KR100898033B1 - Safety device for semiconductor device manufacturing apparatus, and operation method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 동작 기구가 운동하는 작업 영역, 및 상기 동작 기구에 구동력을 전달하는 구동부가 구비된 반도체 소자 제조 장비에서, 상기 작업 영역 내 작업자의 안전을 위해 설치되는 것으로, 작업 영역 내 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체의 존재를 감지하도록 설치된 복수개의 영역 감지 센서; 영역 감지 센서의 감지 결과를 수집하여 전달하는 신호 입력부; 신호 입력부로부터 전달되는 감지 결과에 기초하여 제1 동작 중단 명령을 생성하여 구동부에 전달하는 중앙제어부; 및 영역 감지 센서로부터 상기 감지 결과를 수집하고, 감지 결과에 기초하여 제2 동작 중단 명령을 독립적으로 생성하여 구동부에 전달하는 안전 확인부; 를 포함하며, 구동부는 제1 동작 중단 명령 또는 제2 동작 중단 명령 중 어느 하나를 수신하여도 동작 기구로의 구동력 전달을 중단하게 된다. The safety device for a semiconductor device manufacturing apparatus of the present invention is installed in the semiconductor device manufacturing equipment having a work area in which the operating mechanism is moved, and a driving unit for transmitting a driving force to the operating mechanism, which is installed for the safety of the worker in the working area. A plurality of area detection sensors installed to detect the presence of an operator in the work area, a body part of the worker, or an object carried by the worker; A signal input unit configured to collect and transmit a detection result of the area detection sensor; A central controller configured to generate a first operation stop command based on the detection result transmitted from the signal input unit and transmit the first operation stop command to the driver; And a safety checker configured to collect the detection result from an area detection sensor and independently generate and transmit a second operation stop command based on the detection result to the driving unit. It includes, and the drive unit is to stop the transmission of the driving force to the operating mechanism even when receiving any one of the first operation stop command or the second operation stop command.

반도체 소자 제조 장비, 안전 장치 Semiconductor device manufacturing equipment, safety devices

Description

반도체 소자 제조 장비용 안전 장치 및 그의 동작 방법{Safety device for semiconductor device manufacturing apparatus, and operation method thereof}Safety device for semiconductor device manufacturing equipment and operation method thereof

본 발명은 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치 및 그의 동작 방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 반도체 소자 제조에 사용되는 다양한 제조 장비에 있어서, 특정 물체, 예를 들어 작업자, 또는 작업자의 신체 일부가 제조 장비 내 동작 기구의 운동 구간에 진입할 때, 해당 동작 기구의 동작을 중단시킴으로써 작업자의 안전을 보장할 수 있게 하는 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치, 그리고 안전 장치의 동작 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a safety device for semiconductor device manufacturing equipment and a method of operation thereof. Specifically, the present invention is a variety of manufacturing equipment used for manufacturing a semiconductor device, when a specific object, for example, an operator, or a body part of the worker enters the movement section of the operating mechanism in the manufacturing equipment, the operation of the operating mechanism It relates to a safety device for semiconductor device manufacturing equipment, and a method of operating the safety device that can ensure the safety of the operator by stopping the operation.

반도체 소자 제조 장비는 반도체 소자를 제조하는데 이용되는 장비로서, 웨이퍼에 반도체 소자를 형성하는데 이용되는 전공정 장비와, 이렇게 형성된 반도체 소자를 테스트하고, 양품으로 판정된 반도체 소자를 웨이퍼에서 분리하고, 포장하는 이용되는 후공정 장비로 크게 나뉘어진다. The semiconductor device manufacturing equipment is a device used to manufacture a semiconductor device, which is a pre-processing equipment used to form a semiconductor device on a wafer, the semiconductor device thus formed is tested, and the semiconductor device determined as good is separated from the wafer, and packaged. The process is largely divided into post-process equipment used.

일반적인 제조 장비와 같이, 이러한 반도체 소자 제조 장비도 대부분 자동화되어 있으나, 장비내에 에러가 발생하여 수리가 요해지거나, 자재 공급이 필요하는 등의 사유로 인해 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체(도구 또는 자재)가 반도체 소자 제조 장비의 내부, 특히 동작 기구가 운동하는 운동 구간(이하, 작업 영역이라고 한다) 내에 진입해야 되는 경우가 발생한다. Like general manufacturing equipment, such semiconductor device manufacturing equipment is mostly automated, but the operator, a part of the worker's body, or a worker's body is transported due to an error in the equipment, requiring repair or material supply. There arises a case where an object (a tool or a material) needs to enter the inside of a semiconductor device manufacturing equipment, especially an exercise section (hereinafter, referred to as a work area) in which an operating mechanism moves.

이와 같이, 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체의 진입을 위한 작업 영역을 가지는 대부분의 반도체 소자 제조 장비는 작업자의 안전을 위해 해당 작업 영역에 커버를 구비한다. 그 경우, 작업자가 작업 영역내 작업을 위해 해당 커버를 오픈 할 경우, 반도체 소자 제조 장비는 해당 작업 영역 내에서 운동하는 반도체 소자 제조 장비의 동작 기구의 동작을 중단시켜 작업자의 안전을 확보한다. As such, most semiconductor device manufacturing equipment having a work area for entry of an operator, a body part of the worker, or an object carried by the worker has a cover in the work area for the safety of the worker. In this case, when the worker opens the cover for work in the work area, the semiconductor device manufacturing equipment stops the operation of the operating mechanism of the semiconductor device manufacturing equipment moving in the work area to ensure the safety of the worker.

그러나, 작업 영역에 커버 구조를 가지는 반도체 소자 제조 장비는 작업자가 작업 영역에서 작업하고자 하는 경우마다 커버를 오픈시켜야 하는 번거로움이 있어, 해당 장비의 생산성을 저하시키기도 한다. However, the semiconductor device manufacturing equipment having a cover structure in the work area has a trouble of opening the cover every time a worker wants to work in the work area, thereby lowering the productivity of the device.

따라서, 작업 영역에 커버 구조가 구비되어 있지 않은 반도체 제조 장비도 널리 사용된다. 그런데, 이렇게 커버 구조가 구비되어 있지 않은 반도체 제조 장비는 작업 영역 내에 구비되어 있는 동작 기구(기계류 또는 벨트 등)에 의해 작업 영역 내에서 작업하는 작업자가 신체에 상해를 입을 가능성이 상존하게 된다. Therefore, semiconductor manufacturing equipment in which the cover structure is not provided in the work area is also widely used. By the way, in the semiconductor manufacturing equipment which is not provided with the cover structure in this way, there exists a possibility that the worker who works in a working area by the operating mechanism (machinery or a belt etc.) provided in the working area may injure a human body.

따라서, 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 작업 영역 내에 진입하는 경우, 이를 즉각적으로 감지하여 작업 영역 내 동작 기구를 중단시킬 수 있는 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치가 요구되고 있다. Therefore, when a worker, a part of a worker's body, or an object carried by a worker enters a work area, there is a need for a safety device for semiconductor device manufacturing equipment capable of immediately detecting this and stopping an operation mechanism in the work area.

이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 커버 구조가 구비되어 있지 않은 반도체 소자 제조 장비에 구현된 종래의 안전 장치에 대하여 구체적으로 살펴본다. Hereinafter, a conventional safety device implemented in a semiconductor device manufacturing apparatus having no cover structure will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1에 도시된 바와 같이, 커버 구조가 구비되어 있지 않은 반도체 소자 제조 장비는 작업 영역이 커버 구조 없이 노출되어 있으며, 이러한 작업 영역의 입구에는 영역 감지 센서(10)가 복수 개로 구비되어 있어, 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 작업 영역 내에 진입하는 경우 이를 감지한다. As illustrated in FIG. 1, in a semiconductor device manufacturing apparatus having no cover structure, a work area is exposed without a cover structure, and a plurality of area detection sensors 10 are provided at the entrance of the work area, If a worker enters into the work area, a part of the worker's body or an object carried by the worker is detected.

이와 같이, 영역 감지 센서(10)에 의해, 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 감지되면, 신호 입력부(20)는 이를 중앙 제어부(30)에 통지하게 된다. 그러면, 중앙제어부(30)는 신호 입력부(20)로부터 입력된 신호에 대하여 소정의 연산 과정을 수행하여 동작 중단 명령을 생성하여 구동부(40)에 전달하게 되며, 그에 따라, 구동부(40)는 동작기구에 구동력을 더 이상 제공하지 않게 되어, 동작 기구가 작업 영역 내에서 운동을 멈추게 된다. As such, when the area detecting sensor 10 detects an operator, a body part of the worker, or an object carried by the worker, the signal input unit 20 notifies the central control unit 30 of this. Then, the central controller 30 generates a command to stop the operation by performing a predetermined operation process on the signal input from the signal input unit 20 to transmit to the drive unit 40, accordingly, the drive unit 40 is operated No more driving force is provided to the instrument, which causes the operating instrument to stop motion within the work area.

이러한 종래의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 반도체 소자 제조 장비에 장착되거나, 반도체 소자 제조 장비에 네트워크로 연결되어 있는 중앙 제어부(30)의 연산 과정의 결과를 통해 동작하게 되는 바, 이러한 중앙 제어부(30)에서 연산 과정에 오류가 발생하거나 신호 입력부(20)와 중앙 제어부(30) 사이의 신호 전달에 외부 노이즈가 발생하여 잘못된 신호가 전달되는 경우에는 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 작업 영역 내에 존재하는 경우에도 동작기구의 동작을 중단시키지 못하거나 운동을 재개시키는 오동작을 하게 될 수 있다. 그렇게 되면, 작업영역 내 작업자는 동작 기구의 운동으로 인해 그 신체에 상해를 입을 수 있게 된다. The conventional safety device for semiconductor device manufacturing equipment is operated through a result of the calculation process of the central control unit 30 mounted on the semiconductor device manufacturing equipment or connected to the semiconductor device manufacturing equipment by a network. If a wrong signal is transmitted due to an error in the operation process or an external noise occurs in the signal transmission between the signal input unit 20 and the central control unit 30, the worker, a part of the worker's body, or the worker carries Even when an object is present in the work area, it may cause a malfunction that does not stop the operation mechanism or resume the movement. The worker in the work area can then be injured in the body due to the movement of the operating mechanism.

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 반도체 소자 제조 장비에 대한 중앙 제어부에 의한 동작 중단 명령이 없더라도, 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 존재하는 경우 구동부의 동작 중단을 담보할 수 있는 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치를 제공하고자 한다. In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention, even if there is no command to stop the operation by the central control unit for the semiconductor device manufacturing equipment, there is a driver, a part of the body of the worker, or an object to be carried by the driver It is an object of the present invention to provide a safety device for semiconductor device manufacturing equipment that can guarantee an operation interruption.

또한, 본 발명은 작업 영역내 작업자의 안전을 이중으로 확인하여 작업자의 안전을 담보할 수 있는 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법을 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide a method of operating a safety device for semiconductor device manufacturing equipment that can ensure the safety of the operator by double checking the safety of the worker in the work area.

위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 한 특징에 따른 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 동작 기구가 운동하는 작업 영역, 및 상기 동작 기구에 구동력을 전달하는 구동부가 구비된 반도체 소자 제조 장비에서, 상기 작업 영역 내 작업자의 안전을 위해 설치되는 것으로, 작업 영역 내 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체의 존재를 감지하도록 설치된 복수개의 영역 감지 센서; 영역 감지 센서의 감지 결과를 수집하여 전달하는 신호 입력부; 신호 입력부로부터 전달되는 감지 결과에 기초하여 제1 동작 중단 명령을 생성하여 구동부에 전달하는 중앙제어부; 및 영역 감지 센서로부터 상기 감지 결과를 수집하고, 감지 결과에 기초하여 제2 동작 중단 명령을 독립적으로 생성하여 구동부에 전달하는 안전 확인부; 를 포함하며, 구동부는 제1 동작 중단 명령 또는 제2 동작 중단 명령 중 어느 하나를 수신하여도 동작 기구로의 구동력 전달을 중단하게 된다. Safety device for a semiconductor device manufacturing equipment according to an aspect of the present invention for solving the above problems in the semiconductor device manufacturing equipment equipped with a work area for operating the movement mechanism, and a driving unit for transmitting a driving force to the operating mechanism, A plurality of area detection sensors installed for the safety of the worker in the work area and installed to detect the presence of a worker, a body part of the worker, or an object carried by the worker in the work area; A signal input unit configured to collect and transmit a detection result of the area detection sensor; A central controller configured to generate a first operation stop command based on the detection result transmitted from the signal input unit and transmit the first operation stop command to the driver; And a safety checker configured to collect the detection result from an area detection sensor and independently generate and transmit a second operation stop command based on the detection result to the driving unit. It includes, and the drive unit is to stop the transmission of the driving force to the operating mechanism even when receiving any one of the first operation stop command or the second operation stop command.

상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에 있어서, 상기 중앙 제어부와 상기 안전 확인부는 서로 독립되어 설치될 수 있다. In the safety device for semiconductor device manufacturing equipment, the central control unit and the safety confirmation unit may be installed independently of each other.

상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에 있어서, 상기 제1 동작 중단 명령과 상기 제2 동작 중단 명령이 서로 상이한 알고리즘에 의해 생성될 수 있다. In the safety device for the semiconductor device manufacturing equipment, the first operation stop command and the second operation stop command may be generated by different algorithms.

상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 상기 작업 영역 이외의 장소에 상기 작업자에 의해 조작되도록 설치되어, 상기 작업자에 의해 조작되면, 작업자 조작 신호를 상기 안전 확인부로 전달하는 해제 조작부;를 더 포함할 수 있다. The safety device for the semiconductor device manufacturing equipment may be installed to be operated by the worker at a place other than the work area, and when operated by the worker, a release operation unit which transmits a worker operation signal to the safety confirmation unit. have.

상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에 있어서, 상기 안전 확인부는 상기 해제 조작부로부터 상기 작업자 조작 신호를 수신하면, 안전 확인 신호를 생성하여 상기 중앙 제어부에 전달한다. In the safety device for semiconductor device manufacturing equipment, the safety confirmation unit generates a safety confirmation signal and transmits the safety confirmation signal to the central control unit when receiving the operator operation signal from the release operation unit.

상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에 있어서, 상기 중앙 제어부는 상기 작업 영역 내에서 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 상기 영역 감지 센서에 의해 감지되지 않고, 상기 안전 확인 신호가 전달되는 등 두 가지 조건이 모두 만족되면, 동작 재개 명령을 생성하여 상기 구동부에 전달한다. In the safety device for semiconductor device manufacturing equipment, the central control unit does not detect the worker, a part of the body of the worker, or an object carried by the worker in the work area by the area detecting sensor, and the safety confirmation signal is transmitted. If both conditions are satisfied, a command to resume operation is generated and transmitted to the driving unit.

본 발명의 또 다른 특징에 따른 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법은 동작 기구가 운동하는 작업 영역, 상기 동작 기구에 구동력을 전달하는 구동부, 및 작업자의 안전을 담보하는 안전 장치가 구비된 반도체 소자 제조 장비의 안전 장치의 동작 방법으로서, 영역 감지 센서가 작업자, 작업자의 신체 일부, 또 는 작업자가 운반하는 물체의 작업 영역 내 존재 여부를 감지하는 단계; 신호 입력부가 영역 감지 센서로부터 감지 신호를 수신하여 중앙 제어부에 전달하는 단계; 중앙 제어부가 신호 입력부로부터 수신된 감지 신호에 기초하여 제1 동작 중단 명령을 생성하여 구동부에 전달하는 단계; 안전 확인부가 영역 감지 센서로부터 감지 신호를 독립적으로 수신하고, 감지 신호에 기초하여 제2 동작 중단 명령을 생성하여 구동부에 전달하는 단계; 및 구동부가 제1 동작 중단 명령 또는 제2 동작 중단 명령 중 어느 하나에 기초하여 동작 기구로 구동력 전달을 중지하는 단계;를 포함한다. According to still another aspect of the present invention, there is provided a method of operating a safety device for a semiconductor device manufacturing apparatus, comprising: a semiconductor having a work area in which an operating mechanism moves, a driving unit transmitting a driving force to the operating mechanism, and a safety device for securing the safety of an operator; A method of operating a safety device of device manufacturing equipment, the method comprising: detecting, by an area detecting sensor, whether a worker, a part of a worker's body, or an object carried by a worker is present in a work area; Receiving, by a signal input unit, a detection signal from an area detection sensor and transferring the detected signal to a central control unit; Generating, by the central control unit, a first operation stop command based on the detection signal received from the signal input unit and transmitting the first operation stop command to the driver; Independently receiving, by the safety confirmation unit, a detection signal from the area detection sensor, generating and transmitting a second operation stop command based on the detection signal to the driving unit; And stopping, by the drive unit, the transmission of the driving force to the operating mechanism based on either the first operation stop command or the second operation stop command.

상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법에 있어서, 상기 안전 확인부는 상기 중앙 제어부와 별도의 알고리즘을 통해 상기 제2 동작 중단 명령을 생성한다. In the method of operating the safety device for the semiconductor device manufacturing equipment, the safety confirmation unit generates the second operation stop command through a separate algorithm from the central control unit.

상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법은 영역 감지 센서로부터 작업 영역내 감지가 종료되는 단계; 신호 입력부가 영역 감지 센서의 감지 종료를 중앙 제어부에 전달하는 단계; 안전 확인부가 작업 영역 외부에 설치된 해제 조작부로부터 작업자 조작 신호를 수신하면, 안전 확인 신호를 생성하여 중앙 제어부에 전달하는 단계; 중앙 제어부가 감지 종료 신호와 안전 확인 신호가 모두 수신되면, 동작 재개 명령을 생성하여 구동부로 전달하는 단계; 및 구동부가 동작 재개 명령에 기초하여 동작 기구로 구동력 전달을 재개하는 단계;를 더 포함한다. The operation method of the safety device for the semiconductor device manufacturing equipment includes the step of sensing in the working area from the area detection sensor; Transmitting, by the signal input unit, an end of detection of the area detection sensor to the central control unit; Generating a safety confirmation signal and transmitting the safety confirmation signal to a central control unit when the safety confirmation unit receives a worker operation signal from a release operation unit installed outside the work area; Generating, by the central control unit, a command for resuming operation and transmitting it to the driver when both of the detection end signal and the safety confirmation signal are received; And resuming driving force transmission to the operating mechanism based on the driving resume command.

본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에서는 앞서 개시한 안전 확인 부를 통해, 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체를 영역 감지 센서를 통해 감시하고, 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 감지되면, 중앙 제어부와는 독립적으로 동작 중단 명령을 생성하여 구동부에 전달하여, 작업 영역내 동작 기구의 운동을 중지 시키게 된다. 따라서, 본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 구동부의 동작 중단 제어를 중앙 제어부뿐만 아니라, 중앙 제어부와 독립적으로 동작하는 안전 확인부를 통해 수행할 수 있어, 작업 영역 내 동작 기구의 운동 중단을 2중으로 확인할 수 있다. 따라서, 본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치를 이용하면, 작업 영역내에서 작업자의 안전이 2중으로 확인되므로, 작업자의 안전성을 크게 향상시킬 수 있다.In the safety device for semiconductor device manufacturing equipment of the present invention, through the safety check unit described above, the operator, a part of the body of the worker, or an object carried by the operator through the area detection sensor to monitor the worker, the worker in the work area When a part of the body, or an object carried by an operator is detected, an operation stop command is generated and transmitted to the driving unit independently of the central control unit, thereby stopping the movement of the operating mechanism in the work area. Therefore, the safety device for the semiconductor device manufacturing equipment of the present invention can perform the operation stop control of the driving unit not only the central control unit, but also the safety check unit operating independently of the central control unit, thereby stopping the movement of the operating mechanism in the work area. It can be confirmed in the middle. Therefore, when the safety device for semiconductor element manufacturing equipment of the present invention is used, the safety of the worker is confirmed in the working area in two, and thus the safety of the worker can be greatly improved.

또한, 본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에서 상기 안전 확인부는 상기 중앙 제어부와 독립적으로 설치되므로, 상기 중앙 제어부에서 연산 과정에 오류가 발생하거나 중앙 제어부로의 신호 전달에 외부 노이즈가 발생하여 잘못된 신호가 전달되더라도, 안전 확인부는 이와 같은 중앙 제어부의 오류로부터 자유로울 수 있다. 따라서, 이러한 경우라도 본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치를 사용하면, 작업자의 안전성을 담보할 수 있게 된다. In addition, in the safety device for semiconductor device manufacturing equipment of the present invention, since the safety check unit is installed independently of the central control unit, an error occurs in the calculation process in the central control unit or an external noise occurs in a signal transmission to the central control unit. Even if a signal is transmitted, the safety checker can be free from such a central control error. Therefore, even in such a case, if the safety device for semiconductor device manufacturing equipment of the present invention is used, the safety of the worker can be ensured.

이하, 본 발명을 바람직한 실시예와 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

본 발명의 한 실시예에 따른 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 모든 종류의 반도체 소자 제조 장비에 사용될 수 있으나, 특히 도 1에 도시된 바와 같이 작업 영역이 커버 없이 외부로 개방되어 있는 반도체 소자 제조 장비에 바람직하게 사용된다. The safety device for semiconductor device manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention can be used for all kinds of semiconductor device manufacturing equipment, in particular, as shown in Figure 1 semiconductor device manufacturing equipment in which the work area is open to the outside without a cover It is preferably used for.

먼저, 도 3을 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따른 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치를 구체적으로 설명한다. First, a safety device for semiconductor device manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 3.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 한 실시예에 따른 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 영역 감지 센서(100), 신호 입력부(200), 중앙 제어부(300), 구동부(400), 안전 확인부(500), 및 해제 조작부(600)를 포함하도록 구성된다. As shown in FIG. 3, the safety device for a semiconductor device manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention may include an area detecting sensor 100, a signal input unit 200, a central control unit 300, a driving unit 400, and safety confirmation. And a release unit 600 and a release operation unit 600.

먼저, 영역 감지 센서(100)는 노출된 작업 영역의 입구에 복수 개로 분포되어 설치되어 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체(도구 또는 자재)의 존재를 감지한다. First, a plurality of area detection sensors 100 are distributed and installed at the inlet of the exposed work area to detect the presence of a worker, a part of the body of the worker, or an object (tool or material) carried by the worker.

이러한 영역 감지 센서(100)는 작업 영역을 감지할 수 있는 것이면 특별한 제한이 없다. 본 실시예에서는 설명의 편의를 위해, 작업 영역의 입구 부분에 발광 센서와 상기 발광 센서로부터 발광되는 광을 수광하는 수광 센서가 각각 쌍을 이루어 영역 감지 센서(100)를 구성하는 경우를 들어 설명하기로 한다. 이 경우에는, 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 발광 센서로부터 발광되는 광을 가리게 되어, 수광센서가 상기 광을 수광하지 못하게 되면, 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 작업 영역내 로 진입하였음을 감지하는 것으로 구성된다. The area detecting sensor 100 is not particularly limited as long as it can detect a work area. In the present embodiment, for convenience of description, a case where the light emitting sensor and the light receiving sensor for receiving light emitted from the light emitting sensor are paired to each other at the inlet of the working area to configure the area detecting sensor 100 will be described. Shall be. In this case, when the worker, a part of the worker's body, or an object carried by the worker obscures the light emitted from the light emitting sensor, and the light receiving sensor fails to receive the light, the worker, the body part of the worker, or It consists of sensing that an object carried by an operator has entered the working area.

이러한 영역 감지 센서(100)의 개수는 특별히 제한이 없으며 작업 영역을 감지하기에 적절한 수로 설치된다. The number of the area detection sensor 100 is not particularly limited and is installed in an appropriate number to detect the work area.

신호 입력부(200)는 모든 영역 감지 센서(100)에 의한 감지 결과를 수집하여, 그 결과를 중앙 제어부(300)에 전달하고, 또한 안전 확인부(500)로부터 입력되는 신호를 수집하여 중앙 제어부(300)에 전달한다. The signal input unit 200 collects the detection results by all the area detection sensors 100, transmits the results to the central control unit 300, and collects the signals input from the safety checking unit 500 to collect the results. To 300).

중앙제어부(300)는 일반적으로 반도체 소자 제조 장비의 동작을 제어하는 장비이나, 본 발명에서는 작업 영역 내 작업자의 안전을 위해 동작기구의 운동을 제어하는 경우만으로 제한하여 설명하기로 한다. The central control unit 300 is generally a device for controlling the operation of the semiconductor device manufacturing equipment, but in the present invention will be limited to only the case of controlling the movement of the operating mechanism for the safety of the worker in the working area will be described.

이러한 한도 내에서, 중앙 제어부(300)는 신호 입력부(200)로부터 입력되는 신호에 따라 동작 중단 명령 또는 동작 재개 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달한다. 구체적으로, 중앙 제어부(300)는 영역 감지 센서(100)에 의해 작업 영역 내에서 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 감지되면, 구동부(400)에 동작 중단 명령을 전달한다. 그리고, 중앙 제어부(300)는 영역 감지 센서(100)에 의해 작업 영역 내에서 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 감지되지 않고, 안전 확인부(500)로부터 안전 확인 신호가 전달되는 등 두 가지 조건이 모두 만족되면 동작 재개 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달한다. Within this limit, the central control unit 300 generates an operation stop command or operation resume command according to a signal input from the signal input unit 200 and transmits the generated command to the driving unit 400. In detail, the central control unit 300 transmits an operation stop command to the driving unit 400 when the area detecting sensor 100 detects an operator, a body part of the worker, or an object carried by the worker in the working area. In addition, the central control unit 300 does not detect the worker, a part of the body of the worker, or an object carried by the worker in the work area by the area detecting sensor 100, and a safety confirmation signal is transmitted from the safety checking unit 500. If both conditions are satisfied, the operation resume command is generated and transmitted to the driving unit 400.

구동부(400)는 일반적으로 반도체 소자 제조 장비에 설치되어 있는 것으로서, 작업 영역 내에서 운동하는 동작 기구에 구동력을 전달하는 것으로서, 반도체 소자 제조 장비의 목적에 따라 다양하게 구성될 수 있다. 즉, 구동부(400)는 동작 기구의 특성에 따라 스텝 모터 또는 서보 모터일 수 있다. 이러한 구동부(400)는 중앙 제어부(300) 또는 안전 확인부(500) 중 어느 하나로부터도 동작 중단 명령을 수신하는 경우, 동작 기구로 구동력 전달을 중단하도록 구성된다. The driving unit 400 is generally installed in the semiconductor device manufacturing equipment, and transmits a driving force to an operating mechanism moving in the working area, and may be variously configured according to the purpose of the semiconductor device manufacturing equipment. That is, the driving unit 400 may be a step motor or a servo motor according to the characteristics of the operating mechanism. When the driving unit 400 receives an operation stop command from any of the central control unit 300 or the safety check unit 500, the driving unit 400 is configured to stop the transmission of the driving force to the operating mechanism.

안전 확인부(500)는 작업 영역 내에 구비된 모든 영역 감지 센서(100)와 연결되도록 구성되며, 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 존재함을 영역 감지 센서(100)로부터 수신하는 경우, 동작 중단 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달하고, 피드백(feedback) 신호를 표시한다. 여기서, 피드백 신호는 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체를 모니터를 통해 보여지는 화면, 또는 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 감지되는 경우 울리거나 켜지는 버저(Buzzer)의 소리 또는 램프(lamp)의 깜박임일 수 있다. 이때, 안전 확인부(500)는 동작 중단 명령을 구동부(400) 뿐만 아니라, 신호 입력부(200)에도 동시에 전달하도록 구성되는 것이 바람직하다. The safety check unit 500 is configured to be connected to all the area detection sensors 100 provided in the work area, and the area detection sensor 100 indicates that an operator, a body part of the worker, or an object carried by the worker exists in the work area. In the case of the reception, the operation stop command is generated and transmitted to the driving unit 400, and a feedback signal is displayed. Here, the feedback signal is a screen in which a worker, a part of the worker's body, or an object carried by the operator is displayed through a monitor in the work area, or when a worker, a part of the body of the worker, or an object carried by the worker is detected within the work area. It may be the sound of a buzzer or the lamp flickering. In this case, the safety checking unit 500 may be configured to simultaneously transmit the operation stop command to the signal input unit 200 as well as the driving unit 400.

안전 확인부(500)에서 동작 중단 명령의 생성 및 전달은 수 msec 내에 이루어지는 것이 바람직하다. The generation and transmission of the operation stop command in the safety confirmation unit 500 is preferably made within a few msec.

이를 위해, 안전 확인부(500)는 영역 감지 센서(100)로부터 수신되는 신호를 해석하고, 구동부(400)에 전달하기 위한 동작 중단 명령을 생성하는 알고리즘을 구비해야 한다. 그에 따라 안전 확인부(500)는 해당 알고리즘이 기록된 메모리 영역을 포함하게 된다. 이때, 안전 확인부(500)에서 동작 중단 명령을 생성하는 알고리 즘은 중앙 제어부(400)에서 채택된 알고리즘과 상이할 수 있다. 따라서, 안전 확인부(500)에서 생성되는 동작 중단 명령은 중앙 제어부(300)에서 생성되는 동작 중단 명령과 상이할 수 있다.To this end, the safety check unit 500 should be provided with an algorithm for interpreting the signal received from the area sensor 100, and generates an operation stop command for transmitting to the driver 400. Accordingly, the safety confirmation unit 500 includes a memory area in which the corresponding algorithm is recorded. At this time, the algorithm for generating an operation stop command in the safety check unit 500 may be different from the algorithm adopted by the central control unit 400. Therefore, the operation stop command generated by the safety check unit 500 may be different from the operation stop command generated by the central controller 300.

이러한 안전 확인부(500)는 바람직하게는 중앙 제어부(300)와 물리적으로 분리되어 있으며, 알고리즘 적으로도 중앙 제어부(300)와 직접적인 연결관계가 없도록 구성된다. 따라서, 중앙제어부(300)에서 연산 오류 등이 발생하거나, 신호 입력부(200)와 중앙제어부(300) 사이에 외부 노이즈가 발생한 경우라도, 안전 확인부(500)는 이러한 외부 상황의 변화에 아무런 영향 없이 작업 영역내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 감지되면 동작 중단 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달하여 작업자의 안전을 이중으로 담보하게 된다. The safety check unit 500 is preferably physically separated from the central control unit 300, and is configured such that there is no direct connection relationship with the central control unit 300. Therefore, even when an operation error or the like occurs in the central control unit 300 or an external noise occurs between the signal input unit 200 and the central control unit 300, the safety check unit 500 has no influence on the change of the external situation. If a worker, a body part of the worker, or an object carried by the worker is detected within the work area, the operation stop command is generated and transmitted to the driving unit 400 to double the security of the worker.

또한, 본 발명에서는 중앙제어부(300)와 안전확인부(500)에 동력을 전달하는 전원부도 바람직하게는 서로 분리되도록 구성한다. 즉, 중앙제어부(300)에는 메인 전원부가, 안전 확인부(500)에는 보조 전원부가 연결되도록 구성할 수 있다. 그 경우, 정전 등의 발생으로 메인 전원부가 중앙제어부(300)에 전원을 공급하지 못하는 경우가 발생하더라도, 보조 전원부에 의해 전원이 공급되는 안전 확인부(500)는 정상 동작하여 작업 영역 내 작업자의 안전을 담보할 수 있게 된다. In addition, in the present invention, the power supply unit for transmitting power to the central control unit 300 and the safety check unit 500 is also preferably configured to be separated from each other. That is, the main power supply unit may be connected to the central control unit 300, and the auxiliary power supply unit may be connected to the safety check unit 500. In this case, even if the main power supply fails to supply power to the central control unit 300 due to a power failure or the like, the safety check unit 500 supplied by the auxiliary power supply operates normally to operate the operator in the working area. You can secure your safety.

해제 조작부(600)는 반도체 소자 제조 장비의 작업 영역 외의 장소에 설치되며, 작업자에 의해 조작된다. 작업자에 의해 해제 조작부(600)가 조작되면, 해제 조작부(600)는 작업자 조작 신호를 안전 확인부(500)에 전달한다. The release operation unit 600 is installed at a place outside the work area of the semiconductor device manufacturing equipment and is operated by an operator. When the release operation unit 600 is operated by the operator, the release operation unit 600 transmits a worker operation signal to the safety confirmation unit 500.

안전 확인부(500)는 작업자 조작 신호를 수신하면, 안전 확인 신호를 생성하 여 신호 입력부(200)를 통해 중앙제어부(300)에 전달하고, 중앙제어부(300)는 이에 대하여 동작 재개 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달하게 된다. When the safety check unit 500 receives a worker manipulation signal, the safety check unit 500 generates a safety check signal and transmits the safety check signal to the central control unit 300 through the signal input unit 200, and the central control unit 300 generates a command to resume operation. To be transmitted to the driving unit 400.

본 발명에서는 해제 조작부(600)를 작업 영역 외부에 설치함으로써, 작업 영역 내에서 작업을 완료한 작업자가 동작 중단 해제 신호를 직접 인가하게 한다. 따라서, 본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치는 작업자의 안전이 완전히 확보된 후에 작업 영역 내 동작 기구의 운동을 재개하게 된다. In the present invention, by installing the release operation unit 600 outside the work area, the operator who completes the work in the work area to directly apply the operation stop release signal. Therefore, the safety device for semiconductor device manufacturing equipment of the present invention resumes the movement of the operating mechanism in the work area after the safety of the worker is completely secured.

이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법을 구체적으로 살펴본다. Hereinafter, a method of operating the safety device for a semiconductor device manufacturing apparatus of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 4.

먼저, 작업자가 반도체 소자 제조 장비의 작업 영역 내에서 목적하는 작업을 수행하기 위해, 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체를 작업 영역 내에 진입시키면, 이는 작업 영역에 분포되어 구비되어 있는 복수개의 영역 감지 센서(100)에 의해 감지되게 된다(s100). First, when a worker enters a worker, a part of a worker's body, or an object carried by a worker into a work area in order to perform a desired work in the work area of the semiconductor device manufacturing equipment, the worker is distributed in the work area. It is detected by the plurality of area detection sensor 100 (s100).

이와 같이 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 영역 감지 센서(100)에 의해 감지되면, 신호 입력부(200)는 영역 감지 센서(100)로부터 신호를 수신하여 중앙 제어부(300)에 전달한다(s200). When the worker, a part of the body of the worker, or an object carried by the worker is detected by the area detecting sensor 100, the signal input unit 200 receives a signal from the area detecting sensor 100 and transmits the signal to the central control unit 300. Deliver (s200).

그러면, 중앙 제어부(300)는 신호 입력부(200)로부터 입력되는 신호를 해석하여, 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 진입하였음을 확인하면, 동작 중단 명령을 생성하여 작업 영역 내에서 운동하는 동작 기구에게 구동력을 제공하는 구동부(400)에 전달한다(s300).Then, the central control unit 300 analyzes the signal input from the signal input unit 200 and generates an operation stop command when the operator, a body part of the worker, or an object carried by the operator enters the working area. It transmits to the driving unit 400 for providing a driving force to the operating mechanism to move in the working area (s300).

한편, 안전 확인부(500)는 통신 연결되어 있는 영역 감지 센서(100)로부터 신호를 수신하고, 수신된 신호를 해석하여 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 작업 영역 내에 진입한 것으로 판단되면, 중앙 제어부(300)와 별도의 알고리즘을 통해 동작 중단 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달한다(s400).On the other hand, the safety check unit 500 receives a signal from the area detection sensor 100 is connected to the communication, and interprets the received signal, the operator, a body part of the worker, or an object carried by the worker enters the work area If it is determined, the operation stop command is generated through a separate algorithm from the central control unit 300 and transmitted to the driving unit 400 (S400).

이와 같이, 중앙 제어부(300) 또는 안전 확인부(500) 중 하나 이상에서 동작 중단 명령이 수신되면, 구동부(400)는 작업 영역 내 동작 기구로 구동력을 전달하는 동작을 중단한다(s500). 따라서, 작업 영역 내에 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 진입하였을 때, 연산 오류, 또는 외부 노이즈 등의 원인으로 중앙 제어부(300)가 동작 중단 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달하지 못하였더라도, 중앙 제어부(300)와 별도로 동작하는 안전 확인부(500)는 동작 중단 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달할 수 있으므로, 구동부(400)는 그 동작을 중단하게 된다. As such, when an operation stop command is received from one or more of the central control unit 300 or the safety check unit 500, the driving unit 400 stops the operation of transmitting the driving force to the operating mechanism in the work area (S500). Therefore, when a worker, a body part of the worker, or an object carried by the worker enters the work area, the central control unit 300 generates an operation interruption command to the driving unit 400 due to a calculation error or external noise. Even if the transmission fails, the safety check unit 500 operating separately from the central control unit 300 may generate an operation stop command and transmit the generated command to the driving unit 400, and thus the driving unit 400 stops the operation.

한편, 작업자가 작업 영역에서 목적하는 작업을 완료하여 작업자가 작업 영역을 벗어나게 되면, 영역 감지 센서(100)는 더 이상 작업자를 감지할 수 없어, 작업 영역 내 감지를 종료하게 된다(s600).Meanwhile, when the worker completes the desired work in the work area and the worker leaves the work area, the area detection sensor 100 can no longer detect the worker, thereby terminating the detection in the work area (S600).

신호 입력부(200)는 영역 감지 센서(100)가 감지를 종료하면, 이를 중앙 제어부(300)에 전달한다(s700). When the area detecting sensor 100 ends the sensing, the signal input unit 200 transmits the signal to the central control unit 300 (s700).

한편, 작업 영역을 벗어난 작업자는 반도체 제조 장비의 재 가동을 위해, 작업 영역 외부에 설치된 해제 조작부(600)를 조작한다(s800). 이렇게 조작된 해제 조작부(600)는 작업자 조작 신호를 안전 확인부(500)에 전달하게 되며, 이 경우 안 전 확인부(500)는 작업자 조작 신호가 수신되면, 안전 확인 신호를 생성하여 신호 입력부(200)를 통해 중앙 제어부(200)에 전달한다(s900). On the other hand, the worker who is out of the work area operates the release operation unit 600 installed outside the work area in order to restart the semiconductor manufacturing equipment (S800). In this manner, the operation to release the operation unit 600 transmits the operator operation signal to the safety confirmation unit 500, in this case, the safety confirmation unit 500, when the operator operation signal is received, generates a safety confirmation signal signal input unit ( Transfer to the central control unit 200 through the 200 (s900).

본 실시예에서는 안전확인부(500)가 안전 확인 신호를 신호 입력부(200)를 통해 중앙 제어부(200)에 전달하는 것으로 구성되나, 이에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라서는 안전확인부(500)는 신호 입력부(200)를 거치지 않고 중앙 제어부(200)에 안전 확인 신호를 직접 전달하도록 구성될 수 있다. In this embodiment, the safety check unit 500 is configured to transmit a safety check signal to the central control unit 200 through the signal input unit 200, but is not limited thereto, and the safety check unit 500 as necessary. The controller may be configured to directly transmit a safety confirmation signal to the central controller 200 without passing through the signal input unit 200.

한편, 중앙 제어부(300)는 모든 영역 감지 센서(100)의 감지가 종료되고, 그리고 안전 확인부(500)를 통해 안전 확인 신호가 수신되는 등, 두 가지 조건이 동시에 만족함을 확인하면, 동작 재개 명령을 생성하여 구동부(400)에 전달한다(S1000).On the other hand, the central control unit 300 resumes operation when it is confirmed that the two conditions are satisfied at the same time, such as the detection of all the area detection sensors 100 is terminated and the safety confirmation signal is received through the safety confirmation unit 500. The command is generated and transmitted to the driving unit 400 (S1000).

그러면, 구동부(400)는 작업 영역내 동작 기구에 구동력을 제공하여 동작 기구가 작업 영역 내에서 다시 운동하게 한다. Then, the driving unit 400 provides a driving force to the operating mechanism in the working area so that the operating mechanism moves again in the working area.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 첨부된 특허 청구 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made within the scope of the technical idea of the present invention, and it is obvious that the present invention belongs to the appended claims. Do.

도 1은 작업 영역이 개방되어 있는 형태의 반도체 소자 제조 장비의 일례이다. 1 is an example of the semiconductor device manufacturing equipment of the form in which the working area is opened.

도 2는 종래의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에 대한 개념도이다. 2 is a conceptual view of a conventional safety device for semiconductor device manufacturing equipment.

도 3은 본 발명의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치에 대한 개념도이다. 3 is a conceptual diagram of a safety device for a semiconductor device manufacturing equipment of the present invention.

도 4는 도 3의 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법에 대한 순서도이다. 4 is a flowchart illustrating a method of operating a safety device for semiconductor device manufacturing equipment of FIG. 3.

Claims (9)

동작 기구가 운동하는 작업 영역, 및 상기 동작 기구에 구동력을 전달하는 구동부가 구비된 반도체 소자 제조 장비 중, 상기 작업 영역 내 작업자의 안전을 위해 설치되는 안전 장치에 있어서, In the safety device which is provided for the safety of the worker in the work area of the semiconductor device manufacturing equipment equipped with a work area to which the operating mechanism is moved, and a drive unit for transmitting a driving force to the operating mechanism, 상기 작업 영역 내 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체의 존재를 감지하도록 설치된 복수개의 영역 감지 센서;A plurality of area detection sensors installed to detect the presence of a worker, a body part of the worker, or an object carried by the worker in the work area; 상기 영역 감지 센서의 감지 결과를 수집하여 전달하는 신호 입력부;A signal input unit configured to collect and transmit a detection result of the area detection sensor; 상기 신호 입력부로부터 전달되는 상기 감지 결과에 기초하여 제1 동작 중단 명령을 생성하여 상기 구동부에 전달하는 중앙제어부; 및A central controller configured to generate a first operation stop command based on the detection result transmitted from the signal input unit and transmit the first operation stop command to the driver; And 상기 영역 감지 센서로부터 상기 감지 결과를 수집하고, 상기 감지 결과에 기초하여 제2 동작 중단 명령을 독립적으로 생성하여 상기 구동부에 전달하는 안전 확인부; A safety checker configured to collect the detection result from the area detection sensor and independently generate and transmit a second operation stop command based on the detection result; 를 포함하며, 상기 구동부는 제1 동작 중단 명령 또는 제2 동작 중단 명령 중 어느 하나를 수신하여도 상기 동작 기구로의 구동력 전달을 중단하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치. And the drive unit stops transmitting the driving force to the operating mechanism even when receiving the first operation stop command or the second operation stop command. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 중앙 제어부와 상기 안전 확인부는 서로 독립되어 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치. And said central control unit and said safety check unit are installed independently of each other. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 동작 중단 명령과 상기 제2 동작 중단 명령이 서로 상이한 알고리즘에 의해 생성되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치. And the first operation stop command and the second operation stop command are generated by different algorithms. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 작업 영역 이외의 장소에 상기 작업자에 의해 조작되도록 설치되어, 상기 작업자에 의해 조작되면, 작업자 조작 신호를 상기 안전 확인부로 전달하는 해제 조작부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치. And a release operation unit installed to be operated by the operator at a place other than the work area and transmitting the operator operation signal to the safety confirmation unit when operated by the operator. safety device. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 안전 확인부는 상기 해제 조작부로부터 상기 작업자 조작 신호를 수신하면, 안전 확인 신호를 생성하여 상기 중앙 제어부에 전달하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치. The safety check unit is a safety device for the semiconductor device manufacturing equipment, characterized in that for receiving the operator operation signal from the release operation unit generates a safety confirmation signal to the central control unit. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 중앙 제어부는 상기 작업 영역 내에서 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체가 상기 영역 감지 센서에 의해 감지되지 않고, 상기 안전 확인 신호가 전달되는 등 두 가지 조건이 모두 만족되면, 동작 재개 명령을 생 성하여 상기 구동부에 전달하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치.The central control unit operates when both conditions are satisfied, such that the worker, a part of the body of the worker, or an object carried by the worker is not detected by the area detecting sensor and the safety confirmation signal is transmitted within the work area. And a resuming command is generated and transmitted to the drive unit. 동작 기구가 운동하는 작업 영역, 상기 동작 기구에 구동력을 전달하는 구동부, 및 작업자의 안전을 담보하는 안전 장치가 구비된 반도체 소자 제조 장비 중, 상기 안전 장치의 동작 방법에 있어서, In the semiconductor device manufacturing equipment equipped with the work area which an operation mechanism moves, the drive part which transmits a driving force to the said operation mechanism, and the safety device which ensures the safety of an operator, In the operating method of the said safety device, 영역 감지 센서는 작업자, 작업자의 신체 일부, 또는 작업자가 운반하는 물체의 상기 작업 영역 내 존재 여부를 감지하는 단계;The area detecting sensor detects whether an operator, a body part of the worker, or an object carried by the worker exists in the working area; 신호 입력부는 상기 영역 감지 센서로부터 감지 신호를 수신하여 중앙 제어부에 전달하는 단계;A signal input unit receiving a detection signal from the area detection sensor and transmitting the detected signal to a central control unit; 상기 중앙 제어부는 상기 신호 입력부로부터 수신된 상기 감지 신호에 기초하여 제1 동작 중단 명령을 생성하여 상기 구동부에 전달하는 단계;Generating, by the central control unit, a first operation stop command based on the detection signal received from the signal input unit and transmitting the first operation stop command to the driving unit; 안전 확인부는 상기 영역 감지 센서로부터 감지 신호를 독립적으로 수신하고, 상기 감지 신호에 기초하여 제2 동작 중단 명령을 생성하여 상기 구동부에 전달하는 단계; 및A safety confirmation unit independently receiving a detection signal from the area detection sensor, generating a second operation stop command based on the detection signal, and transmitting it to the driving unit; And 상기 구동부는 상기 제1 동작 중단 명령 또는 제2 동작 중단 명령 중 어느 하나에 기초하여 상기 동작 기구로 구동력 전달을 중지하는 단계;Stopping the transmission of the driving force to the operating mechanism based on one of the first operation stop command and the second operation stop command; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법. Method for operating a safety device for semiconductor device manufacturing equipment comprising a. 제7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 안전 확인부는 상기 중앙 제어부와 별도의 알고리즘을 통해 상기 제2 동작 중단 명령을 생성하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법. And the safety check unit generates the second operation stop command through an algorithm separate from the central control unit. 제7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 영역 감지 센서로부터 상기 작업 영역내 감지가 종료되는 단계;Ending detection in the working area from the area detecting sensor; 상기 신호 입력부는 상기 영역 감지 센서의 감지 종료를 상기 중앙 제어부에 전달하는 단계;Transmitting, by the signal input unit, an end of detection of the area detection sensor to the central control unit; 상기 안전 확인부는 상기 작업 영역 외부에 설치된 해제 조작부로부터 작업자 조작 신호를 수신하면, 안전 확인 신호를 생성하여 상기 중앙 제어부에 전달하는 단계;The safety confirmation unit generates a safety confirmation signal and transmits the safety confirmation signal to the central control unit when receiving a worker operation signal from a release operation unit installed outside the work area; 상기 중앙 제어부는 상기 감지 종료 신호와 상기 안전 확인 신호가 모두 수신되면, 동작 재개 명령을 생성하여 상기 구동부로 전달하는 단계; 및Generating, by the central control unit, a command for resuming operation when the sensing end signal and the safety confirmation signal are received; And 상기 구동부는 상기 동작 재개 명령에 기초하여 상기 동작 기구로 구동력 전달을 재개하는 단계;The driving unit resuming driving force transmission to the operating mechanism based on the resume operation command; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 소자 제조 장비용 안전 장치의 동작 방법. Method for operating the safety device for the semiconductor device manufacturing equipment characterized in that it further comprises.
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