KR20060035453A - Wafer transfer apparatus for object recognition and control method of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 사물 인식 웨이퍼 이송 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명의 웨이퍼 이송 장치는 반도체 제조 설비의 공정 진행 또는 설비 점검시, 이송 로봇에 구비되는 센서를 통하여 이동 중인 로봇의 작업 영역 내에 사물(작업자)이 존재하는지를 감지하여 웨이퍼 이송 장치의 구동을 제어한다. 따라서 본 발명에 의하면, 웨이퍼 이송 중인 로봇과 작업자가 충돌되는 인명 사고를 미연에 방지한다.The present invention relates to an object recognition wafer transfer apparatus of a semiconductor manufacturing facility and a control method thereof. The wafer transfer device of the present invention controls the driving of the wafer transfer device by detecting whether an object (worker) is present in the work area of the moving robot through a sensor provided in the transfer robot during a process progress or a facility inspection of a semiconductor manufacturing facility. . Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent a human accident from colliding with a robot during wafer transfer.

반도체 제조 설비, 웨이퍼 이송 장치, 로봇, 사물 인식Semiconductor manufacturing equipment, wafer transfer device, robot, object recognition

Description

사물 인식 웨이퍼 이송 장치 및 그의 제어 방법{WAFER TRANSFER APPARATUS FOR OBJECT RECOGNITION AND CONTROL METHOD OF THE SAME}WAFER TRANSFER APPARATUS FOR OBJECT RECOGNITION AND CONTROL METHOD OF THE SAME

도 1은 일반적인 반도체 제조 설비의 이송 로봇을 나타내는 도면;1 shows a transfer robot of a general semiconductor manufacturing facility;

도 2는 본 발명에 따른 사물 인식 웨이퍼 이송 장치를 나타내는 도면; 그리고2 shows an object recognition wafer transfer apparatus according to the present invention; And

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 제어 수순을 나타내는 흐름도이다.3 is a flowchart showing a control procedure of the wafer transfer apparatus according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 웨이퍼 이송 장치100: wafer transfer device

102 : 이송 로봇102: transfer robot

104 : 센서104: sensor

106 : 제어부106: control unit

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 사물 인식용 웨이퍼 이송 장치 및 그의 제어 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor manufacturing equipment, and more particularly, to a wafer transfer apparatus for object recognition and a control method thereof.                         

일반적으로 반도체 제조 설비는 각 공정 단계별로 웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼 이송 장치가 구비되어 있다.In general, a semiconductor manufacturing facility is equipped with a wafer transfer device for transferring wafers in each process step.

예를 들어, 반도체 습식(wet) 공정 설비에서 설비 내부를 점검시 움직이는 웨이퍼 이송용 로봇에 작업자가 머리, 목 등의 신체 부위와 충돌하여 인명 사고를 발생시킬 위험이 있다. 이는 이송 로봇의 작업 영역 내에 존재하는 사물을 인식하지 못해 발생된다.For example, when inspecting the inside of a facility in a semiconductor wet process facility, there is a risk that a worker may collide with a body part such as a head or a neck in a moving wafer transfer robot to cause a human accident. This is caused by not recognizing objects existing in the work area of the transfer robot.

도 1을 참조하면, 일반적인 웨이퍼 이송 장치(10)는 반도체 습식 공정 설비의 웨이퍼 이송용 로봇이 공정 진행에 따라 웨이퍼를 이송하려고 좌우(또는 회전)로 이동할 경우, 이송 로봇의 작업 영역(12) 내에 사물 예컨대, 설비 내부를 점검하는 작업자를 인식하지 못하여 작업자와 충돌하게 되는 경우가 빈번하다.Referring to FIG. 1, a general wafer transfer apparatus 10 may move within a work area 12 of a transfer robot when a robot for transferring a wafer in a semiconductor wet process equipment moves left and right (or rotates) to transfer a wafer as the process proceeds. Frequently, a worker collides with a worker because he or she does not recognize a worker who inspects the inside of a facility.

이는 상기 웨이퍼 이송 장치(10)가 설정된 공정 진행에 따라 하나의 공정 설비에서 다른 하나의 공정 설비로 일정 순서에 의해 웨이퍼를 이송하기 때문이다.This is because the wafer transfer device 10 transfers wafers in a predetermined order from one process facility to another process facility as a set process progresses.

그러므로, 웨이퍼 이송 중, 웨이퍼 이송 장치(10)의 작업 영역(12) 내에 사물이 존재하게 되면, 이송 로봇과 사물이 충돌하게 되어, 인명 사고 및 웨이퍼 이송 장치의 고장 원인이 된다.Therefore, when a thing exists in the work area 12 of the wafer transfer apparatus 10 during wafer transfer, a collision with a transfer robot and a thing will become a cause of a human accident and the failure of a wafer transfer apparatus.

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 사물을 인식할 수 있는 감지 장치를 구비하는 인명 사고를 미연에 방지하기 위한 웨이퍼 이송 장치 및 그의 제어 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to provide a wafer transfer device and a control method thereof for preventing a human accident in advance having a sensing device capable of recognizing objects.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 반도체 제조 설비의 웨이퍼 이송 장치는, 웨이퍼를 이송하는 이송 로봇과; 상기 이송 로봇의 일측에 구비되어 상기 이송 로봇의 작업 영역 내에 사물이 존재하는지를 감지하는 센서 및; 상기 센서로부터 상기 작업 영역 내에 사물이 감지되면, 상기 이송 로봇의 구동을 중지시키는 제어부를 포함한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, a wafer transfer device of a semiconductor manufacturing facility includes a transfer robot for transferring a wafer; A sensor provided at one side of the transfer robot to detect whether an object exists in a work area of the transfer robot; And a controller configured to stop driving of the transfer robot when an object is detected in the working area by the sensor.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 반도체 제조 설비에 구비되는 웨이퍼 이송 장치의 제어 방법은, 이송 로봇을 구동시키는 단계와; 상기 이송 로봇의 작업 영역에 사물이 존재하는지를 감지하는 단계 및; 상기 감지 결과, 상기 작업 영역에 사물이 존재하면, 상기 이송 로봇의 구동을 중지시키는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention for achieving the above object, a control method of a wafer transfer device provided in a semiconductor manufacturing facility includes the steps of driving a transfer robot; Detecting whether an object exists in a work area of the transfer robot; And stopping the driving of the transfer robot when an object exists in the work area as a result of the sensing.

따라서 본 발명에 의하면, 웨이퍼 이송용 로봇의 일측에 사물을 인식할 수 있는 센서를 구비하고, 이를 통해 이송 로봇의 작업 영역 내에 사물이 존재하는지를 감지하여 이송 로봇을 구동시킨다.Therefore, according to the present invention, a sensor for recognizing an object is provided on one side of the wafer transfer robot, thereby detecting whether an object exists in the work area of the transfer robot and driving the transfer robot.

이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 사물 인식 웨이퍼 이송 장치를 나타내는 도면이다.2 is a view showing an object recognition wafer transfer apparatus according to the present invention.

도 2를 참조하면, 상기 웨이퍼 이송 장치(100)는 반도체 제조 설비(예를 들어, 습식 공정 설비 등)에 구비되며, 이송 로봇(102)과, 센서(104) 및 제어부(106)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the wafer transfer device 100 is provided in a semiconductor manufacturing facility (eg, a wet process facility, etc.) and includes a transfer robot 102, a sensor 104, and a controller 106. .

상기 이송 로봇(102)은 공정 진행에 따라 작업 영역 내를 좌우 이동(또는 회전)하면서 공정 설비들(미도시됨)간에 웨이퍼를 이송한다. The transfer robot 102 transfers wafers between process facilities (not shown) while moving (or rotating) left and right within the work area as the process proceeds.                     

상기 센서(104)는 상기 이송 로봇(102)의 일측에 구비되고, 일정 감지 범위를 갖는다. 따라서 상기 센서는 상기 이송 로봇(102)의 작업 영역 내에 사물이 존재하는지를 감지하여, 상기 제어부(106)로 감지 정보를 출력한다.The sensor 104 is provided on one side of the transfer robot 102 and has a predetermined sensing range. Therefore, the sensor detects whether an object exists in the work area of the transfer robot 102 and outputs the sensing information to the controller 106.

그리고 상기 제어부(106)는 예컨대, 상기 반도체 제조 설비의 제반 동작을 제어하는 컴퓨터, 프로그램어블 로직 컨트롤러 등으로 구비되며, 상기 센서(104)로부터 감지 정보를 받아서, 상기 작업 영역 내에 사물이 존재하면 상기 이송 로봇(102)의 구동을 중지시키고, 사물이 존재하지 않으면, 계속해서 상기 이송 로봇(102)을 구동시킨다.The controller 106 is provided with, for example, a computer, a programmable logic controller, and the like, which control various operations of the semiconductor manufacturing facility. The controller 106 receives sensing information from the sensor 104, The driving of the transfer robot 102 is stopped, and if an object does not exist, the transfer robot 102 is continuously driven.

따라서 본 발명의 웨이퍼 이송 장치(100)는 웨이퍼 이송 중인 로봇(102)이 작업자와 충돌되는 사고를 미연에 방지한다.Therefore, the wafer transfer apparatus 100 of the present invention prevents an accident in which the robot 102 during wafer transfer collides with an operator in advance.

그리고 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 제어 수순을 나타내는 흐름도이다. 이 수순은 상기 제어부(106)가 처리하는 프로그램으로, 상기 프로그램은 상기 제어부(106)의 메모리(미도시됨)에 저장된다.3 is a flowchart showing the control procedure of the wafer transfer apparatus according to the present invention. This procedure is a program processed by the controller 106, and the program is stored in a memory (not shown) of the controller 106.

도 3을 참조하면, 상기 제어부(106)는 단계 S120에서 공정 진행에 따라 웨이퍼를 이송하기 위하여 이송 로봇(102)을 구동시킨다.Referring to FIG. 3, the controller 106 drives the transfer robot 102 to transfer the wafer as the process proceeds in step S120.

이어서 단계 S122에서 이송 로봇이 좌우 이동(또는 회전) 중에 센서(104)로부터 감지 영역 즉, 상기 이송 로봇(102)의 작업 영역 내에 사물이 존재하는지를 감지한다.Subsequently, in step S122, the transfer robot detects whether an object exists in the sensing area, that is, in the work area of the transfer robot 102, from the sensor 104 during left and right movement (or rotation).

감지 결과, 상기 작업 영역 내에 사물이 존재하면, 이 수순은 단계 S124로 진행하여 상기 제어부(106)는 상기 이송 로봇(102)의 구동을 중지시킨다. As a result of the detection, if an object exists in the working area, the procedure proceeds to step S124 where the control unit 106 stops the driving of the transfer robot 102.                     

그리고 감지 결과, 상기 작업 영역 내에 사물이 존재하지 않으면, 이 수순은 단계 S120으로 진행하여 상기 제어부(106)는 상기 이송 로봇(102)을 계속 구동시킨다.As a result of the detection, if an object does not exist in the work area, the procedure proceeds to step S120 where the controller 106 continues to drive the transfer robot 102.

그러므로 본 발명의 웨이퍼 이송 장치는 반도체 제조 설비의 공정 진행 또는 설비 점검시, 이송 로봇에 구비되는 센서를 통하여 이동 중인 로봇의 작업 영역 내에 사물이 존재하는지를 감지하여 웨이퍼 이송 장치의 구동을 제어한다.Therefore, the wafer transfer device of the present invention controls the driving of the wafer transfer device by detecting whether an object exists in the work area of the moving robot through a sensor provided in the transfer robot during a process progress or a facility inspection of a semiconductor manufacturing facility.

상술한 바와 같이, 본 발명의 웨이퍼 이송 장치는 이송 로봇의 일측에 사물을 인식할 수 있는 센서를 구비하고, 이를 통해 이송 로봇의 작업 영역 내에 사물이 존재하는지를 감지하여 이송 로봇을 구동시킴으로써, 이송 로봇과 작업자의 충돌에 의한 인명 사고를 미연에 방지한다.
As described above, the wafer transfer apparatus of the present invention includes a sensor capable of recognizing an object on one side of the transfer robot, and detects whether an object exists in the work area of the transfer robot, thereby driving the transfer robot. Prevent human life accidents caused by collision between workers and workers.

Claims (2)

반도체 제조 설비의 웨이퍼 이송 장치에 있어서:In a wafer transfer apparatus of a semiconductor manufacturing facility: 웨이퍼를 이송하는 이송 로봇과;A transfer robot for transferring a wafer; 상기 이송 로봇의 일측에 구비되어 상기 이송 로봇의 작업 영역 내에 사물이 존재하는지를 감지하는 센서 및;A sensor provided at one side of the transfer robot to detect whether an object exists in a work area of the transfer robot; 상기 센서로부터 상기 작업 영역 내에 사물이 감지되면, 상기 이송 로봇의 구동을 중지시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.And a controller configured to stop driving of the transfer robot when an object is detected in the working area by the sensor. 반도체 제조 설비에 구비되는 웨이퍼 이송 장치의 제어 방법에 있어서:In the control method of the wafer transfer apparatus with which a semiconductor manufacturing facility is equipped: 이송 로봇을 구동시키는 단계와;Driving the transfer robot; 상기 이송 로봇의 작업 영역에 사물이 존재하는지를 감지하는 단계 및;Detecting whether an object exists in a work area of the transfer robot; 상기 감지 결과, 상기 작업 영역에 사물이 존재하면, 상기 이송 로봇의 구동을 중지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치의 제어 방법.And stopping the driving of the transfer robot when an object exists in the work area as a result of the sensing.
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