KR20060053370A - Lamination apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명의 라미네이션 장치는, 복수의 필름이 감긴 공급롤러, 상기 공급롤러로부터 공급되는 일정 길이의 필름을 절단하는 커터 어셈블리, 상기 필름이 소정 시간 차를 두고 공급롤러에서 풀려져 주행 경로를 통해 이송되도록 지지하는 흡착부재, 상기 흡착부재를 통해서 투입되는 필름을 압착해서 기판에 부착하는 전사 롤러 및 소정의 시간 단위로 기판을 상기 전사 롤러로 이송하는 테이블을 포함하며, 상기 테이블을 통해서 순차적으로 이송되어온 기판에 일정 간격으로 필름을 부착시키도록 작동한다.Lamination apparatus of the present invention, a feed roller wound a plurality of films, a cutter assembly for cutting a predetermined length of the film supplied from the feed roller, the film is released from the feed roller with a predetermined time difference so that the transfer through the travel path A substrate for transferring the substrate to the transfer roller by a predetermined time unit, and a transfer roller for compressing and adhering the film introduced through the suction member to the substrate, the substrate being sequentially transferred through the table. It works to attach the film at regular intervals.
다면취, 플라즈마, 디스플레이, 패널, 라미네이션, 시트Multifaceted, Plasma, Display, Panel, Lamination, Sheet
Description
도 1은 본 발명에 따른 라미네이션 장치의 구성을 개략적으로 도시한 정면 구성도.1 is a front configuration diagram schematically showing the configuration of a lamination device according to the present invention.
도 2는 도 1에 도시한 커터 어셈블리 부위를 나타내 보인 사시도.Figure 2 is a perspective view showing a cutter assembly shown in FIG.
도 3은 도 1에 도시한 흡착부재 부위를 나타내 보인 단면 구성도.3 is a cross-sectional view showing a portion of the adsorption member shown in FIG.
도 4는 본 발명의 라미네이션 장치에 의해 라미네이션 시트가 연속적으로 부착된 유리기판을 나타내 보인 평면 구성도.Figure 4 is a plan view showing a glass substrate to which the lamination sheet is continuously attached by the lamination apparatus of the present invention.
본 발명은 라미네이션 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널을 다면취 방식으로 제조하는 경우에 필름을 기판 위에 일정 간격 이격되게 연속적으로 부착시킬 수 있는 구조를 가진 라미네이션 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a lamination device, and more particularly, to a lamination device having a structure capable of continuously attaching a film on a substrate at regular intervals when manufacturing a plasma display panel in a multi-sided manner.
일반적인 반도체 제조 공정에서는 상이한 성질을 가진 층들을 적층하여 복합적인 성질을 가진 반도체 소자를 제조하기 위하여 기판상에 다수의 적층물을 순차적으로 적층하여 반도체를 제조하고 있다. 이러한 반도체 제조 공정에서는 포토리소그래피법(photolithography), 리프트오프법(lift-off) 및 스크린 인쇄법(screen printing) 등 여러가지 적층 방법이 사용되고 있다.In a general semiconductor manufacturing process, a plurality of stacks are sequentially stacked on a substrate to manufacture a semiconductor in order to manufacture layers having different properties by stacking layers having different properties. In the semiconductor manufacturing process, various lamination methods such as photolithography, lift-off, and screen printing are used.
이 중에서 특히 제조 공정이 간편한 포토리소그래피법이 널리 사용되고 있다. 포토리소그래피법은 반도체 집적 회로를 구성하는 부품, 배선, 박막들을 구현하기 위하여 사진 인쇄 기술을 이용한다. 즉, 포토리소그래피법은 반도체 웨이퍼상에 감광 성질을 가지는 포토레지스트(photoresist, PR)를 얇게 바른 후, 원하는 마크스 패턴을 올려놓고 빛을 가하여 사진을 찍는 것과 동일한 방법으로 회로를 구성한다.Among these, the photolithographic method which is easy to manufacture especially is widely used. The photolithography method uses photo printing technology to implement components, wirings, and thin films constituting a semiconductor integrated circuit. That is, in the photolithography method, a photoresist (PR) having a photosensitive property is applied thinly on a semiconductor wafer, and then a circuit is constructed in the same manner as taking a photograph by applying a light on a desired mark pattern.
여기서, 포토레지스트는 설계된 반도체 회로를 웨이퍼에 전사시킬 때, 빛의 조사 여부에 따라 다르게 감응함으로써 미세 회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광 공정용 감광 재료로서, 노광에 의하여 방식성의 피막을 형성하는 물질을 말하며, 사진 제판용 감광액 이외에 각종 금속판의 정밀 가공을 행하는 포토에칭과 IC(integrated circuit), LSI(large scale integration) 등 반도체의 미세 가공시에 이용된다.Here, the photoresist is a photosensitive material for an exposure process that allows a fine circuit pattern to be formed by differently responding to irradiation of light when transferring a designed semiconductor circuit to a wafer, and is a material for forming an anticorrosive coating by exposure. It is used for fine processing of semiconductors such as photoetching, integrated circuit (IC), and large scale integration (LSI), which perform precision processing of various metal plates in addition to photolithography for photolithography.
상기한 포토레지스트는 특히 라미네이션 시트(이하, '필름') 형태로 많이 사용되고 있는데, 두께의 균일성 및 공정 단순화의 이점으로 인하여 액정 디스플레이 패널(liquid display panel, LCD) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)에 다량으로 사용되고 있다. 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 상기한 필름 형태로는 전극 뿐만 아니라, 유전체 및 격벽도 사용되고 있다.The photoresist is particularly used in the form of a lamination sheet (hereinafter, referred to as a 'film'), and the liquid crystal display panel (LCD) and the plasma display panel due to the uniformity of the thickness and the advantages of the process simplification. , PDP). In the case of the plasma display panel, not only an electrode but also a dielectric and a partition wall are used as the film.
그런데, 상기한 바와 같은 필름을 사용하여 다수의 기판을 제조하는 경우 공정상의 문제점이 존재한다. 예를 들면, 플라즈마 디스플레이 패널의 경우 하나의 기판 상에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 제조시, 기판 상에 필름을 일정한 간격으로 이격되게 부착시켜야 하는데, 그 이격 공간에까지 필름을 도포하여 플라즈마 디스플레이 패널의 각 부품을 장착하는 경우에는 유전체를 제거하는 것이 불가능할 뿐만 아니라 FPC(flexible printed circuit, 연성회로기판)와의 연결을 위하여 반드시 노출되어야 하는 전극 부분까지 덮어 버리는 문제점이 있었다.However, when manufacturing a plurality of substrates using the film as described above there is a problem in the process. For example, in the case of a plasma display panel, when manufacturing a plurality of plasma display panels on a single substrate, the films should be attached to the substrate at regular intervals. In the case of mounting the component, it is not only impossible to remove the dielectric, but also has a problem of covering an electrode part that must be exposed for connection with a flexible printed circuit (FPC).
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 그 목적은 하나의 기판 상에 다수의 반도체 소자, 액정 디스플레이 패널 또는 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 경우에 적합하도록 필름을 기판 상에 일정 간격 이격되게 연속적으로 부착시킬 수 있는 구조를 가진 라미네이션 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to space the film on a substrate so as to be suitable for manufacturing a plurality of semiconductor elements, liquid crystal display panels or plasma display panels on a substrate. To provide a lamination device having a structure that can be attached continuously.
이 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명에서 제공하는 라미네이션 장치는,Lamination apparatus provided by this invention in order to achieve such an objective,
복수의 필름이 감긴 공급롤러, 상기 공급롤러로부터 공급되는 일정 길이의 필름을 절단하는 커터 어셈블리, 상기 필름이 소정 시간 차를 두고 공급롤러에서 풀려져 주행 경로를 통해 이송되도록 지지하는 흡착부재, 상기 흡착부재를 통해서 투입되는 필름을 압착해서 기판에 부착하는 전사 롤러 및 소정의 시간 단위로 기판을 상기 전사 롤러로 이송하는 테이블을 포함하며, 상기 테이블을 통해서 순차적으로 이송되어온 기판에 일정 간격으로 필름을 부착시키도록 작동한다.A feed roller wound with a plurality of films, a cutter assembly for cutting a film of a predetermined length supplied from the feed roller, an adsorption member for supporting the film to be unloaded from the feed roller at a predetermined time interval and transported through a traveling path, and the adsorption A transfer roller for pressing and attaching the film introduced through the member to the substrate and a table for transferring the substrate to the transfer roller in predetermined time units, and attaching the film to the substrate sequentially transferred through the table at a predetermined interval. It works.
본 발명에서, 필름은 기판의 진행 방향으로 적어도 2열 이상 공급되는 것이 바람직하고, 상기 공급롤러는 상기 흡착부재에 의해 필름이 풀려 나가면서 자유 회 전된다.In the present invention, the film is preferably supplied at least two rows or more in the advancing direction of the substrate, the feed roller is free to rotate while the film is released by the adsorption member.
그리고, 상기 지지부재는, 상기 공급롤러에 감긴 필름을 소정 시간차를 두고 흡착하여 수직방향으로 이송시켜 기판의 선단에 부착시키는 흡착롤러; 및, 상기 흡착롤러에서 공급되는 필름을 흡착해서 수직방향의 진행경로를 수평방향으로 변환해서 상기 전사롤러로 투입하는 흡착 플레이트;를 포함한다.And, the support member, the adsorption roller for adsorbing the film wound on the feed roller at a predetermined time difference to transfer in the vertical direction to attach to the front end of the substrate; And an adsorption plate for adsorbing the film supplied from the adsorption roller, converting the traveling path in the vertical direction into the horizontal direction, and feeding the film into the transfer roller.
본 발명의 다른 실시예에서 제공하는 라미네이션 장치는,Lamination apparatus provided in another embodiment of the present invention,
복수의 필름이 감긴 공급롤러, 상기 공급롤러로부터 공급되는 일정 길이의 필름을 절단하는 커터 어셈블리, 상기 필름이 소정 시간 차를 두고 공급롤러에서 풀려져 주행 경로를 통해 이송되도록 지지하는 흡착부재, 상기 흡착부재를 통해서 투입되는 필름을 압착해서 기판에 부착하는 전사 롤러 및 고정되어진 상태로 기판을 안착하고 있는 테이블과, 이들이 설치되고 상기 테이블을 따라 왕복 운동할 수 있도록 설치되어 있는 프레임을 포함하며, 상기 테이블 위에 놓여진 기판 위로 상기 프레임이 왕복 운동하면서 순차적으로 이송되어온 기판에 일정 간격으로 필름을 부착시키도록 작동한다.A feed roller wound with a plurality of films, a cutter assembly for cutting a film of a predetermined length supplied from the feed roller, an adsorption member for supporting the film to be unloaded from the feed roller at a predetermined time interval and transported through a traveling path, and the adsorption A transfer roller for compressing the film fed through the member and attaching the film to the substrate, and a table on which the substrate is mounted in a fixed state, and a frame on which the substrate is mounted and reciprocating along the table. The frame is operated to attach the film at regular intervals to the substrate which has been sequentially transported while reciprocating over the substrate placed thereon.
이하, 첨부한 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 당업자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.
도 1은 본 발명에 따른 라미네이션 장치의 구성을 개략적으로 도시한 정면 구성도이다.1 is a front configuration diagram schematically showing the configuration of a lamination device according to the present invention.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 라미네이션 장치는 하나의 기판(1)에 다수 의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하기 위해 기판(1)에 전극, 유전체 또는 격벽 등을 필름로 도포할 때, 그 필름(10)을 일정 간격 이격되게 연속적으로 부착시킬 수 있는 구조를 가진다.Referring to the drawings, the lamination apparatus according to the present invention, when forming an electrode, a dielectric or a partition on the
본 발명에 따른 라미네이션 장치는 기판(1) 상에 필름(10)을 2열로 일정 간격 이격되게 부착시킬 수 있으며, 기판(1)의 크기에 따라 일렬 또는 그 이상의 열로 일정 간격 이격되게 부착시킬 수 있다. 그러나, 이하에서는 필름(10)을 기판(1) 상에 2열로 일정 간격 이격되게 부착시키는 예를 설명한다.The lamination apparatus according to the present invention may attach the
본 장치는 다음과 같은 각종 구성요소로 구획되며, 이 구성요소들은 하나의 프레임(20)에 모두 설치될 수 있고, 분획된 각각의 프레임(20)이 결합된 형태일 수도 있다. 또한, 각각의 구성요소는 컨트롤 유니트(미도시)에 의해 제어된다.The apparatus is divided into various components as follows. These components may be installed in one
상기 프레임(20)은 지면에 대해 장치를 지지할 수 있도록 구성되고, 본 장치를 구동하기 위한 각종 모터들과, 고압 에어 시스템, 진공 시스템, 전자 계측 시스템 등이 설비된다.The
이하에서 설명되는 본 발명의 구성요소들은 모두 프레임(20)에 설비되는 것으로서, 각종 브라켓, 블록, 플레이트, 하우징, 커버, 칼라 등은 각각의 구성요소들을 프레임(20)에 설비하기 위한 부속 요소들이므로 예외적인 경우를 제외하고 프레임(20)으로 통칭하는 것을 원칙으로 한다.The components of the present invention described below are all installed in the
본 발명에 따른 라미네이션 장치는 2열의 필름(10)이 감긴 공급롤러(30)와, 필름(10)에 부착된 커버 필름(11)을 회수하는 회수롤러(40)와, 필름(10)의 텐션을 유지하는 텐션부재(50)와, 공급롤러(30)로부터 공급되는 일정 길이의 필름(10)을 절단하는 커터 어셈블리(60)와, 절단된 필름(10)의 표면에 코로나 정전기를 전사하여 주행 경로를 따라 공급되는 기판(1)의 상면에 부착하는 전사롤러(70)와, 기판(1)이 필름(10)의 주행 경로를 따라 주행하도록 전사롤러(70)의 하측에 배치되는 지지롤러(80)와, 필름(10)이 소정 시간차를 두고 공급롤러(30)로부터 풀려 나가 주행 경로를 통해 주행하도록 지지하고 그 필름(10)을 전사롤러(70)에 공급하는 흡착부재(90)를 구비한다.Lamination apparatus according to the present invention is a
전술한 바 있는 필름(10)은 커버 필름(11)과 커버 필름(11)에 부착된 전사 물질로 구성되며, 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 상기 전사 물질로는 전극용 재료, 유전체용 재료, 및 격벽용 재료 등을 그 예로 들 수 있다. 전극용 재료로는 투명 전극의 경우 ITO(indium tin oxide) 및 SnO2, 버스 전극의 경우 Cr-Cu-Cr 또는 Ag, 어드레스 전극의 경우 Ag가 널리 사용되고 있다. 또한, 유전체로는 저융점 유리 분말을 주성분으로 하는 페이스트, 즉 유리 페이스트(glass paste)가 사용되고 있다. 그리고 격벽으로는 저융점 유리 분말에 유기 용액(vehicle)(유기용제+수지)이나 각종 필러(filler)(알루미나 또는 각종 금속)를 첨가한 재료가 사용되고 있다.The
상기 공급롤러(30)는 프레임(20)에 회전 가능하게 설치되고, 상술한 바와 같은 필름(10)이 롤 형상으로 감기고, 필름(10)을 풀어내어 주행 경로로 공급한다. 바람직하게, 공급롤러(30)는 소정의 구동원에 의해 구동되지 않고, 다음에 설명하는 흡착부재(90)에 의해 필름(10)이 자유로이 풀리면서 회전된다. 또한, 공급롤러 (30)는 별도의 홀더(미도시)에 지지되어 프레임(20)에 회전 가능하게 장착될 수 있다. 그리고, 이 공급롤러(30)에는 2 벌의 필름이 설치되어 있는데, 이를 나타내기 위해서 도 1에서는 공급롤러(30)를 각각 별도로 도시하였다.The
회수롤러(40)는 공급롤러(30)에 근접되게 설치되며, 필름(10)에 부착된 커버 필름(11)을 감아 내도록 프레임(20)에 회전 가능하게 장착된다. 이 회수롤러(40)는 회전축이 공급롤러(30)의 회전축(미도시)과 벨트 또는 체인으로 연결되어 공급롤러(30)가 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있는 구조를 가진다. 회수롤러(40)는 공급롤러(30)와 함께 별도의 홀더에 지지되어 프레임(20)에 회전 가능하게 장착될 수도 있다.The
그리고, 텐션부재(50)는 필름의 진행 경로를 변화시켜 후술하는 흡착부재(90)와 작용해서 필름(10)에 일정한 텐션을 유지하도록 작용한다. 이에 대해서는 후술하는 흡착부재(90)를 설명하면서 같이 설명한다.In addition, the
전사롤러(70)는 공급롤러(30)로부터 공급되는 필름(10)의 표면에 코로나 정전기를 전사하여 그 필름(10)이 기판(1)의 상면에 용이하게 부착되도록 한다. 전사롤러(70)는 그 표면이 별도의 코로나 장치(미도시)에 의해 대전된다. 또한, 이 전사롤러(70)는 필름을 열 압착시켜 기판에 부착할 수도 있고, 이 경우에는 이 전사롤러(70)는 그 표면의 온도를 높이는 히터를 구비한다.The
한편, 상기 기판(1)은 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하기 위한 기판으로서, 전사롤러(70)와 이 전사롤러(70)의 하측에 배치된 지지롤러(80) 사이를 통과하여 전사롤러(70)에 공급되는 필름(10)의 주행 방향과 동일한 방향으로 공급 된다. 지지롤러(80)는 기판(1)의 하면을 지지하고, 별도의 구동원에 의해 회전된다. 따라서, 기판(1)이 전사롤러(70)와 지지롤러(80) 사이로 공급되고 동시에 전사롤러(70)와 기판(1) 사이로 필름(10)이 공급됨에 따라 상기 필름(10)은 전사롤러(70)와 지지롤러(80)의 상보적인 압착력과, 그 표면에 대전된 코로나 정전기에 의해 기판(1)의 상면에 부착된다.On the other hand, the
한편, 도 2는 도 1에 도시한 커터 어셈블리의 일 실시예를 보여주는 사시도이다.On the other hand, Figure 2 is a perspective view showing an embodiment of the cutter assembly shown in FIG.
이를 참조하면, 이 커터 어셈블리(60)는 필름(10)이 공급롤러(30)로부터 일정 길이 만큼 공급된 상태에서 그 필름(10)을 주행 경로에 수직하는 방향으로 절단할 수 있는 구조를 가진다. 이를 위해, 커터 어셈블리(60)는 필름(10)의 주행 경로에 수직하는 방향을 따라 프레임(20)에 회전 가능하게 설치된 리드스크류(61)와, 리드스크류(61)의 단부에 설치되어 소정 구동력에 의해 리드스크류(61)를 정역 회전시키는 구동모터(62)와, 리드스크류(61)에 결합되어 리드스크류(61)의 회전에 의해 수평 이동 가능한 마운트블록(63)과, 마운트블록(63)의 수평 이동을 가이드하도록 프레임(20)에 설치된 한 쌍의 가이드봉(64)과, 마운트블록(63)에 설치되어 그 마운트블록(63)의 수평 이동에 의해 필름(10)을 절단하는 커터(65)를 구비한다. 이후에서도 자세히 설명되겠지만, 커터(65)는 흡착부재(90)에 마련된 가이드홈을 따라서 필름을 수평하게 절단하도록 동작한다.Referring to this, the
도 3은 도 1에 도시한 흡착 부재를 설명하는 구성도이다.3 is a configuration diagram illustrating the adsorption member illustrated in FIG. 1.
본 발명의 실시예에 따른 흡착부재(90)는 커터 어셈블리(60)에 의해 일정 길 이 만큼 절단된 필름(10)을 기판(1)의 상면에 일정 간격 이격되게 연속적으로 부착시키고 필름(10)의 텐션을 유지한다.
이 흡착부재(90)는 공급롤러(30)에 감긴 필름(10)을 소정 시간 차를 두고 흡착하여 주행 경로를 통해 공급하는 흡착롤러(91)와, 흡착롤러(91)에 의해 공급되는 필름(10)을 흡착하여 전사롤러(70)에 공급하는 흡착플레이트(92)를 구비한다.The
상기 흡착롤러(91)는 공급롤러(30)에 감긴 필름(10)을 풀어내어 주행 경로를 따라 주행시키기 위한 것이다. 흡착롤러(91)는 커터 어셈블리(60)에 근접되게 위치하고, 필름(10)의 주행 경로를 따라 왕복 이동하도록 프레임(20)에 슬라이딩 가능하게 설치된다. 즉, 흡착롤러(91)는 소정 구동수단(93) 예컨대, 볼스크류에 나사식으로 결합되고 그 볼스크류가 서보모터에 의해 회전되면서 프레임(20)에 형성된 가이드레일을 따라 필름(10)의 주행 방향으로 슬라이딩된다. 대안으로서, 상기 구동수단(93)은 볼스크류와 서보모터를 구비하는 것에 한정되지 않고, 통상적으로 유, 공압에 의해 작동되는 실린더를 구비할 수도 있다. The
또한, 흡착롤러(91)는 공급롤러(30)에 감긴 필름(10)을 풀어내어 주행 경로를 따라 주행시키도록 필름(10)을 선택적으로 흡착할 수 있는 구조를 가진다. 이를 위해 흡착롤러(91)에는 진공 펌프(94)로부터 발생하는 진공압에 의해 필름(10)을 흡착할 수 있는 흡입공(95)이 형성된다. 그리고, 이 흡착롤러(91)는 커터 어셈블리(60)의 진행 방향으로 가이드홈(97)이 더 형성되어 있다. 이 가이드홈(97)은 필름(10)을 절단할 때에 커터가 이 가이드홈(97)을 따라서 위치해서 필름(10)이 수평 방향의 일 직선으로 절단될 수 있도록 커터 어셈블리(60)를 안내하다.In addition, the
상기 흡착 플레이트(92)는 흡착롤러(91)에 흡착된 필름(10)을 흡착하여 전사롤러(70)에 공급하기 위한 것이다. 흡착 플레이트(92)는 전사롤러(70)로 하 방향으로 소정 거리로 이격되어 있고, 흡착롤러(91)에 비해서 상대적으로 후면쪽으로 위치하고 있다. 즉, 기판(1)의 진행 방향을 기준으로 해서 흡착 플레이트(92)가 흡착롤러(91)에 비해서 상대적으로 뒤에 위치하고 있다. The
그리고, 이 흡착 플레이트(92)는 '??' 모양으로 절곡되어 있어서 필름의 진행경로를 수직방향에서 수평방향으로 방향 전환함과 동시에 텐션부재(50)와 작용해서 필름(10)의 텐션을 일정하게 유지한다. 즉, 텐션부재(50)도 필름(10)의 진행 경로를 수평 방향에서 수직 방향으로 전환함으로 필름(10)은 각각 텐션부재(50)와 흡착 플레이트(92) 부분을 변곡점으로해서 텐션을 유지하게 된다.And this
이 흡착 플레이트(92)는 프레임(20)에 고정되어 있고, 흡착롤러(91)에 흡착된 필름(10)을 전달받아 전사롤러(70)에 공급하도록 필름(10)을 선택적으로 흡착할 수 있는 구조를 가진다. 이를 위해 흡착 플레이트(92)에는 진공 펌프(94)로부터 발생하는 진공압에 의해 필름(10)을 흡착할 수 있는 흡입공(95)이 형성된다.The
한편, 이 흡착 플레이트(92)의 수평 방향으로 선단에는 기판(1)을 이송하는 테이블(5)이 더 구비되어 있다. 이 테이블(5)은 소정의 구동수단(미도시)으로 연결되어 있어서 도면을 기준으로 좌, 우의 왕복 운동이 가능하도록 설치되어 있다. 구동수단으로는 볼스크류에 나사식으로 결합되고 그 볼스크류가 서보모터에 의해 회전되면서 프레임(20)에 형성된 가이드레일을 따라 슬라이딩되는 구조일 수 있고, 대안으로서는 볼스크류와 서보모터를 구비하는 것에 한정되지 않고, 통상적으로 유 , 공압에 의해 작동되는 실린더를 구비할 수도 있다.On the other hand, the table 5 which transfers the board |
선택적으로 테이블(5)은 고정되고 프레임(20) 자체에 상술한 구동수단이 연결되어서 앞, 뒤의 왕복 운동을 할 수 있도록 구성될 수도 있을 것이다.Optionally, the table 5 may be fixed and the
이처럼 구성된 본 발명의 실시예에 따른 라미네이션 장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 설명에서는 프레임(20)은 고정되고 테이블(5)이 왕복 운동을 하는 것으로 설명한다.Referring to the operation of the lamination device according to an embodiment of the present invention configured as described above in detail. In this description, the
우선, 공급롤러(30)에 감겨 있는 필름(10)을 흡착롤러(91)의 위치까지 풀어 내어 이 흡착롤러(91)에 필름(10)을 흡착시킨다. 그리고, 이 흡착롤러(91)를 필름(10)의 주행 경로를 따라 제2흡착 플레이트(92) 측으로 이동시킨다.First, the
이에 따라서, 흡착롤러(91)가 수직방향으로 진행해서 그 아래에 위치하고 있는 기판(10)으로 근접하게 된다. 이때, 기판(1)은 테이블(5)의 이송 동작에 의해서 원점으로 이송되어 와 있는데, 위치적으로 기판(1)의 선단 부분에 형성되어 있는 정렬 마크나 전극 단자부처럼 필름이 도포되지 말아야 하는 것을 지나 도포가 이루어지는 시작점에 위치하고 있다.As a result, the
흡착롤러(91)는 계속해서 필름을 수직방향으로 이송해서 기판(1)의 원점에 접착시키고 난 다음에 필름(10)의 흡착을 중지하고 원래의 위치로 되돌아간다.The
다음, 기판(1)에 필름(10)이 부착된 상태에서, 이 기판(1)을 이송하는 테이블(5)이 기판(1)을 필름(10)의 주행 경로를 따라 전사롤러(70) 측으로 이송시킨다.Next, in a state where the
이어서, 필름(10)이 전사롤러(70) 측으로 근접하게 되면, 흡착 플레이트(92)가 동작해 필름(10)을 흡착하고 텐션부재(50)와 작용해 필름(10)의 텐션을 유지한 상태로 필름(10)과 기판(1)을 동시에 전사롤러(70) 측으로 투입하게 된다.Subsequently, when the
다음, 커터 어셈블리(60)를 가동시킨다. 그러면, 구동모터(62)의 회전에 의해 리드스크류(61)가 회전되고, 리드스크류(61)의 회전에 의해 마운트블록(63)이 가이드봉(64)을 따라 가이드되면서 필름(10)의 폭 방향으로 수평 이동된다. 이때, 커터 어셈블리(60)의 커터(65)는 흡착롤러(91)의 가이드홈(97)에 안착되어 회동하게 되고, 이로서 필름(10)은 마운트블록(63)에 설치된 커터(65)에 의해 절단된다.Next, the
이어서, 필름(10)의 절단이 완료되면, 마운트블록(63)은 구동모터(62)의 구동에 의해 원래의 위치로 되돌아오게 된다. 이 때, 흡착 롤러(91)는 커터(65)가 필름(10)을 절단하는 동안 필름(10)의 흡착을 중지한 상태이고, 전사롤러(70)와 지지롤러(80)가 지지롤러(80)의 구동에 의해 회전하면서 이들 사이에 기판(1)이 인입하는 상태가 된다.Subsequently, when the cutting of the
이와 같이, 필름(10)의 절단이 완료되면, 흡착 플레이트(92)는 상기 절단된 필름(10)을 흡착하고, 필름의 진행경로를 수평방향에서 수직방향으로 변환해서 필름(10)을 전사롤러(70)에 공급한다. 이때, 전사롤러(70)는 필름(10)의 표면에 코로나 정전기(또는, 열)를 전사하게 된다. 따라서, 필름(10)은 전사롤러(70)와 기판(1) 사이에서 전사롤러(70)와 지지롤러(80)의 상보적인 압착력과, 그 표면에 대전된 정전기에 의해 기판(1)의 상면에 부착된다.As such, when the cutting of the
이러한 과정을 거치는 동안, 흡착 롤러(91)는 필름(10)의 절단이 완료된 후, 절단되고 남은 필름(10)을 다시 흡착하고, 주행 경로를 따라 하방향으로 슬라이딩된다. 그러면, 필름(10)이 공급롤러(30)로부터 풀리면서 주행 경로를 따라 주행하 게 된다.During this process, after the cutting of the
이어서, 흡착롤러(91)가 기판(1) 위로 근접하게 되고, 상술한 바와 마찬가지로 이어서 투입되고 있는 기판(1)의 원점에 필름(10)을 부착시켜 흡착 플레이트(92)로 공급하게 된다. 이때, 테이블(5)이 동작해서 기판(1)을 시작점으로 이송시켜서 다면취 기판에 일렬로 형성되는 기판의 사이간 부분에 형성되어 있는 전극이나 정렬마크에는 필름이 도포되지 않도록 동작한다.Subsequently, the
한편, 도 4는 본 발명의 라미네이션 장치에 의해 필름이 연속적으로 부착된 유리기판을 나타내 보인 평면 구성도이다.On the other hand, Figure 4 is a plan view showing a glass substrate to which the film is continuously attached by the lamination apparatus of the present invention.
도 5에 도시된 바와 같이, 필름(10)은 상술한 바와 같은 동작에 의해 기판(1)의 길이 방향을 따라 양분된 제1영역(1a)과 제2영역(1b)에 일정한 간격을 유지하면서 부착된다. 이때, 필름은 공급롤러에 2벌이 설치되어 있기 때문에 실질적으로 제1 영역(1a)과 제2 영역(1b) 사이에는 필름의 도포가 이루어지지 않는다. 또한, 시간적으로 테이블(5)이 순차적으로 기판을 전사롤러(70)로 공급해서 필름의 길이 방향 부분에 대해서도 선택적인 도포가 이루어지게 된다.As shown in FIG. 5, the
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the scope of the invention.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 라미네이션 장치에 의하면, 하나의 기판에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 연속적으로 형성하는 데 있어서 손쉽게 전극, 유전체 및 격벽을 형성할 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the lamination apparatus of the present invention, there is an advantage in that electrodes, dielectrics and barrier ribs can be easily formed in successively forming a plurality of plasma display panels on one substrate.
또한, 본 발명을 플라즈마 디스플레이 패널 이외에도 반도체 소자 및 액정 디스플레이 패널에 적용 가능하며, 제조 공정이 신속하고 편리해지는 이점이 있다.In addition, the present invention can be applied to a semiconductor device and a liquid crystal display panel in addition to the plasma display panel, and the manufacturing process is quick and convenient.
또한, 필름의 연속 도포가 가능하여 라미네이팅 설비를 대폭적으로 감소시킬 수 있으므로, 비용측면에서 경쟁적 우위를 확보할 수 있다.In addition, since it is possible to apply the film continuously can greatly reduce the laminating equipment, it is possible to secure a competitive advantage in terms of cost.
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