KR20060057440A - 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법 Download PDF

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KR20060057440A
KR20060057440A KR1020040096589A KR20040096589A KR20060057440A KR 20060057440 A KR20060057440 A KR 20060057440A KR 1020040096589 A KR1020040096589 A KR 1020040096589A KR 20040096589 A KR20040096589 A KR 20040096589A KR 20060057440 A KR20060057440 A KR 20060057440A
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Abstract

본 발명은 격벽 두께의 균일성을 향상시킴과 아울러 공정을 단순화하고 생산성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 하판 제조방법은 기판 상에 전극을 형성하는 단계와; 상기 전극이 형성된 기판 상에 유전체층을 형성하는 단계와; 상기 유전체층이 형성된 기판 상에 다이(Die)코팅장치 및 롤코팅장치 중 적어도 어느 하나를 이용하여 일정한 두께를 갖는 격벽페이스트를 형성하는 단계; 및 현상 및 노광공정을 포함하는 포토리쏘그래피 공정을 이용하여 상기 격벽페이스트를 패터닝하여 격벽을 형성하는 단계와; 상기 격벽이 형성된 기판 상에 형광체층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
플라즈마 디스플레이 패널, 후면판, 격벽층, 다이 코팅, 롤 코팅

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법{METHOD OF FABRICATING PLASMA DISPLAY PANEL LOWER SUBSTRATE}
도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 방전셀을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 스크린 프린팅, 다이코팅, 롤코팅에 의해 형성된 격벽의 표면을 나타내는 실험결과이다.
<도면중 주요부분에 대한 부호의 설명>
101 : 기판 100 : 다이 유니트
110 : 다이 120, 210 : 페이스트 공급장치
130, 250 : 테이블 140, 260 : 격벽 페이스트
200 : 롤 유니트 220 : 콤마롤
230 : 어플리케이터롤 240 : 코팅롤
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 특히, 격벽 두께의 균일성을 향상시킴과 아울러 공정을 단순화하고 생산성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 "PDP" 라고 한다) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-Luminescence : EL) 표시장치 등이 있다. 이중 PDP는 기체방전을 이용한 표시소자로서 대형패널의 제작이 용이하다는 장점이 있다.
도 1은 종래의 3전극 교류면방전형 PDP의 방전셀을 나타내는 도면이다.
도 1에 도시된 PDP의 방전셀은 하부기판(18) 상에 형성되는 어드레스전극(12X) 등이 구비되는 하판과, 상부기판(10) 상에 형성되는 유지전극쌍, 즉 주사/ 유지전극(12Y) 및 공통유지전극(12Z)이 구비되는 상판으로 구성된다. 도 1에서 하판은 90°회전하여 도시된 것이다.
어드레스전극(12X)이 형성된 하부기판(18)상에는 벽전하 축적을 위한 하부 유전체층(22)이 형성된다. 하부 유전체층(22) 상에는 격벽(24)이 형성되며, 하부 유전체층(22)과 격벽(24)의 표면에는 형광체(20)가 도포된다. 격벽(24)은 방전에 의해 생성된 자외선 및 가시광선이 인접한 방전셀에 누설되는 것을 방지한다. 형광체(20)는 가스 방전시 발생된 자외선에 의해 여기되어 적색, 녹색 또는 청색 중 어느 하나의 가시광선을 발생하게 된다. 상/하부기판(10,18)과 격벽(24) 사이에 마련된 방전공간에는 가스방전을 위한 불활성 가스가 주입된다.
상부기판(10)에 형성되는 유지전극쌍(12Y,12Z)은 투명전극(12a)과 버스전극(12b)으로 이루어지고, 어드레스전극(12X)과 교차된다.
투명전극(12a)은 방전셀로부터 공급되는 빛을 투과하기 위하여 투명도전성물질로 형성된다. 버스전극(12b)은 상대적으로 높은 저항성으로 인해 낮은 도전성을 갖는 투명전극(12a)의 도전성을 보상한다.
유지전극쌍(12Y,12Z)이 형성되는 상부기판(10)에는 상부 유전체층(14)과 보호막(16)이 형성된다. 상부 유전체층(14)은 방전시 발생된 벽전하가 축적된다. 보호막(16)은 플라즈마 방전시 발생된 스퍼터링에 의한 상부 유전체층(14)의 손상을 방지하고 아울러 2차 전자의 방출 효율을 높이게 한다. 보호막(16)으로는 통상 산화마그네슘(MgO)이 이용된다.
이러한 구조의 방전셀은 어드레스전극(12X)과 주사/유지전극(12Y) 간의 대향 방전에 의해 선택된 후 유지전극쌍(12Y,12Z)간의 면방전에 의해 방전을 유지하게 된다. 이러한 방전셀에서는 유지방전시 발생되는 자외선에 의해 형광체(20)가 발광함으로써 가시광이 셀 외부로 방출되게 된다. 이 결과, 방전셀들은 방전이 유지되는 기간을 조절하여 계조를 구현하게 되고, 그 방전셀들이 매트릭스 형태로 배열된 PDP는 화상을 표시하게 된다.
이하, 종래의 PDP의 하판 제조방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 유리기판 상에 상에 소정패턴의 개구영역을 구비하는 전극스크린제판이 정렬된다. 이후, 전극용 페이스트를 전극스크린 제판위에 올려놓고 스퀴즈로 밀어서 상기 전극 스크린제판의 개구영역을 통해 상기 전극용 페이스트가 유리기판 상에 스크린 인쇄된 후 건조된다. 이러한, 스크린 인쇄 및 건조 공정이 다수번 반복된 후 소성됨으로써 소정 두께를 갖는 전극층 예를 들어, 어드레스 전극이 형성된다.
전극층이 형성된 유리기판 상에 소정패턴의 개구영역을 구비하는 유전체 스크린제판이 정렬된다. 이후, 유전체용 페이스트를 유전체스크린제판 위에 올려놓고 스퀴즈로 밀어서 상기 유전체스크린제판의 개구영역을 통해 상기 유전체용 페이스트가 전극층이 형성된 기판 상에 스크린 인쇄된 후 건조된다. 이러한, 스크린 인쇄 및 건조 공정이 반복된 후 소성됨으로써 소정 두께를 갖는 유전체층이 형성된다.
유전체층이 형성된 유리기판 상에 소정패턴의 개구영역을 구비하는 격벽스크린제판이 정렬된다. 이후, 격벽용 페이스트를 격벽스크린제판위에 올려놓고 스퀴즈로 밀어서 상기 격벽스크린제판의 개구영역을 통해 상기 격벽용 페이스트가 상기 유전체가 형성된 유리기판 상에 인쇄된 후 건조된다. 이후, 스크린 인쇄 및 건조 공정이 다수번 반복된 후 소성됨으로써 소정 두께를 갖는 격벽층이 형성된다.
격벽층 상에 포토레지스트를 코팅된 후 노광 및 현상공정이 실시됨으로써 포토레지스트 패턴이 형성된다. 이후, 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 샌드로 블라스팅한 후 소정공정이 실시됨으로써 격벽이 형성된다.
격벽이 형성된 유리 기판 상에 소정패턴의 개구영역을 구비하는 적색스크린제판이 정렬된다. 이후, 적색용 형광체페이스트를 적색형광체스크린제판위에 올려놓고 스퀴즈로 밀어서 상기 적색형광체 스크린제판의 개구여여역을 통해 상기 적색용 형광체 페이스트가 상기 격벽이 형성된 유리기판 상에 스크린 인쇄된 후 건조된다. 이후 상기 적색 형광체층 형성방법과 동일방법으로 청색 및 녹색 형광체 녹색형광체층이 형성된 후 소성공정이 실시된다. 이로써 플라즈마 디스플레이 패널의 하판이 형성된다.
그러나 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널 하판 제조방법은 각층을 형성함에 있어서 소정의 두께가 확보될 때까지 스크린 인쇄 및 건조가 반복 실시됨으로써 공정이 복잡해지고 반복적인 인쇄마다 얼라인을 실시해야만 하는 문제점이 있다.
또한 스크린 인쇄가 실시됨으로써 스크린에 의한 스크린자국의 표면 조도(또는 "거칠기" 라고 한다.)가 생기고, 반복적인 인쇄에 의해 스크린제판의 개구영역의 일부가 부분적으로 막히게 된다. 이에 따라, 막힌 개구영역과 대응되는 영역에 핀홀이 발생되는 등 각 층의 두께가 불균일한 문제가 발생된다.
특히, 격벽의 경우 유전체층 등 다른 층에 비해 상대적으로 두께운 높이로 형성됨으로써 심한 경우 핀홀에 의해 격벽이 오픈(OPEN) 되는 등의 문제가 발생된다.
따라서, 본 발명의 목적은 노광 및 현상공정을 포함하는 포토리쏘그래피공정과 식각공정을 이용하여 하판을 형성함으로써 제조공정이 단순화됨과 아울러 생산성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법은 기판 상에 노광 및 현상 공정을 포함하는 포토리쏘그래피 공정을 이용하여 전극을 형성하는 단계와; 상기 전극이 형성된 기판 상에 유전체층을 형성하는 단계와; 상기 유전체층이 형성된 기판 상에 다이(Die)코팅장치 및 롤코팅장치 중 적어도 어느 하나를 이용하여 일정한 두께를 갖는 격벽페이스트를 형성하는 단계; 및 현상 및 노광공정을 포함하는 포토리쏘그래피 공정을 이용하여 상기 격벽페이스트를 패터닝하여 격벽을 형성하는 단계와; 상기 격벽이 형성된 기판 상에 형광체층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 전극을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 감광성 전극물질을 형성하는 단계와; 마스크를 이용하여 상기 전극물질을 노광하는 단계와; 노광된 상기 전극물 질을 현상하여 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 유전체층이 형성된 기판 상에 다이코팅장치를 이용하여 일정한 두께를 갖는 격벽페이스트를 형성하는 단계는 상기 유전체층이 형성된 기판을 테이블 상에 고정하는 단계와; 격벽 페이스트 공급부로부터의 격벽 페이스트를 다이(Die)에 공급하는 단계와; 상기 다이의 노즐을 통해 상기 격벽 페이스트를 상기 유전체층이 형성된 기판 상에 토출하는 단계와; 상기 토출된 격벽 페이스트를 건조 및 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 다이의 노즐은 상기 유전체층과 0.2~0.6㎜정도의 간격을 두고 위치하며, 상기 격벽 페이스트의 토출압력은 1.5~2.50kg/cm2 정도인 것을 특징으로 한다.
상기 격벽 페이스트를 토출하는 단계는 상기 테이블 및 상기 다이코팅장치 중 적어도 어느 하나가 소정 속도로 이동하면서 상기 다이의 노즐에서 격벽페이스트가 토출되는 것을 특징으로 한다.
상기 이동 속도는 15~25mm/sec 정도인 것을 특징으로 한다.
상기 유전체층이 형성된 기판 상에 롤코팅장치를 이용하여 일정한 두께를 갖는 격벽페이스트를 형성하는 단계는 센서를 이용하여 상기 기판이 상기 격벽페이스트 공급부로의 진입을 센싱함과 아울러 상기 유전체층이 형성된 기판을 테이블 상에 고정하는 단계와; 제1 및 제2 롤러를 이용하여 상기 격벽 페이스트 공급부로부터의 격벽 페이스트의 두께를 조절하는 단계와; 제3 롤러를 이용하여 상기 격벽 페이스트를 상기 유전체층이 형성된 기판 상에 코팅하는 단계와; 상기 코팅된 격벽 페이스트를 건조 및 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 롤러와 제2 롤러 사이의 간격은 0.3~0.7mm 정도이고, 상기 제3 롤러와 상기 제1 및 제2 롤러 중 어느 하나와의 간격은 0.2~0.6mm 정도인 것을 특징으로 한다.
상기 제1 내지 제3 롤러 중 적어도 어느 하나의 회전속도는 4~6m/분 정도인 것을 특징으로 한다.
상기 제1 내지 제3 로러를 포함하는 롤코팅장치 및 상기 기판 중 적어도 어느 하나는 소정 속도로 이동하고, 상기 이동속도는 5~7m/분 정도인 것을 특징으로 한다.
상기 격벽 페이스트의 점도는 2만9천~3만1천cps 정도이고 고형분은 70~80% 정도인 것을 특징으로 한다.
상기 격벽을 형성하는 단계는 상기 격벽 페이스트가 형성된 기판 상에 포토레지스트를 형성하는 단계와; 마스크를 이용하여 상기 포토레지스트를 노광하는 단계와; 상기 노광된 포토레지스트를 현상액을 이용하여 현상하여 상기 격벽 페이스트를 부분적으로 노출시키는 포토레지스트패턴을 형성하는 단계와; 상기 노출된 격벽 페이스트를 산계 액체 조합물을 이용하여 식각하여 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 2 내지 도 5을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명 하기로 한다.
《제 1실시예》
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
먼저, 기판 상에 마련된 솔리드(Solid)전극 제판위에 감광성 전극페이스트가 전면 인쇄된 후, 80~180℃의 온도로 5~30분 정도 건조된다. 이후, 포토마스크를 이용하여 전극 페이스트가 노광 및 현상을 포함하는 포토리쏘그래피 공정에 의해 패터닝된 후 500~600℃로 10~60분 정도 소성됨으로써 전극층이 형성된다.(S12).
전극층이 형성된 기판 상에 마련된 솔리드(Solid) 유전체 제판위에 유전체 페이스트가 전면 인쇄된 후, 80~180℃의 온도로 5~30분 정도 건조된다. 이후, 500~600℃로 10~60분 정도 소성됨으로써 유전체층이 형성된다.(S14).
이후, 도 3에 도시된 바와 같이 유전체층이 형성된 기판(101)을 테이블(130)위에 흡착 및 고정시키고 테이블(130)과 일정한 간격 예를 들어, 약0.2~0.6mm 정도를 유지시킨 상태에서 테이블(130)위에 설치되어 있는 다이 유닛(100)의 다이(110)내에 페이스트 공급장치(120)를 이용하여 격벽 페이스트(150)를 채운다. 이어서, 다이(100)가 15~25mm/sec 정도의 속도로 이동됨과 아울러 다이(110)의 끝단에 설치된 노즐(140)을 통해 격벽 페이스트(150)가 1.5~2.5kg/cm2의 압력으로 토출됨으로써 유전체층이 형성된 기판상에 격벽 페이스트가 코팅된다. 한편, 기판(1)을 테이블 (130)위에 흡착시키고 다이(110)를 고정시킨 상태에서 테이블(130)을 15~25mm/sec의 속도로 이동시킬 수도 있다. 여기서, 격벽 페이스트(150)는 점도가 2만9천~3만1천cps이고, 고형분이 70~80% 정도이다.
이후, 기판(1) 상에 코팅된 격벽 페이스트(150)는 건조 및 소성됨으로써 격벽층이 형성된다.(S16)
격벽 소성체 상에 포토레지스트가 코팅되고 포토마스크를 이용하여 포토레지스트가 노광되고, 물 또는 0.1~2.0%의 탄산나트륨, 또는 수산화나트륨 등의 알칼리 용액인 현상액에 의해 현상된 후 30~120℃에서 1~20분 정도 건조됨으로써 포토레지스트 패턴이 형성된다.(S18)
이후, 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 산계의 에칭액으로 침적 또는 분사 에칭이 실시됨으로써 격벽이 형성된다.(S20)
이후 액온 25~80℃, 농도 1~20%의 수산화칼륨 또는 수산화나트륨 또는 탄산나트륨 수용액 및 포토레지스트에 따른 전용 박막액에 격벽이 형성된 기판이 1~20분 침적되거나 또는 상기 박막액이 분사됨으로써 포토레지스트 패턴이 제거된다.
이후, 격벽이 형성된 기판 상에 마련된 패턴(Pattern)형광체 제판위에 형광체 페이스트가 스퀴지에 의해 인쇄된 후 120~180℃의 온도로 5~20분 정도 건조됨으로써 격벽 상에 형광체층이 형성된다. (S22) 여기서, 형광체층은 적색, 녹색, 청색 형광체별로 각각 형광체 형성 공정을 반복한다. 적색, 녹색, 청색 형광체별로 각각 형광체 건조 공정이 완료된 후 500~600℃로 10~60분 정도 소성됨으로써 형광체층이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 하판이 형성된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 PDP의 하판 제조방법은 종래의 스크린 인쇄방식 대신 노광 및 현상공정과 식각공정에 의해 전극층, 격벽 등을 형성함으로써 공정이 단순화되고 생산성이 향상된다.
또한, 격벽은 다이를 이용한 다이 코팅방식에 의해 형성됨으로써 두께의 균일성이 향상됨과 아울러 표면 조도를 줄일 수 있게 된다.
더 나아가, 균일한 격벽이 형성됨에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 하판과 주사/유지전극 등이 형성된 상파과 합착하는 경우 상판 및 하판 간의 밀착성이 향상되어 전압 마진(margin)이 향상된다.
《제 2실시예》
도 4은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
먼저, 기판 상에 마련된 솔리드(Solid)전극 제판위에 감광성 전극페이스트가 전면 인쇄된 후, 80~180℃의 온도로 5~30분 정도 건조된다. 이후, 포토마스크를 이용하여 전극 페이스트가 노광 및 현상을 포함하는 포토리쏘그래피 공정에 의해 패터닝된 후 500~600℃로 10~60분 정도 소성됨으로써 전극층이 형성된다.(S112).
전극층이 형성된 기판 상에 마련된 솔리드(Solid) 유전체 제판위에 유전체 페이스트가 전면 인쇄된 후, 80~180℃의 온도로 5~30분 정도 건조된다. 이후, 500~600℃로 10~60분 정도 소성됨으로써 유전체층이 형성된다.(S114).
이후, 도 5에 도시된 PDP의 하판 제조장치에 의해 격벽이 형성된다.
도 5에 도시된 PDP의 하판 제조장치 즉, 롤 유니트(200)은 격벽 페이스트(260)를 공급하는 페이스트 공급장치(210), 페이스트 공급장치(210)로부터 공급되는 격벽 페이스트(260)를 일정한 두께로 전달하는 콤마롤(Comma Roll)(220) 및 애플리케이터롤(Applicator Roll)(230), 콤마롤 및 애플리케이터롤로 부터 전달된 격벽 페이스트(260)를 기판(201)에 코팅시키는 코팅롤(Coating Roll)(240), 기판(101)의 진입 여부를 센싱하는 센서(미도시)가 포함된다.
여기서, 콤마롤(220)과 애플리케이터롤(230) 간의 간격은 0.4~0.6mm 정도로 설정되고, 애플리케이트롤(230)과 코팅롤(240)간의 간격을 0.3~0.5mm 정도로 설정되고, 코팅롤(240)과 애플리케이트롤(230)의 회전 속도를 4~6m/분으로 설정된다. 롤 유니트(200)은 테이블(250)을 5~7m/분의 속도로 이동시켜 기판(201)이 센서(270)에 의해 센싱되면 하강하게 된다. 이와 동시에 페이스트 공급장치(210)로부터 공급되는 격벽 페이스트(260)가 콤마롤(220)의 외주면을 따라 하강하고, 테이블(250)의 진행 방향과 역회전하는 애플리케이터롤(230)을 경유하여 코팅롤(240)에 의해 유전체층이 형성된 기판(201)위에 코팅된다. 한편, 기판(201)을 테이블(250)위에 흡착 및 고정시키고, 테이블(250)이 고정된 상태에서 롤 유니트(200)이 5~7m/분의 속도로 이동될 수 도 있다. 여기서, 격벽 페이스트(260)는 점도가 2만9천~3만1천cps이고, 고형분이 70~80%이다.
이후, 기판 상에 코팅된 격벽 페이스트는 건조 및 소성됨으로써 격벽층이 형성된다.(S116)
격벽 소성체 상에 포토레지스트가 코팅되고 포토마스크를 이용하여 포토레지 스트가 노광되고, 물 또는 0.1~2.0%의 탄산나트륨, 또는 수산화나트륨 등의 알칼리 용액인 현상액에 의해 현상된 후 30~120℃에서 1~20분 정도 건조됨으로써 포토레지스트 패턴이 형성된다.(S118)
이후, 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 산계의 에칭액으로 침적 또는 분사 에칭이 실시됨으로써 격벽이 형성된다.(S120)
이후 액온 25~80℃, 농도 1~20%의 수산화칼륨 또는 수산화나트륨 또는 탄산나트륨 수용액 및 포토레지스트에 따른 전용 박막액에 격벽이 형성된 기판을 1~20분 침적 또는 분사시켜 포토레지스트 패턴을 제거한다.
이후, 격벽이 형성된 기판 상에 마련된 패턴(Pattern)형광체 제판위에 형광체 페이스트가 스퀴지에 의해 인쇄된 후 120~180℃의 온도로 5~20분 정도 건조됨으로써 격벽 상에 형광체층이 형성된다.(S122) 여기서, 형광체층은 적색, 녹색, 청색 형광체별로 각각 형광체 형성 공정을 반복한다. 적색, 녹색, 청색 형광체별로 각각 형광체 건조 공정이 완료된 후 500~600℃로 10~60분 정도 소성됨으로써 형광체층이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 하판이 형성된다.
이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 PDP의 하판 제조방법은 종래의 스크린 인쇄방식 대신 노광 및 현상공정과 식각공정에 의해 전극층, 격벽 등을 형성함으로써 공정이 단순화되고 생산성이 향상된다.
또한, 롤러를 이용한 롤 코팅을 이용하여 격벽을 형성함으로써 두께의 균일성이 향상됨과 아울러 표면 조도가 낮아지게 된다.
표 1은 본 발명의 실시예들에 따라 형성된 격벽과 종래 스크린 인쇄방식에 따라 형성된 격벽을 비교한 결과이다.
항목 스크린 인쇄 다이코팅 롤 코팅
핀홀 형성 유무 유 무 무
조도 평균 0.84㎛ 0.66㎛ 0.72㎛
조도 MAX 4.77㎛ 3.72㎛ 4.23㎛
소성체두께오차 ±5㎛ ±4㎛ ±4.5㎛
표 1에 나타낸 바와 같이 본 발명에 본 발명에 따른 격벽은 조도(거칠기) 및 두께의 오차 등에서 양호한 상태를 나타낸다.
특히, 핀홀과 관련하여 도 6에 도시된 바와 같이 다이코딩 및 롤코딩에 의해 형성된 격벽의 표면에는 핀홀이 발생되지 않음을 알수 있다. 또한, 조도와 관련하여도 다이코딩 및 롤코딩에 의해 형성된 격벽의 표면의 조도가 낮음을 알 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 PDP의 하판 제조방법은 종래의 스크린 인쇄방식 대신 노광 및 현상공정과 식각공정에 의해 전극층, 격벽 등을 형성함으로써 공정이 단순화되고 생산성이 향상된다.
또한, 다이코딩 및 롤코팅 중 적어도 어느 하나에 의해 격벽이 형성됨으로써 두께의 균일성이 향상됨과 아울러 표면 조도를 줄일 수 있게 된다.
더 나아가, 균일한 격벽이 형성됨에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 하판과 주사/유지전극 등이 형성된 상파과 합착하는 경우 상판 및 하판 간의 밀착성이 향상되어 전압 마진(margin)이 향상된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 PDP의 하판 제조방법은 종래의 스크린 인 쇄방식 대신 노광 및 현상공정과 식각공정에 의해 전극층, 격벽 등을 형성함으로써 공정이 단순화되고 생산성이 향상된다. 또한, 다이코딩 및 롤코팅 중 적어도 어느 하나에 의해 격벽이 형성됨으로써 두께의 균일성이 향상됨과 아울러 표면 조도를 줄일 수 있게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (1)

  1. 기판 상에 전극을 형성하는 단계와;
    상기 전극이 형성된 기판 상에 유전체층을 형성하는 단계와;
    상기 유전체층이 형성된 기판 상에 다이(Die)코팅장치 및 롤코팅장치 중 적어도 어느 하나를 이용하여 일정한 두께를 갖는 격벽페이스트를 형성하는 단계; 및 현상 및 노광공정을 포함하는 포토리쏘그래피 공정을 이용하여 상기 격벽페이스트를 패터닝하여 격벽을 형성하는 단계와;
    상기 격벽이 형성된 기판 상에 형광체층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 하판 제조방법.
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