each vertical guide (120). Do.

상기 상부몸체(10)의 하부에는 밸브바디(20)가 결합되어 있는데, 상기 밸브바디(20)의 측면에는 챔버의 압력통로인 제1개구부(30)가 돌출 형성되고, 밸브바디(20)의 하단에는 오목한 형상의 제2개구부(40)가 형성된다.A valve body 20 is coupled to a lower portion of the upper body 10, and a first opening 30, which is a pressure passage of the chamber, protrudes from a side of the valve body 20, and the valve body 20 of the valve body 20 is formed. At the lower end, a second opening 40 having a concave shape is formed.

상기 제1개구부(30)에는 아이솔레이션밸브에 측방향에서 힘을 가하여 밸브바디(20)를 지탱해주어 상부몸체(10)가 원활히 분해될 수 있도록 하기 위해 밸브바디가압부(140)가 수직가이드(120)에 설치된다.In order to support the valve body 20 by applying a force to the isolation valve in the lateral direction to the first opening 30, the valve body pressing unit 140 is a vertical guide 120 so that the upper body 10 can be disassembled smoothly. It is installed in).

상기 밸브바디가압부(140)는 밸브바디(20) 측면에 돌출된 제1개구부(30)를 가압하는 서스(SUS)재질의 가압판(141), 상기 가압판(141)과 제1개구부(30) 사이에 개재된 고무재질의 패드(142), 상기 가압판(141)을 가압하기 위한 스크류 등의 가 압수단(143)으로 구성되어, 상기 스크류를 회전시키면 가압판(141)과 패드(142)에 의해 제1개구부(30)가 가압되어 밸브 분해 작업시 하단부를 안정적으로 고정시키게 된다.The valve body pressurizing unit 140 is a pressure plate 141 made of a sus material for pressing the first opening 30 protruding from the side of the valve body 20, the pressure plate 141, and the first opening 30. The pad 142 of a rubber material interposed therebetween, and the pressure means 143, such as a screw for pressing the pressure plate 141, and when the screw is rotated by the pressure plate 141 and the pad 142 The first opening 30 is pressurized to stably fix the lower end in the valve disassembly operation.

상기 밸브바디가압부(140)는 수직가이드(120)에 고정결합될 수도 있지만, 아이솔레이션밸브는 다양한 종류가 사용되고 그 종류마다 크기가 상이하기 때문에 제1개구부(30)를 가압하는 밸브바디가압부(140)는 상하로 움직여 높이조절이 가능한 것이 바람직하다.The valve body pressurizing unit 140 may be fixedly coupled to the vertical guide 120, but the isolation valve is a valve body pressurizing unit for pressurizing the first opening 30 because various types are used and the size is different for each type ( 140) it is preferable that the height can be adjusted by moving up and down.

따라서 본 발명에서는 이를 위하여 상기 밸브바디가압부(140)를 수직가이드(120)와 외삽되어 상하로 움직일 수 있도록 수직이송가이드(121)가 구비되고, 상기 수직이송가이드(121)의 하단에 내삽되고 스크류형상으로 이루어진 수직회전축(122)의 회전에 의해 상기 수직이송가이드(121) 및 이와 결합된 밸브바디가압부(140)를 상하로 움직이게 된다.Therefore, in the present invention, a vertical transfer guide 121 is provided so that the valve body pressing unit 140 can be extrapolated with the vertical guide 120 to move up and down, and is interpolated at the lower end of the vertical transfer guide 121. The vertical transfer guide 121 and the valve body pressing unit 140 coupled thereto are moved up and down by the rotation of the vertical rotation shaft 122 having a screw shape.

상기 밸브바디(20) 하단부에 오목한 형상으로 형성된 제2개구부(40)를 수용하며 밸브 분해 작업시 밸브 하단부를 안정되게 받쳐주는 고정받침대(160)가 설치되고, 상기 고정받침대(160)의 측면 둘레에는 스크류를 삽입하여 고정할 수 있도록 스크류홀(161)이 다수개 형성되어 있다.A fixing support 160 for receiving the second opening 40 formed in a concave shape at the lower end of the valve body 20 and stably supporting the lower end of the valve when disassembling the valve is installed, and a side circumference of the fixing support 160 is provided. There are a plurality of screw holes 161 are formed to be fixed by inserting a screw.

상기 수직가이드(110)의 상단부에는 분해핸들(150)이 결합되는 상부가이드(110)가 수평으로 설치되고, 상기 분해핸들(150)은 리드스크류로 이루어져 아이솔레이션밸브의 상부몸체(10) 상단면을 가압하면서 회전시켜 상부몸체(10)를 밸브바디(20)로부터 분리시키기 위해 90도 절곡된 손잡이 모양으로 형성된다. An upper guide 110 to which the disassembly handle 150 is coupled is horizontally installed at the upper end of the vertical guide 110, and the disassembly handle 150 is formed of a lead screw to form an upper surface of the upper body 10 of the isolation valve. Rotating while pressing is formed in the shape of a handle bent 90 degrees to separate the upper body 10 from the valve body 20.                     

상기 상부가이드(110)의 양단에는 상부회전축(111)이 내삽되어 상기 상부회전축의 회전에 의해 분해핸들(150)이 좌우로 이동된다.The upper rotation shaft 111 is interpolated at both ends of the upper guide 110 so that the dismantling handle 150 moves left and right by the rotation of the upper rotation shaft.

상기 분해핸들(150)의 하단에는 서스(SUS)재질의 가압판(151)과 상기 가압판(151)과 상부몸체(10)의 상단면 사이에 개재된 패드(152)가 구비되어, 상기 분해핸들(150)의 회전에 의해 패드(152)와 상부몸체(10)의 상단면과의 마찰력에 의해 상부몸체(10)는 밸브바디(20)로부터 분리되게 된다.The disassembly handle 150 is provided with a pressure plate 151 made of sus material and a pad 152 interposed between the pressure plate 151 and the upper surface of the upper body 10. The upper body 10 is separated from the valve body 20 by the friction between the pad 152 and the upper end surface of the upper body 10 by the rotation of 150.

분리된 상부몸체(10)를 밸브바디(20)에 다시 조립하는 경우에는 위에서 설명한 방법의 역순으로 하면 된다.
When reassembling the separated upper body 10 to the valve body 20 may be the reverse of the above-described method.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 아이솔레이션밸브 분해장치에 의하면, 아이솔레이션밸브의 상부몸체를 측면에서 가압하는 상부몸체가압부와 밸브바디 측면을 가압하기 위한 밸브바디가압부 및 상부몸체 상단면을 회전시킬 수 있는 분해핸들을 구비함으로써 장비를 정비하는데 소요되는 시간이 감소되고, 작업자가 손쉽게 분해할 수 있으며, 분해 후 조립할 때에도 균형있는 힘을 동시에 주기 때문에 아이솔레이션밸브내의 리크(Leak) 발생률을 줄일 수 있는 한편, 탭(Tab) 부분의 마모를 현저히 줄일 수 있고 밸브의 사용시간을 연장시킬 수 있는 효과가 있다.According to the isolation valve disassembly apparatus according to the present invention as described in detail above, the upper body pressing portion for pressing the upper body of the isolation valve from the side and the valve body pressing portion for pressing the valve body side and the upper body upper surface is rotated The disassembly handle can be used to reduce the time required to maintain the equipment, to facilitate the disassembly by the operator, and to provide a balanced force even when disassembling and assembling, thereby reducing the leakage rate in the isolation valve. On the other hand, it is possible to significantly reduce the wear of the tab portion and to prolong the service time of the valve.

Claims (5)

아이솔레이션밸브의 상부몸체 측면을 가압하기 위해 다수개 형성된 상부몸체가압부, 상기 상부몸체가압부가 고정되며 직립되어 있는 수직가이드, 상기 수직가이드의 하부에 고정되며 아이솔레이션밸브의 밸브바디 측면을 가압하기 위한 밸브바디가압부, 상기 수직가이드의 상단부와 연결되며 리드스크류로 이루어져 아이솔레이션밸브의 상부몸체 상단면을 가압하면서 회전시켜 상부몸체를 밸브바디로부터 분리시키는 분해핸들, 상기 수직가이드의 상단부에 설치되고 분해핸들이 결합되는 상부가이드로 이루어진 것을 특징으로 하는 아이솔레이션밸브 분해장치.A plurality of upper body pressing portion formed to press the upper body side of the isolation valve, the upper body pressing portion is fixed and upright vertical guide, a valve fixed to the lower portion of the vertical guide to press the valve body side of the isolation valve Body pressure part, connected to the upper end of the vertical guide and is composed of a lead screw disassembly handle for separating the upper body from the valve body by rotating while pressing the upper body upper surface of the isolation valve, installed on the upper end of the vertical guide disassembly handle Isolation valve decomposition apparatus, characterized in that consisting of the upper guide coupled. 제1항에 있어서, 상기 상부몸체가압부는 상부몸체를 가압하는 가압판, 상기 가압판과 상부몸체 사이에 개재된 패드, 상기 가압판을 가압하기 위한 가압수단로 이루어지고;According to claim 1, wherein the upper body pressing portion is made of a pressing plate for pressing the upper body, a pad interposed between the pressing plate and the upper body, pressing means for pressing the pressing plate; 상기 밸브바디가압부는 밸브바디 측면에 돌출된 제1개구부를 가압하는 가압판, 상기 가압판과 제1개구부 사이에 개재된 패드, 상기 가압판을 가압하기 위한 가압수단로 이루어진 것; 을 특징으로 하는 아이솔레이션밸브 분해장치.The valve body pressurizing portion comprises a pressing plate for pressing the first opening protruding from the valve body side, a pad interposed between the pressing plate and the first opening portion, the pressing means for pressing the pressing plate; Isolation valve disassembly apparatus characterized in that. 제2항에 있어서, 상기 밸브바디가압부는 수직이송가이드에 고정되어 있고, 상기 수직이송가이드는 수직회전축의 회전에 의해 상하이동되는 것을 특징으로 하는 아이솔레이션밸브 분해장치.3. The isolation valve disassembling apparatus according to claim 2, wherein the valve body pressing unit is fixed to the vertical transfer guide, and the vertical transfer guide is moved by the rotation of the vertical rotation shaft. 제1항에 있어서, 상기 밸브바디 하단부에 형성된 제2개구부를 수용하며 측면 둘레에 스크류홀이 다수개 형성된 고정받침대를 포함하는 것을 특징으로 하는 아이솔레이션밸브 분해장치.The isolation valve disassembling apparatus according to claim 1, further comprising a fixing base having a plurality of screw holes formed around a side thereof, the second opening being formed at a lower end of the valve body. 제1항에 있어서, 상기 상부가이드의 양단에는 상부회전축이 내삽되어 상기 상부회전축의 회전에 의해 분해핸들이 좌우로 이동되는 것을 특징으로 하는 아이솔레이션밸브 분해장치.The isolation valve disassembling apparatus according to claim 1, wherein an upper rotation shaft is interpolated at both ends of the upper guide, and the disassembly handle is moved left and right by the rotation of the upper rotation shaft.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100897038B1 (en) * 2008-04-07 2009-05-14 인천도시가스주식회사 Jig for disassembling and assembling valve of compressor

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