KR20060057442A - Cleaning device of plasma dispaly panel - Google Patents

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KR20060057442A
KR20060057442A KR1020040096591A KR20040096591A KR20060057442A KR 20060057442 A KR20060057442 A KR 20060057442A KR 1020040096591 A KR1020040096591 A KR 1020040096591A KR 20040096591 A KR20040096591 A KR 20040096591A KR 20060057442 A KR20060057442 A KR 20060057442A
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display panel
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박상영
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엘지마이크론 주식회사
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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaning apparatus for a plasma display panel.

본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 세정 장치는 기판 상에 형성되는 전극과, 상기 전극을 덮도록 형성된 유전체와, 상기 유전체 상에 식각공정으로 형성되는 격벽을 구비하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제판 제조장치에 있어서, 기판을 세정하는 적어도 하나의 세정수단과; 상기 각 세정수단 사이에 배치되어 상기 각 세정수단 사이에 고압의 에어를 분사하여 상기 각 세정수단을 차단함과 아울러 상기 각 세정수단에 사용되는 세정액의 섞임 및 세정액의 이탈을 방지하는 적어도 하나의 차단수단과; 상기 기판을 세정하기 위해 투입하는 동작을 수행하는 반입부와; 상기 반입부를 통해 투입된 상기 기판을 지지하고 이동하는 이송부와; 상기 이송부에 의해 상기 세정부로부터 이송된 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조부와; 상기 이송부에 의해 상기 건조부로부터 이송된 기판을 반출시키는 동작을 수행하는 반출부와; 상기 반입부와, 상기 이송부와, 상기 다수개의 세정수단과, 상기 건조부 및 상기 반출부를 제어하는 메인 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for cleaning a plasma display panel according to an embodiment of the present invention is a plate making of a plasma display panel including an electrode formed on a substrate, a dielectric formed to cover the electrode, and a partition wall formed by an etching process on the dielectric. An apparatus, comprising: at least one cleaning means for cleaning a substrate; At least one blocking device disposed between the cleaning means to inject high-pressure air between the cleaning means to block the cleaning means, and to prevent mixing of the cleaning liquid and separation of the cleaning liquid used for the cleaning means. Means; An import unit which performs an operation of injecting the substrate to clean the substrate; A transfer part for supporting and moving the substrate introduced through the loading part; A drying unit configured to dry the substrate transferred from the cleaning unit by the transfer unit; A carrying-out unit which performs an operation of carrying out the substrate transferred from the drying unit by the transfer unit; And a main control means for controlling the carry-in portion, the transfer portion, the plurality of cleaning means, the drying portion and the carry-out portion.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 세정장치{CLEANING DEVICE OF PLASMA DISPALY PANEL} Cleaning device for plasma display panel {CLEANING DEVICE OF PLASMA DISPALY PANEL}             

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 세정 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram schematically illustrating an apparatus for cleaning a plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 세정수단을 나타낸 블럭도이다.
2 is a block diagram showing the cleaning means according to an embodiment of the present invention.

<도면중 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

110 : 메인 제어부 111 : 센싱 수단110: main control unit 111: sensing means

112 : 제어 수단 120 : 반입부112: control means 120: carry-in part

130 : 이송부 140 : 세정부130: transfer unit 140: cleaning unit

141 : 제 1단위 세정 수단 142 : 제 2단위 세정 수단141: first unit cleaning means 142: second unit cleaning means

143 : 차단 수단 150 : 건조부143: blocking means 150: drying unit

160 : 반출부
160: carrying out

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널을 세정하는 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly to a cleaning apparatus for cleaning the plasma display panel.

플라즈마 디스플레이 패널 후면판을 제조하는 시작 단계에 있어서, 기판상에 있는 유기 이물, 무기 이물, 파편 등을 제거하는 초기 기판 세정을 한다.In the initial stage of manufacturing the plasma display panel backplane, an initial substrate cleaning is performed to remove organic foreign matter, inorganic foreign matter, debris, and the like on the substrate.

그러나 종래의 격벽을 형성하는 기판을 세정하는 세정 장치는, 그 세정 정도에 있어서 에칭 공법으로 격벽을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널 후면판 제조 공법에는 적합하지 않다.However, the cleaning apparatus for cleaning the substrate for forming the conventional partition wall is not suitable for the plasma display panel backplane manufacturing method for forming the partition wall by the etching method in the degree of cleaning thereof.

구체적으로, 에칭 공법으로 격벽을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널의 페이스트들은 에칭 공법용 전극 페이스트와 에칭 공법용 유전체 페이스트로서 내식성을 가져야 하고, 에칭 공법용 격벽 페이스트로서 화학적 식각이 선택적으로 잘 이루어져야 하는 특성을 가진다. Specifically, the pastes of the plasma display panel forming the partition walls by the etching method should have corrosion resistance as the electrode paste for the etching method and the dielectric paste for the etching method, and the chemical etching may be selectively performed as the partition paste for the etching method. .

따라서, 다른 세정 장치로 세정한 기판에 에칭 공법용 페이스트로 인쇄 할 경우, 세정된 기판의 세정 정도가 낮아 인쇄 품질 및 격벽 소성 후 불량으로 발생되는 문제점이 있었다.
Therefore, when printing with an etching method paste on a substrate cleaned with another cleaning device, there is a problem that the cleaning degree of the cleaned substrate is low, resulting in poor print quality and poor after the partition wall firing.

따라서, 본 발명의 목적은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관계없이 Therefore, the object of the present invention is irrespective of the manufacturing method of the plasma display panel

기판의 세정불량이 발생하지 않도록 하는 플라즈마 디스플레이 세정 장치를 제공하는데 있다.
It is an object of the present invention to provide a plasma display cleaning apparatus which prevents a cleaning failure of a substrate from occurring.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 세정 장치는 기판 상에 형성되는 전극과, 상기 전극을 덮도록 형성된 유전체와, 상기 유전체 상에 식각공정으로 형성되는 격벽을 구비하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제판 제조장치에 있어서, 기판을 세정하는 적어도 하나의 세정수단과; 상기 각 세정수단 사이에 배치되어 상기 각 세정수단 사이에 고압의 에어를 분사하여 상기 각 세정수단을 차단함과 아울러 상기 각 세정수단에 사용되는 세정액의 섞임 및 세정액의 이탈을 방지하는 적어도 하나의 차단수단과; 상기 기판을 세정하기 위해 투입하는 동작을 수행하는 반입부와; 상기 반입부를 통해 투입된 상기 기판을 지지하고 이동하는 이송부와; 상기 이송부에 의해 상기 세정부로부터 이송된 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조부와; 상기 이송부에 의해 상기 건조부로부터 이송된 기판을 반출시키는 동작을 수행하는 반출부와; 상기 반입부와, 상기 이송부와, 상기 다수개의 세정수단과, 상기 건조부 및 상기 반출부를 제어하는 메인 제어수단을 구비한다.In order to achieve the above object, a cleaning apparatus of a plasma display panel according to an embodiment of the present invention includes an electrode formed on a substrate, a dielectric formed to cover the electrode, and a partition wall formed by an etching process on the dielectric. An apparatus for manufacturing a plate of a plasma display panel, comprising: at least one cleaning means for cleaning a substrate; At least one blocking device disposed between the cleaning means to inject high-pressure air between the cleaning means to block the cleaning means, and to prevent mixing of the cleaning liquid and separation of the cleaning liquid used for the cleaning means. Means; An import unit which performs an operation of injecting the substrate to clean the substrate; A transfer part for supporting and moving the substrate introduced through the loading part; A drying unit configured to dry the substrate transferred from the cleaning unit by the transfer unit; A carrying-out unit which performs an operation of carrying out the substrate transferred from the drying unit by the transfer unit; And a main control means for controlling the carry-in portion, the transfer portion, the plurality of cleaning means, the drying portion, and the carry-out portion.

이하, 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널 후면판용 세정 장치를 도 1 및 도 2를 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, a cleaning apparatus for a plasma display panel back plate according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 글라스 기판과 후면 글라스 기판 사이에 방전 공간을 형성하고 전극 사이에서 플라즈마 방전을 일으켜 주위에 존재하는 형광체로 하여금 여기되도록 발광시킴으로써 화면을 표시하 는 장치이다. 여기서 플라즈마 방전의 확산을 일정 영역에서만 목표한 위치에서 균일하게 제어하기 위한 방전 공간과 방전 공간들을 구별하는 격벽을 형성하게 된다. A plasma display panel according to an exemplary embodiment of the present invention is a device for displaying a screen by forming a discharge space between a front glass substrate and a rear glass substrate and causing plasma discharge between electrodes to emit light to excite phosphors present around the screen. . Here, a partition wall is formed to distinguish the discharge space and the discharge space for uniformly controlling the diffusion of the plasma discharge at the target position only in a predetermined region.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 후면판용 세정 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram schematically showing a cleaning apparatus for a plasma display panel back plate according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 세정 장치(100)는, 메인 제어부(110)와, 반입부(120)와, 이송부(130)와, 세정부(140)와, 건조부(150) 및 반출부(160)로 구성된다.Referring to FIG. 1, the plasma display panel cleaning apparatus 100 according to the present invention includes a main control unit 110, an import unit 120, a transfer unit 130, a cleaning unit 140, and a drying unit ( 150 and the carrying out portion 160.

먼저, 메인 제어부(110)는 세정부(140)의 각 구성 수단과, 건조부(150) 및 반출부(160)에 각각 설치되고, 이들에서의 단위 공정 처리 여부를 인지하는 센싱 수단(111)과, 센싱 수단(111)에 의해 인지된 정보를 이용하여 다음 동작을 수행할 각 구성부로 제어 신호를 출력하여 이들을 동작시키는 제어수단(112)으로 구성된다. 여기에서 메인 제어부(110)는 반입부(120)에서 세정 하고자 하는 기판을 적치한 후, 센서부(111)로부터 적치 여부를 인지하면, 제어부(112)에서 상기 적치 정보를 인지하여 이송부(130)를 동작시켜 기판을 세정부(140)로 이송시킨다.First, the main control unit 110 is provided in each of the constituent means of the cleaning unit 140, the drying unit 150 and the carrying out unit 160, respectively, the sensing means 111 for recognizing whether or not the unit process processing in these And control means 112 for outputting a control signal to each component to perform the next operation using the information recognized by the sensing means 111 and operating them. Here, the main controller 110 loads the substrate to be cleaned in the carrying-in unit 120, and then recognizes the stacking information by the control unit 112 when it is recognized by the sensor unit 111. Is operated to transfer the substrate to the cleaning unit 140.

반입부(120)는 기판에 있는 이물을 제거하기 위해 기판을 세정부(140)로 투입하는 동작을 수행한다.The loading unit 120 performs an operation of injecting the substrate into the cleaning unit 140 to remove foreign substances in the substrate.

이송부(130)는 반입부(120)로부터 반입된 기판을 지지하고 이동시키게 된다. The transfer unit 130 supports and moves the substrate loaded from the loading unit 120.

세정부(140)는 기판에 있는 이물을 제거하는 제 1 세정 수단(141)과, 제 1 세정 수단(141)에서의 세정 처리 후 남은 잔류물을 제거하는 제 2 세정 수단(142)과, 기판을 세정하는데 사용되는 서로 다른 세정액이 섞이지 않도록 하고 세정액의 이탈을 막는 차단 수단(143)을 구비한다.The cleaning unit 140 includes a first cleaning means 141 for removing foreign matter from the substrate, a second cleaning means 142 for removing residues left after the cleaning treatment in the first cleaning means 141, and a substrate. It is provided with a blocking means 143 to prevent the different cleaning liquids used to clean the mixture and to prevent the separation of the cleaning liquid.

제 1 세정 수단(141)은 도 2에 도시된 바와 같이 기판 세정에 적절한 농도로 세정액을 조합하는 세정액 저장 탱크와, 세정액을 분사하기 위해 세정액을 공급하는 세정액 공급 수단과, 기판에 있는 이물을 제거하기 위해 세정액을 분사하는 분사 수단과, 분사된 세정액을 모으는 세정액 배액 수단을 구비한다.As shown in FIG. 2, the first cleaning means 141 includes a cleaning liquid storage tank for combining the cleaning liquid to a concentration suitable for cleaning the substrate, a cleaning liquid supplying means for supplying the cleaning liquid to inject the cleaning liquid, and foreign substances on the substrate. In order to achieve this, there is provided a spraying means for spraying the washing liquid and a washing liquid draining means for collecting the sprayed washing liquid.

배액 수단은 배액된 세정액에 대해 재사용 유무를 결정하여 재사용하는 세정액은 파이프를 통하여 공급 수단으로 순환되며 재사용하지 않는 세정액은 외부의 폐수 정화조로 폐액된다. The draining means determines whether or not to reuse the drained washing liquid, and the washing liquid to be reused is circulated to the supply means through a pipe, and the washing liquid not reused is disposed of in the external waste water septic tank.

제 1 세정 수단(141)은 기판에 있는 이물을 제거하기 위한 수단으로 물리적 수단과, 화학적 수단과, 물리적 수단 및 화학적 수단의 혼합형태를 가진다. The first cleaning means 141 is a means for removing foreign matter on the substrate and has a physical form, a chemical means, and a mixture of physical means and chemical means.

제 1 세정수단(141)의 물리적 수단의 예로서 세정액의 노즐 분사와 브러시 압착 동작과 세정액의 고압 분사와 초음파 습식 및 건식 세정 방식 등이 있다. Examples of the physical means of the first cleaning means 141 include nozzle spraying and brush pressing operation of the cleaning liquid, high pressure spraying of the cleaning liquid, ultrasonic wet and dry cleaning methods, and the like.

세정액의 노즐 분사 및 브러시 압착은 기판에 적어도 하나 이상의 노즐을 통한 세정액의 분사와 함께 적어도 하나 이상의 브러시의 회전에 의한 세정 작업을 수행한다. 이와 같은 방식에서 사용되는 브러시로는 원통형의 롤 브러시와 원판형의 디스크 브러시 및 롤 브러시와 디스크 브러시의 혼합형태 등이 사용된다. 이때, 사용되는 세정액으로는 산, 중성, 알칼리성이 될 수 있다.The nozzle spray and the brush press of the cleaning liquid perform a cleaning operation by rotating the at least one brush with the spray of the cleaning liquid through the at least one nozzle to the substrate. As the brush used in this manner, a cylindrical roll brush and a disc-shaped disk brush, and a mixture of a roll brush and a disk brush are used. At this time, the cleaning liquid used may be acid, neutral, alkaline.

상기 초음파 습식 세정 방식은 초음파 세정을 위해 세정액을 저장하는 초음파 전용 세정액 조와, 상기 초음파 전용 세정액 조 내에 설치되어 초음파를 발생시키는 초음파 발진자를 구비한다. 이러한 유체를 진동 매개체로 이용한 초음파 습 식 세정 수단은 기판으루부터 이물을 기판에서 분리하기 위하여, 기판을 초음파 발진자가 설치된 초음파 전용 세정액 조에 위치시키고, 초음파 발진자를 통해 발생되는 진동을 세정액을 매개체로 하여 기판에 있는 이물에 충격을 주어 분리해낸다. 여기서, 상기 초음파 세정에 사용되는 세정액은 초음파 진동을 전달할 수 있는 어떠한 유체도 가능하다.The ultrasonic wet cleaning method includes an ultrasonic cleaning liquid tank for storing the cleaning liquid for ultrasonic cleaning, and an ultrasonic oscillator installed in the ultrasonic cleaning liquid tank for generating ultrasonic waves. Ultrasonic wet cleaning means using such a fluid as a vibration medium, in order to separate foreign matter from the substrate, the substrate is placed in an ultrasonic cleaning solution tank equipped with an ultrasonic oscillator, and the vibration generated by the ultrasonic oscillator is used as the cleaning liquid. The foreign material on the board is impacted and separated. Here, the cleaning liquid used for the ultrasonic cleaning may be any fluid capable of transmitting ultrasonic vibrations.

상기 초음파 건식 세정 방식은 기판 상부와 하부에 각각 슬릿 형태의 크리너 헤드 수단과, 크리너 헤드 수단에 고압의 에어 분사 수단과, 에어 분사 수단의 입구에 초음파 발생기가 설치된 압력 수단과, 상기 크리너 헤드 수단의 인접 부위에 설치되는 진공 헤드 수단을 구비한다. 이와 같은 구조를 가지는 건식 초음파 세정 방식은 초음파 발생기에 의해 생성된 진동을 고압의 에어를 매개체로 기판에 충격을 주어 기판에 있는 이물을 분리해내고, 상기의 효과로 기판에서 분리된 잔류물을 고압의 진공 압력으로 흡인하여 제거하는 기능을 수행한다. 또한, 건식 초음파 세정 수단은 초음파를 대신하여 고압의 에어로 기판에 충격을 주어 기판에 있는 이물을 분리할 수도 있다.The ultrasonic dry cleaning method includes a cleaner head means having a slit shape at an upper portion and a lower portion of the substrate, a high pressure air injection means at the cleaner head means, a pressure means provided with an ultrasonic generator at an inlet of the air injection means, and the cleaner head means. It is provided with a vacuum head means installed in an adjacent part. Dry ultrasonic cleaning method having such a structure is to shock the vibration generated by the ultrasonic generator to the substrate by the medium of high pressure air to separate the foreign matter on the substrate, and the residue separated from the substrate by the above effect Suction by vacuum pressure to perform the function of removal. In addition, the dry ultrasonic cleaning means may impact the substrate with a high pressure air in place of the ultrasonic wave to separate foreign substances on the substrate.

화학적 수단은 자외선 조사 방식과 화학 약품에 의한 기판 표면 처리 방식 등이 있다. 자외선 조사 방식은 자외선을 이용하여 기판에 있는 오염을 제거하고 기판과, 물과의 친수성을 갖게 할 수도 있다.Chemical means include an ultraviolet irradiation method and a substrate surface treatment method using chemicals. The ultraviolet irradiation method may remove the contamination on the substrate by using ultraviolet rays and make the substrate hydrophilic with water.

제 2 세정 수단(142)은 제 1 세정 수단(141)에서의 세정 처리 후 남은 잔류물을 제거하기 위해서 세정액의 노즐 분사와 세정액의 고압 분사 등을 포함하는 물리적 수단과, 화학적 수단과, 물리적인 수단 및 화학적 수단의 혼합형태 등이 사용 된다. 이러한 제 2 세정 수단(142)는 제 1 세정 수단(141)과 동일한 구성 요소 및 동일한 방법으로 세정이 이루어지므로 그 설명을 생략하기로 한다.The second cleaning means 142 may include physical means including nozzle spraying of the cleaning liquid, high pressure spraying of the cleaning liquid, and the like, in order to remove residues remaining after the cleaning process in the first cleaning means 141, chemical means, physical Mixed forms of means and chemical means are used. Since the second cleaning means 142 is cleaned in the same components and in the same manner as the first cleaning means 141, the description thereof will be omitted.

차단 수단(143)은 기판을 세정하는데 사용되는 서로 다른 세정액이 섞이지 않도록 하고 기판을 세정하는데 사용되는 세정액의 이탈을 막는다. 여기에서 차단 수단(143)에서는, 제 1 세정 수단(141)과, 제 2 세정 수단(142)에 사용되는 세정액이 서로 섞이지 않도록 하고, 또한 세정액의 이탈을 방지하기 위해 제 1 세정 수단(141)과, 제 2 세정 수단(142)의 각각의 입구와 출구에 고압의 에어를 슬릿 형태의 분사구를 통해 분사함으로 그 기능을 수행할 수도 있다. 또한 각 단위 장치의 사이에 대기 공간을 만들어 제 1 세정 수단(141)과, 제 2 세정 수단(142)의 사이에 공간을 확보함으로 세정액이 섞임을 방지할 수도 있다.The blocking means 143 prevents mixing of different cleaning liquids used to clean the substrate and prevents separation of the cleaning liquid used to clean the substrate. Here, in the blocking means 143, the first cleaning means 141 and the first cleaning means 141 are used to prevent the cleaning liquid used for the second cleaning means 142 from mixing with each other and to prevent the cleaning liquid from being separated. And, it may be performed by injecting a high-pressure air to each inlet and outlet of the second cleaning means 142 through the slit-shaped injection port. In addition, by forming an air space between the unit devices, a space between the first cleaning means 141 and the second cleaning means 142 may be prevented from mixing the cleaning liquid.

건조부(150)는 이송부(130)에 의해 세정부(130)로부터 이송된 기판을 건조시키는 동작을 수행한다. 이러한 건조부(150)에서는, 세정부(140)를 통과한 기판을 건조시키기 위해 슬릿 형태의 에어 나이프 등이 설치되어 0.1~20Kgf/cm2 의 압력을 가진 건조한 기체를 분사할 수 있다. 또한, 건조부(150)에서는 히터를 통한 열풍 건조 방식을 수행할 수 있으며, 에어 나이프와 히터를 통한 열풍 건조 방식을 병행하여 기판에 남은 세정액을 건조할 수도 있다.The drying unit 150 performs an operation of drying the substrate transferred from the cleaning unit 130 by the transfer unit 130. In the drying unit 150, in order to dry the substrate passed through the cleaning unit 140, a slit-type air knife is installed to spray a dry gas having a pressure of 0.1 ~ 20kgf / cm 2 . In addition, the drying unit 150 may perform a hot air drying method through a heater, and may dry the cleaning liquid remaining on the substrate by performing a hot air drying method through an air knife and a heater.

반출부(160)는 이송부(130)에 의해 세정부(130)로부터 이송된 기판을 반출시키는 동작을 수행한다. The carrying out unit 160 performs an operation of carrying out the substrate transferred from the cleaning unit 130 by the transfer unit 130.

이와 같은 구조를 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 세 정 장치는 제 1 세정 수단 및 제 2 세정 수단(141, 142)을 거치면서 이중으로 세정이 되어 지므로 제 2 세정 수단을 거친 기판은 잔류물이 없이 세정된다. 이러한 기판은 건조부(150)에서 세정액이 건조되고 반출부(160)를 통해 반출되어 기판 세정이 완료된다. 따라서 기판에 있는 다양한 형태의 유기 이물, 무기 이물, 파편 등을 하나의 장비 내에서 모두 처리 가능하게 하여, 향후 장비의 개조와 추가적인 설비 투자액이 절감되며, 제품의 품질 개선과 수율 향상이 되는 이점이 있다.The structure of the plasma display panel cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention is cleaned twice while passing through the first cleaning means and the second cleaning means 141 and 142. It is cleaned without residue. The substrate is dried in the drying unit 150 and the cleaning liquid is carried out through the carrying out unit 160 to complete the substrate cleaning. Therefore, various types of organic foreign matters, inorganic foreign matters, and debris on the substrate can be processed in one device, so that future equipment modifications and additional equipment investment can be saved, and product quality and yield are improved. have.

또한 기판의 다양한 이물에 대해 모두 대응이 가능하므로 기판의 수입시 요구되는 정밀 검사가 필요 없는 장점을 가지고 있다.
In addition, it can cope with all the various foreign objects of the substrate has the advantage that does not need the precise inspection required when importing the substrate.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 세정 장치는 플라즈마 디스플레이 패널의 기판 제조 방법에 관계없이 기판에 잔류된 이물질을 제거할 수 있다. 구체적으로, 기판을 제조하는 다양한 방법 예를 들면, 에칭 공법 등에 의해 제조된 기판은 그 공법에 사용되는 페이스트들이 각각 다른 특성을 가진다. 이에 따라 종래에는 각 특성에 맞는 세정용액을 사용하는 다른 세정장치가 요구되었다. 그러나 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 세정 장치는 공법에 관계없이 동일한 세정장치로 다양한 기판을 세정할 수 있게된다.As described above, the plasma display panel cleaning apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention may remove foreign substances remaining on the substrate regardless of the method of manufacturing the substrate of the plasma display panel. Specifically, the substrates produced by various methods of manufacturing the substrate, for example, the etching method and the like, have different characteristics from the pastes used in the method. Accordingly, conventionally, another cleaning apparatus using a cleaning solution for each characteristic has been required. However, the plasma display panel cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention can clean various substrates with the same cleaning apparatus regardless of the method.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명 의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.
Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (1)

기판 상에 형성되는 전극과, 상기 전극을 덮도록 형성된 유전체와, 상기 유전체 상에 식각공정으로 형성되는 격벽을 구비하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제판 제조장치에 있어서,An apparatus for manufacturing a plate of a plasma display panel comprising an electrode formed on a substrate, a dielectric formed to cover the electrode, and a partition wall formed on the dielectric by an etching process. 기판을 세정하는 적어도 하나의 세정수단과;At least one cleaning means for cleaning the substrate; 상기 각 세정수단 사이에 배치되어 상기 각 세정수단 사이에 고압의 에어를 분사하여 상기 각 세정수단을 차단함과 아울러 상기 각 세정수단에 사용되는 세정액의 섞임 및 세정액의 이탈을 방지하는 적어도 하나의 차단수단과;At least one blocking device disposed between the cleaning means to inject high-pressure air between the cleaning means to block the cleaning means, and to prevent mixing of the cleaning liquid and separation of the cleaning liquid used for the cleaning means. Means; 상기 기판을 세정하기 위해 투입하는 동작을 수행하는 반입부와;An import unit which performs an operation of injecting the substrate to clean the substrate; 상기 반입부를 통해 투입된 상기 기판을 지지하고 이동하는 이송부와;A transfer part for supporting and moving the substrate introduced through the loading part; 상기 이송부에 의해 상기 세정부로부터 이송된 기판을 건조시키는 동작을 수행하는 건조부와;A drying unit configured to dry the substrate transferred from the cleaning unit by the transfer unit; 상기 이송부에 의해 상기 건조부로부터 이송된 기판을 반출시키는 동작을 수행하는 반출부와;A carrying-out unit which performs an operation of carrying out the substrate transferred from the drying unit by the transfer unit; 상기 반입부와, 상기 이송부와, 상기 다수개의 세정수단과, 상기 건조부 및 상기 반출부를 제어하는 메인 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 세정장치.And a main control means for controlling the carry-in portion, the transfer portion, the plurality of cleaning means, and the drying portion and the carry-out portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100762371B1 (en) * 2006-04-12 2007-10-02 주식회사 심우 A glass dryness air knife

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