KR20060054582A

KR20060054582A - 물로 레이저빔을 가공물로 안내하는 레이저 가공장치

Info

Publication number: KR20060054582A
Application number: KR1020040093186A
Authority: KR
Inventors: 장원석; 김재구; 황경현
Original assignee: 한국기계연구원
Priority date: 2004-11-15
Filing date: 2004-11-15
Publication date: 2006-05-23

Abstract

본 발명은 레이저가공장치에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 또는 금속박판의 미세절단을 위한 레이저가공장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 가공물을 레이저빔으로 가공하는 레이저 가공장치에 있어서, 레이저 광원 발생장치와, 상기 레이저 광원으로부터 발진된 레이저빔의 초점을 맞춰 가공물로 조사하는 빔 집속장치와, 상기 가공물로 물을 분사되는 노즐을 구비하는 물분사기와, 상기 가공물을 고정시키는 가공물 고정장치와, 상기 가공물 고정장치를 이송시키는 이송장치를 포함하며, 레이저빔은 상기 물분사기의 노즐을 통해 분사되는 물에 의해 안내되도록 상기 빔 집속장치로부터 상기 가공물로 조사되는 레이저 가공장치가 제공된다. 상기 물분사기는 상기 빔 집속장치로부터 조사된 레이저빔이 들어오는 개방구와, 상기 개방구와 노즐을 연결하며 물이 저장되는 저장공간과, 외부로부터 물이 유입되도록 상기 저장공간으로 연결되는 유입구를 구비할 수 있다. 상기 물분사기는 상기 개방구에 레이저빔이 통과할 수 있는 투광창을 구비할 수 있다.

레이저가공, 집광렌즈, 물, 노즐, 전자석, 공기흡입

Description

물로 레이저빔을 가공물로 안내하는 레이저 가공장치 {APPARATUS FOR LASER BEAM MACHINING GUIDING LASER BEAM THROUGH WATER TO MATERIAL}

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면

도2는 도1의 레이저 가공장치에서 물분사기, 분사방향 조절기의 각 대전장치, 고정장치, 및 이송장치의 사시도

도3은 도2의 측면도로서, 집광렌즈를 함께 도시하고 물분사기는 내부가 보이도록 단면으로 도시한 도면

도4는 도2의 대전장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 레이저 가공장치 20 : 레이저 광원

40 : 빔 집속부 50 : 물분사기

56 : 개방구 58 : 투광창

59 : 저장공간 60 : 가공물 이송장치

62 : X축 스테이지 64 : Y축 스테이지

70 : 가공물 고정장치 72 : 제1 고정받침

74 : 제2 고정받침 80 : 분사방향 조절기

81 : 제1 대전장치 82 : 제2 대전장치

83 : 제3 대전장치 84 : 제4 대전장치

90 : 제어부 521 : 노즐

541 : 유입구 721, 741 : 흡입구멍

722, 742 : 통로 723, 743 : 고정볼트

813 : 대전체

본 발명은 레이저가공장치에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 또는 금속박판의 미세절단을 위한 레이저가공장치에 관한 것이다.

현재 웨이퍼를 절단하기 위하여 다이아몬드 툴의 다이싱(dicing)에 의한 방법, 스크라이빙 기계(scribing machine)와 블레이킹 장치를 이용한 방법, 레이저를 이용하는 방법 등이 사용되고 있다. 다이아몬드 공구의 다이싱에 의한 방법은 기존에 가장 많이 사용되어 온 방법으로서 공구의 마모와 절삭깊이조절 등의 문제점이 있다. 스크라이빙 기계에 의한 방법은 다이아몬드 공구의 다이싱에 의한 방법과 함께 진동의 문제가 있다. 이들과 비교하여 레이저를 이용한 방법은 사용이 간편하며 비접촉 가공이므로 소음 및 진동의 문제가 없고 재료손실이 적으며 속도가 빠르다는 이점이 있다. 그렇지만 아직 가공물의 열변형이나 가공절단면의 불균일성, 레이저 파워의 연속적 조절능력 등의 몇 가지 개선해야 할 문제점을 가지고 있다.

본 발명의 목적은 미세절단시 열적 물리적 손상 없이 가공면을 균일하게 절단하는 레이저가공장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 물로 레이저빔의 조사방향을 미세하게 조절하는 레이저가공장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 물이 함께 분사되는 레이저빔에 적합한 가공물 고정장치를 갖는 레이저가공장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일측면에 따르면, 가공물을 레이저빔으로 가공하는 레이저 가공장치에 있어서, 레이저 광원 발생장치와, 상기 레이저 광원으로부터 발진된 레이저빔의 초점을 맞춰 가공물로 조사하는 빔 집속장치와, 상기 가공물로 물을 분사되는 노즐을 구비하는 물분사기와, 상기 가공물을 고정시키는 가공물 고정장치와, 상기 가공물 고정장치를 이송시키는 이송장치를 포함하며, 레이저빔은 상기 물분사기의 노즐을 통해 분사되는 물에 의해 안내되도록 상기 빔 집속장치로부터 상기 가공물로 조사되는 레이저 가공장치가 제공된다.

상기 물분사기는 상기 빔 집속장치로부터 조사된 레이저빔이 들어오는 개방구와, 상기 개방구와 노즐을 연결하며 물이 저장되는 저장공간과, 외부로부터 물이 유입되도록 상기 저장공간으로 연결되는 유입구를 구비할 수 있다.

상기 물분사기는 상기 개방구에 레이저빔이 통과할 수 있는 투광창을 구비할 수 있다.

상기 빔 집속장치로부터 조사된 레이저빔은 상기 물분사기의 노즐에서 초점 이 맞춰질 수 있다.

상기 레이저 가공장치는 상기 노즐을 통해 분사된 물의 방향을 조절하는 분사방향 조절기를 더 포함할 수 있다.

상기 분사방향 조절기는 물의 방향을 바꾸는 대전체를 구비하며, 상기 대전체와 분사되는 물 사이의 거리가 변하도록 상기 대전체는 이동할 수 있다.

상기 대전체는 물의 분사경로를 사이에 두고 두 개가 마주보도록 구비될 수 있다.

상기 대전체는 물의 분사경로를 사이에 두고 네 개가 구비되며, 각 대전체는 두 개씩 마주보도록 배치될 수 있다.

상기 가공물 고정장치는 물이 분사되어 이동하는 경로를 사이에 두고 서로 이격되는 제1 고정받침과 제2 고정받침을 구비할 수 있다.

상기 각 고정받침의 표면에는 흡입장치와 연결되는 흡입용 구멍이 형성될 수 있다.

상기 고정장치의 제1 고정받침과 제2 고정받침은 서로 가까워지거나 멀어지도록 이동할 수 있다.

상기 이송장치는 X축 스테이지와 Y축 스테이지를 구비하는 2축 스테이지일 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 레이저 광원으로부터 발진된 레이저빔을 이용하여 가공물을 가공하는 방법으로서, 상기 가공물을 고정하는 단계와, 상기 가공물로 물을 층류로 분사하는 단계와, 상기 레이저빔을 집속하여 상기 분사되는 물에 의해 안내되도록 상기 가공물로 조사하는 단계를 포함하는 레이저 가공방법이 제공된다.

상기 가공방법은 상기 가공물로 분사되는 물의 경로를 대전체로 바꾸는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 가공방법은 상기 대전체를 이동시켜 상기 물과의 거리를 변화시키는 단계를 더 포함할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도1을 참조하면, 레이저가공장치(10)는 레이저 광원(20)과, 빔 전송부(30)와, 집광렌즈(40)를 갖는 빔 집속부와, 물분사기(50)와, 가공물 이송장치(60)와, 가공물 고정장치(70)와, 분사방향 조절기(80)와, 제어부(90)를 구비한다. 레이저 광원(20)으로서 본 실시예에서는 파장대가 1024nm인 Nd-YAG레이저를 사용하나 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 빔 전송부(30)는 레이저 광원(20)으로부터 발진된 레이저빔을 집광렌즈(40)를 갖는 빔 집속부로 보낸다. 도시되지는 않았으나, 빔 전송부(30)는 레이저빔의 출력을 연속적으로 변화시키는 빔감쇠부를 포함함으로써, 출력이 조절된 레이저빔을 집광렌즈(40)까지 전송시킨다. 집광렌즈(40)는 전송된 레이저빔을 집광시켜 초점을 맞춰 물분사기(50) 쪽으로 보내는데, 초점은 후술하는 물분사기(50)의 노즐(521)의 상부 입구에서 형성된다. 집광렌즈(40)로부터 조사되는 레이저빔은 연직하방을 향하는 것이 바람직하다.

도2와 도3을 참조하면, 물분사기(50)는 바닥(52)과, 바닥(52)으로부터 위로 연장된 측벽(54)을 구비한다. 바닥(52)의 중앙부에는 노즐(521)이 형성된다. 바닥 (52)의 반대편인 상단은 개방되어 개방구(56)가 형성된다. 측벽(54)에는 외부로부터 물이 유입되는 유입구(541)가 마련된다. 노즐(521)이 연직방향으로 길게 연장되도록 바닥(52)의 중앙부의 두께는 부분적으로 비교적 두껍게 형성된다. 노즐(521)을 통해 물이 레이저빔과 함께 가공물(100)을 향하여 연직하방으로 분사된다. 이때, 물의 압력은 노즐(521)을 통해 분사되는 물이 층류(laminar flow)를 유지하도록 조절된다. 물분사기(50) 상단의 개방구(56)와 유입구(541) 사이에는 레이저빔이 통과할 수 있는 투광창(58)이 구비된다. 바닥(52)과 측벽(54)과 투광창(58)에 의해 형성된 공간이 유입구(541)를 통해 들어온 물이 저장되는 저장공간(59)이 된다. 투광창(58)은 레이저빔이 수직으로 입사하도록 장착되는 것이 바람직하다. 투광창(58)은 집광렌즈(40)로부터 조사된 레이저빔을 통과시키며 저장공간(59) 내의 물이 상단의 개방구(56)를 통해 밖으로 유출되는 것을 막는다.

도1 내지 도3을 참조하면, 가공물 이송장치(60)는 2축 스테이지로서, X축 방향으로 이동하는 X축 스테이지(62)와, X축 스테이지(62) 위에서 Y축 방향으로 이동하는 Y축 스테이지(64)를 구비한다. 따라서 위에 위치한 Y축 스테이지(64)는 2차원 평면상에서 임의의 위치로 이동할 수 있게 된다. Y축 스테이지(64)의 윗면에는 후술하는 가공물 고정장치(70)가 장착된다. 고정장치(70)에 고정된 가공물(100)은 이송장치(60)에 의해 2차원 평면이동이 가능하다. 이송장치(60)는 제어부(90)에 연결되어 그 동작이 제어된다. 본 실시예에서는 이송장치(60)로서 2축 스테이지를 사용하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 고정장치(70)를 2차원 평면상에서 정밀하게 이동시키는 것이라면 어떠한 것이든 사용할 수 있다.

도2와 도3을 참조하면, 가공물 고정장치(70)는 제1 고정받침(72)과 제2 고정받침(74)을 구비한다. 제1 고정받침(72)과 제2 고정받침(74)은 동일한 구성으로서, 이송장치(60)의 Y축 스테이지(64) 윗면에 서로 대칭으로 설치된다. 제1 고정받침(72)과 제2 고정받침(74)의 편평한 윗면에는 다수의 흡입구멍(721, 741)이 마련된다. 이 흡입구멍(721, 741)을 통해 공기가 흡입되어 제1, 제2 고정받침(72, 74) 위에 놓여진 가공물(100)이 흡착되어 고정된다. 제1, 제2 고정받침(72, 74)에는 위아래로 관통하며 길게 연장된 안내통로(722, 742)가 양쪽에 평행하게 마련된다(제1 고정받침(72)에는 한쪽에만 도시됨). 각 통로(722, 742)로 고정볼트(723, 743)가 위에서 끼워져 이송장치(60)의 Y축 스테이지(62)에 결합된다. 제1, 제2 고정받침(72, 74)은 고정볼트(723, 743)가 풀어졌을 때 통로(722, 742)를 따라 움직일 수 있는데, 제1 고정받침(72)과 제2 고정받침(74)이 서로 멀어지거나 가까워지는 방향으로 움직이도록 통로(722, 742)가 형성된다. 제1 고정받침(72)과 제2 고정받침(74)이 서로 멀어지도록 움직일 수 있으므로, 가공시 제1 고정받침(72)과 제2 고정받침(74) 사이에 공간을 형성하고 조절할 수 있고 그 공간으로 가공물(100)을 통과한 물이 원활하게 빠져 배출된다. 따라서 흡입구멍(721, 741)으로 물이 들어가는 것이 방지된다.

도2와 도3을 참조하면, 분사방향 조절기(80)는 가공물(100) 위에 위치하는데, 물분사기(50)로부터 분사되는 물줄기를 사이에 두고 90도 간격으로 빙 둘러서 배치된 제1 대전장치(81)와, 제2 대전장치(82)와, 제3 대전장치(83)와, 제4 대전장치(84)를 구비한다. 제1 대전장치(81)와 제3 대전장치(83)가 마주보고, 제2 대전장 치(82)와 제4 대전장치(84)가 마주본다. 제1 대전장치(81)와 제3 대전장치(83)는 X축을 따라 배치된다. 도시되지는 않았으나, 분사방향 조절기(80)는 제1 대전장치(81)와 제3 대전장치(83)를 각각 X축 방향으로 이동시키는 이동장치를 구비한다. 즉, 제1 대전장치(81)와 제3 대전장치(83)는 물분사기(50)로부터 분사되는 물줄기와 가까워지거나 멀어지도록 각각 독립적으로 이동하게 된다. 제2 대전장치(82)와 제4 대전장치(84)는 Y축을 따라 배치된다. 도시되지는 않았으나, 분사방향 조절기(80)는 제2 대전장치(82)와 제4 대전장치(84)를 각각 Y축 방향으로 이동시키는 이동장치를 구비한다. 즉, 제2 대전장치(82)와 제4 대전장치(84)는 물분사기(50)로부터 분사되는 물줄기와 가까워지거나 멀어지도록 각각 독립적으로 이동하게 된다. 제1, 제2, 제3 제4 대전장치(81, 82, 83, 84)의 이동은 제어부(90)에 의해 제어된다.

도2 내지 도4를 참조하면, 제1 대전장치(81)는 전원(811)과, 벨트(812)와, 대전체(813)를 구비한다. 전원(811)은 직류전원인데, 본 실시예에서는 10KV의 직류전원인 것으로 한다. 전원(811)에 전자 싱크(eletron sink)(8111)가 연결된다. 전원(811)에 의해 전자 싱크(8111)에 다수의 전자가 모이게 된다. 벨트(812)는 회전하는 두 롤러(8121)에 연결된다. 롤러(8121)가 회전함에 따라 벨트(812)가 이동하게 된다. 벨트(812)는 절연소재이다. 벨트(812)의 외측 표면은 전원(811)에 연결된 전자 싱크(8111)를 근접하게 지나가며 (+)로 대전된다. 대전체(813)는 물분사기(50)로부터 분사된 물줄기를 바라보는 평판형상인데, 대전체(813)의 형상이 이에 제한되는 것은 아니다. 대전체(913)에는 벨트(812)와 근접하는 전자 싱크(8131)가 연결된다. 전자 싱크(8131)에는 표면이 (+)로 대전된 벨트(812)가 근접하게 지나감에 따라 다수의 전자가 모이고, 대전체(813)는 (+)로 대전된다. 물이 극성 분자이므로 물분사기(50)로부터 분사된 물줄기는 (+)로 대전된 대전체(813) 쪽으로 휘어져 그 방향이 바뀌게 되고, 그에 따라 레이저빔의 조사방향이 바뀌게 된다. 제1 대전장치(81)가 이동함에 따라 대전체(813)가 물줄기와의 거리가 변하게 되고 그에 따라 물줄기가 휘어지는 정도를 조절할 수 있어 레이저의 조사방향을 미세하게 제어할 수 있다. 제1 대전장치(81)의 이동과 대전체(813)의 대전상태는 제어부(도1의 90)에 의해 제어된다.

제2, 제3, 제4 대전장치(82, 83, 84)는 상기 설명한 제1 대전장치(81)와 그 구성 및 작용이 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 각 대전장치(81, 82, 83, 84)의 구성이 상기와 같이 설명되었으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 물줄기의 방향을 변화시킬 수 있는 대전장치라면 어떠한 구성이든 가능함을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.

가공물(100)로 조사되는 레이저빔의 방향은 제1, 제2, 제3, 제4 대전장치(81, 82, 83, 84)의 이동에 의해 X축과 Y축 방향으로 미세하게 제어된다. 분사방향 조절부(80)의 작동은 제어부(도1의 90)에 의해 제어된다.

물분사기(50)의 노즐(521)을 통과한 레이저빔은 노즐(521)로부터 분사된 물의 방향을 따라 안내되어 가공물(100)로 조사되어 가공물(100)을 가공하게 된다. 이렇게 레이저빔이 물에 의해 안내되는 것은 레이저가 광화이버를 통과하여 전달되는 것과 같은 원리라고도 할 수 있다. 공기와 물의 굴절율 차이에 의해 레이저빔이 물에 의해 안내되어 전송될 수 있는 것이다. 가공시 물이 함께 분사되므로 이 물의 냉각효과에 의해 가공열에 의한 열변형과 잔류응역에 의한 변형을 최대한 줄여준다.

다시 도1을 참조하면, 제어부(90)는 이송장치(60) 및 분사방향 조절기(80)와 연결된다. 제어부(90)는 이송장치(60)의 X축 스테이지(62)와 Y축 스테이지(64)의 운동을 각각 제어하여 가공물(100)의 위치를 정밀하게 이송시킨다. 또한, 제어부(90)는 분사방향 조절기(80)의 각 대전장치(81, 82, 83, 84)의 이동과 각 대전체의 대전상태를 제어함으로써 물분사기(50)로부터 분사된 물의 분사방향을 미세하게 조절하여 물에 의해 안내되어 가공물(100)로 조사되는 레이저빔의 방향을 제어한다.

이제, 도1 내지 도4를 참조하며 상기 실시예의 작용을 상세히 설명한다.

레이저 광원(20)으로부터 발진된 레이저빔은 빔 전송부(30)에 의해 출력이 조절되어 집광렌즈(40)로 조사된다. 집광렌즈(40)는 빔 전송부(30)로부터 조사된 레이저빔을 집광시켜 초점을 맞춰 물분사기(50) 쪽으로 보낸다. 물분사기(50)의 개구부(56)를 통해 들어온 레이저빔은 투광창(58)을 거쳐 물분사기(50)의 노즐(521)의 상부 입구에 초점을 형성한다. 물분사기(50)의 저장공간(59)은 유입구(541)를 통해 유입된 물로 채워진다. 저장공간(59) 안에 채워진 물은 노즐(521)을 통해 연직하방으로 분사된다. 이때, 노즐(521)을 통해 분사되는 물이 층류(laminar flow)를 형성하며, 층류를 유지하는 유속을 갖도록 저장공간(59) 내의 물의 압력이 조절된다. 물분사기(50)의 노즐(521)의 상부 입구에서 초점이 형성된 레이저빔은 노즐(521)을 통해 분사되는 물에 의해 안내되며 가공물(100)로 조사된다. 가공물(100) 로 조사된 레이저빔에 의해 가공물(100)은 절단된다. 이때, 절단부분으로 물이 함께 분사되므로 물에 의한 냉각작용으로 열에 의한 열변형과 잔류응력에 의한 변형을 줄일 수 있으며 절단면 형상의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 물분사기(50)로부터 분사되는 물은 분사방향 조절기(80)에 의해 방향이 미세하게 조절된다. 이때, 제어부(90)는 분사방향 조절기(80)의 제1, 제2, 제3, 제4 대전장치(81, 82, 83, 84)의 이동 및 각 대전체의 대전상태를 제어함으로써, 물분사기(50)로부터 분사된 물의 방향이 미세하게 조절되는 것이다. 따라서 레이저빔이 물분사기(50)로부터 분사된 물에 의해 그 조사방향이 안내되어 보다 정밀한 절단가공을 수행하게 된다. 또한, 가공물(100)은 X축 스테이지(62)의 X축 방향 이송과 Y축 스테이지(64)의 Y축 방향 이송에 의해 정밀하게 이송된다. X축 스테이지(62)와 Y축 스테이지(64)는 제어부(90)에 의해 그 작동이 제어된다.

본 발명의 구성을 따르면 앞에서 기재한 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로는 가공물로 조사되는 레이저빔에 물이 함께 분사되므로 절단시 열적 물리적 손상 없이 가공면이 균일하게 되고 절단면 형상의 정밀도가 향상된다. 된다. 또한, 가공물로 조사되는 레이저빔을 안내하도록 분사되는 물이 이동하는 대전체에 의해 그 분사방향이 미세하게 조절되므로 보다 정밀한 가공이 이루어질 수 있다. 그리고 가공물을 흡착하여 고정시키는 가공물 고정장치가 서로 이격된 두 개의 고정부로 이루어지므로 두 고정부 사이로 물이 원활하게 배출되어 고정장치의 흡입구멍으로 물이 유입되는 것을 막을 수 있다.

이상 본 발명을 상기 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니다. 당업자라면, 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정, 변경을 할 수 있으며 이러한 수정과 변경 또한 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.

Claims

가공물을 레이저빔으로 가공하는 레이저 가공장치에 있어서,

레이저 광원 발생장치와,

상기 레이저 광원으로부터 발진된 레이저빔의 초점을 맞춰 가공물로 조사하는 빔 집속장치와,

상기 가공물로 물을 분사되는 노즐을 구비하는 물분사기와,

상기 가공물을 고정시키는 가공물 고정장치와,

상기 가공물 고정장치를 이송시키는 이송장치를 포함하며,

레이저빔은 상기 물분사기의 노즐을 통해 분사되는 물에 의해 안내되도록 상기 빔 집속장치로부터 상기 가공물로 조사되는 레이저 가공장치.
제1항에 있어서, 상기 물분사기는 상기 빔 집속장치로부터 조사된 레이저빔이 들어오는 개방구와, 상기 개방구와 노즐을 연결하며 물이 저장되는 저장공간과, 외부로부터 물이 유입되도록 상기 저장공간으로 연결되는 유입구를 구비하는 레이저 가공장치.
제2항에 있어서, 상기 물분사기는 상기 개방구에 레이저빔이 통과할 수 있는 투광창을 구비하는 레이저 가공장치.
제2항에 있어서, 상기 빔 집속장치로부터 조사된 레이저빔은 상기 물분사기의 노즐에서 초점이 맞춰지는 레이저 가공장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 노즐을 통해 분사된 물의 방향을 조절하는 분사방향 조절기를 더 포함하는 레이저 가공장치.
제5항에 있어서, 상기 분사방향 조절기는 물의 방향을 바꾸는 대전체를 구비하며, 상기 대전체와 분사되는 물 사이의 거리가 변하도록 상기 대전체는 이동 가능한 레이저 가공장치.
제6항에 있어서, 상기 대전체는 물의 분사경로를 사이에 두고 두 개가 마주보도록 구비되는 레이저 가공장치.
제6항에 있어서, 상기 대전체는 물의 분사경로를 사이에 두고 네 개가 구비되며, 각 대전체는 두 개씩 마주보도록 배치되는 레이저 가공장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 가공물 고정장치는 물이 분사되어 이동하는 경로를 사이에 두고 서로 이격되는 제1 고정받침과 제2 고정받침을 구비하는 레이저 가공장치.
제9항에 있어서, 상기 각 고정받침의 표면에는 흡입장치와 연결되는 흡입용 구멍이 형성된 레이저 가공장치.
제9항에 있어서, 상기 고정장치의 제1 고정받침과 제2 고정받침은 서로 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능한 레이저 가공장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 이송장치는 X축 스테이지와 Y축 스테이지를 구비하는 2축 스테이지인 레이저가공장치.
레이저 광원으로부터 발진된 레이저빔을 이용하여 가공물을 가공하는 방법으로서,

상기 가공물을 고정하는 단계와,

상기 가공물로 물을 층류로 분사하는 단계와,

상기 레이저빔을 집속하여 상기 분사되는 물에 의해 안내되도록 상기 가공물로 조사하는 단계를 포함하는 레이저 가공방법.
제13항에 있어서, 상기 가공물로 분사되는 물의 경로를 대전체로 바꾸는 단계를 더 포함하는 레이저 가공방법.
제14항에 있어서, 상기 대전체를 이동시켜 상기 물과의 거리를 변화시키는 단계를 더 포함하는 레이저 가공방법.